JP6360263B1 - 5ボルトの論理デバイスを有する分割ゲート型メモリセルを形成する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 99
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 54
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims description 5
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 claims 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 14
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 12
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 6
- ALKWEXBKAHPJAQ-NAKRPEOUSA-N Asn-Leu-Asp-Asp Chemical compound NC(=O)C[C@H](N)C(=O)N[C@@H](CC(C)C)C(=O)N[C@@H](CC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CC(O)=O)C(O)=O ALKWEXBKAHPJAQ-NAKRPEOUSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66825—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a floating gate
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40114—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a conductor-insulator-conductor-insulator-semiconductor structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66484—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with multiple gate, at least one gate being an insulated gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
- H01L29/7884—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by hot carrier injection
- H01L29/7885—Hot carrier injection from the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
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Abstract
Description
本出願は、2015年6月8日に出願された米国仮出願第62/172,319号の利益を主張する。この仮出願は、参照により本明細書に組み込まれる。
メモリ領域、第1の論理領域、及び第2の論理領域を有する半導体基板を提供することと、
メモリ領域内に一対の離間された浮遊ゲートを形成することと、
メモリ領域内に一対の制御ゲートを形成することであって、各制御ゲートが、浮遊ゲートのうちの一方に隣接する第1の部分、及び浮遊ゲートのうちの一方の上にかつそれにわたって延在する第2の部分を有する、形成することと、
第1の論理領域内に第1の論理ゲートを形成することと、
第2の論理領域内に第2の論理ゲートを形成することと、
第2の論理領域及びメモリ領域内の制御ゲートに隣接する基板の一部分を覆うが、第1の論理領域及び一対の浮遊ゲート間の基板の一部分を覆わない、第1のフォトレジストを形成することと、
一対の浮遊ゲート間の基板内にソース領域を形成し、第1の論理領域の第1の側部に隣接する基板内にソース領域を形成し、かつ第1の論理ゲートの第1の側部とは反対側の第1の論理ゲートの第2の側部に隣接する基板内にドレイン領域を形成する、第1の埋め込みを行うことと、
第1のフォトレジストを除去することと、
第1の論理領域及びメモリ領域を覆うが、第2の論理領域を覆わない、第2のフォトレジストを形成することと、
第2の論理ゲートの第1の側部に隣接する基板内にソース領域を形成し、かつ第2の論理ゲートの第1の側部とは反対側の第2の論理ゲートの第2の側部に隣接する基板内にドレイン領域を形成する、第2の埋め込みを行うことと、
第2のフォトレジストを除去することと、
第2の論理領域を覆うが、メモリ領域及び第1の論理領域を覆わない、第3のフォトレジストを形成することと、
制御ゲートに隣接する基板内にドレイン領域を形成する、第3の埋め込みを行うことと、
第3のフォトレジストを除去することと、を含む。
Claims (10)
- メモリデバイスを形成する方法であって、
メモリ領域、第1の論理領域、及び第2の論理領域を有する半導体基板を提供することと、
前記メモリ領域内に一対の離間された浮遊ゲートを形成することと、
前記メモリ領域内に一対の制御ゲートを形成することであって、各制御ゲートが、前記浮遊ゲートのうちの一方に隣接する第1の部分、及び前記浮遊ゲートのうちの一方の上にかつそれにわたって延在する第2の部分を有する、形成することと、
前記第1の論理領域内に第1の論理ゲートを形成することと、
前記第2の論理領域内に第2の論理ゲートを形成することと、
前記第2の論理領域及び前記メモリ領域内の前記制御ゲートに隣接する前記基板の一部分を覆うが、前記第1の論理領域及び前記一対の浮遊ゲート間の前記基板の一部分を覆わない、第1のフォトレジストを形成することと、
前記一対の浮遊ゲート間の前記基板内にソース領域を形成し、前記第1の論理領域の第1の側部に隣接する前記基板内にソース領域を形成し、かつ前記第1の論理ゲートの前記第1の側部とは反対側の前記第1の論理ゲートの第2の側部に隣接する前記基板内にドレイン領域を形成する、第1の埋め込みを行うことと、
前記第1のフォトレジストを除去することと、
前記第1の論理領域及び前記メモリ領域を覆うが、前記第2の論理領域を覆わない、第2のフォトレジストを形成することと、
前記第2の論理ゲートの第1の側部に隣接する前記基板内にソース領域を形成し、かつ前記第2の論理ゲートの前記第1の側部とは反対側の前記第2の論理ゲートの第2の側部に隣接する前記基板内にドレイン領域を形成する、第2の埋め込みを行うことと、
前記第2のフォトレジストを除去することと、
前記第2の論理領域を覆うが、前記メモリ領域及び前記第1の論理領域を覆わない、第3のフォトレジストを形成することと、
前記制御ゲートに隣接する前記基板内のドレイン領域を形成する、第3の埋め込みであって、前記メモリ領域内の前記ソース領域を強化し、前記第1の論理ゲートに隣接する前記ソース領域及び前記ドレイン領域を強化する、第3の埋め込みを行うことと、
前記第3のフォトレジストを除去することと、を含む、方法。 - 前記第1の論理領域及び前記メモリ領域を覆うが、前記第2の論理領域を覆わない、第4のフォトレジストを形成することと、
前記第2の論理ゲートの前記第1の側部に隣接する前記基板内の前記ソース領域を強化し、前記第2の論理ゲートの前記第2の側部に隣接する前記基板内の前記ドレイン領域を強化する、第4の埋め込みを行うことと、を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の埋め込みが、前記第3の埋め込みのドーピングよりも低い前記基板のドーピングをもたらし、
前記第2の埋め込みが、前記第4の埋め込みのドーピングよりも低い前記基板のドーピングをもたらす、請求項2に記載の方法。 - 前記基板が、N型であり、前記方法が、
前記第2の論理領域を覆うが、前記メモリセル領域又は前記第1の論理領域を覆わない、第5のフォトレジストを形成することと、
前記メモリセル領域内の前記基板内に第1のP型ウエルを形成し、前記第1の論理領域内の前記基板内に第2のP型ウエルを形成する、第5の埋め込みを行うことと、を更に含む、請求項2に記載の方法。 - 前記第1の埋め込みが、N型埋め込みであり、
前記第2の埋め込みが、P型埋め込みであり、
前記第3の埋め込みが、N+型埋め込みであり、
前記第4の埋め込みが、P+型埋め込みである、請求項4に記載の方法。 - 前記基板が、P型であり、前記方法が、
前記メモリセル領域及び前記第1の論理領域を覆うが、前記第2の論理領域を覆わない、第5のフォトレジストを形成することと、
前記第2の論理領域内の前記基板内にN型ウエルを形成する、第5の埋め込みを行うことと、を更に含む、請求項2に記載の方法。 - 前記第1の埋め込みが、N型埋め込みであり、
前記第2の埋め込みが、P型埋め込みであり、
前記第3の埋め込みが、N+型埋め込みであり、
前記第4の埋め込みが、P+型埋め込みである、請求項6に記載の方法。 - 前記メモリ領域、前記第1の論理領域、及び前記第2の論理領域上に絶縁体を形成することと、
前記基板の選択された部分を除去して、前記絶縁体を通って前記メモリ領域内の前記ドレイン領域まで延在する第1のコンタクトホール、前記絶縁体を通って前記第1の論理領域内の前記ソース領域及び前記ドレイン領域まで延在する第2のコンタクトホール、並びに前記絶縁体を通って前記第2の論理領域内の前記ソース領域及び前記ドレイン領域まで延在する第3のコンタクトホールを形成することと、を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記制御ゲートの上面上、前記第1の論理ゲートの上面上、及び前記第2の論理ゲートの上面上にシリサイドを形成することを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の論理ゲートの前記第1の側部に隣接する前記ソース領域、前記第1の論理ゲートの前記第2の側部に隣接する前記ドレイン領域、前記第2の論理ゲートの前記第1の側部に隣接する前記ソース領域、前記第2の論理ゲートの前記第2の側部に隣接する前記ドレイン領域、及び前記制御ゲートに隣接する前記ドレイン領域の上方に、前記基板の表面部分上にシリサイドを形成することを更に含む、請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562172319P | 2015-06-08 | 2015-06-08 | |
US62/172,319 | 2015-06-08 | ||
US15/164,796 | 2016-05-25 | ||
US15/164,796 US9570592B2 (en) | 2015-06-08 | 2016-05-25 | Method of forming split gate memory cells with 5 volt logic devices |
PCT/US2016/034450 WO2016200623A1 (en) | 2015-06-08 | 2016-05-26 | Method of forming split gate memory cells with 5 volt logic devices |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6360263B1 true JP6360263B1 (ja) | 2018-07-18 |
JP2018522399A JP2018522399A (ja) | 2018-08-09 |
Family
ID=57451315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017559837A Active JP6360263B1 (ja) | 2015-06-08 | 2016-05-26 | 5ボルトの論理デバイスを有する分割ゲート型メモリセルを形成する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9570592B2 (ja) |
EP (1) | EP3304596B1 (ja) |
JP (1) | JP6360263B1 (ja) |
KR (1) | KR101836060B1 (ja) |
CN (1) | CN107667431B (ja) |
TW (1) | TWI594376B (ja) |
WO (1) | WO2016200623A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112185970A (zh) | 2019-07-02 | 2021-01-05 | 硅存储技术公司 | 形成分裂栅存储器单元的方法 |
CN112185815A (zh) | 2019-07-04 | 2021-01-05 | 硅存储技术公司 | 形成具有间隔物限定的浮栅和离散地形成的多晶硅栅的分裂栅闪存存储器单元的方法 |
US11018147B1 (en) | 2020-02-04 | 2021-05-25 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method of forming split gate memory cells with thinned tunnel oxide |
US11362218B2 (en) * | 2020-06-23 | 2022-06-14 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method of forming split gate memory cells with thinned side edge tunnel oxide |
US11488970B2 (en) | 2020-07-09 | 2022-11-01 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method of forming split gate memory cells with thinner tunnel oxide |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5029130A (en) | 1990-01-22 | 1991-07-02 | Silicon Storage Technology, Inc. | Single transistor non-valatile electrically alterable semiconductor memory device |
JP3586072B2 (ja) * | 1997-07-10 | 2004-11-10 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
EP1107309B1 (en) * | 1999-12-06 | 2010-10-13 | STMicroelectronics Srl | Manufacturing process for non-volatile floating gate memory cells and control circuitry |
US6541324B1 (en) * | 2001-11-02 | 2003-04-01 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method of forming a semiconductor array of floating gate memory cells having strap regions and a peripheral logic device region |
US6962852B2 (en) * | 2003-03-19 | 2005-11-08 | Promos Technologies Inc. | Nonvolatile memories and methods of fabrication |
US6902975B2 (en) * | 2003-10-15 | 2005-06-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Non-volatile memory technology compatible with 1T-RAM process |
JP4521597B2 (ja) | 2004-02-10 | 2010-08-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP4748705B2 (ja) * | 2004-07-06 | 2011-08-17 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4578938B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-11-10 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置 |
US7355240B2 (en) * | 2005-09-22 | 2008-04-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor product including logic, non-volatile memory and volatile memory devices and method for fabrication thereof |
KR100812237B1 (ko) * | 2006-08-25 | 2008-03-10 | 삼성전자주식회사 | 임베디드 플래시 메모리 장치의 제조 방법 |
US7652318B2 (en) * | 2006-11-03 | 2010-01-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Split-gate memory cells and fabrication methods thereof |
JP5898294B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2016-04-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5693380B2 (ja) * | 2011-05-30 | 2015-04-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5834909B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-12-24 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN103811498B (zh) * | 2014-02-25 | 2023-08-18 | 北京芯盈速腾电子科技有限责任公司 | 一种低电场源极抹除非挥发性内存单元及其制造方法 |
-
2016
- 2016-05-25 US US15/164,796 patent/US9570592B2/en active Active
- 2016-05-26 JP JP2017559837A patent/JP6360263B1/ja active Active
- 2016-05-26 EP EP16729125.1A patent/EP3304596B1/en active Active
- 2016-05-26 CN CN201680033492.1A patent/CN107667431B/zh active Active
- 2016-05-26 KR KR1020177036864A patent/KR101836060B1/ko active IP Right Grant
- 2016-05-26 WO PCT/US2016/034450 patent/WO2016200623A1/en active Application Filing
- 2016-06-08 TW TW105118187A patent/TWI594376B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI594376B (zh) | 2017-08-01 |
CN107667431B (zh) | 2019-05-28 |
EP3304596A1 (en) | 2018-04-11 |
WO2016200623A1 (en) | 2016-12-15 |
US20160359024A1 (en) | 2016-12-08 |
JP2018522399A (ja) | 2018-08-09 |
KR101836060B1 (ko) | 2018-03-07 |
CN107667431A (zh) | 2018-02-06 |
US9570592B2 (en) | 2017-02-14 |
TW201705377A (zh) | 2017-02-01 |
EP3304596B1 (en) | 2019-11-06 |
KR20180002890A (ko) | 2018-01-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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