JP6395517B2 - 光学セルの製造方法 - Google Patents
光学セルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6395517B2 JP6395517B2 JP2014176699A JP2014176699A JP6395517B2 JP 6395517 B2 JP6395517 B2 JP 6395517B2 JP 2014176699 A JP2014176699 A JP 2014176699A JP 2014176699 A JP2014176699 A JP 2014176699A JP 6395517 B2 JP6395517 B2 JP 6395517B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- optical cell
- bonding
- pieces
- bonding material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
試料を中空部に保持し、光を入射面から入れて、前記試料を通った前記光を出射面から出す光学セルにおいて、
前記入射面及び前記出射面となる面を有する複数の水晶片と、
これらの水晶片を原子拡散接合法によって接合する接合材と、
接合された前記複数の水晶片に囲まれることによって形成された前記中空部と、
を備えたことを特徴とする。
本発明に係る光学セルを製造する方法であって、
前記複数の水晶片に前記接合材を形成する工程と、
前記接合材が形成された前記複数の水晶片を前記中空部を形成するように配置する工程と、
前記原子拡散接合法によって前記複数の水晶片を前記接合材を介して接合する工程と、
を含む。以下、「光学セルの製造方法」を単に「製造方法」という。
11 中空部
111 入口
112 出口
12 入射面
13 出射面
21 第一の水晶片
22 第二の水晶片
23 第三の水晶片
24 第四の水晶片
25 接合材
26 隙間
S 試料
P1,P2 光
31 第一の水晶ウェハ
32 第二の水晶ウェハ
33 第三の水晶ウェハ
331 貫通孔
34 切断ライン
40 光学セル(実施形態2)
41 第一の水晶片
42 第二の水晶片
43 溝
51 第一の水晶ウェハ
52 第二の水晶ウェハ
60 光学セル(実施形態3)
61 第一の水晶片
62 第二の水晶片
63 溝
641,642 端面
651 第一の側面
652 第二の側面
653 第三の側面
12’ 入射面
13’ 出射面
P1’,P2’ 光
70 光学セル(実施形態4)
71 第一の水晶片
72 第二の水晶片
73 第三の水晶片
74 第四の水晶片
751,752 端面
761 第一の短側面
762 第二の短側面
771 第一の短側面
772 第二の短側面
Claims (2)
- 試料を中空部に保持し、光を入射面から入れて、前記試料を通った前記光を出射面から出す光学セルにおいて、
前記入射面及び前記出射面となる面を有する複数の水晶片と、
これらの水晶片を原子拡散接合法によって接合する接合材と、
接合された前記複数の水晶片に囲まれることによって形成された前記中空部と、
を備え、
前記複数の水晶片は、平板状の第一、第二、第三及び第四の水晶片からなり、
前記第三の水晶片と前記第四の水晶片との間に隙間が生じた状態で、当該第三及び第四の水晶片が前記第一の水晶片と前記第二の水晶片との間に接合されることにより、前記隙間が前記中空部となっている、
光学セルを製造する方法であって、
第一、第二及び第三の水晶ウェハを予め用意しておき、
前記第三の水晶ウェハに前記隙間となる貫通孔を形成する工程と、
前記第一及び第二の水晶ウェハの片方の面並びに前記第三の水晶ウェハの両方の面に前記接合材を形成する工程と、
互いの前記接合材が接するように、前記第一の水晶ウェハの上に前記第三の水晶ウェハを重ね、前記第三の水晶ウェハの上に前記第二の水晶ウェハを重ね、前記原子拡散接合法によって前記第一、第二及び第三の水晶ウェハを前記接合材を介して接合する工程と、
接合された前記第一、第二及び第三の水晶ウェハを切り出して前記光学セルを得る工程と、
を含む光学セルの製造方法。 - 試料を中空部に保持し、光を入射面から入れて、前記試料を通った前記光を出射面から出す光学セルにおいて、
前記入射面及び前記出射面となる面を有する複数の水晶片と、
これらの水晶片を原子拡散接合法によって接合する接合材と、
接合された前記複数の水晶片に囲まれることによって形成された前記中空部と、
を備え、
前記複数の水晶片は、平板状の第一及び第二の水晶片からなり、
前記第一及び第二の水晶片の少なくとも一方に溝が形成されており、
前記第一の水晶片と前記第二の水晶片とが前記溝を挟んで接合されることにより、前記溝が前記中空部となっている、
光学セルを製造する方法であって、
第一及び第二の水晶ウェハを予め用意しておき、
前記第一及び第二の水晶ウェハの少なくとも一方に前記溝を形成する工程と、
前記第一及び第二の水晶ウェハの片方の面に前記接合材を形成する工程と、
互いの前記接合材が接するように、前記第一の水晶ウェハの上に前記溝を挟んで前記第二の水晶ウェハを重ね、前記原子拡散接合法によって前記第一及び第二の水晶ウェハを前記接合材を介して接合する工程と、
接合された前記第一及び第二の水晶ウェハを切り出して前記光学セルを得る工程と、
を含む光学セルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176699A JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014176699A JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016050863A JP2016050863A (ja) | 2016-04-11 |
JP6395517B2 true JP6395517B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=55658464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014176699A Active JP6395517B2 (ja) | 2014-09-01 | 2014-09-01 | 光学セルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6395517B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017213059A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 国立大学法人名古屋大学 | 水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサ |
JP6866710B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2021-04-28 | 株式会社大真空 | 波長変換素子およびレーザ照射装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60207038A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | Shimadzu Corp | 液体クロマトグラフ用フロ−セル |
JPH0376151U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-30 | ||
US6224830B1 (en) * | 1998-01-30 | 2001-05-01 | The Governors Of The University Of Alberta | Absorbance cell for microfluid devices |
WO2008105191A1 (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-04 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | 黒色合成石英ガラス及びその製造方法 |
JP5070557B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-11-14 | 武仁 島津 | 常温接合方法 |
JP2008224342A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Rion Co Ltd | フローセル、フローセルの製造方法及び粒子測定装置 |
JP2011187867A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Tohoku Univ | 接合方法および水晶素子 |
JP2012078476A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kyocera Kinseki Corp | 複合型エタロンフィルタ |
JP6089162B2 (ja) * | 2011-04-19 | 2017-03-08 | 株式会社ムサシノエンジニアリング | 原子拡散接合方法及び前記方法で封止されたパッケージ型電子部品の製造方法 |
JP2013027844A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Kyocera Crystal Device Corp | マイクロリアクター |
JP2013097150A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Kyocera Crystal Device Corp | エタロンフィルタ |
JP5891848B2 (ja) * | 2012-02-27 | 2016-03-23 | ウシオ電機株式会社 | ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置 |
JP5543525B2 (ja) * | 2012-05-15 | 2014-07-09 | 国立大学法人東北大学 | 光学デバイスおよびその製造方法 |
-
2014
- 2014-09-01 JP JP2014176699A patent/JP6395517B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016050863A (ja) | 2016-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6395517B2 (ja) | 光学セルの製造方法 | |
CN102037386B (zh) | 光学元件及其制造方法 | |
JP2013141701A (ja) | 基板製造方法、および改質層形成装置 | |
WO2011155314A1 (ja) | ガラス板の切断方法 | |
US10620446B1 (en) | Endcap array for optical fibers | |
JP2009237473A (ja) | 偏光子の製造方法 | |
CN109565141A (zh) | 平面波导型激光装置 | |
JP5543525B2 (ja) | 光学デバイスおよびその製造方法 | |
JP2008158144A (ja) | クロスプリズムの製造方法 | |
JP2008145482A (ja) | 直角三角プリズムの製造方法 | |
FR2976846A1 (fr) | Ame de materiau structural feuille et procede d'assemblage | |
JP2013539056A (ja) | 寸法が異なる矩形ビーム断面を得るための光インテグレータ | |
TWI574767B (zh) | Improved laser structure | |
CN101464535A (zh) | 一种标准具及其制作方法 | |
JP2006220773A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP2006220774A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP2012073413A (ja) | 偏光変換素子及び偏光変換素子の製造方法 | |
JP2007212272A (ja) | 二重曲率ヨハンソン型x線分光結晶の作製方法 | |
JP2023022334A (ja) | 積層体、マイクロ流路チップ及びこれらの製造方法 | |
JP5617848B2 (ja) | 光学素子の製造方法及びその製造方法に用いる治具 | |
JP2016150342A (ja) | クラッド鋼材の製造方法、組立スラブ、およびクラッド鋼材の製造装置 | |
TWI766993B (zh) | 多層脆性材料基板的製作方法及製作系統 | |
WO2016132985A1 (ja) | 光学素子及び結像素子の製造方法 | |
JP2006084861A (ja) | 光学デバイスの製造方法、及び光学デバイス | |
CN107402415B (zh) | 一种复合光学楔角片及其制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170512 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180828 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6395517 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |