JP6387240B2 - 水素センサ - Google Patents
水素センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6387240B2 JP6387240B2 JP2014074826A JP2014074826A JP6387240B2 JP 6387240 B2 JP6387240 B2 JP 6387240B2 JP 2014074826 A JP2014074826 A JP 2014074826A JP 2014074826 A JP2014074826 A JP 2014074826A JP 6387240 B2 JP6387240 B2 JP 6387240B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen
- ceramic material
- material layer
- rare earth
- earth metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。本実施例では、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて、図1に示す水素センサを作製した。まず、高周波マグネトロンスパッタリング装置内に、ガラス基板を配置し、装置内を2.7×10−4Pa程度にまで減圧した。次に、装置内にアルゴンガスを導入し、装置内の環境が9.1×10−1Paとなったところで、イットリウムターゲットを配置したカソードに電力を投入し、室温でスパッタリングを5分間行った。その結果、ガラス基板上に厚み25nmのイットリウム薄膜が成膜された。
得られた水素センサの上面に、図3に示すように電極5を取り付け、水素ガスの導入や真空引きが可能な密閉された測定装置内で、電気抵抗の時間変化を測定した。測定装置内の温度は100℃に設定した。
2…基板
3…希土類金属膜
4…保護膜
41A…第1セラミックス材料層
41B…第2セラミックス材料層
41C…第3セラミックス材料層
42…水素透過性金属
5…電極
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に形成された希土類金属膜と、
前記希土類金属膜上に形成された保護膜とを備え、
前記保護膜が複数のセラミックス材料層を積層してなり、前記複数のセラミックス材料層のそれぞれの上面に水素透過性金属が配置されていることを特徴とする水素センサ。 - 前記水素透過性金属がアイランド状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の水素センサ。
- 前記複数のセラミックス材料層がSiNx(但し、0.3<x<1.3)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の水素センサ。
- 前記複数のセラミックス材料層がそれぞれ異なるxを有することを特徴とする請求項3に記載の水素センサ。
- 前記複数のセラミックス材料層のそれぞれが有するxが前記希土類金属膜に近いセラミックス材料層ほど小さいことを特徴とする請求項4に記載の水素センサ。
- 前記希土類金属膜がイットリウム、ランタン及びセリウムから成る群より選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の水素センサ。
- 前記水素透過性金属がパラジウムであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の水素センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014074826A JP6387240B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 水素センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014074826A JP6387240B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 水素センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015197343A JP2015197343A (ja) | 2015-11-09 |
JP6387240B2 true JP6387240B2 (ja) | 2018-09-05 |
Family
ID=54547133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014074826A Active JP6387240B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 水素センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6387240B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210116405A1 (en) * | 2018-08-07 | 2021-04-22 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Mems type semiconductor gas detection element |
KR20210075824A (ko) * | 2019-12-13 | 2021-06-23 | 울산대학교 산학협력단 | 수소 센서 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5066653B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2012-11-07 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶ユニットと水晶発振器 |
JP4659481B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2011-03-30 | 株式会社ミクニ | 水素センサー及びその製造方法 |
JP4910493B2 (ja) * | 2006-06-16 | 2012-04-04 | カシオ計算機株式会社 | 水素センサ、発電装置及び電子機器 |
JP5352049B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2013-11-27 | 株式会社ミクニ | 水素センサ |
EP2098855B1 (en) * | 2006-12-28 | 2015-12-09 | Mikuni Corp. | Hydrogen sensor and method for manufacturing the same |
JP2008261634A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Mikuni Corp | 水素センサー |
WO2008149972A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Mikuni Corporation | 水素センサー、及びその製造方法 |
JP5144563B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2013-02-13 | 株式会社ミクニ | 水素センサ及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2014074826A patent/JP6387240B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210116405A1 (en) * | 2018-08-07 | 2021-04-22 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Mems type semiconductor gas detection element |
US11977043B2 (en) * | 2018-08-07 | 2024-05-07 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | MEMS type semiconductor gas detection element |
KR20210075824A (ko) * | 2019-12-13 | 2021-06-23 | 울산대학교 산학협력단 | 수소 센서 및 이의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015197343A (ja) | 2015-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4971187B2 (ja) | 多層化構造体の焼結の際のシュリンケージとポロシティを制御する方法 | |
JP4659481B2 (ja) | 水素センサー及びその製造方法 | |
JP5419090B2 (ja) | 固体電解質膜−水素透過性金属膜からなる複合膜構造体及び燃料電池並びにそれらの製造方法 | |
JP7194694B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
US20090011315A1 (en) | Thin-Film Composite and a Glass Ceramic Substrate Used in a Miniaturized Electrochemical Device | |
JP2009512166A (ja) | 薄膜及び薄膜から製造される複合素子 | |
JP5352049B2 (ja) | 水素センサ | |
JP2009238438A (ja) | 燃料電池用セパレータ及びその製造方法 | |
JP6387240B2 (ja) | 水素センサ | |
JP5184375B2 (ja) | 水素センサ及びその製造方法 | |
JP5312174B2 (ja) | ガスセンサ及びガス検出器 | |
JP5896396B2 (ja) | 複合膜構造体の製造方法及び燃料電池の製造方法 | |
WO2011036749A1 (ja) | 集電部材、発電装置、および発電装置用集電部材の製造方法 | |
JP2007048569A (ja) | 酸化物プロトン導電性膜、水素透過構造体、及びその製造方法 | |
JP6442366B2 (ja) | 酸素透過膜 | |
KR20200131554A (ko) | 산화물 보호층을 포함하는 인터커넥터 및 상기 인터커넥터를 포함하는 연료전지 스택 | |
JP4933757B2 (ja) | 非電子伝導性組成傾斜型固体電解質膜 | |
JP2007090132A (ja) | 水素透過膜、及びこれを用いた燃料電池 | |
JP4990044B2 (ja) | 酸素分離膜、およびその製造方法 | |
JP2010204029A (ja) | 中空構造素子 | |
JP5138876B2 (ja) | 酸化物プロトン導電性膜及びそれを含む水素透過構造体 | |
Huang et al. | Characterization of Fe–Cr alloy metallic interconnects coated with LSMO using the aerosol deposition process | |
JP4895741B2 (ja) | 水素センサー | |
JP6192063B2 (ja) | 複合膜構造体及び燃料電池 | |
JP2007117810A (ja) | 水素透過膜、及びそれを用いた燃料電池 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180313 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6387240 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |