JP6576135B2 - Cutting blade tip shape forming method - Google Patents

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Description

本発明は、切削ブレードの先端形状を所望の形状に成形するドレッサーツール及び該ドレッサーツールを使用した切削ブレードの先端形状成形方法に関する。   The present invention relates to a dresser tool for forming a tip shape of a cutting blade into a desired shape and a method for forming a tip shape of a cutting blade using the dresser tool.

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが格子状に形成された分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたシリコンウェーハ（以下、単にウェーハと称することがある）は、裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割されたデバイスチップは携帯電話、パソコン等の各種電子機器に広く利用されている。   A silicon wafer (hereinafter sometimes simply referred to as a wafer) formed by dividing a plurality of devices such as ICs and LSIs by division lines formed in a lattice shape on the front surface is ground to a predetermined thickness. After being processed, the device is divided into individual device chips by a cutting device, and the divided device chips are widely used in various electronic devices such as mobile phones and personal computers.

ウェーハを個々のデバイスチップに分割する際には、切削装置に装着された切削ブレードがウェーハを分割予定ラインに沿って切削することにより、ウェーハは個々のデバイスチップに分割される。   When the wafer is divided into individual device chips, the wafer is divided into individual device chips by cutting the wafer along a planned dividing line by a cutting blade mounted on the cutting apparatus.

近年、電子部品のコストダウンが市場において要求されており、電子部品のコストダウンのための方策の一つとしてウェーハの分割予定ラインの幅を狭くして１枚のウェーハから生産できるデバイスチップの個数を増やす方法が挙げられる。   In recent years, the cost reduction of electronic components has been demanded in the market, and the number of device chips that can be produced from a single wafer by narrowing the width of the wafer dividing line as one of the measures for reducing the cost of electronic components. The method of increasing is mentioned.

そのためには、ウェーハを切削する切削ブレードの厚さを薄くしなければならないが、薄くするとブレードの強度が低くなり、切削加工中にブレードの折れ曲がりが発生して切削ブレードが破損してしまうという問題がある。   To that end, the thickness of the cutting blade that cuts the wafer must be reduced. However, if the thickness is reduced, the strength of the blade will be reduced, and the blade will be bent during the cutting process, resulting in damage to the cutting blade. There is.

この問題を解決する技術として、特開２００８−４９４１２号公報には、砥粒径が大きい砥粒を含有したメタルボンドのグリーンシートを中心層とし、砥粒径が小さい砥粒を含有したメタルボンドのグリーンシートを側面層として、中心層の両側に側面層を貼り合せて焼結し、多層構造の切削ブレードを作成し、この多層構造の切削ブレードをドレッサーツールに切り込ませることによって、側面層を機械的に除去して中心層を突出させ、切削ブレードの先端に凸部を形成した凸形状切削ブレードが記載されている。   As a technology for solving this problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-49412 discloses a metal bond containing a metal bond green sheet containing abrasive grains having a large abrasive grain size as a central layer and containing abrasive grains having a small abrasive grain size. A side layer is formed by laminating and sintering a side layer on both sides of the central layer, creating a multilayer cutting blade, and cutting the multilayer cutting blade into a dresser tool. A convex cutting blade is described in which a central layer is protruded by mechanically removing and a convex portion is formed at the tip of the cutting blade.

このような構造を有する切削ブレードによって、実際に加工に寄与するブレード先端の凸部は、刃厚は薄いが、切削ブレード自体が十分な厚さを有しているので、ブレード強度が低下せず、切れ曲がり等を発生させることが防止される。   With the cutting blade having such a structure, the convex part at the tip of the blade that actually contributes to the machining has a thin blade thickness, but the cutting blade itself has a sufficient thickness so that the blade strength does not decrease. It is possible to prevent cutting and the like from occurring.

特開２００８−４９４１２号公報JP 2008-49412 A

しかし、特許文献１に開示された多層構造の切削ブレードは、異なる特性を有するグリーンシート（砥石）を作成して、これらのグリーンシートを貼り合せて焼結して製造しなければならず、作業性が悪いと共にコストに課題を有している。   However, the multi-layered cutting blade disclosed in Patent Document 1 must be manufactured by creating green sheets (grinding stones) having different characteristics, and bonding and sintering these green sheets. It has a problem with cost as well as poor performance.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの先端を容易に所望の形状に成形できるドレッサーツール及び該ドレッサーツールを使用した切削ブレードの先端形状成形方法を提供することである。   The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a dresser tool capable of easily forming the tip of the cutting blade into a desired shape, and a tip shape of the cutting blade using the dresser tool. It is to provide a molding method.

請求項１記載の発明によると、ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が形成されており、該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、該切削ブレードを高速回転させながら該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成する成形ステップとを備えた切削ブレードの先端形状成形方法が提供される。 According to the first aspect of the invention, a tip shape forming method of the cutting blade for forming the tip of the cutting blade using de Lesser tool into a desired shape, the said dresser tool, inverting the shape of said desired A groove having a shape is formed, a holding step for sucking and holding the dresser tool with a chuck table, and a cutting blade that is cut into the groove of the dresser tool held on the chuck table while rotating the cutting blade at a high speed. A tip of a cutting blade having a forming step for forming a convex portion corresponding to the shape of the groove on the tip of the cutting blade by relatively moving the blade and the dresser tool held on the chuck table A shape forming method is provided.

請求項２記載の発明によると、ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が互いに平行に複数形成されており、該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、該切削ブレードを高速回転させながら該溝の深さより浅い切り込み深さで該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの第１の溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を修正する修正ステップと、該第１の溝と異なる第２の溝に該切削ブレードを該切り込み深さで切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を再修正する再修正ステップと、を備え、切り込ませる溝を変えて該再修正ステップを複数回繰り返すことにより、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成することを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法が提供される。 According to the second aspect of the invention, a tip shape forming method of the cutting blade for forming the tip of the cutting blade using de Lesser tool into a desired shape, the said dresser tool, inverting the shape of said desired A plurality of shaped grooves are formed in parallel to each other, and a holding step for sucking and holding the dresser tool with a chuck table and a cutting depth shallower than the depth of the groove while rotating the cutting blade at a high speed are held on the chuck table. A correction step of correcting the tip shape of the cutting blade by cutting the first groove of the dresser tool, and moving the cutting blade and the dresser tool held by the chuck table relative to each other. And cutting the cutting blade into the second groove different from the first groove with the cutting depth, A re-correction step for re-correcting the tip shape of the cutting blade by relatively moving the dresser tool held on the table, and a plurality of re-correction steps by changing a groove to be cut. A cutting blade tip shape forming method is provided, in which a convex portion corresponding to the shape of the groove is formed at the tip of the cutting blade by repeating the steps.

本発明のドレッサーツールを使用して切削ブレードをドレッシングすることにより、多層構造の切削ブレードを製作する必要がなく、従来構造の切削ブレードの先端に所望の形状を成形することができ、作業性が向上すると共に切削ブレードの成形コストを低く抑えることができる。   By dressing the cutting blade using the dresser tool of the present invention, it is not necessary to manufacture a multi-layered cutting blade, and a desired shape can be formed at the tip of the cutting blade having a conventional structure. In addition to the improvement, the molding cost of the cutting blade can be kept low.

切削装置の斜視図である。It is a perspective view of a cutting device. 切削ブレードのスピンドルへの装着構造を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the mounting structure to the spindle of a cutting blade. 本発明実施形態に係るドレッサーツールの斜視図である。It is a perspective view of a dresser tool concerning an embodiment of the present invention. ドレッサーツールを外周部が環状フレームに装着されたダイシングテープに貼着する様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that a dresser tool is stuck on the dicing tape with which the outer peripheral part was mounted | worn with the annular frame. 修正ステップ及び再修正ステップを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a correction step and a re-correction step. 修正ステップ及び再修正ステップを説明する側面図である。It is a side view explaining a correction step and a re-correction step. 図７（Ａ）は第１実施形態のドレッサーツールにより切削ブレードの先端形状を成形する様子を示す断面図、図７（Ｂ）は成形された切削ブレードの先端形状を示す断面図である。FIG. 7A is a cross-sectional view showing how the tip shape of the cutting blade is formed by the dresser tool of the first embodiment, and FIG. 7B is a cross-sectional view showing the tip shape of the formed cutting blade. 図８（Ａ）〜図８（Ｃ）は第１実施形態のドレッサーツールで切削ブレードをドレッシングした後の溝の形状の変化を示す断面図、図８（Ａ１）〜図８（Ｃ１）は図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に対応する切削ブレードの先端形状を示す断面図である。8A to 8C are cross-sectional views showing changes in the shape of the groove after dressing the cutting blade with the dresser tool of the first embodiment, and FIGS. 8A1 to 8C1 are diagrams. It is sectional drawing which shows the front-end | tip shape of the cutting blade corresponding to 8 (A)-FIG. 8 (C). 図９（Ａ）は第２実施形態のドレッサーツールで切削ブレードの先端形状を成形する様子を示す断面図、図９（Ｂ）は成形後の切削ブレード先端の断面図である。FIG. 9A is a cross-sectional view showing how the tip shape of the cutting blade is formed with the dresser tool of the second embodiment, and FIG. 9B is a cross-sectional view of the cutting blade tip after forming. 図１０（Ａ）は第３実施形態のドレッサーツールで切削ブレードの先端を成形する様子を示す断面図、図１０（Ｂ）は成形後の切削ブレード先端の断面図である。FIG. 10A is a cross-sectional view showing how the tip of the cutting blade is molded with the dresser tool of the third embodiment, and FIG. 10B is a cross-sectional view of the tip of the cutting blade after molding.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削装置２の斜視図が示されている。切削装置２は、切削装置２の各構造部分を支持するベース４を示している。ベース４の上方には、ベースを覆う外装カバー６が設けられている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, a perspective view of the cutting device 2 is shown. The cutting device 2 shows a base 4 that supports each structural portion of the cutting device 2. An exterior cover 6 that covers the base is provided above the base 4.

外装カバー６の内側には空間が形成されており、この空間内に切削ブレード１０を有する切削ユニット８及びチャックテーブル１２等が配置されている。切削ユニット１０は、図示しない切削ユニット移動機構によってＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動される。   A space is formed inside the exterior cover 6, and a cutting unit 8 having a cutting blade 10, a chuck table 12, and the like are disposed in this space. The cutting unit 10 is moved in the Y-axis direction (index feed direction) by a cutting unit moving mechanism (not shown).

切削ユニット８の下方には、ウェーハ等の被加工物を保持するチャックテーブル１２が配設されている。チャックテーブル１２は、図示しないチャックテーブル移動機構によってＸ軸方向（加工送り方向）に移動し、回転機構によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に平行な回転軸の周りに回転する。   A chuck table 12 that holds a workpiece such as a wafer is disposed below the cutting unit 8. The chuck table 12 moves in the X-axis direction (machining feed direction) by a chuck table moving mechanism (not shown), and rotates around a rotation axis parallel to the vertical direction (Z-axis direction) by a rotating mechanism.

ベース４の前方の角部には、カセットエレベータ１６が配置されている。カセットエレベータ１６の上面には、ウェーハ等の複数の被加工物１１を収容可能なカセット１８が載置される。カセットエレベータ１６は、昇降可能に構成されており、被加工物１１を適切に搬出・搬入できるように、カセット１８の高さを調整する。   A cassette elevator 16 is disposed at the front corner of the base 4. A cassette 18 capable of accommodating a plurality of workpieces 11 such as wafers is placed on the upper surface of the cassette elevator 16. The cassette elevator 16 is configured to be movable up and down, and adjusts the height of the cassette 18 so that the workpiece 11 can be properly carried out and carried in.

外装カバー６の前面６ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチパネル式のモニタ１４が配設されている。このモニタ１４は、上述した切削ユニット８、切削ユニット移動機構、チャックテーブル１２、チャックテーブル移動機構、回転機構、カセットエレベータ１６等と共に、切削装置２の各部を制御するコントローラに接続されている。   A touch panel monitor 14 serving as a user interface is disposed on the front surface 6 a of the exterior cover 6. The monitor 14 is connected to a controller that controls each part of the cutting apparatus 2 together with the cutting unit 8, the cutting unit moving mechanism, the chuck table 12, the chuck table moving mechanism, the rotating mechanism, the cassette elevator 16, and the like described above.

図２を参照すると、切削ブレード１０をスピンドル２４の先端に固定されたブレードマウント２６に装着する様子を示す分解斜視図が示されている。切削ユニット８は、スピンドルハウジング２０中に回転自在に収容されたスピンドル２４を含んでおり、スピンドル２４の先端部にはブレードマウント２６が装着されてナット３４により固定されている。   Referring to FIG. 2, there is shown an exploded perspective view showing how the cutting blade 10 is attached to a blade mount 26 fixed to the tip of the spindle 24. The cutting unit 8 includes a spindle 24 that is rotatably accommodated in a spindle housing 20. A blade mount 26 is attached to the tip of the spindle 24 and is fixed by a nut 34.

ブレードマウント２６は、ボス部２８と、ボス部２８と一体的に形成された固定フランジ３０とから構成されており、ボス部２８の外周には雄ねじ３２が形成されている。固定フランジ３０の外周部には切削ブレード１０に当接して支持する環状の支持面３０ａが形成されている。   The blade mount 26 includes a boss portion 28 and a fixed flange 30 formed integrally with the boss portion 28, and a male screw 32 is formed on the outer periphery of the boss portion 28. An annular support surface 30 a that is in contact with and supported by the cutting blade 10 is formed on the outer peripheral portion of the fixed flange 30.

ブレードマウント２６のボス部２８に切削ブレード１０の装着穴１０ａを挿入し、更に着脱フランジ３６をボス部２８に挿入して、固定ナット３８をブレードマウント２６のボス部２８に形成された雄ねじ３２に螺合して締め付けることにより、切削ブレード１０は、固定フランジ３０の支持面３０ａと着脱フランジ３６の当接面とで両側から挟まれてスピンドル２４の先端部に装着される。   The mounting hole 10 a of the cutting blade 10 is inserted into the boss portion 28 of the blade mount 26, the detachable flange 36 is further inserted into the boss portion 28, and the fixing nut 38 is attached to the male screw 32 formed on the boss portion 28 of the blade mount 26. By screwing and tightening, the cutting blade 10 is sandwiched between the support surface 30a of the fixed flange 30 and the contact surface of the detachable flange 36 from both sides, and is attached to the tip portion of the spindle 24.

切削ブレード１０をスピンドル２４の先端部に装着した後、チャックテーブル１２に保持されたドレッサーツール（ドレッサーボード）を高速回転する切削ブレード１０で切削することにより、切削ブレード１０の外周を真円に整形するのが好ましい。   After the cutting blade 10 is mounted on the tip of the spindle 24, the dresser tool (dresser board) held on the chuck table 12 is cut with the cutting blade 10 rotating at high speed, so that the outer periphery of the cutting blade 10 is shaped into a perfect circle. It is preferable to do this.

図３を参照すると、本発明実施形態に係るドレッサーツール（ドレッサーボード）４０の斜視図が示されている。このドレッサーツール４０は、切削ブレード１０の先端を所望の形状に成形するドレッサーツールであって、その表面４０ａに所望の形状の反転形状の溝４２が互いに平行に複数形成されていることを特徴とする。各溝４２の深さは同一であるのが好ましい。   Referring to FIG. 3, a perspective view of a dresser tool (dresser board) 40 according to an embodiment of the present invention is shown. The dresser tool 40 is a dresser tool for forming the tip of the cutting blade 10 into a desired shape, and a plurality of inverted grooves 42 having a desired shape are formed on the surface 40a in parallel with each other. To do. The depth of each groove 42 is preferably the same.

ドレッサーツール４０は、ダイヤモンド、ＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の超砥粒や、ＷＡ（Ｗｈｉｔｅ Ａｌｕｎｄｕｍ）、ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ Ｃａｒｂｏｒｕｎｄｕｍ）等の一般砥粒をメタルボンド、ビトリファイドボンド、レジンボンド等でシート状に固めてグリーンシートを形成し、このグリーンシートを焼結した後、硬くて丈夫な切り刃を有する切削ブレードで表面４０ａを所定深さ切削することにより製造される。   The dresser tool 40 is made of superabrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride), and general abrasive grains such as WA (White Alundum) and GC (Green Carbonundum) in a sheet form by metal bond, vitrified bond, resin bond, etc. After the green sheet is solidified and sintered, the surface 40a is cut to a predetermined depth with a cutting blade having a hard and strong cutting edge.

このような切削ブレードの一例として、円盤状のＳＵＳプレート（ステンレス鋼板）の外周部先端にダイヤモンド等の超砥粒をニッケルメッキで電着したワッシャータイプのブレードが使用可能である。   As an example of such a cutting blade, a washer type blade in which superabrasive grains such as diamond are electrodeposited by nickel plating at the outer peripheral end of a disc-shaped SUS plate (stainless steel plate) can be used.

代替実施形態として、ドレッサーツール４０に対して吸収性を有する波長（例えば３５５ｎｍ）の比較的パワーの強いレーザービームをドレッサーツール４０の表面４０ａに照射して、アブレーションにより溝４２を形成するようにしてもよい。本実施形態のドレッサーツール４０では、溝４２の断面形状は所定深さ及び所定幅を有する長方形である。尚、ドレッサーツールとしては、軟鋼、ＳＵＳ等を使用してもよい。   As an alternative embodiment, the surface 42a of the dresser tool 40 is irradiated with a relatively strong laser beam having a wavelength that is absorptive to the dresser tool 40 (eg, 355 nm), so that the groove 42 is formed by ablation. Also good. In the dresser tool 40 of this embodiment, the cross-sectional shape of the groove 42 is a rectangle having a predetermined depth and a predetermined width. In addition, you may use mild steel, SUS, etc. as a dresser tool.

以下、ドレッサーツール４０を使用して切削ブレード１０の先端を所望の形状に成形する切削ブレードの成形方法について説明する。まず、図４に示すように、ドレッサーツール４０を外周部が環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴに貼着してドレッサーツールユニットを形成する。   Hereinafter, a method for forming a cutting blade for forming the tip of the cutting blade 10 into a desired shape using the dresser tool 40 will be described. First, as shown in FIG. 4, the dresser tool 40 is adhered to a dicing tape T having an outer peripheral portion attached to the annular frame F to form a dresser tool unit.

このドレッサーツールユニットを、図１に示すカセット１８中に挿入し、カセット１８中から搬出した後搬送ユニットでチャックテーブル１２まで搬送し、図５に示すように、チャックテーブル１２でダイシングテープＴを介してドレッサーツール４０を吸引保持する（保持ステップ）。   The dresser tool unit is inserted into the cassette 18 shown in FIG. 1 and unloaded from the cassette 18 and then transported to the chuck table 12 by the transport unit. As shown in FIG. Then, the dresser tool 40 is sucked and held (holding step).

図５で、切削ブレード１０はホイールカバー４４で覆われており、ホイールカバー４４のパイプ４６は純水等の切削水を供給する切削水供給源に接続されている。パイプ４６は切削ブレード１０を挟むように設置された切削水ノズル４８に接続されている。しかし、ドレッサーツール４０による切削ブレード１０の先端形状成形時には切削水ノズル４８から切削水を供給せずに切削ブレードのドレッシングを実施する。尚、必要に応じて切削水を供給してもよい。   In FIG. 5, the cutting blade 10 is covered with a wheel cover 44, and a pipe 46 of the wheel cover 44 is connected to a cutting water supply source that supplies cutting water such as pure water. The pipe 46 is connected to a cutting water nozzle 48 installed so as to sandwich the cutting blade 10. However, when the tip shape of the cutting blade 10 is formed by the dresser tool 40, the cutting blade is dressed without supplying cutting water from the cutting water nozzle 48. In addition, you may supply cutting water as needed.

次いで、図５及び図６に示すように、切削ブレード１０を矢印Ｒ１方向に高速回転させながら溝４２の深さより浅い切り込み深さで、チャックテーブル１２に保持されたドレッサーツール４０の第１の溝４２に切り込み、ドレッサーツール４０を保持したチャックテーブル１２を図６で矢印Ｘ１方向に加工送りすることにより、切削ブレード１０でドレッサーツール４０を切削し、切削ブレード１０の先端形状を修正する（修正ステップ）。   Next, as shown in FIGS. 5 and 6, the first groove of the dresser tool 40 held on the chuck table 12 with a cutting depth shallower than the depth of the groove 42 while rotating the cutting blade 10 at a high speed in the direction of the arrow R1. The chuck table 12 holding the dresser tool 40 is cut and fed in the direction of arrow X1 in FIG. 6 to cut the dresser tool 40 with the cutting blade 10 and correct the tip shape of the cutting blade 10 (correction step). ).

この修正ステップを実施することにより、ドレッサーツール４０の第１の溝４２部分が切削されて溝４２の先端部分を除いて切削ブレード１０の幅と概略同様な幅を有する切削溝が形成される。切削ブレード１０の先端部両側面はドレッサーツール４０により多少削られる。   By performing this correction step, the first groove 42 portion of the dresser tool 40 is cut to form a cutting groove having a width substantially similar to the width of the cutting blade 10 except for the tip portion of the groove 42. Both side surfaces of the tip of the cutting blade 10 are slightly cut by the dresser tool 40.

修正ステップを実施した後、第１の溝４２と異なる第２の溝４２に切削ブレード１０を修正ステップと同一の切り込み深さで切り込ませ、チャックテーブル１２を矢印Ｘ１方向に加工送りすることにより、切削ブレード１０の先端形状を再修正する再修正ステップを実施する。   After performing the correction step, the cutting blade 10 is cut into the second groove 42 different from the first groove 42 with the same cutting depth as the correction step, and the chuck table 12 is processed and fed in the direction of the arrow X1. Then, a recorrection step for recorrecting the tip shape of the cutting blade 10 is performed.

この再修正ステップを複数回実施した後のドレッサーツール４０の溝４２の形状が図８（Ａ）に示されている。ドレッサーツール４０が溝４２の先端部分を除いて切削ブレード４０で切削されて、幅の広い溝４２ａが形成される。   The shape of the groove 42 of the dresser tool 40 after the re-correction step is performed a plurality of times is shown in FIG. The dresser tool 40 is cut by the cutting blade 40 except for the tip portion of the groove 42 to form a wide groove 42a.

この時の切削ブレード１０の先端形状は図８（Ａ１）に示されており、溝４２ａに対応して切削ブレード１０の先端部分の側面が削られており、先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成されている。   The tip shape of the cutting blade 10 at this time is shown in FIG. 8 (A1), the side surface of the tip portion of the cutting blade 10 is cut corresponding to the groove 42a, and the tip corresponds to the shape of the groove 42. A convex portion 10b is formed.

再修正ステップを更に複数回繰り返した後には、図８（Ｂ）に示すように、ドレッサーツール４０が切削ブレード１０で切削されることにより、ドレッサーツール４０の表面４０ａ近傍には溝４２の幅よりも幅の広い溝４２ｂが形成される。この再修正ステップ終了後の切削ブレード１０の形状は、図８（Ｂ１）に示すような形状になっており、先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成される。   After the re-correction step is repeated a plurality of times, the dresser tool 40 is cut with the cutting blade 10 as shown in FIG. A wider groove 42b is formed. The shape of the cutting blade 10 after the completion of this re-correction step is a shape as shown in FIG. 8B1, and a convex portion 10b corresponding to the shape of the groove 42 is formed at the tip.

再修正ステップを溝４２を変えて更に複数回繰り返した後には、図８（Ｃ）に示すように、ドレッサーツール４０は切削ブレード１０により切削されて、ドレッサーツール４０の表面４０ａ近傍に溝４２に接続する図８（Ｂ）に示した溝４２ｂよりも幅の狭い溝４２ｃが形成される。   After repeating the re-correction step a plurality of times after changing the groove 42, the dresser tool 40 is cut by the cutting blade 10 to form the groove 42 in the vicinity of the surface 40 a of the dresser tool 40 as shown in FIG. A groove 42c narrower than the groove 42b shown in FIG. 8B to be connected is formed.

この再修正ステップ終了後の切削ブレード１０の先端形状は、図８（Ｃ１）に示すように、切削ブレード１０の先端に溝４２の形状に対応する凸部１０ｂが形成されたものとなる。   The tip shape of the cutting blade 10 after the completion of this re-correction step is such that a convex portion 10b corresponding to the shape of the groove 42 is formed at the tip of the cutting blade 10, as shown in FIG.

再修正ステップを更に複数回繰り返すことにより、図７（Ａ）に示すように、ドレッサーツール４０の溝４２は切削ブレード１０によりほとんど切削されずに、元の溝４２の形状に概略対応した状態として残存する。これで再修正ステップは終了したこととなり、図７（Ｂ）に示すように、切削ブレード１０の先端を所定長さの凸部１０ｂを有する所望の形状に成形することができる。   By repeating the re-correction step a plurality of times, the groove 42 of the dresser tool 40 is hardly cut by the cutting blade 10 as shown in FIG. Remains. This completes the re-correction step, and as shown in FIG. 7B, the tip of the cutting blade 10 can be formed into a desired shape having a convex portion 10b of a predetermined length.

以下、本発明実施例に係る切削ブレードの先端形状成形方法について説明する。   Hereinafter, a method for forming a tip shape of a cutting blade according to an embodiment of the present invention will be described.

（実施例１）
切削ブレード ：♯８００のダイヤモンド砥粒のレジンブレード
厚さ ：０．３ｍｍ
ドレッサーツール ：ＷＡ♯１０００（ビトリファイドボンド）
溝幅 ：０．１ｍｍ
溝深さ ：０．７ｍｍ Example 1
Cutting blade: Resin blade of # 800 diamond abrasive grain Thickness: 0.3 mm
Dresser tool: WA # 1000 (Vitrified Bond)
Groove width: 0.1 mm
Groove depth: 0.7 mm

（加工条件）
スピンドル回転数 ：２００００ｒｐｍ
加工送り速度 ：０．５ｍｍ／ｓ
切り込み深さ ：０．５ｍｍ
溝のカット本数 ：５０本 (Processing conditions)
Spindle speed: 20000 rpm
Processing feed rate: 0.5 mm / s
Cutting depth: 0.5mm
Number of grooves cut: 50

上述した条件でドレッサーツール４０で切削ブレード１０の先端を成形したところ、図７（Ｂ）に示すような溝４２の幅に対応する０．１ｍｍの幅を有し突出長さ０．５ｍｍの凸部１０ｂを、切削ブレード１０の先端に成形することができた。 When the tip of the cutting blade 10 is molded with the dresser tool 40 under the above-described conditions, a protrusion having a width of 0.1 mm corresponding to the width of the groove 42 as shown in FIG. The part 10b could be formed at the tip of the cutting blade 10.

所望の形状は図７に示す長方形状に限定されるものではなく、例えば図９（Ａ）に示すような溝４２Ａの形状を有するドレッサーツール４０Ａで切削ブレード１０の先端を成形すると、図９（Ｂ）に示すように、切削ブレード１０Ａの先端を溝４２Ａの形状に対応する凸部１０ｃに成形することができる。   The desired shape is not limited to the rectangular shape shown in FIG. 7. For example, when the tip of the cutting blade 10 is formed with a dresser tool 40A having the shape of the groove 42A as shown in FIG. As shown in B), the tip of the cutting blade 10A can be formed into a convex portion 10c corresponding to the shape of the groove 42A.

更に、他の実施形態として、図１０（Ａ）に示すような溝形状４２Ｂを有するドレッサーツール４０Ｂで切削ブレード１０の先端を成形することにより、切削ブレード１０Ｂの先端形状を図１０（Ｂ）に示すような凸部１０ｄに成形することができる。   Furthermore, as another embodiment, the tip shape of the cutting blade 10B is formed as shown in FIG. 10B by forming the tip of the cutting blade 10 with a dresser tool 40B having a groove shape 42B as shown in FIG. It can shape | mold into the convex part 10d as shown.

尚、比較的長いドレッサーツールに所定形状の溝を形成し、切削ブレード１０を切削することで１回の切削で切削ブレード１０の先端を所望の形状にすることもできる。   In addition, the groove | channel of a predetermined shape is formed in a comparatively long dresser tool, and the front-end | tip of the cutting blade 10 can also be made into a desired shape by one cutting by cutting the cutting blade 10. FIG.

２ 切削装置
８ 切削ユニット
１０ 切削ブレード
１２ チャックテーブル
２４ スピンドル
２６ ブレードマウント
３０ 固定フランジ
３６ 着脱フランジ
４０ ドレッサーツール
４２ 溝 2 Cutting device 8 Cutting unit 10 Cutting blade 12 Chuck table 24 Spindle 26 Blade mount 30 Fixed flange 36 Detachable flange 40 Dresser tool 42 Groove

Claims (2)

ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、
該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が形成されており、
該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、
該切削ブレードを高速回転させながら該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成する成形ステップと、
を備えたことを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法。 Use de Lesser tool tip of the cutting blade to a tip shape forming method of the cutting blade for molding into a desired shape,
In the dresser tool, a groove having an inverted shape of the desired shape is formed,
A holding step of sucking and holding the dresser tool with a chuck table;
While the the cutting blade is rotated at high speed so cut into the groove of the dresser tool held on the chuck table, by relatively moving the said dresser tool held in the cutting blade and the chuck table, the A molding step for forming a protrusion corresponding to the shape of the groove at the tip of the cutting blade ;
A method for forming a tip shape of a cutting blade. ドレッサーツールを使用して切削ブレードの先端を所望の形状に成形する切削ブレードの先端形状成形方法であって、
該ドレッサーツールには、該所望の形状の反転形状の溝が互いに平行に複数形成されており、
該ドレッサーツールをチャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、
該切削ブレードを高速回転させながら該溝の深さより浅い切り込み深さで該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールの第１の溝に切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を修正する修正ステップと、
該第１の溝と異なる第２の溝に該切削ブレードを該切り込み深さで切り込ませ、該切削ブレードと該チャックテーブルに保持された該ドレッサーツールとを相対的に移動させることによって、該切削ブレードの先端形状を再修正する再修正ステップと、を備え、
切り込ませる溝を変えて該再修正ステップを複数回繰り返すことにより、該切削ブレードの先端に該溝の形状に対応する凸部を形成することを特徴とする切削ブレードの先端形状成形方法。 Use de Lesser tool tip of the cutting blade to a tip shape forming method of the cutting blade for molding into a desired shape,
In the dresser tool, a plurality of inverted grooves of the desired shape are formed in parallel to each other,
A holding step of sucking and holding the dresser tool with a chuck table;
While the cutting blade is rotated at a high speed, the cutting blade is cut into a first groove of the dresser tool held at the chuck table at a cutting depth shallower than the depth of the groove, and the cutting blade and the chuck table are held by the cutting blade. A correction step of correcting the tip shape of the cutting blade by relatively moving the dresser tool;
Cutting the cutting blade into the second groove different from the first groove at the cutting depth, and relatively moving the cutting blade and the dresser tool held by the chuck table; A re-correction step for re-correcting the tip shape of the cutting blade,
A cutting blade tip shape forming method, wherein a convex portion corresponding to the shape of the groove is formed at the tip of the cutting blade by changing the groove to be cut and repeating the re-correction step a plurality of times.
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