JP2017213613A - Dresser board and dressing method - Google Patents

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dresser board
cutting
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dress
cutting blade
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倫太郎 茶野
Rintaro Chano
倫太郎 茶野
祐二 植村
Yuji Uemura
祐二 植村
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株式会社ディスコ
Disco Abrasive Syst Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably suction and hold a dresser board onto a chuck table.SOLUTION: A dresser board (55), which dresses a cutting blade (42) for cutting workpieces (W), comprises: a dress part (56) having a flat plate shape; and an annular rib part (57) protruding along an outer peripheral edge of the dress part from a rear surface of the dress part. In the structure, rigidity of the dresser board is improved by the annular rib part. Thus, even if only a surface of the dress part is scraped in dressing of the cutting blade, warpage of the dresser board can be inhibited by the annular rib part.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、切削ブレードの先端をドレスするドレッサーボード及びドレス方法に関する。   The present invention relates to a dresser board for dressing the tip of a cutting blade and a dressing method.
IC、LSI等のデバイスが形成されたウエーハには、製造工程中における割れや発塵防止のためにウエーハの外周に面取り加工が施されている。このため、ウエーハの厚みが薄くなるまで研削されると、ウエーハの外周の面取り部分がナイフエッジ状(ひさし状)になり、外周側から欠けが生じてウエーハが破損するという問題があった。そこで、研削加工に先だって、ナイフエッジになりうる面取り部分を切削ブレードで周方向に切削して除去した後に、ウエーハの裏面を研削することでナイフエッジを残さないようにする技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   A wafer formed with a device such as an IC or LSI is chamfered on the outer periphery of the wafer in order to prevent cracking and dust generation during the manufacturing process. For this reason, when the wafer is ground until the thickness is reduced, the chamfered portion of the outer periphery of the wafer becomes a knife edge shape (eave shape), and there is a problem that the wafer is broken due to chipping from the outer peripheral side. Therefore, prior to grinding, a technique has been proposed in which a chamfered portion that can become a knife edge is removed by cutting in a circumferential direction with a cutting blade, and then the back surface of the wafer is ground to leave no knife edge. (For example, refer to Patent Document 1).
ここで、切削ブレードでウエーハの面取り部分を周方向に切削すると、切削ブレードの先端のうち切削に寄与する片面側の消耗が激しく、切削ブレードの両面の摩耗量に差が生じて偏摩耗が発生する。切削ブレードの先端に偏摩耗が発生すると、切削精度が低下するので、偏摩耗が進む前に定期的に切削ブレードの先端をドレッサーボードでフラットに整形するフラットドレスが行われている。フラットドレスでは、ドレッサーボードと切削ブレードが切削方向と直交する水平方向に相対移動されることで、切削ブレードの先端形状がフラットに整形される(例えば、特許文献2参照)。   Here, if the chamfered portion of the wafer is cut in the circumferential direction with the cutting blade, the wear on one side of the cutting blade tip that contributes to cutting is intense, causing a difference in the amount of wear on both sides of the cutting blade, resulting in uneven wear To do. If uneven wear occurs at the tip of the cutting blade, the cutting accuracy decreases. Therefore, before the uneven wear progresses, a flat dress is formed in which the tip of the cutting blade is shaped flat with a dresser board. In the flat dress, the tip shape of the cutting blade is shaped into a flat shape by relatively moving the dresser board and the cutting blade in a horizontal direction orthogonal to the cutting direction (see, for example, Patent Document 2).
特開2000−173961号公報JP 2000-173961 A 特開2013−082021号公報JP 2013-082021 A
ところで、特許文献2のドレッサーボードは、ウエーハ用のチャックテーブルの近辺に配置されたサブのチャックテーブル上に吸引保持される。フラットドレスによってドレッサーボードの表面側だけが切削ブレードで削られると、ドレッサーボードが反り易くなり、反りが激しい場合にはドレッサーボードをチャックテーブルで吸引保持できなくなるという問題があった。   By the way, the dresser board of Patent Document 2 is sucked and held on a sub chuck table disposed in the vicinity of a wafer chuck table. When only the surface side of the dresser board is cut by the flat dress with the cutting blade, the dresser board tends to warp, and when the warp is severe, the dresser board cannot be sucked and held by the chuck table.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、チャックテーブルに安定して吸引保持することができるドレッサーボード及びドレッサーボードを用いたドレス方法を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a dresser board that can be stably sucked and held on a chuck table and a dressing method using the dresser board.
本発明のドレッサーボードは、被加工物を切削する切削ブレードをドレスするドレッサーボードであって、平板形状のドレス部と、該ドレス部の外周縁に沿って裏面側に突出して形成された環状リブ部と、から形成される。   The dresser board according to the present invention is a dresser board for dressing a cutting blade for cutting a workpiece, and is formed of a flat plate-shaped dress portion and an annular rib projecting to the back surface side along the outer peripheral edge of the dress portion. Part.
この構成によれば、ドレス部の外周縁に沿って環状リブ部が突出しており、環状リブ部をチャックテーブルの外周側に係合させるようにして、チャックテーブルにドレッサーボードが吸引保持される。ドレッサーボードが環状リブ部によって剛性が高められているため、切削ブレードのドレスによってドレス部の表面だけが削られても、環状リブ部によってドレッサーボードの反りが抑えられている。よって、吸引不良を起こすことなくチャックテーブルにドレッサーボードを安定して吸引保持することができる。   According to this configuration, the annular rib portion protrudes along the outer peripheral edge of the dress portion, and the dresser board is sucked and held by the chuck table so that the annular rib portion is engaged with the outer peripheral side of the chuck table. Since the rigidity of the dresser board is enhanced by the annular rib portion, even when only the surface of the dress portion is scraped by the dress of the cutting blade, the curvature of the dresser board is suppressed by the annular rib portion. Therefore, the dresser board can be stably sucked and held on the chuck table without causing suction failure.
本発明のドレス方法は、上記のドレッサーボードの該ドレス部と同等の外径を有するチャックテーブルの平坦な保持面に、上記のドレッサーボードの該環状リブ部をチャックテーブルに係合して該ドレス部の裏面側を当接して吸引保持する載置ステップと、該チャックテーブルの該保持面に載置されたドレッサーボードの表面を、回転する切削ブレードで切り込みドレッシングを行うドレッシングステップと、から構成される。   According to the dressing method of the present invention, the annular rib portion of the dresser board is engaged with the chuck table on the flat holding surface of the chuck table having the same outer diameter as the dress portion of the dresser board. And a dressing step for cutting and dressing the surface of the dresser board placed on the holding surface of the chuck table with a rotating cutting blade. The
本発明によれば、ドレス部の外周縁に沿って環状リブ部が突出しているため、チャックテーブルにドレッサーボードを安定して吸引保持することができる。   According to the present invention, since the annular rib portion protrudes along the outer peripheral edge of the dress portion, the dresser board can be stably sucked and held on the chuck table.
本実施の形態の切削装置の斜視図である。It is a perspective view of the cutting device of this Embodiment. 本実施の形態のドレッサーボードの斜視図である。It is a perspective view of the dresser board of this Embodiment. 本実施の形態のドレッサーボードとサブチャックテーブルの斜視図である。It is a perspective view of a dresser board and a sub chuck table according to the present embodiment. 本実施の形態のドレス方法の説明図である。It is explanatory drawing of the dressing method of this Embodiment. 変形例のドレッサーボードの模式図である。It is a schematic diagram of the dresser board of a modification. 他の変形例のドレッサーボードの模式図である。It is a schematic diagram of the dresser board of another modification.
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の切削装置について説明する。図1は、本実施の形態の切削装置の斜視図である。なお、ここではエッジトリミング用の切削装置を例示して説明するが、切削装置は本実施の形態のドレッサーボードを装着可能な構成であればよく、図1に示す構成に限定されない。図1においては、説明の便宜上、一部の部材については省略して記載しているが、切削装置が通常備える構成については備えているものとする。   Hereinafter, the cutting apparatus of the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of the cutting apparatus of the present embodiment. Here, the cutting device for edge trimming will be described as an example. However, the cutting device is not limited to the configuration shown in FIG. 1 as long as the dresser board of the present embodiment can be mounted. In FIG. 1, for convenience of explanation, some members are omitted and described, but it is assumed that the configuration normally provided in the cutting apparatus is provided.
図1に示すように、切削装置1は、チャックテーブル20に保持された被加工物Wの外周を切削ブレード42でエッジトリミングし、エッジトリミングによって摩耗した切削ブレード42の先端をドレッサーボード55でフラットドレスするように構成されている。被加工物Wの表面は格子状の分割予定ラインLによって複数の領域に区画されており、分割予定ラインLに区画された各領域にはデバイスDが形成されている。また、被加工物Wは、リングフレームFの内側でダイシングテープTに貼着されており、ダイシングテープTを介してリングフレームFに支持された状態で切削装置1に搬入される。   As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 performs edge trimming with the cutting blade 42 on the outer periphery of the workpiece W held on the chuck table 20, and flattenes the tip of the cutting blade 42 worn by edge trimming with the dresser board 55. Configured to dress. The surface of the workpiece W is divided into a plurality of regions by a grid-like division planned line L, and a device D is formed in each region divided into the division planned lines L. The workpiece W is adhered to the dicing tape T inside the ring frame F, and is carried into the cutting apparatus 1 while being supported by the ring frame F via the dicing tape T.
なお、被加工物Wは、切削装置1の切削対象となる部材であればよく、特に材質は限定されない。被加工物Wは、例えばシリコン、ガリウム砒素等の半導体基板にIC、LSI等の半導体デバイスが形成された半導体ウエーハでもよいし、サファイア、炭化ケイ素等の無機材料基板にLED等の光デバイスが形成された光デバイスウエーハでもよい。さらに、被加工物Wは、CSP(Chip Size Package)基板等のパッケージ基板、プリント基板、金属基板等でもよいし、ウエーハの裏面に貼着されるDAF(Die Attach Film)等の粘着テープでもよい。   In addition, the workpiece W should just be a member used as the cutting object of the cutting apparatus 1, and a material in particular is not limited. The workpiece W may be a semiconductor wafer in which a semiconductor device such as IC or LSI is formed on a semiconductor substrate such as silicon or gallium arsenide, or an optical device such as an LED is formed on an inorganic material substrate such as sapphire or silicon carbide. An optical device wafer may be used. Further, the workpiece W may be a package substrate such as a CSP (Chip Size Package) substrate, a printed circuit board, a metal substrate, or the like, or an adhesive tape such as DAF (Die Attach Film) adhered to the back surface of the wafer. .
切削装置1の基台10の上面には、X軸方向に延在するように開口が形成されており、この開口はチャックテーブル20と共に移動可能な移動板11及び蛇腹状の防水カバー12に覆われている。防水カバー12の下方には、チャックテーブル20をX軸方向に切削送りするボールねじ式の切削送り機構(不図示)が設けられている。チャックテーブル20の表面には、多孔質のポーラス材によって被加工物Wを保持する保持面21が形成されている。保持面21はチャックテーブル20内の流路を通じて吸引源(不図示)に接続されており、保持面21に生じる負圧によって被加工物Wが吸引保持される。   An opening is formed on the upper surface of the base 10 of the cutting apparatus 1 so as to extend in the X-axis direction. This opening is covered with a movable plate 11 and a bellows-shaped waterproof cover 12 that can move together with the chuck table 20. It has been broken. A ball screw type cutting feed mechanism (not shown) for cutting and feeding the chuck table 20 in the X-axis direction is provided below the waterproof cover 12. On the surface of the chuck table 20, a holding surface 21 for holding the workpiece W is formed by a porous porous material. The holding surface 21 is connected to a suction source (not shown) through a flow path in the chuck table 20, and the workpiece W is sucked and held by the negative pressure generated on the holding surface 21.
基台10の上面に立設された門型の立壁部13には、切削手段40をY軸方向にインデックス送りするインデックス送り機構30と、各切削手段40をZ軸方向に切込み送りする切り込み送り機構35とが設けられている。インデックス送り機構30は、立壁部13の前面に配置されたY軸方向に平行な一対のガイドレール31と、一対のガイドレール31にスライド可能に設置されたY軸テーブル32とを有している。切り込み送り機構35は、Y軸テーブル32上に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール36と、一対のガイドレール36にスライド可能に設置されたZ軸テーブル37とを有している。   An index-feeding mechanism 30 for index-feeding the cutting means 40 in the Y-axis direction and a notch-feed for cutting-feeding each cutting means 40 in the Z-axis direction are provided on the gate-like standing wall portion 13 erected on the upper surface of the base 10 A mechanism 35 is provided. The index feed mechanism 30 has a pair of guide rails 31 arranged in front of the standing wall portion 13 and parallel to the Y-axis direction, and a Y-axis table 32 slidably installed on the pair of guide rails 31. . The cutting feed mechanism 35 has a pair of guide rails 36 arranged on the Y-axis table 32 and parallel to the Z-axis direction, and a Z-axis table 37 slidably installed on the pair of guide rails 36. .
Z軸テーブル37の下部には、被加工物Wを切削する切削手段40が設けられている。Y軸テーブル32およびZ軸テーブル37の背面側には、それぞれナット部が形成され、これらナット部にボールネジ33、38が螺合されている。Y軸テーブル32用のボールネジ33、Z軸テーブル37用のボールネジ38の一端部には、それぞれ駆動モータ34、39が連結されている。駆動モータ34、39により、それぞれのボールネジ33、38が回転駆動されることで、切削手段40がガイドレール31に沿ってY軸方向に移動されると共に、ガイドレール36に沿ってZ軸方向に移動される。   A cutting means 40 for cutting the workpiece W is provided below the Z-axis table 37. Nuts are formed on the back sides of the Y-axis table 32 and the Z-axis table 37, and ball screws 33 and 38 are screwed to these nuts. Drive motors 34 and 39 are connected to one end of a ball screw 33 for the Y-axis table 32 and a ball screw 38 for the Z-axis table 37, respectively. When the ball screws 33 and 38 are driven to rotate by the drive motors 34 and 39, the cutting means 40 is moved along the guide rail 31 in the Y-axis direction, and along the guide rail 36 in the Z-axis direction. Moved.
切削手段40は、ハウジング41から突出したスピンドル(不図示)の先端に切削ブレード42を回転可能に装着して構成される。切削ブレード42は、ダイヤモンド等の砥粒をボンド剤で結合(焼結)して円板状に形成されている。なお、切削ブレード42は、ハブ基台の外周にリング状の切削砥石を固定したハブブレードでもよいし、リング状の切削砥石で構成されたワッシャブレードでもよい。また、チャックテーブル20の近辺にはサブチャックテーブル(チャックテーブル)50が設けられており、サブチャックテーブル50には切削ブレード42の先端のフラットドレスに使用されるドレッサーボード55が吸引保持されている。   The cutting means 40 is configured by rotatably mounting a cutting blade 42 on the tip of a spindle (not shown) protruding from the housing 41. The cutting blade 42 is formed in a disc shape by bonding (sintering) abrasive grains such as diamond with a bonding agent. The cutting blade 42 may be a hub blade in which a ring-shaped cutting grindstone is fixed to the outer periphery of the hub base, or may be a washer blade constituted by a ring-shaped cutting grindstone. A sub chuck table (chuck table) 50 is provided in the vicinity of the chuck table 20, and a dresser board 55 used for a flat dress at the tip of the cutting blade 42 is sucked and held on the sub chuck table 50. .
このように構成された切削装置1では、被加工物Wの外周の面取り部分に切削ブレード42が位置合わせされ、切削ブレード42によって被加工物Wの表面側が切り込まれる。そして、チャックテーブル20が1回転することで、被加工物Wの外周部分が全周に亘って切削されてされる。このとき、後段の研削工程での被加工物Wの仕上げ厚みよりも深く切削ブレード42で切り込まれているため、研削工程で被加工物Wが仕上げ厚みまで薄化されても、被加工物Wの外周の面取り部分がナイフエッジ状に残ることがない。よって、研削後の被加工物Wの欠け等による破損が防止される。   In the cutting apparatus 1 configured as described above, the cutting blade 42 is aligned with the chamfered portion of the outer periphery of the workpiece W, and the surface side of the workpiece W is cut by the cutting blade 42. And the outer peripheral part of the to-be-processed object W is cut over the perimeter by the chuck table 20 making 1 rotation. At this time, since the cutting blade 42 cuts deeper than the finished thickness of the workpiece W in the subsequent grinding process, the workpiece is processed even if the workpiece W is thinned to the finished thickness in the grinding process. The chamfered portion of the outer periphery of W does not remain in a knife edge shape. Therefore, damage due to chipping or the like of the workpiece W after grinding is prevented.
ところで、被加工物Wの外周の切削時には、切削ブレード42の切削に寄与した片面側から消耗し始めて先端形状が崩れるため、ドレッサーボード55によって定期的に切削ブレード42の先端がフラットドレスされる。フラットドレスでは、ドレッサーボード55の表面で切削ブレード42の先端形状が整えられる一方で、切削ブレード42によってドレッサーボード55の表面に切削痕59(図4C参照)が形成される。このため、一般的な平板形状のドレッサーボードの場合には、ドレッサーボードの表裏の応力バランスが崩れて反りが生じ、サブチャックテーブル50でドレッサーボード55を吸引保持できなくなる場合がある。   By the way, at the time of cutting the outer periphery of the workpiece W, the tip of the cutting blade 42 is periodically dressed by the dresser board 55 because the tip shape collapses from the one side that contributed to the cutting of the cutting blade 42. In the flat dress, the tip shape of the cutting blade 42 is adjusted on the surface of the dresser board 55, while a cutting mark 59 (see FIG. 4C) is formed on the surface of the dresser board 55 by the cutting blade 42. For this reason, in the case of a general flat plate-shaped dresser board, the stress balance between the front and back sides of the dresser board is broken and warping occurs, and the dresser board 55 may not be sucked and held by the sub-chuck table 50 in some cases.
そこで、本実施の形態のドレッサーボード55の外周縁に環状リブ部57(図2参照)を設けて、ドレッサーボード55の剛性を高めるようにしている。これにより、フラットドレスによってドレッサーボード55の表面側が削られても、環状リブ部57によってドレッサーボード55の反りが抑えられて、サブチャックテーブル50でドレッサーボード55を安定して吸引保持することが可能になっている。   Therefore, an annular rib portion 57 (see FIG. 2) is provided on the outer peripheral edge of the dresser board 55 of the present embodiment so as to increase the rigidity of the dresser board 55. Thereby, even if the surface side of the dresser board 55 is cut by the flat dress, the warp of the dresser board 55 is suppressed by the annular rib portion 57, and the dresser board 55 can be stably sucked and held by the sub chuck table 50. It has become.
以下、図2及び図3を参照して、本実施の形態のドレッサーボードについて説明する。図2は、本実施の形態のドレッサーボードの斜視図である。図3は、本実施の形態のドレッサーボードとサブチャックテーブルの斜視図である。   Hereinafter, the dresser board according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a perspective view of the dresser board according to the present embodiment. FIG. 3 is a perspective view of the dresser board and sub-chuck table according to the present embodiment.
図2に示すように、ドレッサーボード55は、切削ブレード42(図4B参照)の先端の形状をドレスして整形するものであり、ホワイトアランダム(WA)、グリーンカーボン(GC)等の砥粒をメタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等のボンド剤で結合(焼結)して成形されている。ドレッサーボード55は、円板形状のドレス部56の外周縁に沿って裏面側に環状リブ部57を突出させて、ドレス部56を環状リブ部57で補強してボード全体の剛性を高めている。これにより、切削ブレード42のドレス時にドレス部56の表面が削られても、ドレッサーボード55が反り難くなっている。   As shown in FIG. 2, the dresser board 55 dresses and shapes the tip of the cutting blade 42 (see FIG. 4B), and abrasive grains such as white alundum (WA) and green carbon (GC). Are bonded (sintered) with a bonding agent such as a metal bond, a resin bond, or a vitrified bond. The dresser board 55 has an annular rib portion 57 protruding on the back surface along the outer peripheral edge of the disk-shaped dress portion 56, and the dress portion 56 is reinforced by the annular rib portion 57 to increase the rigidity of the entire board. . Thereby, even if the surface of the dress part 56 is shaved when the cutting blade 42 is dressed, the dresser board 55 is difficult to warp.
図3に示すように、サブチャックテーブル50は、ドレッサーボード55の環状リブ部57の内径よりも小さな外径であり、ドレッサーボード55を上方から被せることができるように形成されている。サブチャックテーブル50の上面は、多孔質のポーラス材によってドレッサーボード55を保持する保持面51になっている。保持面51はサブチャックテーブル50内の流路を通じて吸引源(不図示)に接続されており、保持面51に生じる負圧によってドレッサーボード55が吸引保持される。また、サブチャックテーブル50は、回転駆動機構(不図示)に接続されており、回転駆動機構よってZ軸回りに所定角度ずつ間欠回転される。   As shown in FIG. 3, the sub-chuck table 50 has an outer diameter smaller than the inner diameter of the annular rib portion 57 of the dresser board 55, and is formed so that the dresser board 55 can be covered from above. The upper surface of the sub-chuck table 50 is a holding surface 51 that holds the dresser board 55 with a porous porous material. The holding surface 51 is connected to a suction source (not shown) through a flow path in the sub chuck table 50, and the dresser board 55 is sucked and held by the negative pressure generated on the holding surface 51. The sub chuck table 50 is connected to a rotation drive mechanism (not shown), and is intermittently rotated by a predetermined angle around the Z axis by the rotation drive mechanism.
このようなドレッサーボード55は、ドレス部56の上面に切削ブレード42に対するドレス領域58が放射状に確保されており、サブチャックテーブル50が間欠回転することで切削ブレード42に対してドレス領域58が順番に位置付けられる。具体的には、ドレス部56の1つのドレス領域58に切削痕59(図4C参照)が形成されると、サブチャックテーブル50が所定角度だけ回転されて、ドレッサーボード55の未切削箇所が切削ブレード42に位置付けられる。ドレッサーボード55の表面には切削痕59が放射状に形成されるが、環状リブ部57によってドレッサーボード55の反りが抑えられてサブチャックテーブル50で吸引不良が生じることがない。   In such a dresser board 55, the dress area 58 for the cutting blade 42 is radially secured on the upper surface of the dressing portion 56, and the dress area 58 is in turn with respect to the cutting blade 42 as the sub chuck table 50 rotates intermittently. Positioned on. Specifically, when a cut mark 59 (see FIG. 4C) is formed in one dress region 58 of the dress portion 56, the sub chuck table 50 is rotated by a predetermined angle, and an uncut portion of the dresser board 55 is cut. Positioned on the blade 42. Cutting marks 59 are radially formed on the surface of the dresser board 55, but warpage of the dresser board 55 is suppressed by the annular rib portion 57, and suction failure does not occur in the sub chuck table 50.
図4を参照して、本実施の形態のドレス方法について説明する。図4は、本実施の形態のドレス方法の説明図である。なお、以下に示す切削動作の一例を示すものであり、適宜変更が可能である。   With reference to FIG. 4, the dressing method of this Embodiment is demonstrated. FIG. 4 is an explanatory diagram of the dressing method of the present embodiment. In addition, it shows an example of the cutting operation shown below, and can be changed as appropriate.
図4Aに示すように、切削装置1(図1参照)の稼働前に載置ステップが実施される。載置ステップでは、サブチャックテーブル50がドレッサーボード55のドレス部56と同等の外径を有しており、サブチャックテーブル50の外周面に環状リブ部57を係合させるようにしてサブチャックテーブル50にドレッサーボード55が被せられる。そして、サブチャックテーブル50の平坦な保持面51にドレッサーボード55のドレス部56の裏面側が当接されることで、サブチャックテーブル50によってドレッサーボード55が吸引保持される。このように、サブチャックテーブル50の上部全体を覆うようにドレッサーボード55が配置される。   As shown in FIG. 4A, the placing step is performed before the cutting apparatus 1 (see FIG. 1) is operated. In the placing step, the sub chuck table 50 has the same outer diameter as the dressing portion 56 of the dresser board 55, and the sub rib table 57 is engaged with the outer peripheral surface of the sub chuck table 50. 50 is covered with a dresser board 55. The dresser board 55 is sucked and held by the sub-chuck table 50 by bringing the back side of the dressing portion 56 of the dresser board 55 into contact with the flat holding surface 51 of the sub-chuck table 50. In this way, the dresser board 55 is disposed so as to cover the entire upper portion of the sub chuck table 50.
図4Bに示すように、切削装置1が稼働されると切削ステップが実施される。切削ステップでは、被加工物Wの中心がチャックテーブル20の回転軸に一致するように、チャックテーブル20上に被加工物Wが保持される。切削ブレード42が被加工物Wの外周の面取り部分の上方に位置付けられて、噴射ノズル(不図示)から切削水が噴射されると共に切削ブレード42によって被加工物Wの面取り部分が切り込まれる。そして、チャックテーブル20がZ軸回りに回転することで、切削ブレード42によって被加工物Wの外周に沿って面取り部分が切削される。   As shown in FIG. 4B, a cutting step is performed when the cutting apparatus 1 is operated. In the cutting step, the workpiece W is held on the chuck table 20 so that the center of the workpiece W coincides with the rotation axis of the chuck table 20. The cutting blade 42 is positioned above the chamfered portion on the outer periphery of the workpiece W, and cutting water is sprayed from an injection nozzle (not shown), and the chamfered portion of the workpiece W is cut by the cutting blade 42. Then, the chamfered portion is cut along the outer periphery of the workpiece W by the cutting blade 42 as the chuck table 20 rotates around the Z axis.
図4Cに示すように、切削ステップで切削ブレード42の先端が偏摩耗し始めるとドレッシングステップが実施される。ドレッシングステップでは、サブチャックテーブル50(図3参照)の保持面51に載置されたドレッサーボード55の表面を、回転する切削ブレード42で切り込むことでドレスしている。この場合、ドレッサーボード55のドレス部56の中心に切削ブレード42が位置付けられ、ドレス部56に対して切削ブレード42が切削方向(X軸方向)に直交する回転軸方向(Y軸方向)に摺動されることで切削ブレード42がフラットドレスされる。これにより、切削ブレード42の先端形状が整えられる。   As shown in FIG. 4C, the dressing step is performed when the tip of the cutting blade 42 starts to be unevenly worn in the cutting step. In the dressing step, dressing is performed by cutting the surface of the dresser board 55 placed on the holding surface 51 of the sub-chuck table 50 (see FIG. 3) with the rotating cutting blade 42. In this case, the cutting blade 42 is positioned at the center of the dress portion 56 of the dresser board 55, and the cutting blade 42 slides in the rotational axis direction (Y-axis direction) perpendicular to the cutting direction (X-axis direction) with respect to the dress portion 56. The cutting blade 42 is flat dressed by being moved. Thereby, the tip shape of the cutting blade 42 is adjusted.
切削ブレード42のドレス時には切削水が噴き付けられるが、ドレッサーボード55によってサブチャックテーブル50(図4B参照)が完全に覆われているため、サブチャックテーブル50の保持面51(図3参照)に切削水が入り込むことが防止されている。ドレッサーボード55で切削ブレード42がドレスされると、ドレス部56上には径方向に1本の切削痕59が形成される。ドレッサーボード55に切削痕59が形成されると、サブチャックテーブル50が所定角度だけ回転されて、ドレッサーボード55の未切削箇所が、切削ブレード42をドレスするドレス位置に位置付けられる。   Although cutting water is sprayed when the cutting blade 42 is dressed, the sub chuck table 50 (see FIG. 4B) is completely covered by the dresser board 55, so that the holding surface 51 (see FIG. 3) of the sub chuck table 50 is covered. Cutting water is prevented from entering. When the cutting blade 42 is dressed by the dresser board 55, one cutting mark 59 is formed on the dressing portion 56 in the radial direction. When the cutting trace 59 is formed on the dresser board 55, the sub-chuck table 50 is rotated by a predetermined angle, and an uncut portion of the dresser board 55 is positioned at a dress position where the cutting blade 42 is dressed.
ドレス部56の表面の切削痕59の増加に伴ってドレッサーボード55が反り易くなるが、環状リブ部57によってドレッサーボード55が補強されているため、ドレス中のドレッサーボード55の反りが抑えられている。よって、ドレッサーボード55に対するサブチャックテーブル50の保持力が低下することがない。なお、ドレッシングステップでは、切削ブレード42の目詰まりを解消するために、切削ブレード42を切り込み方向(Z軸方向)に上下させてドレス部56を切り込むことで、切削ブレード42の先端を目立てドレスしてもよい。   The dresser board 55 easily warps as the cutting marks 59 on the surface of the dress portion 56 increase. However, since the dresser board 55 is reinforced by the annular rib portion 57, warping of the dresser board 55 in the dress is suppressed. Yes. Therefore, the holding force of the sub chuck table 50 against the dresser board 55 does not decrease. In the dressing step, in order to eliminate clogging of the cutting blade 42, the cutting blade 42 is moved up and down in the cutting direction (Z-axis direction) to cut the dress portion 56, so that the tip of the cutting blade 42 is conspicuously dressed. May be.
以上のように、本実施の形態のドレッサーボード55では、ドレス部56の外周縁に沿って環状リブ部57が突出しており、環状リブ部57をチャックテーブル20の外周側に係合させるようにして、チャックテーブル20にドレッサーボード55が吸引保持される。ドレッサーボード55が環状リブ部57によって剛性が高められているため、切削ブレード42のドレスによってドレス部56の表面だけが削られても、環状リブ部57によってドレッサーボード55の反りが抑えられている。よって、吸引不良を起こすことなくチャックテーブル20にドレッサーボード55を安定して吸引保持することができる。   As described above, in the dresser board 55 of the present embodiment, the annular rib portion 57 protrudes along the outer peripheral edge of the dress portion 56, and the annular rib portion 57 is engaged with the outer peripheral side of the chuck table 20. Thus, the dresser board 55 is sucked and held on the chuck table 20. Since the rigidity of the dresser board 55 is enhanced by the annular rib portion 57, even if only the surface of the dress portion 56 is scraped by the dress of the cutting blade 42, warpage of the dresser board 55 is suppressed by the annular rib portion 57. . Therefore, the dresser board 55 can be stably sucked and held on the chuck table 20 without causing a suction failure.
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.
例えば、図5の変形例に示すように、ドレッサーボード65は、サブチャックテーブル60に対する装着し易さや使用環境による伸び縮み等を考慮して形成されてもよい。この場合、ドレッサーボード65の環状リブ部67の内径がサブチャックテーブル60の外径よりも僅かに大きく形成されているため、環状リブ部67の内周面とサブチャックテーブル60の外周面との間に僅かにクリアランスが生じる。このため、サブチャックテーブル60の外周面にOリング、Vリング等の環状のシール材68が取り付けられて、シール材68によってクリアランスが埋められている。   For example, as shown in the modification of FIG. 5, the dresser board 65 may be formed in consideration of ease of mounting on the sub-chuck table 60, expansion / contraction due to the use environment, and the like. In this case, since the inner diameter of the annular rib portion 67 of the dresser board 65 is formed to be slightly larger than the outer diameter of the sub chuck table 60, the inner peripheral surface of the annular rib portion 67 and the outer peripheral surface of the sub chuck table 60 are arranged. There is a slight clearance between them. For this reason, an annular sealing material 68 such as an O-ring or a V-ring is attached to the outer peripheral surface of the sub-chuck table 60, and the clearance is filled with the sealing material 68.
このようなドレッサーボード65であっても、環状リブ部67で剛性が高められているため、ドレッサーボード65の反りが効果的に抑えられている。また、サブチャックテーブル60に対してドレッサーボード65を容易に装着することができると共に、ドレッサーボード65の延び縮みをシール材68で吸収させることができる。シール材68でクリアランスが液密に封止されているため、切削水がクリアランスを介してサブチャックテーブル60の保持面61に到達することがなく吸引不良が生じることがない。   Even in such a dresser board 65, since the rigidity is enhanced by the annular rib portion 67, warping of the dresser board 65 is effectively suppressed. In addition, the dresser board 65 can be easily attached to the sub-chuck table 60, and the expansion / contraction of the dresser board 65 can be absorbed by the sealing material 68. Since the clearance is liquid-tightly sealed by the sealing material 68, the cutting water does not reach the holding surface 61 of the sub-chuck table 60 through the clearance, and suction failure does not occur.
また、本実施の形態では、ドレッサーボード55全体が砥粒とボンド剤とを結合して形成される構成にしたが、この構成に限定されない。図6の変形例に示すように、ドレッサーボード75は、樹脂製の基材部78の表面に平板形状のドレス部76が固定され、基材部78の外周縁に沿って裏面から環状リブ部77が突出するように形成されてもよい。このような構成であっても、本実施の形態のドレッサーボード55と同様な作用効果を得ることが可能である。   Moreover, in this Embodiment, although the dresser board 55 whole was set as the structure formed by couple | bonding an abrasive grain and a bonding agent, it is not limited to this structure. As shown in the modification of FIG. 6, the dresser board 75 has a flat dress portion 76 fixed to the surface of a resin base material portion 78, and an annular rib portion from the back surface along the outer peripheral edge of the base material portion 78. 77 may be formed so as to protrude. Even with this configuration, it is possible to obtain the same effects as those of the dresser board 55 of the present embodiment.
また、本実施の形態では、ドレッサーボード55が上面視円形状に形成されたが、この構成に限定されない。ドレッサーボード55は上面視多角形状に形成されてもよい。   Moreover, in this Embodiment, although the dresser board 55 was formed in the top view circular shape, it is not limited to this structure. The dresser board 55 may be formed in a polygonal shape when viewed from above.
また、本実施の形態では、環状リブ部57がドレス部56の裏面側から全周に亘って突出する構成にしたが、この構成に限定されない。環状リブ部57は、ドレス部56の裏面側から外周縁に沿って突出していればよく、ドレス部56の裏面側から外周縁に沿って部分的に突出していてもよい。   Moreover, in this Embodiment, although the cyclic | annular rib part 57 was set as the structure protruded over the perimeter from the back surface side of the dress part 56, it is not limited to this structure. The annular rib part 57 should just protrude along the outer periphery from the back surface side of the dress part 56, and may protrude partially along the outer periphery from the back surface side of the dress part 56.
また、本実施の形態では、エッジトリミング用の切削装置1を例示したが、切削装置1はエッジトリミングだけでなく、被加工物Wの分割に使用されてもよい。   Further, in the present embodiment, the cutting device 1 for edge trimming is illustrated, but the cutting device 1 may be used not only for edge trimming but also for dividing the workpiece W.
以上説明したように、本発明は、チャックテーブルに安定して吸引保持することができるという効果を有し、特に、エッジトリミング用の切削ブレードをドレスするドレッサーボード及びドレス方法に有用である。   As described above, the present invention has an effect that it can be stably sucked and held on the chuck table, and is particularly useful for a dresser board and a dressing method for dressing a cutting blade for edge trimming.
1 切削装置
42 切削ブレード
50、60 サブチャックテーブル(チャックテーブル)
51、61 保持面
55、65、75 ドレッサーボード
56、66、76 ドレス部
57、67、77 環状リブ部
W 被加工物
1 Cutting device 42 Cutting blade 50, 60 Sub chuck table (chuck table)
51, 61 Holding surface 55, 65, 75 Dresser board 56, 66, 76 Dress part 57, 67, 77 Annular rib part W Workpiece

Claims (2)

  1. 被加工物を切削する切削ブレードをドレスするドレッサーボードであって、
    平板形状のドレス部と、該ドレス部の外周縁に沿って裏面側に突出して形成された環状リブ部と、から形成されるドレッサーボード。
    A dresser board for dressing a cutting blade for cutting a workpiece,
    A dresser board formed of a flat dress portion and an annular rib portion formed to protrude toward the back surface along the outer peripheral edge of the dress portion.
  2. 請求項1記載のドレッサーボードの該ドレス部と同等の外径を有するチャックテーブルの平坦な保持面に、請求項1記載のドレッサーボードの該環状リブ部をチャックテーブルに係合して該ドレス部の裏面側を当接して吸引保持する載置ステップと、
    該チャックテーブルの該保持面に載置されたドレッサーボードの表面を、回転する切削ブレードで切り込みドレッシングを行うドレッシングステップと、から構成されるドレス方法。
    The dressing portion is formed by engaging the annular rib portion of the dresser board with the chuck table on a flat holding surface of the chuck table having an outer diameter equivalent to the dress portion of the dresser board according to claim 1. A placing step for abutting and holding the back side of the
    A dressing method comprising: a dressing step in which a dressing board mounted on the holding surface of the chuck table is cut and dressed with a rotating cutting blade.
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