JP6359662B2 - 磁性体薄膜形成用スパッタリングターゲット - Google Patents
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Description
また、特許文献2には、Co−Cr二元系合金粉末とPt粉末とSiO2粉末を混合して、得られた混合粉末をホットプレスすることにより、磁気記録媒体薄膜形成用スパッタリングターゲットを得る方法が提案されている。
さらに、特許文献4には、酸化物相が形成する粒子の平均粒径を3μm以下とすること、特許文献5には、シリカ粒子又はチタニア粒子はスパッタリングターゲットの主表面に垂直な断面において、スパッタリングターゲットの主表面に対して垂直な方向の粒径をDn、前記主表面に平行な方向の粒径をDpとした時に、2≦Dp/Dnを満たすことが記載されている。
しかし、これらの条件では、いずれも十分ではなく、さらなる改善が求められているのが現状である。
1)Co又はFeを含む合金と少なくともTi、Bを含む酸化物を含有するスパッタリングターゲットであって、該スパッタリングターゲットにおいて、酸化物の粒子面積Sが10μm2以上、かつ、粒子面積Sと粒子の周囲の長さLとの比(S/L)が0.35以上である酸化物粒子の平均個数が0.0015個/μm2以下であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
2)酸化物の粒子面積Sが10μm2以上、かつ、粒子面積Sと粒子の周囲の長さLとの比(S/L)が0.35以上である酸化物粒子の平均個数が0.0007個/μm2以下であることを特徴とする上記1)記載のスパッタリングターゲット。
3)スパッタリングターゲットの組成において、酸化物を構成するBを0.5at%〜15at%含有することを特徴とする上記1)又は2)記載のスパッタリングターゲット。
4)スパッタリングターゲットの組成において、酸化物を構成するTiを0.5at%〜15at%含有することを特徴とする上記1)〜3)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット。
金属粉末として、Co粉末、Pt粉末を、非磁性材粉末として、TiBO3粉末、TiO2粉末、SiO2粉末、CoO粉末を、用意した。TiBO3粉末については、予め、Ti2O3粉末とB2O3粉末を混合、合成、粉砕したものを使用した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Co−16.26Pt−3.25B−4.88Ti−1.63Si−18.7O
なお、酸化物粒子の面積、周囲の長さを算出するにあたっては、レーザー顕微鏡像をディスプレイに映し出し、画像解析(二値化処理)して、酸化物粒子(黒い部分)の輪郭を明確にした上で算出を行った。また、これら一連の粒子解析は、VK Analyzer(KEYENCE社製)を用いて行った。
金属粉末として、Co粉末、Pt粉末を、非磁性材粉末として、TiBO3粉末、TiO2粉末、SiO2粉末、CoO粉末を、用意した。TiBO3粉末については、予め、Ti2O3粉末とB2O3粉末を混合、合成、粉砕したものを使用した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Co−15.63Pt−4.69B−3.91Ti−3.13Si−21.88O
金属粉末として、Co粉末、Pt粉末を、非磁性材粉末として、B2O3粉末、TiO2粉末、SiO2粉末、CoO粉末を、用意した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Co−16.26Pt−3.25B−4.88Ti−1.63Si−18.7O
金属粉末として、Co粉末、Pt粉末を、非磁性材粉末として、B2O3粉末、TiO2粉末、SiO2粉末、CoO粉末を、用意した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Co−15.63Pt−4.69B−3.91Ti−3.13Si−21.88O
金属粉末として、Co粉末、Co−B粉末を、非磁性材粉末として、TiBO3粉末、TiO2粉末、SiO2粉末を、用意した。TiBO3粉末については、予め、Ti2O3粉末とB2O3粉末を混合、合成、粉砕したものを使用した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Co−3.39B−3.39Ti−3.39Si−15.25O
金属粉末として、Fe粉末、Fe−B粉末、Pt粉末を、非磁性材粉末として、TiBO3粉末、TiO2粉末、MnO2粉末を、用意した。TiBO3粉末については、予め、Ti2O3粉末とB2O3粉末を混合、合成、粉砕したものを使用した。そして、これらの粉末を以下の組成比で2000g秤量した。
組成(at%):Fe−33.33Pt−3.33B−3.33Ti−4.17Mn−16.67O
Claims (2)
- Co又はFeを含む合金と、少なくともTi−B酸化物を含有するスパッタリングターゲットであって、前記Ti−B酸化物はTiBO 3 からなり、酸化物の粒子面積Sが10μm2以上、かつ、粒子面積Sと粒子の周囲の長さLとの比(S/L)が0.35以上である酸化物粒子の平均個数が0.0015個/μm2以下であり、スパッタリングターゲットの組成において、酸化物を構成するBを0.5at%〜15at%含有し、酸化物を構成するTiを0.5at%〜15at%含有することを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 酸化物の粒子面積Sが10μm2以上、かつ、粒子面積Sと粒子の周囲の長さLとの比(S/L)が0.35以上である酸化物粒子の平均個数が0.0007個/μm2以下であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリングターゲット。
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