JP6359384B2

JP6359384B2 - Cutting blade

Info

Publication number: JP6359384B2
Application number: JP2014171541A
Authority: JP
Inventors: 聡一新谷; 悠矢板谷
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-08-26
Filing date: 2014-08-26
Publication date: 2018-07-18
Anticipated expiration: 2034-08-26
Also published as: JP2016043470A

Description

本発明は、樹脂基板などのワークを切削する切削ブレードに関する。 The present invention relates to a cutting blade for cutting a workpiece such as a resin substrate.

樹脂基板や未焼成のセラミックなど軟らかい材料で形成されたワークを切削ブレードで切削する場合は、切削ブレードに目詰まりが生じたり、切削加工による発熱により切削屑が切削ブレードに付着したりすることにより、ワークにチッピングやバリが生じやすい。 When cutting a workpiece made of a soft material such as a resin substrate or unfired ceramic with a cutting blade, the cutting blade may become clogged, or cutting waste may adhere to the cutting blade due to heat generated by the cutting process. Chipping and burrs are likely to occur on the workpiece.

このような問題が生ずるのを回避するために、特許文献１では、円環板状のダイシングブレードの中心側から外周縁に向かって延びる溝をダイシングブレードに設け、中心側に切削水を供給することにより、溝を介して切削部分に切削水を供給するダイシングソーが提案されている。また、特許文献２では、切削ブレードを挟持するフランジをポーラス材料で形成し、フランジから切削水を噴出させる切削装置が提案されている。 In order to avoid the occurrence of such a problem, in Patent Document 1, a groove extending from the center side of the annular plate-shaped dicing blade toward the outer peripheral edge is provided in the dicing blade, and cutting water is supplied to the center side. Thus, a dicing saw that supplies cutting water to a cutting portion through a groove has been proposed. Further, Patent Document 2 proposes a cutting device in which a flange for holding a cutting blade is formed of a porous material, and cutting water is ejected from the flange.

特開平７−２４７２５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-24725 特開平８−１５５９４９号公報JP-A-8-155949

しかし、特許文献１に記載されたダイシングブレードは、切削部分に切削水を供給するためにダイシングブレードの内周から外周に到る溝を設けているため、溝を設けた部分が薄くなり、ダイシングブレードの強度が低下する。また、特許文献２に記載された切削装置は、フランジから全方向に切削水を噴出するため、切削水の消費量が多くなる。 However, the dicing blade described in Patent Document 1 is provided with a groove extending from the inner periphery to the outer periphery of the dicing blade in order to supply cutting water to the cutting portion. The strength of the blade is reduced. Moreover, since the cutting device described in patent document 2 ejects cutting water from a flange in all directions, the consumption of cutting water increases.

本発明は、このような問題を発生させることなく、切削部分を効果的に冷却し、チッピングやバリの発生を防ぐことを目的とする。 An object of the present invention is to effectively cool a cutting portion without causing such a problem and prevent occurrence of chipping and burrs.

本発明に係る切削ブレードは、スピンドルの先端に装着され回転してワークを切削する切削ブレードであって、円環板状に形成された切削砥石と、該切削砥石の両側面にそれぞれ設けられた円環状部材と、を備え、該円環状部材の中心軸が該切削砥石の中心軸と一致し、該円環状部材が２つのフランジによって挟まれて該スピンドルに固定され、該切削砥石の外半径と該円環状部材の外半径との差は、該切削砥石のワークに対する切込み深さよりも大きく、該円環状部材の内周側から外周側まで連通する流体供給路を備え、該円環状部材の中心部に供給される切削水が、該流体供給路を通って該切削砥石に供給される。
切削砥石は、外周に複数のスリットを備え、前記流体供給路は、該切削砥石のスリットに対応する位置に設けられていることが好ましい。 A cutting blade according to the present invention is a cutting blade that is attached to the tip of a spindle and rotates to cut a workpiece, and is provided on a cutting grindstone formed in an annular plate shape and on both side surfaces of the cutting grindstone, respectively. An annular member, and a central axis of the annular member coincides with a central axis of the cutting grindstone, the annular member is sandwiched between two flanges and fixed to the spindle, and an outer radius of the cutting grindstone And the outer radius of the annular member is larger than the cutting depth of the cutting grindstone with respect to the workpiece, and includes a fluid supply path communicating from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular member, Cutting water supplied to the central portion is supplied to the cutting grindstone through the fluid supply path .
The cutting grindstone is provided with a plurality of slits on the outer periphery, and the fluid supply path is preferably provided at a position corresponding to the slit of the cutting grindstone.

本発明に係る切削ブレードによれば、流体供給路を介して切削水を切削部分に供給することができるため、切削部分を効果的に冷却し、チッピングやバリの発生を防ぐことができる。また、切削ブレードに溝を設けずに済むため、切削ブレードの強度低下を防ぐことができる。さらに、流体供給路から切削水が供給されるため、切削水の消費量を抑えることができる。
また、切削ブレードに流体供給路を備えているため、切削ブレードとは別に切削水供給ノズルが設けられた切削装置に切削ブレードを装着する際に、切削水供給ノズルに対して切削ブレードを位置合わせをする必要がなく、作業効率が向上する。 According to the cutting blade according to the present invention, the cutting water can be supplied to the cutting portion via the fluid supply path, so that the cutting portion can be effectively cooled and the occurrence of chipping and burrs can be prevented. Moreover, since it is not necessary to provide a groove in the cutting blade, it is possible to prevent a reduction in strength of the cutting blade. Furthermore, since cutting water is supplied from the fluid supply path, consumption of the cutting water can be suppressed.
In addition, since the cutting blade is provided with a fluid supply path, the cutting blade is aligned with the cutting water supply nozzle when the cutting blade is mounted on a cutting device provided with a cutting water supply nozzle separately from the cutting blade. Work efficiency is improved.

切削装置を示す斜視図。The perspective view which shows the cutting device. 切削手段を示す拡大斜視図。The expansion perspective view which shows the cutting means. 切削ブレードを示す斜視図。The perspective view which shows the cutting blade. 切削ブレードを示す側面視断面図。Side surface sectional drawing which shows a cutting blade. 切削手段に挟持された切削ブレードを示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the cutting blade clamped by the cutting means. 切削ブレードを示す側面視断面図。Side surface sectional drawing which shows a cutting blade. 切削手段に挟持された切削ブレードを示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the cutting blade clamped by the cutting means. 切削ブレードを示す側面視断面図。Side surface sectional drawing which shows a cutting blade. 切削手段に挟持された切削ブレードを示す拡大断面図。The expanded sectional view which shows the cutting blade clamped by the cutting means. 切削ブレードを示す側面視断面図。Side surface sectional drawing which shows a cutting blade.

図１に示す切削装置１０は、樹脂基板、ガラス基板、未焼成のセラミック基板など軟らかい材料で形成されたウェーハを切削する装置であり、ウェーハを保持するチャックテーブル１１と、チャックテーブル１１に保持されたウェーハを切削する切削手段１２と、切削手段１２を移動させる切込み送り手段１３及び割出し送り手段１４とを備える。 A cutting apparatus 10 shown in FIG. 1 is an apparatus that cuts a wafer formed of a soft material such as a resin substrate, a glass substrate, or an unfired ceramic substrate, and is held by the chuck table 11 that holds the wafer and the chuck table 11. A cutting means 12 for cutting the wafer, and a cutting feed means 13 and an index feed means 14 for moving the cutting means 12.

チャックテーブル１１は、ＸＹ平面に平行な保持面１１１を有し、保持面１１１に載置されたウェーハを吸引保持する。チャックテーブル１１は、±Ｘ方向に移動可能となっている。 The chuck table 11 has a holding surface 111 parallel to the XY plane, and sucks and holds the wafer placed on the holding surface 111. The chuck table 11 is movable in the ± X directions.

切込み送り手段１３は、Ｚ軸方向に向くねじ軸１３１をモータ１３２が回転させることにより、ねじ軸１３１に係合した移動部１３３がガイド１３４に案内されて±Ｚ方向に移動する構成となっている。切削手段１２は、移動部１３３に固定されており、移動部１３３の移動に伴って±Ｚ方向に移動する。 The cutting feed means 13 is configured such that when the motor 132 rotates the screw shaft 131 oriented in the Z-axis direction, the moving portion 133 engaged with the screw shaft 131 is guided by the guide 134 and moved in the ± Z direction. Yes. The cutting means 12 is fixed to the moving unit 133 and moves in the ± Z direction as the moving unit 133 moves.

割出し送り手段１４は、Ｙ軸方向に向くねじ軸１４１をモータ（不図示）が回転させることにより、ねじ軸１４１に係合した移動部１４３がガイド１４４に案内されて±Ｙ方向に移動する構成となっている。切込み送り手段１３は、移動部１４３に固定されており、移動部１４３の移動にともなって切込み送り手段１３及び切削手段１２が±Ｙ方向に移動する。 The index feed means 14 is moved in the ± Y direction by the guide 144 having the moving portion 143 engaged with the screw shaft 141 when the motor (not shown) rotates the screw shaft 141 directed in the Y-axis direction. It has a configuration. The cutting feed means 13 is fixed to the moving part 143, and the cutting feed means 13 and the cutting means 12 move in the ± Y direction as the moving part 143 moves.

図２に示すように、切削手段１２には、スピンドル２２に装着され±Ｙ方向に平行な回転軸を中心として回転可能な切削ブレード４０を備えている。切削ブレード４０を回転させた状態で、切込み送り手段１３が切削手段１２を−Ｚ方向に移動させることにより、チャックテーブル１１に保持されたウェーハに回転する切削ブレード４０が切り込み、チャックテーブル１１が＋Ｘ方向（または−Ｘ方向）に移動することにより、ウェーハが切削される。また、割出し送り手段１４が切削手段１２を±Ｙ方向に移動させることにより、チャックテーブル１１に保持されたウェーハのＹ軸方向の任意の位置に切削ブレード４０を位置づけることができる。 As shown in FIG. 2, the cutting means 12 includes a cutting blade 40 that is mounted on the spindle 22 and is rotatable about a rotation axis that is parallel to the ± Y direction. With the cutting blade 40 rotated, the cutting feed means 13 moves the cutting means 12 in the −Z direction, whereby the rotating cutting blade 40 is cut into the wafer held by the chuck table 11, and the chuck table 11 is + X. The wafer is cut by moving in the direction (or -X direction). Further, the indexing feeding means 14 moves the cutting means 12 in the ± Y direction, whereby the cutting blade 40 can be positioned at an arbitrary position in the Y-axis direction of the wafer held on the chuck table 11.

図２に示すように、切削手段１２は、スピンドル２２を回転可能に支持するハウジング２１と、スピンドル２２の先端に配置されたフランジセット２３と、切削水を供給する切削水供給手段２４とを備えている。フランジセット２３は、円環板状の切削ブレード４０を＋Ｙ方向及び−Ｙ方向から挟持しており、スピンドル２２が±Ｙ方向に平行な回転軸を中心として回転することによりフランジセット２３を回転させる。また、フランジセット２３の回転に伴って、フランジセット２３に挟持された切削ブレード４０も回転する。 As shown in FIG. 2, the cutting means 12 includes a housing 21 that rotatably supports the spindle 22, a flange set 23 disposed at the tip of the spindle 22, and a cutting water supply means 24 that supplies cutting water. ing. The flange set 23 sandwiches the annular plate-shaped cutting blade 40 from the + Y direction and the −Y direction, and rotates the flange set 23 when the spindle 22 rotates about a rotation axis parallel to the ± Y direction. . Further, as the flange set 23 rotates, the cutting blade 40 sandwiched by the flange set 23 also rotates.

切削水供給手段２４は、切削水供給源（不図示）に接続される給水口２４１と、切削水供給源から給水口２４１に供給される切削水を＋Ｙ方向に放出するノズル２４２とを備えている。ノズル２４２から放出された切削水は、フランジセット２３の中心（回転軸）に供給される。 The cutting water supply means 24 includes a water supply port 241 connected to a cutting water supply source (not shown), and a nozzle 242 that discharges cutting water supplied from the cutting water supply source to the water supply port 241 in the + Y direction. Yes. The cutting water discharged from the nozzle 242 is supplied to the center (rotating shaft) of the flange set 23.

図３に示すように、切削ブレード４０は、円環板状の切削砥石４１と、切削砥石４１の両側面に設けられた円環状部材であるプレート４２，４３とを備えている。 As shown in FIG. 3, the cutting blade 40 includes an annular plate-shaped cutting grindstone 41, and plates 42 and 43 that are annular members provided on both side surfaces of the cutting grindstone 41.

切削砥石４１は、中心に円形の開口を備え、外周に複数のスリット４１１を備えている。スリット４１１は、等角度（均等）間隔で設けられ、切削ブレード４０の外周から切削ブレード４０の径方向内側へ向けて延び、中央の開口までは達していない。スリット４１１よりも内側に溝やスリットが設けられていないので、切削ブレード４０の強度低下を防ぐことができる。 The cutting grindstone 41 includes a circular opening at the center and a plurality of slits 411 on the outer periphery. The slits 411 are provided at equiangular (equal) intervals, extend from the outer periphery of the cutting blade 40 toward the radially inner side of the cutting blade 40, and do not reach the central opening. Since no groove or slit is provided inside the slit 411, the strength of the cutting blade 40 can be prevented from lowering.

プレート４２は、切削砥石４１よりも外径が小さい円環板状に形成されており、その中心軸は、切削砥石４１の中心軸と一致している。切削砥石４１の外半径とプレート４２の外半径との差は、切削砥石４１がワークに切り込む切込み深さよりも大きい。これにより、切削砥石４１がワークに切り込んだときプレート４２がワークに接触するのを回避している。 The plate 42 is formed in an annular plate shape having an outer diameter smaller than that of the cutting grindstone 41, and the central axis thereof coincides with the central axis of the cutting grindstone 41. The difference between the outer radius of the cutting grindstone 41 and the outer radius of the plate 42 is larger than the cutting depth at which the cutting grindstone 41 cuts into the workpiece. This prevents the plate 42 from coming into contact with the workpiece when the cutting grindstone 41 is cut into the workpiece.

プレート４２は、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられたスリット４２１によって、複数の小片４２２に分割されている。スリット４２１は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４２の内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The plate 42 is divided into a plurality of small pieces 422 by slits 421 provided at positions corresponding to the slits 411 of the cutting grindstone 41. The slit 421 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 42.

プレート４３は、切削砥石４１の反対側に設けられている点を除き、プレート４２と同様であり、スリット４１１に対応する位置に設けられたスリット４３１によって、複数の小片４３２に分割されている。スリット４３１は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４３の内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The plate 43 is the same as the plate 42 except that it is provided on the opposite side of the cutting grindstone 41, and is divided into a plurality of small pieces 432 by a slit 431 provided at a position corresponding to the slit 411. The slit 431 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 43.

プレート４２，４３は、例えば金属、セラミック、または切削砥石４１と同じ砥石などの材料で形成され、切削ブレード４０の回転により切削砥石４１から剥離しないように、例えばレジン、エポキシなどの接着剤で切削砥石４１に接着されている。プレート４２，４３が切削砥石４１と同じ材料で形成される場合は、切削砥石４１とプレート４２，４３とを一体成型する構成であってもよい。 The plates 42 and 43 are formed of a material such as metal, ceramic, or the same grindstone as the cutting grindstone 41, and are cut with an adhesive such as resin or epoxy so as not to be peeled off from the cutting grindstone 41 by the rotation of the cutting blade 40. Bonded to the grindstone 41. When the plates 42 and 43 are formed of the same material as the cutting grindstone 41, the cutting grindstone 41 and the plates 42 and 43 may be integrally formed.

図４に示すように、切削砥石４１は、２枚のプレート４２，４３に挟まれている。図５に示すように、図２に示した切削手段１２のフランジセット２３は、切削ブレード４０を挟持する２つのフランジ２３１，２３２を備えるとともに、切削水供給手段２４（図２参照）から供給される切削水を切削ブレード４０に供給するための導水部２３３を備えている。 As shown in FIG. 4, the cutting grindstone 41 is sandwiched between two plates 42 and 43. As shown in FIG. 5, the flange set 23 of the cutting means 12 shown in FIG. 2 includes two flanges 231 and 232 that sandwich the cutting blade 40 and is supplied from the cutting water supply means 24 (see FIG. 2). The water guide 233 for supplying the cutting water to the cutting blade 40 is provided.

切削ブレード４０は、プレート４２がフランジ２３１に接触し、プレート４３がフランジ２３２に接触して、フランジ２３１，２３２によって挟持されるので、スリット４２１，４３１には、導水部２３３を介して供給される切削水が通る流路が形成される。切削水供給手段２４から導水部２３３を介して供給された切削水は、スリット４２１，４３１から外側に向けて放出される。スリット４２１，４３１は、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられているので、スリット４２１，４３１から放出された切削水は、スリット４１１の中に入り込む。これにより、切削砥石４１がワークに切り込んでいるときでも、切削によって形成される切削溝の中に切削水を供給することができ、切削部分を効果的に冷却することができ、ウェーハにチッピングやバリが発生するのを防ぐことができる。また、切削水がスリット４１１の中を流れることにより、スリット４１１の中に切削屑が付着するのを防ぐことができる。 The cutting blade 40 is sandwiched between the flanges 231 and 232 by the plate 42 coming into contact with the flange 231 and the plate 43 coming into contact with the flange 232. A flow path through which the cutting water passes is formed. The cutting water supplied from the cutting water supply means 24 via the water guide portion 233 is discharged from the slits 421 and 431 toward the outside. Since the slits 421 and 431 are provided at positions corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41, the cutting water discharged from the slits 421 and 431 enters the slit 411. Thereby, even when the cutting grindstone 41 is cut into the workpiece, cutting water can be supplied into the cutting groove formed by cutting, the cutting portion can be cooled effectively, and chipping or Generation of burrs can be prevented. In addition, the cutting water can flow in the slit 411 to prevent the cutting waste from adhering to the slit 411.

さらに、プレート４２，４３が切削砥石４１によって固定されているため、スリット４１１とスリット４２１，４３１とを位置合わせする必要がなく、切削ブレード４０を交換する作業の効率を高め、交換にかかる時間を短くすることができる。また、切削ブレード４０に流体供給路であるスリット４２１，４３１を備えているため、切削ブレードとは別に切削水供給ノズルも設ける必要がない。したがって、切削ブレードを装着する際に切削水供給ノズルに対して切削ブレードを位置合わせをする必要がなく、切削ブレードを交換する際の作業効率が向上する。 Furthermore, since the plates 42 and 43 are fixed by the cutting grindstone 41, it is not necessary to align the slit 411 and the slits 421 and 431, so that the efficiency of the work for exchanging the cutting blade 40 is improved and the time required for the exchange is increased. Can be shortened. Further, since the cutting blade 40 is provided with slits 421 and 431 which are fluid supply paths, it is not necessary to provide a cutting water supply nozzle separately from the cutting blade. Therefore, it is not necessary to align the cutting blade with the cutting water supply nozzle when the cutting blade is mounted, and the working efficiency when replacing the cutting blade is improved.

プレート４２，４３は、フランジ２３１，２３２によって押圧されるため、押圧力によって容易に変形しない材料で形成することが好ましい。また、プレート４２，４３をアルミニウムなどの金属で形成すれば、放熱性が向上するので好ましい。 Since the plates 42 and 43 are pressed by the flanges 231 and 232, the plates 42 and 43 are preferably formed of a material that is not easily deformed by the pressing force. In addition, it is preferable to form the plates 42 and 43 from a metal such as aluminum because heat dissipation is improved.

切削砥石４１のスリット４１１は、プレート４２，４３の外径よりも内側まで延びる構成であってもよい。そのように構成すれば、スリット４２１，４３１から放出される切削水が、切削砥石４１のスリット４１１に入りやすくなる。また、切削砥石４１は、スリット４１１を備えない構成であってもよい。 The slit 411 of the cutting grindstone 41 may be configured to extend to the inner side of the outer diameter of the plates 42 and 43. With such a configuration, the cutting water discharged from the slits 421 and 431 can easily enter the slit 411 of the cutting grindstone 41. Further, the cutting grindstone 41 may be configured without the slit 411.

図６に示す切削ブレード４０Ａは、上述した切削ブレード４０のプレート４２，４３に代えて、円環状である部材プレート４２Ａ，４３Ａを備えている。 A cutting blade 40A shown in FIG. 6 includes annular member plates 42A and 43A in place of the plates 42 and 43 of the cutting blade 40 described above.

プレート４２Ａは、プレート４２のスリット４２１に代えて、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられた溝４２３を備える。溝４２３は、プレート４２Ａの外側の面から所定の深さまで設けられ、溝４２３の深さは、プレート４２Ａの厚さよりも小さい。溝４２３は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４２Ａの内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The plate 42 </ b> A includes a groove 423 provided at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41 instead of the slit 421 of the plate 42. The groove 423 is provided from the outer surface of the plate 42A to a predetermined depth, and the depth of the groove 423 is smaller than the thickness of the plate 42A. The groove 423 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 42A.

プレート４３Ａの構成は、プレート４２Ａと同様であり、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられた溝４３３を備える。溝４３３は、プレート４３Ａの外側の面から所定の深さまで設けられ、溝４３３の深さは、プレート４３Ａの厚さよりも小さい。溝４３３は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４２Ａの内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The configuration of the plate 43A is the same as that of the plate 42A, and includes a groove 433 provided at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41. The groove 433 is provided from the outer surface of the plate 43A to a predetermined depth, and the depth of the groove 433 is smaller than the thickness of the plate 43A. The groove 433 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 42A.

図７に示すように、切削ブレード４０Ａをフランジセット２３で挟持すると、溝４２３，４３３に切削水が通る流路が形成される。これにより、切削ブレード４０と同様に、切削部分を効果的に冷却でき、ウェーハにチッピングやバリが発生するのを防ぐことができる。 As shown in FIG. 7, when the cutting blade 40 </ b> A is sandwiched between the flange sets 23, flow paths through which cutting water passes are formed in the grooves 423 and 433. Thereby, like the cutting blade 40, the cutting portion can be effectively cooled, and chipping and burrs can be prevented from occurring on the wafer.

図８に示す切削ブレード４０Ｂは、上述した切削ブレード４０のプレート４２，４３に代えて、円環状部材であるプレート４２Ｂ，４３Ｂを備えている。 A cutting blade 40B shown in FIG. 8 includes plates 42B and 43B, which are annular members, instead of the plates 42 and 43 of the cutting blade 40 described above.

プレート４２Ｂは、プレート４２のスリット４２１に代えて、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられた溝４２４を備えている。溝４２４は、プレート４２Ｂの切削砥石４１側の面から所定の深さまで設けられ、溝４２４の深さは、プレート４２Ｂの厚さよりも小さい。溝４２４は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４２Ｂの内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The plate 42 </ b> B includes a groove 424 provided at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41 instead of the slit 421 of the plate 42. The groove 424 is provided from the surface on the cutting grindstone 41 side of the plate 42B to a predetermined depth, and the depth of the groove 424 is smaller than the thickness of the plate 42B. The groove 424 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 42B.

プレート４３Ｂの構成は、プレート４２Ｂと同様であり、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に設けられた溝４３４を備えている。溝４３４は、スリット４１１の延長線上に径方向に延び、プレート４３Ｂの内周側から外周側まで横断している流体供給路である。 The configuration of the plate 43B is the same as that of the plate 42B, and includes a groove 434 provided at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41. The groove 434 is a fluid supply path that extends in the radial direction on the extension line of the slit 411 and crosses from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the plate 43B.

図９に示すように、切削ブレード４０Ｂをフランジセット２３で挟持すると、溝４２４，４３４に切削水が通る流路が形成される。これにより、切削ブレード４０と同様に、切削部分を効果的に冷却でき、ウェーハにチッピングやバリが発生するのを防ぐことができる。 As shown in FIG. 9, when the cutting blade 40 </ b> B is sandwiched between the flange sets 23, flow paths through which cutting water passes are formed in the grooves 424 and 434. Thereby, like the cutting blade 40, the cutting portion can be effectively cooled, and chipping and burrs can be prevented from occurring on the wafer.

図１０に示す切削ブレード４０Ｃは、切削ブレード４０のプレート４２，４３に代えて、プレート４４と基台４５とを備えるハブブレードである。円環状部材であるプレート４４は、上述したプレート４２，４２Ａあるいは４２Ｂと同様、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に、切削水の流路となるスリットまたは溝（流体供給路）を備える。 A cutting blade 40C shown in FIG. 10 is a hub blade including a plate 44 and a base 45 in place of the plates 42 and 43 of the cutting blade 40. The plate 44, which is an annular member, includes a slit or groove (fluid supply path) that serves as a flow path of the cutting water at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41, like the plate 42, 42A, or 42B described above.

円環状部材である基台４５も同様に、切削砥石４１のスリット４１１に対応する位置に、切削水の流路となるスリットまたは溝（流体供給路）を備える。例えば、基台４５の一方の面に切削砥石４１を円環板状に形成した後、基台４５に流体供給路を形成することにより製造される。 Similarly, the base 45 that is an annular member includes a slit or groove (fluid supply path) serving as a flow path of the cutting water at a position corresponding to the slit 411 of the cutting grindstone 41. For example, the cutting grindstone 41 is formed in an annular plate shape on one surface of the base 45, and then a fluid supply path is formed in the base 45.

このように、ワッシャタイプのブレードに限らず、ハブブレードであっても、プレート４４及び基台４５に切削水の流路となるスリットや溝を設けることにより、切削部分を効果的に冷却でき、ウェーハにチッピングやバリが発生するのを防ぐことができる。 Thus, not only the washer-type blade but also the hub blade, by providing the plate 44 and the base 45 with slits and grooves serving as cutting water flow paths, the cutting portion can be effectively cooled, Chipping and burrs can be prevented from occurring on the wafer.

なお、プレートや基台などの円環状部材に設ける流体供給路は、スリットや溝に限らず、内周側から外周側まで連通して切削水を通すことができるものであれば、他の形状のものであってもよい。 In addition, the fluid supply path provided in the annular member such as the plate or the base is not limited to the slit or groove, and any other shape can be used as long as it can communicate from the inner peripheral side to the outer peripheral side and allow cutting water to pass therethrough. It may be.

１０切削装置、
１１チャックテーブル、１１１保持面、
１２切削手段、２１ケース、２２スピンドル、
２３フランジセット、２３１，２３２フランジ、２３３導水部、
２４切削水供給手段、２４１給水口、２４２ノズル、
１３切込み送り手段、１３１ねじ軸、１３２モータ、１３３移動部、
１３４ガイド、
１４割出し送り手段、
１４１ねじ軸、１４３移動部、１４４ガイド、
４０，４０Ａ〜４０Ｃ切削ブレード、
４１切削砥石、４１１スリット、４２１，４３１スリット（流体供給路）、
４２，４２Ａ，４２Ｂ，４３，４３Ａ，４３Ｂ，４４プレート（円環状部材）、
４２２，４３２小片、４２３，４２４，４３３，４３４溝（流体供給路）、
４５基台（円環状部材） 10 cutting equipment,
11 chuck table, 111 holding surface,
12 cutting means, 21 case, 22 spindle,
23 flange set, 231 and 232 flange, 233 water transfer section,
24 cutting water supply means, 241 water supply port, 242 nozzle,
13 cutting feed means, 131 screw shaft, 132 motor, 133 moving part,
134 guides,
14 Index feeding means,
141 screw shaft, 143 moving part, 144 guide,
40, 40A-40C cutting blade,
41 cutting wheel, 411 slit, 421, 431 slit (fluid supply path),
42, 42A, 42B, 43, 43A, 43B, 44 Plate (annular member),
422, 432 small pieces, 423, 424, 433, 434 grooves (fluid supply path),
45 base (annular member)

Claims

A cutting blade mounted on the tip of a spindle and rotating to cut a workpiece,
A cutting grindstone formed in an annular plate shape,
An annular member provided on each side surface of the cutting wheel,
With
The central axis of the annular member coincides with the central axis of the cutting wheel,
The annular member is sandwiched between two flanges and fixed to the spindle;
The difference between the outer radius of the cutting grindstone and the outer radius of the annular member is larger than the cutting depth of the cutting grindstone with respect to the workpiece,
A fluid supply path communicating from the inner peripheral side to the outer peripheral side of the annular member ;
A cutting blade in which cutting water supplied to the central portion of the annular member is supplied to the cutting grindstone through the fluid supply path .

The cutting grindstone includes a plurality of slits on the outer periphery,
The fluid supply path is provided at a position corresponding to the slit of the cutting grindstone.
The cutting blade according to claim 1.