JP5965739B2 - 画像処理装置、電子顕微鏡装置、画像処理方法及びプログラム - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1の実施の形態による画像処理技術について説明する。
図3は、本実施の形態による画像処理装置の一構成例を示す機能ブロック図である。図3に示すように、本実施の形態による画像処理装置12aは、材料ピーク検出部33と、輝度情報抽出部34と、コントラスト・ブライトネス調整部35と、を有しており、入力画像31を入力として、コントラスト・ブライトネスの調整後の画像38を出力する。
以降、本明細書では、コントラスト・ブライトネス調整部35での処理として、中間輝度強調を例に挙げて説明するが、特に中間輝度強調に限定されるものではない。
次に、本発明に第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、中間輝度強調処理をマニュアルで設定するインターフェイスを有する装置に関するものである。図10に、本実施の形態によるインターフェ−ス画面の例を示す。
Claims (9)
- 反射電子画像を入力画像とする画像処理を行う画像処理装置であって、
前記入力画像を入力とし、材料に依存する反射電子の生成効率情報を用いて、測定位置毎に得た輝度値に基づく輝度ヒストグラムの度数のピークをもつピーク輝度値を求め、材料毎の前記ピーク輝度値を出力する材料ピーク検出部と、
前記入力画像と材料毎の前記ピーク輝度値に基づいて、材料に依存するコントラストを強調する画像情報調整部と
を有することを特徴とする画像処理装置。 - 前記入力画像を入力とし、前記入力画像の輝度情報を検出することで、前記入力画像の輝度の最大値と最小値とを取得して出力する輝度情報検出部を有し、
前記画像情報調整部は、前記材料ピーク抽出部からの前記ピーク輝度値と、前記輝度情報抽出部からの輝度の最大値と最小値と、に基づいて、前記入力画像のコントラストを強調することを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - さらに、前記材料に依存するコントラストの強調に加えて、光源の条件に依存するコントラストの強調を実行可能とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像処理装置。
- パターン検出して、画像を取得する際に、パターン検出に失敗したときにのみ、前記材料に依存するコントラストの強調処理を実行することを特徴とする請求項3に記載の画像処理装置。
- 請求項1から4までのいずれか1項に記載の画像処理装置を有することを特徴とする電子顕微鏡装置。
- 2以上の材料を選択することにより、選択された材料間のコントラストを強調するためのインターフェイスを有することを特徴とする請求項5に記載の電子顕微鏡装置。
- 反射電子画像を入力画像とする画像処理を行う画像処理方法であって、
前記入力画像を入力とし、材料に依存する反射電子の生成効率情報を用いて、測定位置毎に得た輝度値に基づく輝度ヒストグラムの度数のピークをもつピーク輝度値を求め、材料毎の前記ピーク輝度値を出力する材料ピーク検出ステップと、
前記入力画像と材料毎の前記ピーク輝度値に基づいて、材料に依存するコントラストを強調する画像情報調整ステップと
を有することを特徴とする画像処理方法。 - 前記入力画像を入力とし、前記入力画像の輝度情報を検出することで、前記入力画像の輝度の最大値と最小値とを取得して出力する輝度情報検出ステップを有し、
前記画像情報調整ステップは、前記材料ピーク抽出ステップにおいて求めた前記ピーク輝度値と、前記輝度情報抽出ステップにおいて求めた輝度の最大値と最小値と、に基づいて、前記入力画像のコントラストを強調することを特徴とする請求項7に記載の画像処理方法。 - 請求項7又は8に記載の画像処理方法を、コンピュータに実行させるためのプログラム。
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