JP6404343B2 - ワーク表面に対するレーザー衝撃強化装置及びレーザー衝撃強化処理方法 - Google Patents
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Description
拘束層の機能は、レーザーエネルギーを通過させて吸収保護層に作用させるとともに、プラズマ膨張時の反作用力をできるかぎり多く提供し、衝撃波結合効率を向上させることである。現在、中国国内外では、拘束層として通常は光学ガラス等の固体材料を採用したり、透明拘束層として厚さ約0.5〜1mmの水膜等のフレキシブル材料を採用したりしている。
吸収保護層の機能は、レーザーを吸収し、プラズマを発生させるとともに、バリア機能を有するのでレーザー及びプラズマのワークへの損傷を回避することができる。現在、吸収保護層として、通常はペンキ、フレキシブルテープまたは所定の厚さの金属箔シート等が用いられている。
衝撃波強度は数GPa(109Pa)オーダーに達し、多くのワーク材料の降伏強度より遥かに高くなる。
(1)実際の操作プロセスにおいて約0.5−1mmの水膜厚さを安定して制御することが難しい。例えば、一般的にはノズルを用いて側面から水膜を施しているが、水膜の厚さはワーク形状や位置の変化に伴って変化しやすく、また、加工プロセスにおける衝撃波は水膜の破れや飛散を引き起こし易いため、加工の一致性と光路デバイスの信頼性に影響する、
(2)固体の拘束に対して水膜の拘束は剛性が足りたいため、衝撃波に対する効果が良くなく、不安定な拘束等の状況が発生しやすく、最終的にレーザー衝撃強化効果を弱めることにつながるといった問題が存在する。
該フレキシブルフィルはエネルギー吸収保護層と拘束層を一体に集めたフレキシブルフィルムを形成できるものの、その拘束剛性度はガラスのような拘束強度まで至らず、かつ気泡等の潜在的な品質上の隠れた問題が存在するとともに、フレキシブルフィルム制作プロセスが複雑且つ煩雑であり、本分野の利用促進にとっては不利である。
前記共振空胴体の内面の具体的な形状に制限がなく、効率よく率衝撃波共振の集約を生じることができる形状となるように加工されて成り、楕円体と放物面形等を含む。
前記共振空胴の開口端形状に制限はなく、円形、正方形、長方形等であってよい。
上述のレーザー衝撃強化装置をさらに好適化するため、本発明は以下の好適化措置を提案している。
(1)前記流体を本格的に流動させ、流体の流れを利用して、再度衝撃波を形成する過程中に形成される気泡を低減させる一方で、該過程中に少量の気泡が形成されても、該流体の流れが迅速に気泡を共振空胴から連れ出し、レーザー光路の安定性を保持し、該気泡の衝撃強化効果への悪影響の低減に寄与することと、
(2)流体出口を設置したことにより、共振空胴内圧力をガイドし調整することができ、これによって共振空胴体とワーク間の間隔を制御できる、
という利点がある。
しかし、実際の適用においては、共振空胴の開口端面と吸収保護層を密封接触となるように制御することは比較的難度が高い。共振空胴の開口端面と吸収保護層が密封接触ではない場合、少量の流体がそこから漏出してしまう。しかし、該漏出は本発明の有効性を阻害するものでなく、逆に、少量の流体の漏出は、共振空胴体の吸収保護層に対する摩擦力の減少に寄与する。
ワークを洗浄処理した後表面に吸収保護層を施す第1ステップ、
共振空胴の開口端面と吸収保護層表面を互いに接触させ、流体入口を通して共振空胴内へ流体を注入する第2ステップ、
レーザー発生ユニットが発生したレーザーがレーザー入口を経由して共振空胴に入り、流体を通過して吸収保護層に作用し、衝撃波を形成するステップであって、該衝撃波の伝播プロセスAは、一部の衝撃波が直接ワークに作用して、ワークを強化し、もう一部の衝撃波が共振空胴の内面に伝播し、共振空胴内面の反射を経て、集波した後、再度衝撃波を形成し、前記伝播プロセスAを繰り返すものであり、このように複数回繰り返した後、レーザー発生ユニットをオフにする第3ステップ、
ワークを取り外し、表面に残った吸収保護層を洗浄する第4ステップである。
ワーク表面の異なる領域にレーザー衝撃強化を行うために、好ましくは、処理プロセス中に、共振空胴開口端面と吸収保護層表面の接触位置を調整する、即ち、前記第3ステップの後に、共振空胴の開口端面と吸収保護層表面が接触している位置を変更し、第3ステップを繰り返す第3ステップ’を一回又は複数回行い、その後第4ステップを行う。
ただし、第3ステップ’において、共振空胴の開口端面と吸収保護層表面が互いに接触している位置を変更する手段には制限がない。
例えば、運動機構を用いることにより、ワークとレーザー衝撃強化装置に相対運動を生じさせてもよく、各種寸法のワーク処理要求に適用させるため、ワークの移動のみ、レーザー衝撃強化装置の移動のみ、もしくは両者ともに移動する形態を含む。
ワークを洗浄処理した後、上、下面にそれぞれ吸収保護層を施す第1ステップ、
二組のレーザー衝撃強化装置中の二つの共振空胴の開口端面をぞれぞれ吸収保護層の上面、下面に接触させ、その後それぞれ流体入口を通して共振空胴内へ流体を注入する第2ステップ、
二組のレーザー衝撃強化装置中のレーザー発生ユニットが発生したレーザーがそれぞれ二つのレーザー入口を経由して共振空胴に入り、流体を通過して吸収保護層に作用し、吸収保護層が衝撃波を形成するステップであって、該衝撃波の伝播プロセスAは、一部の衝撃波がワークに直接作用してワークを強化し、他の一部の衝撃波が共振空胴の内面へ伝播し、共振空胴内面の反射を経て、集波した後、再度衝撃波を形成し、前記伝播プロセスAを繰り返すものであり、このように複数回繰り返した後、レーザー発生ユニットをオフにする第3ステップ、
ワークを取り外し、表面に残った吸収保護層を洗浄する第4ステップ。
本実施例において、レーザー衝撃強化装置は図4に示したように、レーザー発生ユニット10と、一端が開口した共振空胴19を含み、該共振空胴19の開口端面と吸収保護層6の表面が互いに密封接触し、“アンダーカット”構造を形成する。該共振空胴19にはさらにレーザー入口13と流体入口22と流体出口5が設けられている。
吸収保護層6の表面は拘束層20である。
該拘束層20は共振空胴19内に位置し、流体入口22を通して注入された脱イオン水である。
管路8と流体入口22の連結部は第1連結部21であり、管路8と流体出口5の連結部は第2連結部7である。さらに、流量調整バルブを設置して流体の流量を測定する。
レーザーがレーザー入口13を通って効率よく安定して共振空胴19に入射させるため、レーザー発生ユニット10とレーザー入口13の間にライトガイドユニットを設けて、レーザー発生ユニットが発生したレーザーを効率的にレーザー入口に通して共振空胴に入射させる。
該ライトガイドユニットは、例えば図5に示した光学デバイスで構成されたライトガイドユニットや、図6に示した多関節ライトガイドアームを採用したライトガイドユニットや、図7に示した特殊の光ファイバを採用したライトガイドユニットなどの他の構成を採用することもできる。
共振空胴19と吸収保護層6との接触面の密封性を高めるため、共振空胴19と吸収保護層6との接触面に密封部材23を設置する。
コンピュータ9はレーザー発生ユニット10とマイクロ型水ポンプ3を制御するためのものである。
該レーザー発生ユニット10は、例えば532ナノメートル波長、25ナノ秒パルス幅、1−10ジュールパルスエネルギーのレーザー光を発生できるNd:YAG固体パルスレーザー発生ユニットを適用することができる。
調整ジョイント12内の平凸集光レンズ15の上下距離を調整してレーザービームが脱イオン水20を通過して吸収保護層6に作用するようにする。
ワーク4に向かった一部の球面衝撃波がワーク4に直接作用してワーク4を強化し、もう一部の球面衝撃波は入射波として共振空胴19内面で反射された後、レーザービームの焦点近傍で収束反射波を形成し、再度衝撃波となって前記のプロセスを繰り返すことでによって複合衝撃波を形成し、2回以上ワーク4を衝撃強化する。
吸収保護層は、レーザーエネルギーを吸収して迅速に気化するとともに緻密な高温高圧プラズマを形成する。該プラズマは、引き続きレーザーエネルギーを吸収した後に膨張して高強度な球面衝撃波を形成し、ワーク4に向かった一部の球面衝撃波はワーク4に直接作用してワーク4を強化し、もう一部の球面衝撃波は入射波として共振空胴内面で反射された後、レーザーの焦点近傍で収束反射波を形成し、再度衝撃波となって前記プロセスを繰り返す。ワークの上面と下面に複合衝撃波を形成し、ワーク4を2回以上衝撃強化する。
本実施例において、図12に示したように、レーザー衝撃強化装置はレーザー発生ユニットと一端が開口した共振空胴を含み、該共振空胴の開口端面と吸収保護層の表面が非密封的に接触しており、“アンダーカット”構造を形成している。
該共振空胴にはレーザー入口と流体入口と流体出口がさらに設けられいる。
処理対象となるワーク表面は吸収保護層を有する。
該拘束層は共振空胴内に位置され、且つ流体入口から注入された気体であって、例えば空気や窒素ガス等で構成されることができる。
該気体は、ガスポンプによって外部ガスボンベから流体入口を経由して共振空胴内に圧送され、また流体出口を経由して共振空胴から排出されることによって流動状態を形成させる。
該ライトガイドユニットは、光伝送ユニットと、光伝送ユニットジョイントと、平凸コリメータレンズと、平凸集光レンズとで構成することができる。また、該ライトガイドユニットは他の形態を用いることもできる。
2 水槽
3 マイクロ型水ポンプ
4 ワーク
5 流体出口
6 吸収保護層
7 第2連結部
8 管路
9 コンピュータ
10 レーザー発生ユニット
11 光伝送ユニット
12 光伝送ユニットジョイント
13 レーザー入口
14 平凸コリメータレンズ
15 平凸集光レンズ
16 スペーサA
17 耐高圧ガラス
18 スペーサB
19 共振空胴
20 脱イオン水
21 第1連結部
22 流体入口
23 密封部材
Claims (7)
- レーザー発生ユニットを含み、前記レーザー発生ユニットが発生したレーザーがワークの表面に形成された吸収保護層の表面にある拘束層を通過した後に前記吸収保護層に作用し、前記吸収保護層がプラズマ衝撃波を形成して前記ワークの表面に作用する、ワーク表面に対するレーザー衝撃強化装置であって、
一端が開口した共振空胴をさらに含み、前記共振空胴には前記レーザー発生ユニットが発生した前記レーザーを前記共振空胴に入力させるためのレーザー入口が設けられ、
前記共振空胴にはさらに流体入口が設置され、前記拘束層は該流体入口を介して注入された流体であり、
前記共振空胴の開口端面と前記吸収保護層の表面が接触して、前記拘束層を前記共振空胴内に制限させ、
前記共振空胴は、衝撃波共振の集約を生じることができる形状に加工されており、
前記共振空胴は、前記開口端面に近く、かつ、前記共振空胴の中心軸に対し前記流体入口とは反対側の位置に流体出口がさらに設けられており、前記流体が前記流体入口から注入して、前記流体出口から流出し、流動状態を形成することを特徴とする、ワーク表面に対するレーザー衝撃強化装置。 - 前記流体が気体又は液体であることを特徴とする請求項1に記載のワーク表面に対するレーザー衝撃強化装置。
- 前記共振空胴の開口端が円形、正方形又は長方形であることを特徴とする請求項1に記載のワーク表面に対するレーザー衝撃強化装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載のレーザー衝撃強化装置を用いて、前記ワーク表面に強化処理を行うワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法であって、
前記ワークに対して洗浄処理を行った後、表面に前記吸収保護層を施す第1ステップと、
前記共振空胴の前記開口端面と前記吸収保護層表面を接触させ、前記流体入口から前記共振空胴内に前記流体を注入し、前記流体を、前記開口端面に近く、かつ、前記共振空胴の中心軸に対し前記流体入口とは反対側の位置に設けられた流体出口から流出させて、流動状態を形成する第2ステップと、
前記レーザー発生ユニットが発生した前記レーザーを前記レーザー入口から前記共振空胴に入射させて、流体によって前記吸収保護層に作用して、前記吸収保護層が衝撃波を形成し、
該衝撃波の伝播プロセスAは、一部の前記衝撃波が前記ワークに直接作用して前記ワークを強化し、他の一部の前記衝撃波が前記共振空胴の内面に伝わり、前記共振空胴の内面で反射され集波後に再度前記衝撃波を形成することであり、
前記伝播プロセスAを繰り返した後に前記レーザー発生ユニットをオフにする第3ステップと、
前記ワークを取り外して表面に残った前記吸収保護層を洗浄する第4ステップとを含むことを特徴とするワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法。 - 前記第3ステップの後に、前記共振空胴の前記開口端面と前記吸収保護層との接触位置を変更して前記第3ステップを繰り返す第3’ステップを一回又は複数回実行し、その後に前記第4ステップを実行することを特徴とする請求項4に記載のワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法。
- 請求項1から3のいずれかに記載のレーザー衝撃強化装置を用いて、前記ワーク表面に強化処理を行うワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法であって、
2つの前記レーザー衝撃強化装置を用いて前記ワークの上面と下面に対して同時に前記強化処理を行い、具体的な処理プロセスは、
前記ワークに対して洗浄処理を行った後、上面と下面にそれぞれ前記吸収保護層を形成する第1ステップと、
2つの前記レーザー衝撃強化装置の2つの前記共振空胴の前記開口端面をぞれぞれ前記吸収保護層の上面と下面に接触させて、それぞれ前記流体入口から前記共振空胴内に前記流体を注入し、前記流体をそれぞれ前記流体出口から流出させて、流動状態を形成する第2ステップと、
2つの前記レーザー衝撃強化装置の前記レーザー発生ユニットが発生した前記レーザーをそれぞれ2つの前記レーザー入口から前記共振空胴に入射させ、前記流体によって前記吸収保護層に作用して前記衝撃波を形成することであり、該衝撃波の伝播プロセスAは、一部の前記衝撃波が前記ワークに直接作用して前記ワークを強化し、他の一部の前記衝撃波は前記共振空胴の内面に伝わり、前記共振空胴内面で反射され、集波後に再度前記衝撃波を形成することであり、前記伝播プロセスAを複数回繰り返した後に、前記レーザー発生ユニットをオフにする第3ステップと、
前記ワークを取り外して表面に残った前記吸収保護層を洗浄する第4ステップとを含むことを特徴とするワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法。 - 前記第3ステップの後に、各共振空胴の前記開口端面と前記吸収保護層の上面及び下面との接触位置をそれぞれ変更して、前記第3ステップを繰り返す第3’ステップを一回又は複数回実行した後に前記第4ステップを実行することを特徴とする請求項6に記載のワーク表面に対するレーザー衝撃強化処理方法。
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