JP6375135B2 - 樹脂モールド及び複数の部品の製造方法 - Google Patents
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Description
本出願の特許請求の範囲は、米国特許法35 U.S.C. §119(e)に基づいて2013年4月11日に出願された米国仮出願第61/810,991号の利益を主張するものであり、その内容がここに参考文献として援用される。
実験手順:
シリーズAの実験
表1は、樹脂モールドの組成物及び当該樹脂モールドの高さの変化を示している。表1に示されている組成物は、成分A1(Constituent A1、平均分子量:約1850; p:8.7(平均値); q:5.1(平均値))及び開始剤I(Initiator I)を含む。成分A1及び開始剤Iに加えて、成分A2(Constituent A2、平均分子量:約1000; n:1.5(平均値))及び/又は成分Bが添加される。成分A2は、フッ素原子を含み、重合性基の数の分子量に対する比が、成分A1より高いため、成分A2は、撥液性に寄与すると同時に、成分A1より架橋密度に対してより大きな寄与をするものと考えられる。成分B(Constituent B)の重合性基の数の分子量に対する比は、成分A1、A2及びBの中で最も大であるので、成分Bは、最も架橋密度に寄与しているものと考えられる。エントリー2-6の組成物により形成された樹脂モールドの、400回の転写後の寸法誤差(Δt/t0)% が12%より小であるので、エントリー2-6はナノインプリントのための樹脂モールドを形成するのに望ましい組成物である。
表2は、樹脂の組成物及び樹脂モールドの高さの変化を示す。表2に示す組成物は、成分A1(Constituent A1、平均分子量:約1850; p:8.7(平均値); q: 5.1(平均値))、成分B(Constituent B)及び開始剤I(Initiator I)を含む。成分Bの重合性基の数の分子量に対する比が、成分A1より大であるので、成分Bは、架橋密度に最も大きな寄与をしていると考えられる。エントリー2-4の組成物により形成された樹脂モールドの、50回の転写後の寸法誤差(Δt/t0)%が10%以内であるので、エントリー2-4はナノインプリントのための樹脂モールドを形成するのに望ましい組成物である。
開始剤Iの代わりに、例えば、アセトフェノン型開始剤、ベンゾイン型開始剤、ベンジルケタール型開始剤、アントラキノン型開始剤、アシロキシム型開始剤及びアシルホスフィンオキシド型開始剤が前駆体の硬化に用いることができる(成分A1、A2及びB)。
Claims (4)
- 樹脂モールドであって、
複数の第1の部分と複数の第2の部分とが形成された第1の表面と、
第2の表面と、を含む樹脂モールドであって、
前記樹脂モールドが、複数の炭素−フッ素結合を含む第1の樹脂を含む、下記式で示される成分A1と成分A2とを含む組成物の硬化物であり、
前記第1の樹脂が、第1のユニットと第2のユニットとを含み、
前記第1のユニットが、第1の主鎖を有し、
前記第2のユニットが、第2の主鎖を有し、
前記第1の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第1の平均含有量は、第2の主鎖に含まれる1原子あたりのフッ素原子の含有量である第2の平均含有量とは異なること、
を特徴とする樹脂モールド。
- 請求項1に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂に含まれるフッ素原子の濃度は、20重量%又はそれより大であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 請求項1又は2に記載の樹脂モールドにおいて、
前記第1の樹脂に含まれるフッ素原子の濃度は、76重量%又はそれより小であること、
を特徴とする樹脂モールド。 - 複数の部品を製造する製造方法であって、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂モールドを用意し、
前記複数の部品を製造するために転写を繰り返すこと、
を含む、複数の部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014089632A JP6375135B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 樹脂モールド及び複数の部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015211050A JP2015211050A (ja) | 2015-11-24 |
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JP2014089632A Active JP6375135B2 (ja) | 2014-04-23 | 2014-04-23 | 樹脂モールド及び複数の部品の製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6375135B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102046357B (zh) * | 2008-06-05 | 2014-06-25 | 旭硝子株式会社 | 纳米压印用模具、其制造方法及表面具有微细凹凸结构的树脂成形体以及线栅型偏振器的制造方法 |
JP2011183554A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Asahi Glass Co Ltd | 微細構造体の製造方法 |
TWI428225B (zh) * | 2010-03-10 | 2014-03-01 | Asahi Kasei E Materials Corp | Resin mold |
JP5658001B2 (ja) * | 2010-11-11 | 2015-01-21 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 樹脂モールド |
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2014
- 2014-04-23 JP JP2014089632A patent/JP6375135B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2015211050A (ja) | 2015-11-24 |
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