JP6371679B2 - 搬送機構 - Google Patents

Description

本発明は、反りを持ったワークを搬送する搬送機構に関し、特に、円板状のワークの外周を保持して搬送するエッジクランプ式の搬送機構に関する。

金属板の上面に樹脂を塗布して形成されるパッケージ基板等のワークは、表面に凹凸が形成されているため、ワークの上面を吸着保持することができない。そこで、ワークの外周部分をクランプして搬送するエッジクランプ式の搬送機構が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送機構では、円板状のワークの周方向に等間隔に設けられた３つの保持部を径方向に移動させ、保持部をワークの外周（エッジ）に接触させることでワークを保持する。これにより、ワークの表面を吸着保持することなくワークを搬送することができる。

また、上記したワークは反りを持っていることがあるため、当該ワークを加工テーブルに載置したときにワークの一部が加工テーブルの吸着面から浮いてしまい、ワークの下面を加工テーブルの吸着面で適切に吸着保持することができない場合があった。このため、搬送時に、ワークの反りを矯正してワークの下面を加工テーブルに密着させる搬送機構が提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の搬送機構は、ワークの上面中央を吸着パッドで吸着してワークを搬送するように構成されている。この搬送機構は、ワークを加工テーブルの吸着面上に載置した後、吸着パッドの吸着保持を解除する前にワークの外周部分を上面から環状の押圧部で加工テーブルに向かって押し付ける。これにより、ワークの反りが矯正され、ワークの下面全体を加工テーブルの吸着面に密着させることができる。

特許第４６３４９５０号公報 特許第５１８０５５７号公報

しかしながら、特許文献２に記載の搬送機構では、押圧部によってワークが加工テーブルに押し付けられてワークの反りが矯正される際に、ワークの中心位置がずれてしまうという問題があった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、反りを持ったワークであっても、反りを矯正すると共にワークの位置ずれを防止してワークを搬送することができる搬送機構を提供することを目的とする。

本発明の搬送機構は、反りを持った円板状のワークを外周で保持して、ワークを吸着保持する加工テーブルに搬送する搬送機構であって、ワークの径方向に少なくとも３つの保持部を移動させワークの外周に保持部を接触させワークを保持する保持手段と、保持手段で保持し加工テーブルの上面に搬送したワークをワークの上面から加工テーブルの上面に対して垂直方向に加工テーブルの上面に向かって押圧する押圧手段と、加工テーブルに載置するときおよび押圧手段がワークを押圧するときにワークの外周に接触させワークの位置ずれを防止する少なくとも３つの位置ずれ防止部で構成される位置ずれ防止手段と、を備える。

この構成によれば、保持部をワークの外周に接触させることでワークをエッジクランプすることができる。そして、ワークを搬送先の加工テーブルに載置するときに、保持部がワークの外周から離れてワークが開放されても、位置ずれ防止部がワークの外周に接触している。このため、押圧手段によってワークが加工テーブルの上面に向かって押圧されても、ワークの位置ずれが防止される。また、ワークが押圧手段によって押圧されることでワークの反りが矯正されるため、ワークの下面を加工テーブルに密着させることができる。このように、反りを持ったワークであっても、反りを矯正すると共にワークの位置ずれを防止して加工テーブルに密着させた状態でワークを搬送することができる。

また、本発明の上記搬送機構において、位置ずれ防止手段は、位置ずれ防止部と保持部とを連結してワークの外周から中心に向かって位置ずれ防止部を付勢する付勢力を有する連結部を備え、押圧手段でワークを押圧するとき、保持部をワークの外周から離間させ連結部により位置ずれ防止部を継続してワークの外周に接触させる。

本発明によれば、加工テーブル上でワークの外周に位置ずれ防止部を接触させながらワークを加工テーブルに向かって押圧することにより、反りを持ったワークであっても、反りを矯正すると共にワークの位置ずれを防止して加工テーブルに密着させた状態でワークを搬送することができる。

本実施の形態に係る搬送機構の分解斜視図である。 本実施の形態に係る保持手段及び位置ずれ防止手段の一例を示す斜視図である。 本実施の形態に係るワークの断面模式図である。 本実施の形態に係る搬送機構を側面から見たときの動作説明図である。 本実施の形態に係る搬送機構を上面から見たときの動作説明図である。

以下、図１から図３を参照して、本実施の形態に係る搬送機構及びワークについて説明する。図１は、本実施の形態に係る搬送機構の分解斜視図である。図２は、本実施の形態に係る保持手段及び位置ずれ防止手段の一例を示す斜視図である。図３は、本実施の形態に係るワークの断面模式図である。なお、本実施の形態に係る搬送機構は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。また、図１においては、説明の便宜上、３つの保持部のうち、２つのみを図示している。

先ず、搬送の対象となるワークＷについて説明する。本実施の形態に係るワークＷは、円板状に形成されるパッケージ基板であり、図３に示すように、円板状の金属板１０の上にエポキシ樹脂等の熱硬化性の樹脂１１を塗布して構成される。ワークＷは、格子状の分割予定ライン（不図示）によって複数の領域に区画されており、各領域には、デバイス（不図示）が形成されている。なお、ワークＷは、パッケージ基板に限らず、適宜変更が可能である。このようなワークＷにおいては、金属板１０と樹脂の熱膨張率の違いから反りを持っている場合がある。本実施の形態においては、樹脂１１が塗布された側の中央部分が上方に盛り上がるような反りについて説明するが、この構成に限定されず、例えば、ワークＷの外周側が上方に反っていてもよい。

上記したワークＷは樹脂１１の表面に凹凸を有するため、吸着パッドを備えた搬送機構で当該ワークＷを搬送しようとしても、ワークＷの表面を吸着保持することができない。そこで、ワークＷの外周を保持するエッジクランプ式の搬送機構によって、ワークＷの表面に触れることなく加工テーブル１２（図４参照）まで搬送することが考えられる。しかしながら、上記したようにワークＷが反りを持っているため、ワークＷを加工テーブル１２の吸着面１２ａ（図４参照）に載置したときに、ワークＷの沿った部分が加工テーブル１２の吸着面１２ａから浮き上がってしまい、適切にワークＷの下面を吸着保持することができない場合がある。

そこで、本件出願人は、通常のエッジクランプ式の搬送機構が、ワークＷの表面に吸着パッドを触れさせないようにすることを目的としてなされたものであるのに対し、敢えてエンジクランプ式の搬送機構１において、後述する押圧手段によってワークＷの表面を加工テーブル１２に向かって押し付け、ワークＷの反りを矯正するように構成している。さらに、搬送機構１が、ワークＷの表面を押し付けた際にワークＷの位置ずれを防止する位置ずれ防止手段３を備える構成とした。これにより、反りを持ったワークＷであっても、反りを矯正すると共にワークＷの位置ずれを防止して加工テーブル１２に密着させた状態でワークＷを搬送することができる。以下、本実施の形態に係る搬送機構１の詳細構成について説明する。

図１に示すように、本実施の形態に係る搬送機構１は、いわゆるエッジクランプ式の搬送機構であり、複数（本実施の形態では３つ）の保持部２０を備えた保持手段２で円板状のワークＷの外周をクランプすることでワークＷを保持して、搬送先の加工テーブル１２（図４参照）まで搬送ように構成されている。また、保持手段２（保持部２０）には、搬送先においてワークＷの保持を解除する際のワークＷの位置ずれを防止する位置ずれ防止手段３（位置ずれ防止部３０）が設けられている。なお、保持手段２（保持部２０）及び位置ずれ防止手段３（位置ずれ防止部３０）の詳細な構成については後述する。

本実施の形態に係る搬送機構１は、円板状のベースプレート４下面の外周側に３つの保持部２０で構成される保持手段２を設けて構成される。ベースプレート４は、搬送機構１を構成する保持手段２等の各種部品を保持すると共に、鉛直方向に進退可能な鉛直シリンダ５を介して搬送アーム６に支持される。保持部２０は、鉛直方向に延びる円柱形状を有しており、上端にネジ穴２１ａが形成されている。

ベースプレート４の中央には、鉛直シリンダ５が挿通可能な貫通穴４０が形成されており、ベースプレート４の外周側には、径方向に延びる長穴４１が周方向に等間隔に３つ形成されている。各長穴４１には保持部２０の先端が挿通される。長穴４１の幅は、保持部２０の外径より僅かに大きく形成されている。このため、保持部２０は、長穴４１の形状に沿って長穴４１の長さ方向に移動可能になっている。このように、長穴４１は、保持部２０をベースプレート４の径方向に移動させるガイドの役割を果たす。

鉛直シリンダ５は、ワークＷの上面を押圧する押圧手段を構成し、鉛直方向に延びる円筒状のシリンダ本体５０内部でエアーにより鉛直方向に進退可能なピストンロッド５１を有している。ピストンロッド５１の先端（下端）には、円板状の押圧部５２が設けられている。また、シリンダ本体５０の上面には、鉛直シリンダ５を搬送アーム６に固定するための３つのネジ穴５０ａと、鉛直シリンダ５に対してエアーを供給する２つの圧力導入口５０ｂとが形成されている。

鉛直シリンダ５は、ピストンロッド５１を下降させることで押圧部５２をワークＷの上面に接触させ、ワークＷを下方に向かって押し付ける。これにより、ワークＷの反りを矯正し、ワークＷの下面を加工テーブル１２の吸着面１２ａ（図４参照）に密着させることができる。なお、本実施の形態では、押圧手段をエア駆動のシリンダで構成したが、この構成に限定されず、適宜変更が可能である。押圧手段は、ワークＷの上面を加工テーブル１２に向かって押圧するものであれば、どのように構成されてもよい。

搬送アーム６は、水平な方向に延びる長尺体で形成される。搬送アーム６の上面には、鉛直シリンダ５に形成された３つのネジ穴５０ａ及び２つの圧力導入口５０ｂに対応する位置に、３つの貫通穴６ａ及び２つの配管取付口６ｂが形成されている。３つの貫通穴６ａにそれぞれネジ６０を挿通し、ネジ６０を鉛直シリンダ５のネジ穴５０ａにねじ込むことにより、鉛直シリンダ５が搬送アーム６に固定される。また、２つの配管取付口６ｂには、それぞれ配管（不図示）が取り付けられ、配管は切換バルブ６１を介してエアー源６２に接続される。切換バルブ６１によってエアーの供給先（圧力導入口５０ｂ）を切換えることにより、押圧部５２（ピストンロッド５１）の昇降を切換えることが可能になる。

ベースプレート４の上面側には、保持部２０を駆動するための保持部駆動手段７が設けられる。保持部駆動手段７は、駆動源となる水平シリンダ８と、複数の部材からなるリンク機構９とで構成される。水平シリンダ８は、水平方向に延びる円筒状のシリンダ本体８０内部で、エアーにより水平方向に進退可能なピストンロッド８１を有している。ピストンロッド８１の先端（水平シリンダ８の一端）には、ネジ穴８１ａが形成されている。

シリンダ本体８０の基端（水平シリンダ８の他端）は、ネジ８２によってベースプレート４に取り付けられ、水平シリンダ８は、ネジ８２を中心にベースプレート４の面方向に揺動可能になっている。一方、ピストンロッド８１の先端は、リンク機構９（後述する回転プレート９０）に連結される。本実施の形態では、水平シリンダ８によるピストンロッド８１の進退運動が、リンク機構９を介して保持部２０の径方向の運動に変換される。

リンク機構９は、鉛直シリンダ５の外周に取り付けられる環状の回転プレート９０と、回転プレート９０に連結される３つのリンクアーム９３（図１では２つのみ図示）とを備えている。回転プレート９０は、環状に形成される環状部９１と、環状部９１の外周の所定箇所から径方向に突出する突出部９２とを有している。環状部９１には、周方向に等間隔に３つのネジ穴９１ａ（図１では２つのみ図示）が形成されている。環状部９１には鉛直シリンダ５が挿通され、回転プレート９０は、ベアリング９４を介してシリンダ本体５０の外面に取り付けられる。これにより、回転プレート９０は、鉛直シリンダ５を軸に回転可能になる。

また、突出部９２の先端には、ピストンロッド８１に連結するための貫通穴９２ａが形成されている。貫通穴９２ａにはワッシャ８３を介してネジ８４が挿通され、ネジ８４はワッシャ８３を介してピストンロッド８１のネジ穴８１ａにねじ込まれる。これにより、回転プレート９０が水平シリンダ８に対して揺動可能に連結される。

リンクアーム９３は、水平方向に延びる長尺体で構成され、両端に貫通穴９３ａが形成されている。リンクアーム９３の一端は、回転プレート９０（環状部９１）の下面側から貫通穴９３ａにワッシャ９５を介してネジ９６を挿通し、さらにワッシャ９５を介してネジ９６を回転プレート９０（環状部９１）のネジ穴９１ａにねじ込むことにより、揺動可能に連結される。一方、リンクアーム９３の他端は、上面側から貫通穴９３ａにワッシャ９７を介してネジ９８を挿通し、さらにワッシャ９７を介してネジ９８を保持部２０のネジ穴２１ａにねじ込むことにより、保持部２０に対してリンクアーム９３が揺動可能に連結される。

このように構成された搬送機構１では、水平シリンダ８によってピストンロッド８１が進退されることで、回転プレート９０が回転される。回転プレート９０の回転により、リンクアーム９３に連結された３つの保持部２０（保持手段２）は、長穴４１にガイドされながら径方向に移動される。このように、水平シリンダ８によるピストンロッド８１の進退運動を回転プレート９０の回転運動に変換し、さらにリンクアーム９３を介して保持手段２の径方向の進退運動に変換することができる。保持手段２が長穴４１に沿って径方向に進退することで、ワークＷの外周に対して３つの保持部２０を接触及び離反させることができる。この結果、ワークＷの保持状態及び非保持状態を切換えることができる。

次に、保持手段及び位置ずれ防止手段の詳細な構成について説明する。図２Ａに示すように、保持部２０（保持手段２）は、鉛直方向に延びる円柱形状の円柱部２１と、円柱部２１の下端に設けられる略円錐台形状のクランプ部２２とを有している。円柱部２１の上面には、上記したネジ穴２１ａが形成されている。水平シリンダ８（図１参照）が駆動され、保持部２０が径方向内側に移動し、ワークＷの外周が円柱部２１の側面及びクランプ部２２の側面に接触することにより、ワークＷがエッジクランプ（保持）される。

また、保持手段２には、保持部２０を開いてワークＷの保持を開放してワークＷを加工テーブル１２（図４参照）に載置する際にワークＷの位置ずれを防止する位置ずれ防止手段３が設けられている。位置ずれ防止手段３は、３つの位置ずれ防止部３０と、各位置ずれ防止部３０を保持部２０に連結する３つの連結部３１とを備えている。なお、図２においては、１つの保持部２０に対して１つの位置ずれ防止部３０が１つの連結部３１を介して連結されている状態を示している。また、本実施の形態では、３つの保持部２０をまとめて保持手段２とし、３つの位置ずれ防止部３０及び３つの連結部３１をまとめて位置ずれ防止手段３としている。

位置ずれ防止部３０は、鉛直方向に延びる円柱形状を有しており、円柱形状の側面をワークＷの外周に接触させることで、ワークＷの位置ずれを防止するように構成されている。連結部３１は、水平方向に厚みを有する波形の板バネで形成されている。連結部３１の一端が保持部２０（円柱部２１）の側面に固定され、連結部３１の他端は位置ずれ防止部３０の側面に固定されることにより、位置ずれ防止部３０と保持部２０とが連結される。また、連結部３１は、ワークＷの外周から中心に向かって径方向に位置ずれ防止部３０を付勢する付勢力を有している。さらに、保持部２０と位置ずれ防止部３０とは、クランプ部２２の下端と位置ずれ防止部３０の下端とが略同一の高さとなるように連結されている。

このように構成される保持手段２及び位置ずれ防止手段３は、図２Ｂに示すように、ワークＷを保持する際には、保持部２０がベースプレート４（図１参照）の長穴４１に沿って径方向内側に移動して円柱部２１の側面及びクランプ部２２のテーパ面（傾斜面）がワークＷの外周に接触する。このとき、位置ずれ防止部３０は連結部３１によって径方向内側に付勢されているため、位置ずれ防止部３０の側面がワークＷの外周に接触している。３つの保持部２０及び３つの位置ずれ防止部３０によってワークＷの外周が保持されることにより、ワークＷの中心位置を位置決めした上で安定的に搬送することができる。

そして、ワークＷを搬送先の加工テーブル１２上に載置した後、図２Ｃに示すように、保持部２０を径方向外側に僅かに退避させて保持部２０によるワークＷの保持を解除する。このとき、円柱部２１の側面及びクランプ部２２のテーパ面（傾斜面）はワークＷの外周から離間するものの、位置ずれ防止部３０が連結部３１の付勢力を受けて径方向内側に付勢されているため、位置ずれ防止部３０の側面は継続してワークＷの外周に接触される。

このように、保持部２０によるワークＷの保持が解除されても、位置ずれ防止部３０によってワークＷの径方向の移動が規制されている。このため、押圧部５２によってワークＷの上面が加工テーブル１２（図４参照）に向かって押し付けられても、ワークＷの位置がずれることはない。なお、詳細は後述するが、ワークＷの反りが矯正される際に、連結部３１の付勢力に抗して僅かに径方向外側にワークＷの外周が広がる。よって、連結部３１の付勢力は、ワークＷの反りを矯正する際にワークＷの外周が径方向外側に広がるのを許容する程度の大きさであることが好ましい。

次に図４及び図５を参照して、本実施の形態に係るワークの搬送方法及び搬送機構の動作について説明する。図４は、本実施の形態に係る搬送機構を側面から見たときの動作説明図である。図５は、本実施の形態に係る搬送機構を上面からの動作説明図である。図４Ａ及び図５Ａはワークを保持する前の様子を示し、図４Ｂ及び図５Ｂはワークを保持して搬送するときの様子を示し、図４Ｃ及び図５Ｃはワークを搬送先の加工テーブルに載置したときの様子を示している。

また、説明の便宜上、図４においては一部の構成を断面で示しており、図５においては一部の構成を省略している。なお、以下の図４及び図５では、研削装置において、仮置きテーブルに載置されたワークを加工テーブルに搬送する例について説明するが、この構成に限定されない。本実施の形態に係る搬送機構は、ワークを搬送することができればよく、どのような装置に適用されてもよい。

本実施の形態に係るワークの搬送方法は、ワークを保持する保持工程と、保持したワークを加工テーブルの上面に搬送する搬送工程と、ワークを加工テーブルの上面に載置する載置工程と、ワークの上面を押圧する押圧工程と、ワークを加工テーブルで吸着保持する吸着保持工程とを備えている。以下、本実施の形態に係るワークの搬送方法の各工程におおける動作について説明する。

図４Ａに示すように、ワークＷは、ワークＷの外径より小径の仮置きテーブル１３上に載置されている。ワークＷの下面略中央部分は仮置きテーブル１３に支持され、ワークＷの外周部分は仮置きテーブル１３の上面より僅かに下方に反っている。保持工程では、先ず、仮置きテーブル１３の上方に搬送機構１が位置付けられる。そして、図示しない昇降手段により、保持部２０のクランプ部２２がワークＷの外周部分より僅かに下方に位置するように、搬送機構１の高さが調整される。このとき、保持部２０及び位置ずれ防止部３０は、ワークＷの外周から離間している（特に図５Ａ参照）。

そして、図４Ｂ及び図５Ｂに示すように、水平シリンダ８が駆動され、ピストンロッド８１が後退される（縮む）と、回転プレート９０は鉛直シリンダ５を中心にピストンロッド８１の後退方向に合わせて回転する。回転プレート９０が回転すると、各リンクアーム９３に連結された保持部２０は長穴４１に沿って径方向内側に移動する。そして、円柱部２１の側面がワークＷの外周に接触し、クランプ部２２のテーパ面（円錐台の斜面）にワークＷの下面（側のエッジ）が接触する。これにより、ワークＷが保持される。このとき、連結部３１によって径方向内側に付勢されている位置ずれ防止部３０も、ワークＷの外周に接触する。このように、ワークＷの外周を複数箇所保持することにより、ワークＷの中心位置を位置決めした状態で仮置きテーブル１３からワークＷを搬出することができる。

図４Ｃに示すように、搬送先の加工テーブル１２は、円板形状を有しており、上面にワークＷを吸着保持する吸着面１２ａが形成されている。吸着面１２ａは、図示しない吸引源に接続されており、加工テーブル１２は、吸着面１２ａに生じる負圧によってワークＷを吸着保持することができる。搬送工程では、ワークＷを保持した搬送機構１が図示しない移動機構によって加工テーブル１２の上方に位置付けられる。このとき、ワークＷの中心と吸着面１２ａの中心とが位置合わせされる。そして、搬送機構１が下降され、クランプ部２２の下面が加工テーブル１２の上面に略接触する高さに調整される。このとき、ワークＷは、加工テーブル１２の上面から僅かに浮いた位置に位置付けられている。

図４Ｃ及び図５Ｃに示すように、載置工程では、水平シリンダ８が駆動され、ピストンロッド８１が前進される（延びる）と、回転プレート９０は鉛直シリンダ５を中心にピストンロッド８１の前進方向に合わせて回転する。回転プレート９０が回転すると、各リンクアーム９３に連結された保持部２０は長穴４１に沿って径方向外側に移動する。このとき、保持部２０の移動量は、円柱部２１の側面がワークＷ外周から離間しても位置ずれ防止部３０の側面がワークＷの側面に接触した状態を維持する程度に調整される。円柱部２１の側面がワークＷの外周から離間することにより、保持部２０によるワークＷの保持が解除される。この結果、ワークＷは自重によって落下し、加工テーブル１２上に載置される。

上記したように、位置ずれ防止部３０は連結部３１によって径方向内側に付勢されているため、保持部２０がワークＷの外周から離間しても、位置ずれ防止部３０の側面がワークの外周に接触した状態が維持されている。よって、ワークＷは、径方向の移動が規制された状態で、位置ずれ防止部３０に沿って落下することができる。このように、位置ずれ防止手段３は、ワークＷを載置する際の移動を案内するガイド部の役割も果たす。なお、このとき、連結部３１の付勢力は、ワークＷの落下を阻害しない程度に設定されることが好ましい。

ワークＷが加工テーブル１２上に載置されたとき、加工テーブル１２の外周側では、ワークＷの下面が吸着面１２ａに接触しているのに対し、加工テーブル１２の中央部分では、ワークＷの下面と保持面との間に僅かに隙間が空いた状態になっている。そして、押圧工程が実施される。押圧工程では、鉛直シリンダ５が駆動されることで押圧部５２（ピストンロッド５１）が下降し、押圧部５２の下面がワークＷの上面中央に接触した後、押圧部５２はワークＷをワークＷの上面から加工テーブル１２の上面に対して垂直方向に押し付ける。本実施の形態では、後の研削工程でワークＷの上面を研削加工するため、ワークＷの上面を押圧部５２で押圧しても特に問題はない。

ワークＷの中央部分が押圧されると、ワークＷの反りが矯正され、ワークＷの下面中央と吸着面１２ａとの隙間が無くなる。このとき、ワークＷは、連結部３１の付勢力に抗して僅かに径方向外側に広がるが（特に図５Ｃ参照）、連結部３１を介して３つの位置ずれ防止部３０が、それぞれ均等にワークＷの外周を径方向内側に付勢しているため、ワークＷの中心位置がずれることはない。以上により、ワークＷが押圧部によって押圧されてワークＷの反りが矯正され、ワークＷの下面を加工テーブル１２の吸着面１２ａに密着させることができる。なお、図５Ｃにおいては、押圧前のワークＷの外径を二点差鎖線で示しており、押圧後のワークＷの外径を破線で示している。また、図５Ｃにおいて、押圧後のワークＷの外径を誇張して表現している。

押圧部５２でワークＷを押圧し、ワークＷを加工テーブル１２に密着させた状態で、次に吸着保持工程が実施される。吸着保持工程では、図示しない吸引源によって吸着面１２ａに負圧を生じさせることにより、ワークＷの下面を吸着保持する。このとき、吸着面１２ａに生じる負圧は、ワークＷの反りが元に戻らない程度の圧力に調整されることが好ましい。ワークＷを吸着保持したら、押圧部５２を上昇させて押圧部５２をワークＷの上面から離間させると共に、位置ずれ防止部３０の側面がワークＷの外周から離間する位置まで保持部２０を径方向外側に移動させる。そして、搬送機構１を加工テーブル１２から退避させる。これらにより、加工テーブル１２に対するワークＷの搬送が終了する。

以上のように、本実施の形態に係る搬送機構１によれば、保持部２０をワークＷの外周に接触させることでワークＷをエッジクランプすることができる。そして、ワークＷを搬送先の加工テーブル１２に載置するときに、保持部２０がワークＷの外周から離れてワークＷが開放されても、位置ずれ防止部３０がワークＷの外周に接触している。このため、押圧部５２によってワークＷが加工テーブル１２の上面に向かって押圧されても、ワークＷの位置ずれが防止される。また、ワークＷが押圧部５２によって押圧されることでワークＷの反りが矯正されるため、ワークＷの下面を加工テーブル１２に密着させることができる。このように、反りを持ったワークＷであっても、反りを矯正すると共にワークＷの位置ずれを防止して加工テーブル１２に密着させた状態でワークＷを搬送することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、本実施の形態では、押圧手段がワークＷの上面中央を押圧する構成としたが、この構成に限定されない。押圧手段は、ワークＷの反り方向に応じて押圧箇所を適宜変更してもよい。例えば、ワークＷの外周が上方に反る場合には、ワークＷの外径に応じた環状の押圧部でワークＷの外周を押圧し、ワークＷの反りを矯正してもよい。

また、本実施の形態では、保持部２０が３つ設けられる構成としたが、この構成に限定されない。保持部２０は、少なくとも３つあればよく、４つ以上設けられてもよい。

また、本実施の形態では、連結部３１を板バネで構成したがこの構成に限定されない。連結部３１は、位置ずれ防止部３０を径方向内側に付勢するものであればよく、例えば、連結部３１をトーションバネで構成してもよい。この場合、トーションバネ（連結部３１）のコイル部分に保持部２０を挿通してトーションバネの一端と保持部２０とを固定し、トーションバネの他端と位置ずれ防止部３０とを連結する。

また、本実施の形態では、エアー駆動のシリンダ（鉛直シリンダ５、水平シリンダ８）によって進退運動を実現する構成としたが、この構成に限定されない。進退する機構であれば電動で進退する電動シリンダを用いてもよい。また、回転プレート９０を回転させることで保持部２０を回転させているので、回転プレート９０をモータで回動させる構成としてもよい。

以上説明したように、本発明は、反りを持ったワークであっても、反りを矯正すると共にワークの位置ずれを防止してワークを搬送することができるという効果を有し、特に、円板状のワークの外周を保持して搬送するエッジクランプ式の搬送機構に有用である。

Ｗ ワーク
１ 搬送機構
１２ 加工テーブル
２ 保持手段
２０ 保持部
３ 位置ずれ防止手段
３０ 位置ずれ防止部
３１ 連結部
５ 鉛直シリンダ（押圧手段）
５２ 押圧部

Claims (2)

1. 反りを持った円板状のワークを外周で保持して、ワークを吸着保持する加工テーブルに搬送する搬送機構であって、
   ワークの径方向に少なくとも３つの保持部を移動させワークの外周に該保持部を接触させワークを保持する保持手段と、該保持手段で保持し該加工テーブルの上面に搬送したワークをワークの上面から該加工テーブルの上面に対して垂直方向に該加工テーブルの上面に向かって押圧する押圧手段と、該加工テーブルに載置するときおよび該押圧手段がワークを押圧するときにワークの外周に接触させワークの位置ずれを防止する少なくとも３つの位置ずれ防止部で構成される位置ずれ防止手段と、を備えることを特徴とする搬送機構。
2. 該位置ずれ防止手段は、該位置ずれ防止部と該保持部とを連結してワークの外周から中心に向かって該位置ずれ防止部を付勢する付勢力を有する連結部を備え、
   該押圧手段でワークを押圧するとき、該保持部をワークの外周から離間させ該連結部により該位置ずれ防止部を継続してワークの外周に接触させることを特徴とする請求項１に記載の搬送機構。

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