JP2021142616A - Blade molding method, processing method, and cutting blade - Google Patents

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Abstract

To enable fixation and replacement of a cutting blade to be performed easily while enabling reduction of a cutting time of a workpiece in which a plurality of to-be-cut lines are set.SOLUTION: A blade molding method is a method of molding a cutting blade for forming a plurality of cutting grooves along to-be-cut lines in a workpiece in which the plurality of to-be-cut lines are set. The blade molding method includes: a blade preparation step 1001 of preparing a cutting blade having a thickness of a value greater than a distance including two adjacent cutting grooves; a dress member preparation step 1002 of preparing a dress member in which grooves having the same width as that of the cutting grooves are formed; and a blade molding step 1003 of, after performing the blade preparation step 1001 and the dress member preparation step 1002, cutting the grooves formed in the dress member by the cutting blade to form a plurality of tips having a width of the cutting grooves in the cutting blade.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、ブレード整形方法、加工方法及び切削ブレードに関する。 The present invention relates to a blade shaping method, a processing method and a cutting blade.

複数の切削予定ラインが設定された被加工物の切削時間を短縮すべく、１つのスピンドルに複数の切削ブレードを装着した切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 A cutting device in which a plurality of cutting blades are mounted on one spindle has been proposed in order to shorten the cutting time of a workpiece on which a plurality of scheduled cutting lines are set (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に示された切削装置は、被加工物に形成すべき溝の幅に対応した厚みの切削ブレードと、被加工物に形成すべき溝間の距離、すなわちチップサイズに対応した厚みのスペーサーと、を交互に所望の数だけ配置してスピンドル先端に固定する。 The cutting apparatus shown in Patent Document 1 has a cutting blade having a thickness corresponding to the width of a groove to be formed on the workpiece and a distance between the grooves to be formed on the workpiece, that is, a thickness corresponding to the chip size. A desired number of spacers are alternately arranged and fixed to the tip of the spindle.

特開２０１３−３５０７４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-35074

しかしながら、特許文献１に示された切削装置は、複数枚の切削ブレードとスペーサーとをそれぞれスピンドルの先端に固定するので、複数の切削ブレードをスピンドルに固定する作業に手間がかかる。また、特許文献１に示された切削装置は、１つの切削ブレードが破損した場合には、破損した切削ブレードよりも先端側の切削ブレードとスペーサーを全て取り外して、新しい切削ブレードを装着しなくてはならないという手間も生じる。 However, in the cutting apparatus shown in Patent Document 1, since a plurality of cutting blades and spacers are fixed to the tips of the spindles, it takes time and effort to fix the plurality of cutting blades to the spindle. Further, in the cutting device shown in Patent Document 1, when one cutting blade is damaged, it is not necessary to remove all the cutting blades and spacers on the tip side of the damaged cutting blade and install a new cutting blade. There is also the trouble of not having to do it.

特に近年は、電子機器の小型化に伴い半導体デバイスのチップサイズも小型化しているため、特許文献１に示された切削装置のスピンドルに固定される切削ブレードやスペーサーの厚みが薄くなる。このために、特許文献１に示された切削装置は、破損させないように複数枚の切削ブレードをスピンドルの先端に装着するのがより難しくなり、切削ブレードの固定に関して改善が切望されていた。このように、特許文献１に示された切削装置は、切削ブレードの固定、交換が困難となる傾向であった。 Particularly in recent years, since the chip size of a semiconductor device has also been reduced along with the miniaturization of electronic devices, the thickness of the cutting blade and spacer fixed to the spindle of the cutting device shown in Patent Document 1 has been reduced. For this reason, in the cutting apparatus shown in Patent Document 1, it becomes more difficult to attach a plurality of cutting blades to the tip of the spindle so as not to damage the cutting apparatus, and improvement in fixing the cutting blades has been eagerly desired. As described above, in the cutting apparatus shown in Patent Document 1, the cutting blade tends to be difficult to fix or replace.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の切削予定ラインが設定された被加工物の切削時間を短縮することを可能としながらも、切削ブレードの固定、交換を容易に行うことを可能とするブレード整形方法、加工方法及び切削ブレードを提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to fix a cutting blade while making it possible to shorten the cutting time of a work piece in which a plurality of scheduled cutting lines are set. It is to provide a blade shaping method, a machining method and a cutting blade which can be easily replaced.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレード整形方法は、複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成するための切削ブレードを整形するブレード整形方法であって、隣接した２つの該切削溝を含む距離を超える値の厚みを有した切削ブレードを準備するブレード準備ステップと、該切削溝と同じ幅の溝が形成されたドレス部材を準備するドレス部材準備ステップと、該ブレード準備ステップと該ドレス部材準備ステップとを実施した後、該切削ブレードで該ドレス部材に形成された該溝を切削し、該切削ブレードに該切削溝の幅を有した複数の刃先を形成するブレード整形ステップと、を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the blade shaping method of the present invention is for forming a plurality of cutting grooves along the planned cutting lines on a workpiece on which a plurality of scheduled cutting lines are set. In the blade shaping method for shaping a cutting blade, a blade preparation step for preparing a cutting blade having a thickness exceeding the distance including two adjacent cutting grooves and a groove having the same width as the cutting groove are provided. After performing the dress member preparation step for preparing the formed dress member, the blade preparation step, and the dress member preparation step, the cutting blade cuts the groove formed in the dress member, and the cutting blade is used. It is characterized in that it is provided with a blade shaping step for forming a plurality of cutting edges having the width of the cutting groove.

前記ブレード整形方法において、該ドレス部材には、該ブレード整形ステップで該切削ブレードに形成する刃先に対応した数以上の該溝が形成されても良い。 In the blade shaping method, the dress member may be formed with a number or more of the grooves corresponding to the cutting edge formed on the cutting blade in the blade shaping step.

前記ブレード整形方法において、該ドレス部材準備ステップでは、該切削溝の幅に対応した厚みを有するドレス材用ブレードでドレス部材を切削して該溝を該ドレス部材に形成しても良い。 In the blade shaping method, in the dress member preparation step, the dress member may be cut with a dress material blade having a thickness corresponding to the width of the cutting groove to form the groove in the dress member.

本発明の加工方法は、前記ブレード整形方法で整形された切削ブレードで複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成する被加工物の加工方法であって、該切削ブレードが切削装置のスピンドルに固定された状態とする固定ステップと、被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、該切削ブレードの複数の該刃先を被加工物の複数の該切削予定ラインに対応させて整列させるアライメントステップと、該アライメントステップを実施した後、該切削ブレードで複数の該切削予定ラインを切削する切削ステップと、を備えたことを特徴とする。 In the machining method of the present invention, a workpiece having a plurality of scheduled cutting lines set by the cutting blade shaped by the blade shaping method is formed with a plurality of cutting grooves along the scheduled cutting lines. The method is a fixing step in which the cutting blade is fixed to the spindle of the cutting device, a holding step in which the workpiece is held on a holding table, and a plurality of the cutting edges of the cutting blade are held in the workpiece. It is characterized by including an alignment step for aligning a plurality of scheduled cutting lines, and a cutting step for cutting the plurality of scheduled cutting lines with the cutting blade after performing the alignment step.

前記加工方法において、該切削ステップの実施中または実施後に、該ドレス部材に形成された該溝を該切削ブレードで切削して該切削ブレードの該刃先の形状を修正する刃先修正ステップを更に備えても良い。 In the processing method, a cutting edge correction step is further provided in which the groove formed in the dress member is cut by the cutting blade to correct the shape of the cutting edge of the cutting blade during or after the cutting step is performed. Is also good.

本発明の切削ブレードは、複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成する切り刃を備えた切削ブレードであって、該切り刃は、該切削予定ラインに切り込んで被加工物に切削溝を形成するとともに、軸心方向をあけて設けられた少なくとも２つの刃先と、互いに隣り合う刃先同士を連結する連結部と、を一体に備えることを特徴とする。 The cutting blade of the present invention is a cutting blade provided with a cutting blade that forms a plurality of cutting grooves along the planned cutting line on a workpiece on which a plurality of scheduled cutting lines are set. A cutting groove is formed in the workpiece by cutting into the planned cutting line, and at least two cutting edges provided with an axial direction and a connecting portion for connecting adjacent cutting edges are integrally provided. It is characterized by.

本発明は、複数の切削予定ラインが設定された被加工物の切削時間を短縮することを可能としながらも、切削ブレードの固定、交換を容易に行うことを可能とすることができるという効果を奏する。 The present invention has the effect that it is possible to easily fix and replace the cutting blade while it is possible to shorten the cutting time of the workpiece for which a plurality of scheduled cutting lines are set. Play.

図１は、実施形態１に係る切削ブレードの構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting blade according to the first embodiment. 図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 図３は、図１に示された切削ブレードの加工対象の被加工物の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the workpiece to be machined by the cutting blade shown in FIG. 図４は、図３に示された被加工物の要部の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a main part of the workpiece shown in FIG. 図５は、実施形態１に係るブレード整形方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing the flow of the blade shaping method according to the first embodiment. 図６は、図５に示されたブレード整形方法のブレード準備ステップにおいて準備される切削ブレードの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a cutting blade prepared in the blade preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 図７は、図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 図８は、図６に示された切削ブレードを切削ユニットに取り付ける状態を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the cutting blade shown in FIG. 6 is attached to the cutting unit. 図９は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップにおいて準備される溝が形成される前のドレス部材の斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of the dress member before the groove prepared in the dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 5 is formed. 図１０は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 10 is a side view schematically showing a dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 5 in a partial cross section. 図１１は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップにおいて準備される溝が形成されたドレス部材の要部の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of the dress member in which the groove is formed, which is prepared in the dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 図１２は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 12 is a side view schematically showing a blade shaping step of the blade shaping method shown in FIG. 5 in a partial cross section. 図１３は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップにおいてドレス部材と切削ブレードの位置関係を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing the positional relationship between the dress member and the cutting blade in the blade shaping step of the blade shaping method shown in FIG. 図１４は、実施形態１に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart showing the flow of the processing method according to the first embodiment. 図１５は、図１４に示された加工方法の保持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 15 is a side view schematically showing a holding step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. 図１６は、図１４に示された加工方法のアライメントステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 16 is a side view schematically showing the alignment step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. 図１７は、図１４に示された加工方法の切削ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 17 is a side view schematically showing a cutting step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. 図１８は、図１４に示された加工方法の刃先修正ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。FIG. 18 is a side view schematically showing a cutting edge correction step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. 図１９は、実施形態２に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 19 is a flowchart showing the flow of the processing method according to the second embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレード整形方法及び切削ブレードを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る切削ブレードの構成例を示す斜視図である。図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。図３は、図１に示された切削ブレードの加工対象の被加工物の斜視図である。図４は、図３に示された被加工物の要部の平面図である。図５は、実施形態１に係るブレード整形方法の流れを示すフローチャートである。 [Embodiment 1]
The blade shaping method and the cutting blade according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting blade according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. FIG. 3 is a perspective view of the workpiece to be machined by the cutting blade shown in FIG. FIG. 4 is a plan view of a main part of the workpiece shown in FIG. FIG. 5 is a flowchart showing the flow of the blade shaping method according to the first embodiment.

実施形態１に係る図１及び図２に示す切削ブレード１−１,１−２は、図３に示す被加工物２００を切削（加工に相当する）するものである。図１及び図２に示された切削ブレード１−１,１−２の加工対象の被加工物２００は、シリコン、又はガリウムヒ素等などを基板２０１とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物２００は、図３及び図４に示すように、基板２０１の表面２０２に第１方向２１１に伸長する複数の第１切削予定ライン２０３と、第１方向２１１に直交する第２方向２１２に伸長する複数の第２切削予定ライン２０４とが設定され、切削予定ライン２０３,２０４によって格子状に区画された領域にデバイス２０５が形成されている。 The cutting blades 1-1 and 1-2 shown in FIGS. 1 and 2 according to the first embodiment cut (correspond to machining) the workpiece 200 shown in FIG. The workpiece 200 to be processed by the cutting blades 1-1 and 1-2 shown in FIGS. 1 and 2 is a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer using silicon, gallium arsenide, or the like as a substrate 201. Etc. are wafers. As shown in FIGS. 3 and 4, the workpiece 200 has a plurality of first scheduled cutting lines 203 extending in the first direction 211 on the surface 202 of the substrate 201, and a second direction 212 orthogonal to the first direction 211. A plurality of second scheduled cutting lines 204 extending to the surface are set, and the device 205 is formed in a region partitioned by the scheduled cutting lines 203 and 204 in a grid pattern.

デバイス２０５は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサである。実施形態１において、被加工物２００のデバイス２０５の平面形状は長方形であり、第１方向２１１と長手方向が平行な矩形状に形成されている。なお、図３は、デバイス２０５の平面形状を模式的に正方形で示している。実施形態１では、被加工物２００は、デバイス２０５の第１方向２１１及び第２方向２１２の幅が例えば１ｍｍ程度のプラズマエッチング（所謂プラズマダイシング）により各デバイス２０５に分割されるのが好適なものである。 The device 205 is, for example, an integrated circuit such as an IC (Integrated Circuit) or an LSI (Large Scale Integration), or an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor). In the first embodiment, the planar shape of the device 205 of the workpiece 200 is rectangular, and is formed in a rectangular shape whose longitudinal direction is parallel to the first direction 211. Note that FIG. 3 schematically shows the planar shape of the device 205 as a square. In the first embodiment, the workpiece 200 is preferably divided into each device 205 by plasma etching (so-called plasma dicing) in which the widths of the first direction 211 and the second direction 212 of the device 205 are, for example, about 1 mm. Is.

また、実施形態１では、被加工物２００は、基板２０１の表面２０２の裏側の裏面２０６に金属膜２０７が形成されている。実施形態１において、被加工物２００は、図３及び図４に点線で示すように、各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側の金属膜２０７に切削溝２０８が形成される。切削溝２０８は、溝底に基板２０１を露出させる。 Further, in the first embodiment, the workpiece 200 has a metal film 207 formed on the back surface 206 on the back side of the front surface 202 of the substrate 201. In the first embodiment, as shown by the dotted lines in FIGS. 3 and 4, the workpiece 200 has a cutting groove 208 formed in the metal film 207 on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203, 204. The cutting groove 208 exposes the substrate 201 to the groove bottom.

実施形態１において、切削溝２０８は、各切削予定ライン２０３,２０４の幅方向の中央に１本形成され、各切削予定ライン２０３,２０４に沿って形成される。切削溝２０８の幅２０９は、各切削予定ライン２０３,２０４の幅よりも狭い。なお、実施形態１では、第１切削予定ライン２０３に形成される切削溝２０８の幅２０９と、第２切削予定ライン２０４に形成される切削溝２０８の幅２０９とは等しい。 In the first embodiment, one cutting groove 208 is formed at the center of each scheduled cutting line 203,204 in the width direction, and is formed along each scheduled cutting line 203,204. The width 209 of the cutting groove 208 is narrower than the width of each scheduled cutting line 203,204. In the first embodiment, the width 209 of the cutting groove 208 formed in the first scheduled cutting line 203 and the width 209 of the cutting groove 208 formed in the second scheduled cutting line 204 are equal to each other.

このため、実施形態１において、被加工物２００は、第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に形成される切削溝２０８が第１間隔２１３で等間隔に形成され、第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に形成される切削溝２０８が第２間隔２１４で等間隔に形成される。 Therefore, in the first embodiment, in the workpiece 200, the cutting grooves 208 formed on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203 are formed at equal intervals at the first interval 213, and the second scheduled cutting line 204. Cutting grooves 208 formed on the back surface 206 side are formed at equal intervals at the second interval 214.

実施形態１では、被加工物２００は、基板２０１の裏面２０６に金属膜２０７に切削溝２０８が形成されて、所謂プラズマダイシングにより各デバイス２０５に分割されるのが好適なものである。しかしながら、本発明では、被加工物２００は、実施形態１のものに限定されない。本発明では、被加工物２００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等のデバイス２０５が形成されていないものでも良い。なお、図３は、被加工物２００の基板２０１に対して、デバイス２０５の大きさを誇張して大きく示している。 In the first embodiment, it is preferable that the workpiece 200 has a cutting groove 208 formed in the metal film 207 on the back surface 206 of the substrate 201 and is divided into each device 205 by so-called plasma dicing. However, in the present invention, the workpiece 200 is not limited to that of the first embodiment. In the present invention, the workpiece 200 may not have a device 205 such as a rectangular package substrate, a ceramic plate, or a glass plate having a plurality of devices sealed with resin. Note that FIG. 3 exaggerates the size of the device 205 with respect to the substrate 201 of the workpiece 200.

実施形態１に係る切削ブレード１−１,１−２は、１回の切削により被加工物２００の各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に複数の切削溝２０８を形成するためのものである。実施形態１では、切削ブレード１−１,１−２は、１回の切削により被加工物２００の各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を１本形成する。なお、切削ブレード１−１は、１回の切削により被加工物２００の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に複数の切削溝２０８を形成し、切削ブレード１−２は、１回の切削により被加工物２００の第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に複数の切削溝２０８を形成するものである。 The cutting blades 1-1 and 1-2 according to the first embodiment are for forming a plurality of cutting grooves 208 on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203, 204 of the workpiece 200 by one cutting. be. In the first embodiment, the cutting blades 1-1 and 1-2 form one cutting groove 208 on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203 and 204 of the workpiece 200 by one cutting. The cutting blade 1-1 forms a plurality of cutting grooves 208 on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203 of the workpiece 200 by one cutting, and the cutting blade 1-2 cuts once. A plurality of cutting grooves 208 are formed on the back surface 206 side of the second scheduled cutting line 204 of the workpiece 200.

切削ブレード１−１,１−２は、１回の切削により被加工物２００の各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に複数の切削溝２０８を形成する切り刃２を備える。切り刃２は、全体として円環状に形成され、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、砥粒を結合した金属、樹脂又はガラス材等のボンド材（結合材）とからなり、一体に形成されている。 The cutting blades 1-1 and 1-2 are provided with cutting blades 2 that form a plurality of cutting grooves 208 on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203, 204 of the workpiece 200 by one cutting. The cutting edge 2 is formed in an annular shape as a whole, and is composed of abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) and a bond material (bonding material) such as a metal, resin, or glass material to which the abrasive grains are bonded. It is formed integrally.

切り刃２は、各切削予定ライン２０３,２０４に切り込んで被加工物２００に切削溝２０８を形成するとともに、軸心３方向をあけて設けられた少なくとも２つの刃先４と、互いに隣り合う刃先４同士を連結する連結部５とを一体に備える。刃先４及び連結部５は、円環状に形成され、互いに同軸となる位置に配置されている。連結部５の外径は、刃先４の外径よりも小さい。なお、実施形態１では、刃先４は、３つ設けられ、連結部５は、２つ設けられて、刃先４と連結部５とが交互に設けられている。なお、軸心３とは、刃先４及び連結部５の内周面及び外周面の中心を通る仮想的な直線である。また、本発明では、切り刃２は、刃先４を２つまたは４つ以上備えても良い。こうして、切削ブレード１−１,１−２の切り刃２は、刃先４と連結部５とを一体に備える中実材に形成されている。 The cutting edge 2 cuts into each of the scheduled cutting lines 203 and 204 to form a cutting groove 208 in the workpiece 200, and at least two cutting edges 4 provided with three axial center directions and cutting edges 4 adjacent to each other are formed. A connecting portion 5 for connecting the two is integrally provided. The cutting edge 4 and the connecting portion 5 are formed in an annular shape and are arranged at positions coaxial with each other. The outer diameter of the connecting portion 5 is smaller than the outer diameter of the cutting edge 4. In the first embodiment, three cutting edges 4 are provided, two connecting portions 5 are provided, and the cutting edge 4 and the connecting portion 5 are provided alternately. The axial center 3 is a virtual straight line passing through the centers of the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the cutting edge 4 and the connecting portion 5. Further, in the present invention, the cutting edge 2 may include two or four or more cutting edges 4. In this way, the cutting blades 2 of the cutting blades 1-1 and 1-2 are formed of a solid material integrally including the cutting edge 4 and the connecting portion 5.

実施形態１では、切削ブレード１−１,１−２は、切り刃２のみで構成された所謂ワッシャーブレードであるが、本発明では、円環状の基台と、基台の外周縁に配設された切り刃２と、を備える所謂ハブブレードでも良い。 In the first embodiment, the cutting blades 1-1 and 1-2 are so-called washer blades composed of only the cutting blade 2, but in the present invention, they are arranged on the annular base and the outer peripheral edge of the base. A so-called hub blade provided with the cut blade 2 may be used.

また、実施形態１では、第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する切削ブレード１−１の互いに隣り合う刃先４同士の間隔が、第１間隔２１３であり、第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する切削ブレード１−２の互いに隣り合う刃先４同士の間隔が、第２間隔２１４である。また、実施形態１において、切削ブレード１−１,１−２の刃先４の厚みは、切削溝２０８の幅２０９である。また、実施形態１において、切削ブレード１−１,１−２の刃先４は、連結部５の外周面から所定の刃先長６分、外周方向に突出している。なお、刃先長６は、刃先４が被加工物２００に切り込む切り込み深さよりも長く、刃先４の厚みの値の２０倍以下の長さが好ましい。刃先長６を刃先４の厚みの２０倍以下に抑えることで被加工物２２００を切削した際の切削ブレード１−１,１−２の蛇行や切削ブレード１−１,１−２のばたつきを抑えることができる。 Further, in the first embodiment, the distance between the cutting edges 4 adjacent to each other of the cutting blades 1-1 forming the cutting groove 208 on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203 is the first distance 213, and the second cutting The distance between the cutting edges 4 adjacent to each other of the cutting blades 1-2 forming the cutting groove 208 on the back surface 206 side of the planned line 204 is the second distance 214. Further, in the first embodiment, the thickness of the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2 is the width 209 of the cutting groove 208. Further, in the first embodiment, the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2 protrudes from the outer peripheral surface of the connecting portion 5 in the outer peripheral direction for a predetermined cutting edge length of 6 minutes. The cutting edge length 6 is preferably longer than the cutting depth at which the cutting edge 4 cuts into the workpiece 200, and is 20 times or less the value of the thickness of the cutting edge 4. By suppressing the cutting edge length 6 to 20 times or less the thickness of the cutting edge 4, the meandering of the cutting blades 1-1 and 1-2 and the fluttering of the cutting blades 1-1 and 1-2 when the workpiece 2200 is cut are suppressed. be able to.

実施形態１に係るブレード整形方法は、切削ブレード１−１,１−２を整形する方法であって、図５に示すように、ブレード準備ステップ１００１と、ドレス部材準備ステップ１００２と、ブレード整形ステップ１００３とを備える。 The blade shaping method according to the first embodiment is a method of shaping the cutting blades 1-1 and 1-2, and as shown in FIG. 5, a blade preparation step 1001, a dress member preparation step 1002, and a blade shaping step. It includes 1003.

（ブレード準備ステップ）
図６は、図５に示されたブレード整形方法のブレード準備ステップにおいて準備される切削ブレードの斜視図である。図７は、図６中のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。図８は、図６に示された切削ブレードを切削ユニットに取り付ける状態を示す斜視図である。 (Blade preparation step)
FIG. 6 is a perspective view of a cutting blade prepared in the blade preparation step of the blade shaping method shown in FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG. FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the cutting blade shown in FIG. 6 is attached to the cutting unit.

ブレード準備ステップ１００１は、隣接した２つの切削溝２０８の幅２０９と切削溝２０８間の間隔２１３,２１４とを含む距離２１５（図７に示す）を超える値の厚み１１−１,１１−２を有した切削ブレード１０−１,１０−２を準備するステップである。実施形態１において、ブレード準備ステップ１００１では、内径及び外径が切削ブレード１−１,１−２の刃先４と等しく、厚み１１−１,１１−２が一定の図６及び図７に示す切削ブレード１０−１,１０−２を準備する。切削ブレード１０−１,１０−２は、刃先４と連結部５とが形成される前のものである。実施形態１では、切削ブレード１０−１,１０−２の厚み１１−１,１１−２は、切削ブレード１−１,１−２の厚みと等しい。 The blade preparation step 1001 has a thickness of 11-1, 11-2 that exceeds the distance 215 (shown in FIG. 7) including the width 209 of two adjacent cutting grooves 208 and the spacing 213,214 between the cutting grooves 208. This is a step of preparing the holding cutting blades 10-1 and 10-2. In the first embodiment, in the blade preparation step 1001, the cutting shown in FIGS. 6 and 7 has an inner diameter and an outer diameter equal to the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2, and the thicknesses 11-1 and 11-2 are constant. Prepare blades 10-1 and 10-2. The cutting blades 10-1 and 10-2 are those before the cutting edge 4 and the connecting portion 5 are formed. In the first embodiment, the thicknesses 11-1 and 11-2 of the cutting blades 10-1 and 10-2 are equal to the thicknesses of the cutting blades 1-1 and 1-2.

実施形態１では、切削ブレード１０−１は、複数の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成するためのものである。切削ブレード１０−１の厚み１１−１は、３本の切削溝２０８の幅２０９と２つの第１間隔２１３との和を超えている。実施形態１では、切削ブレード１０−２は、複数の第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成するためのものである。切削ブレード１０−２の厚み１１−２は、３本の切削溝２０８の幅２０９と２つの第２間隔２１４との和を超えている。こうして、実施形態１において、ブレード準備ステップ１００１では、複数の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成するための切削ブレード１−１を整形するための切削ブレード１０−１と、複数の第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成するための切削ブレード１−２を整形するための切削ブレード１０−２とを準備する。なお、図６及び図７に示す切削ブレード１０−１,１０−２は、切り刃２の内径及び外径と等しく厚み１１−１,１１−２が一定の円環状であること以外、切削ブレード１−１,１−２と構成が等しい。 In the first embodiment, the cutting blade 10-1 is for forming a cutting groove 208 on the back surface 206 side of the plurality of first scheduled cutting lines 203. The thickness 11-1 of the cutting blade 10-1 exceeds the sum of the width 209 of the three cutting grooves 208 and the two first intervals 213. In the first embodiment, the cutting blade 10-2 is for forming a cutting groove 208 on the back surface 206 side of the plurality of second scheduled cutting lines 204. The thickness 11-2 of the cutting blade 10-2 exceeds the sum of the width 209 of the three cutting grooves 208 and the two second intervals 214. Thus, in the first embodiment, in the blade preparation step 1001, the cutting blade 10-1 for shaping the cutting blade 1-1 for forming the cutting groove 208 on the back surface 206 side of the plurality of first scheduled cutting lines 203 , A cutting blade 10-2 for shaping the cutting blade 1-2 for forming the cutting groove 208 on the back surface 206 side of the plurality of second scheduled cutting lines 204 is prepared. The cutting blades 10-1 and 10-2 shown in FIGS. 6 and 7 are cutting blades except that the thicknesses 11-1 and 11-2 are equal to the inner and outer diameters of the cutting blade 2 and have a constant thickness. The configuration is the same as 1-1 and 1-2.

ブレード準備ステップ１００１では、準備した切削ブレード１０−１,１０−２を図８に要部を示す切削装置３０の切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に装着する。なお、実施形態１では、切削装置３０は、切削ユニット３１−１,３１−２を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。 In the blade preparation step 1001, the prepared cutting blades 10-1 and 10-2 are mounted on the spindle 32 of the cutting units 31-1 and 31-2 of the cutting device 30 whose main parts are shown in FIG. In the first embodiment, the cutting device 30 is a so-called facing dual type cutting device provided with two cutting units 31-1 and 31-2, that is, a two-spindle dier.

ブレード準備ステップ１００１では、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２に切削ブレード１０−１を装着し、他方の切削ユニット３１−２のスピンドル３２に切削ブレード１０−２を装着する。各切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に切削ブレード１０−１,１０−２を装着する際には、スピンドルハウジング３１の先端面から突出したスピンドル３２の先端部を円筒状の固定フランジ３３の内側に通して、スピンドル３２の先端面に開口したねじ穴３２１に固定ねじ３４をねじ込んで、スピンドル３２の先端部に固定フランジ３３を固定する。 In the blade preparation step 1001, the cutting blade 10-1 is mounted on the spindle 32 of one cutting unit 31-1 and the cutting blade 10-2 is mounted on the spindle 32 of the other cutting unit 31-2. When mounting the cutting blades 10-1 and 10-2 on the spindle 32 of each cutting unit 31-1 and 31-2, the tip of the spindle 32 protruding from the tip surface of the spindle housing 31 is a cylindrical fixed flange. The fixing screw 34 is screwed into the screw hole 321 opened on the tip end surface of the spindle 32 through the inside of the spindle 32 to fix the fixing flange 33 to the tip end portion of the spindle 32.

固定フランジ３３の円筒状の筒状部３３１を切削ブレード１０−１,１０−２の内側と、円環状の押さえフランジ３５の内側とに順に通して、固定フランジ３３の円環状のフランジ部３３２と押さえフランジ３５との間に切削ブレード１０−１,１０−２を挟み込む。筒状部３３１の外周面に設けられた雄ねじ３３３に締結ナット３６をねじ込んで、固定フランジ３３に押さえフランジ３５を固定して、各切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に切削ブレード１０−１,１０−２を装着して、切削ブレード１０−１,１０−２が切削装置３０のスピンドル３２に固定された状態とする。 The cylindrical tubular portion 331 of the fixed flange 33 is passed through the inside of the cutting blades 10-1 and 10-2 and the inside of the annular holding flange 35 in this order, and the annular flange portion 332 of the fixed flange 33 is formed. The cutting blades 10-1 and 10-2 are sandwiched between the holding flange 35 and the cutting blades 10-1 and 10-2. The fastening nut 36 is screwed into the male screw 333 provided on the outer peripheral surface of the tubular portion 331, the holding flange 35 is fixed to the fixed flange 33, and the cutting blade 10 is attached to the spindle 32 of each cutting unit 31-1 and 31-2. -1,10-2 is attached so that the cutting blades 10-1 and 10-2 are fixed to the spindle 32 of the cutting device 30.

（ドレス部材準備ステップ）
図９は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップにおいて準備される溝が形成される前のドレス部材の斜視図である。図１０は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。図１１は、図５に示されたブレード整形方法のドレス部材準備ステップにおいて準備される溝が形成されたドレス部材の要部の断面図である。 (Dress member preparation step)
FIG. 9 is a perspective view of the dress member before the groove prepared in the dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 5 is formed. FIG. 10 is a side view schematically showing a dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG. 5 in a partial cross section. FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of the dress member in which the groove is formed, which is prepared in the dress member preparation step of the blade shaping method shown in FIG.

ドレス部材準備ステップ１００２は、切削溝２０８と同じ幅２０９の溝２１−１,２１−２が形成された図１１に示すドレス部材２０を準備するステップである。ドレス部材準備ステップ１００２では、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）、ＧＣ砥粒（緑色炭化ケイ素）やＷＡ砥粒（白色アルミナ）等の砥粒と、砥粒を結合した金属、樹脂又はガラス材等のボンド材（結合材）とからなり、平面形状が矩形状の板状に形成された図９に示すドレス部材２２を準備する。なお、ドレス部材２２の砥粒の粒径は、切削ブレード１−１,１−２,１０−１,１０−２の砥粒の粒径よりも大きい。また、ドレス部材２２の厚み２６は、刃先長６よりも厚い。 The dress member preparation step 1002 is a step of preparing the dress member 20 shown in FIG. 11 in which grooves 21-1, 21-2 having the same width 209 as the cutting groove 208 are formed. In the dress member preparation step 1002, abrasive grains such as diamond, CBN (Cubic Boron Nitride), GC abrasive grains (green silicon carbide), WA abrasive grains (white alumina), and a metal, resin, or glass material in which the abrasive grains are bonded are combined. The dress member 22 shown in FIG. 9 is prepared, which is composed of the bond material (bonding material) of the above and is formed into a plate shape having a rectangular planar shape. The grain size of the abrasive grains of the dress member 22 is larger than the grain size of the abrasive grains of the cutting blades 1-1, 1-2, 10-1, 10-2. Further, the thickness 26 of the dress member 22 is thicker than the cutting edge length 6.

実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、ドレス部材２２の一方の表面を外周縁に環状の環状フレーム２３が装着されたテープ２４の中央に貼着して、ドレス部材２２を環状フレーム２３の開口２５内に支持する。実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、チャックテーブル４１にテープ２４を介してドレス部材２２を吸引保持し、クランプ部４２で環状フレーム２３をクランプする。 In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, one surface of the dress member 22 is attached to the center of the tape 24 on which the annular frame 23 is attached to the outer peripheral edge, and the dress member 22 is attached to the annular frame 23. Support within the opening 25. In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 sucks and holds the dress member 22 on the chuck table 41 via the tape 24, and the clamp portion 42 clamps the annular frame 23.

実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、ドレス部材２２の長手方向と加工送り方向とを平行に位置付ける。実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、まず、切削装置４０が、切削ブレード１−１の刃先４を形成する溝２１−１をドレス部材２２に形成する。実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、図１０に示すように、切削ユニット４７のスピンドル４４により回転されたドレス材ブレード４５の刃先４６の下端を、ドレス部材２２と加工送り方向に並び、かつドレス部材２２の他方の表面よりも下方でかつ他方の表面から刃先長６以上となる位置に位置付ける。 In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 positions the longitudinal direction of the dress member 22 and the machining feed direction in parallel. In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 first forms a groove 21-1 forming the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 in the dress member 22. In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, as shown in FIG. 10, the cutting device 40 processes the lower end of the cutting edge 46 of the dress material blade 45 rotated by the spindle 44 of the cutting unit 47 with the dress member 22. It is positioned so as to be aligned in the feed direction, below the other surface of the dress member 22, and at a position where the cutting edge length is 6 or more from the other surface.

実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、切削ユニット４７のドレス材ブレード４５に対してチャックテーブル４１を加工送り方向に相対的に移動させて、ドレス材ブレード４５の刃先４６をドレス部材２２の全長に亘って切り込ませて、溝２１−１を形成する。 In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 moves the chuck table 41 relative to the dress material blade 45 of the cutting unit 47 in the machining feed direction, and the cutting edge 46 of the dress material blade 45. Is cut over the entire length of the dress member 22 to form a groove 21-1.

実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、ドレス部材２２に溝２１−１を１本形成すると、切削ユニット４７とチャックテーブル４１とを第１間隔２１３分、水平方向と平行でかつ加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対的に移動させた後、ドレス部材２２に溝２１−１を同様に形成する。 In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, when the cutting device 40 forms one groove 21-1 in the dress member 22, the cutting unit 47 and the chuck table 41 are separated from each other by the first interval of 213 minutes in the horizontal direction. The groove 21-1 is similarly formed in the dress member 22 after being relatively moved in the indexing feed direction orthogonal to the processing feed direction.

実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、ドレス部材２２に切削ブレード１−１の刃先４を形成するための溝２１−１を、切削ブレード１−１の刃先４と同数（実施形態１では、３本）形成する。実施形態１において、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０が、切削ユニット４７とチャックテーブル４１とを割り出し送り方向に相対的に移動させた後、ドレス部材２２の溝２１−１が形成されていない位置に溝２１−１と同様に切削ブレード１−２の刃先４を形成する溝２１−２を形成する。こうして、ドレス部材準備ステップ１００２では、図１１に示すように、切削装置４０がドレス部材２２に切削ブレード１−１,１−２の刃先４を形成するための溝２１−１,２１−２を形成して、板状のドレス部材２２をドレス部材２０に形成する。ドレス部材準備ステップ１００２では、図１１に示すように、切削装置４０が、ドレス部材２０に溝２１−１,２１−２を形成する際には、切削ブレード１−１,１−２の切り刃２と同数、間隔２１３,２１４おきに溝２１−１,２１−２を形成する。 In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 has the same number of grooves 21-1 for forming the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 on the dress member 22 as the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1. (Three in Embodiment 1) are formed. In the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the groove 21-1 of the dress member 22 is formed after the cutting device 40 relatively moves the cutting unit 47 and the chuck table 41 in the indexing feed direction. A groove 21-2 for forming the cutting edge 4 of the cutting blade 1-2 is formed at a position where the cutting blade 1-2 is not provided, similarly to the groove 21-1. Thus, in the dress member preparation step 1002, as shown in FIG. 11, the cutting device 40 provides the dress member 22 with grooves 21-1, 21-2 for forming the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1, 1-2. After forming, the plate-shaped dress member 22 is formed on the dress member 20. In the dress member preparation step 1002, as shown in FIG. 11, when the cutting device 40 forms the grooves 21-1, 21-2 in the dress member 20, the cutting blades of the cutting blades 1-1 and 1-2 are cut. Grooves 21-1, 21-2 are formed at the same number as 2 and at intervals of 213,214.

なお、ドレス部材準備ステップ１００２において、ドレス部材２２に溝２１−１,２１−２を形成するドレス材ブレード４５の刃先４６の厚みは、切削溝２０８の幅２０９と等しい。また、ドレス部材準備ステップ１００２において、ドレス部材２２に溝２１−１,２１−２を形成するドレス材ブレード４５の刃先４６は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、砥粒を結合した金属、樹脂又はガラス材等のボンド材（結合材）とからなるものの他、外周に複数の鋸刃を有した薄板状の超硬合金で構成されたカッターブレードでも良い。 In the dress member preparation step 1002, the thickness of the cutting edge 46 of the dress material blade 45 forming the grooves 21-1 and 21-2 in the dress member 22 is equal to the width 209 of the cutting groove 208. Further, in the dress member preparation step 1002, the cutting edge 46 of the dress material blade 45 forming the grooves 21-1 and 21-2 in the dress member 22 uses abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) and abrasive grains. In addition to a cutter blade made of a bonded material (bonding material) such as a bonded metal, resin, or glass material, a cutter blade made of a thin plate-shaped cemented carbide having a plurality of saw blades on the outer periphery may be used.

ドレス材ブレード４５の刃先４６は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、砥粒を結合した金属、樹脂又はガラス材等のボンド材（結合材）とからなるものである場合、砥粒の粒径はドレス部材２０,２２の砥粒の粒径、及び、切削ブレード１−１,１−２,１０−１,１０−２の砥粒の粒径よりも大きいドレス材ブレード４５を選定することでドレス部材２２の切削中に過度の刃先４６の摩耗を抑え効率よく溝２１−１,２１−２が形成できる。また、本発明では、ウォータジェット加工により溝２１−１,２１−２を形成しても良い。 When the cutting edge 46 of the dress material blade 45 is made of abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride) and a bonding material (bonding material) such as metal, resin or glass material to which the abrasive grains are bonded. The particle size of the abrasive grains is larger than the particle size of the abrasive grains of the dress members 20 and 22 and the particle size of the abrasive grains of the cutting blades 1-1, 1-2, 10-1, 10-2. By selecting, the grooves 21-1 and 21-2 can be efficiently formed by suppressing excessive wear of the cutting edge 46 during cutting of the dress member 22. Further, in the present invention, grooves 21-1, 21-2 may be formed by water jet processing.

また、実施形態１では、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削装置４０は、図９に点線で示すように、ドレス部材２０の幅方向の一方の端部に切削ブレード１−１の刃先４を形成するための溝２１−１を形成し、ドレス部材２０の幅方向の他方の端部に切削ブレード１−２の刃先４を形成するための溝２１−２を形成する。こうして、ドレス部材準備ステップ１００２では、切削溝２０８の幅２０９に対応した厚みを有するドレス材ブレード４５でドレス部材２２を切削して溝２１−１,２１−２をドレス部材２２に形成して、ドレス部材２０には、ブレード整形ステップ１００３で切削ブレード１−１,１−２に形成する刃先４に対応した数以上の溝２１−１,２１−２が形成されている。また、図９は、ドレス部材２０に、溝２１−１を切削ブレード１−１の刃先４と同数形成し、溝２１−２を切削ブレード１−２の刃先４と同数形成した例を示しているが、本発明では、ドレス部材２０に、切削ブレード１−１、１−２に形成すべき刃先４の数よりも多い溝２１−１、２１−２を形成しても良い。この場合、１度の切削で切削ブレード１−１,１−２に充分刃先４が形成されない場合に、複数回ドレス部材２０を切削して刃先４を形成することができる。一方で、切削ブレード１−１,１−２に刃先４を形成するために切削ブレード１０−１,１０−１でドレス部材２０に切り込むと、切削ブレード１０−１,１０−２やドレス部材２０の種類によってはドレス部材２０側の溝２１−１,２１−２の縁も削られ、形状が崩れることが考えられる。このような場合、ドレス部材２０の使用する領域（切削ブレード１０−１,１０−２により被切り込み領域）を変えて、複数回切削ブレード１０−１,１０−２でドレス部材２２０を切削することができる。 Further, in the first embodiment, in the dress member preparation step 1002, the cutting device 40 forms the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 at one end in the width direction of the dress member 20, as shown by the dotted line in FIG. A groove 21-1 for forming the cutting blade 21-1 is formed, and a groove 21-2 for forming the cutting edge 4 of the cutting blade 1-2 is formed at the other end portion in the width direction of the dress member 20. In this way, in the dress member preparation step 1002, the dress member 22 is cut by the dress material blade 45 having a thickness corresponding to the width 209 of the cutting groove 208 to form the grooves 21-1 and 21-2 in the dress member 22. The dress member 20 is formed with more than a number of grooves 21-1, 21-2 corresponding to the cutting edge 4 formed on the cutting blades 1-1, 1-2 in the blade shaping step 1003. Further, FIG. 9 shows an example in which the dress member 20 is formed with the same number of grooves 21-1 as the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 and the same number of grooves 21-2 as the cutting edge 4 of the cutting blade 1-2. However, in the present invention, the dress member 20 may be formed with grooves 21-1 and 21-2, which are larger than the number of cutting edges 4 to be formed on the cutting blades 1-1 and 1-2. In this case, when the cutting edge 4 is not sufficiently formed on the cutting blades 1-1 and 1-2 by one cutting, the dress member 20 can be cut a plurality of times to form the cutting edge 4. On the other hand, when the dress member 20 is cut with the cutting blades 10-1 and 10-1 in order to form the cutting edge 4 on the cutting blades 1-1 and 1-2, the cutting blades 10-1 and 10-2 and the dress member 20 are cut. Depending on the type of the dress member 20, the edges of the grooves 21-1 and 21-2 on the dress member 20 side may also be scraped and the shape may be lost. In such a case, the area used by the dress member 20 (the area to be cut by the cutting blades 10-1 and 10-2) is changed, and the dress member 220 is cut by the cutting blades 10-1 and 10-2 a plurality of times. Can be done.

（ブレード整形ステップ）
図１２は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。図１３は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップにおいてドレス部材と切削ブレードの位置関係を示す断面図である。 (Blade shaping step)
FIG. 12 is a side view schematically showing a blade shaping step of the blade shaping method shown in FIG. 5 in a partial cross section. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the positional relationship between the dress member and the cutting blade in the blade shaping step of the blade shaping method shown in FIG.

ブレード整形ステップ１００３は、ブレード準備ステップ１００１とドレス部材準備ステップ１００２とを実施した後、切削ブレード１０−１,１０−２でドレス部材２０に形成された溝２１−１,２１−２を切削し、切削ブレード１０−１,１０−２に切削溝２０８の幅２０９を有した複数の刃先４を形成して、切削ブレード１０−１,１０−２を切削ブレード１−１,１−２に形成するステップである。実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、各切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に切削ブレード１０−１,１０−２を装着した切削装置３０が、保持テーブル３７にテープ２４を介してドレス部材２０を吸引保持し、クランプ部３８で環状フレーム２３をクランプする。 In the blade shaping step 1003, after performing the blade preparation step 1001 and the dress member preparation step 1002, the cutting blades 10-1 and 10-2 cut the grooves 21-1 and 21-2 formed in the dress member 20. , A plurality of cutting edges 4 having a width 209 of a cutting groove 208 are formed on the cutting blades 10-1 and 10-2, and the cutting blades 10-1 and 10-2 are formed on the cutting blades 1-1 and 1-2. It is a step to do. In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, the cutting apparatus 30 in which the cutting blades 10-1 and 10-2 are mounted on the spindles 32 of the cutting units 31-1 and 31-2 is connected to the holding table 37 via the tape 24. The dress member 20 is sucked and held, and the annular frame 23 is clamped by the clamp portion 38.

実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、ドレス部材２０の長手方向と加工送り方向とを平行に位置付ける。実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、図１２に示すように、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２により回転された切削ブレード１０−１の切り刃の下端を、ドレス部材２０に形成された切削ブレード１−１の刃先４を形成するための複数の溝２１−１と加工送り方向に並び、かつドレス部材２０の他方の表面よりも下方でかつ他方の表面から刃先長６となる位置に位置付ける。このとき、図１３に示すように、切削装置３０が、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２により回転された切削ブレード１０−１の切り刃の下端を、ドレス部材２０に形成された切削ブレード１−１の刃先４を形成するための全ての溝２１−１と加工送り方向に並ぶ位置に位置付ける。 In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, the cutting device 30 positions the longitudinal direction of the dress member 20 and the machining feed direction in parallel. In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, as shown in FIG. 12, the cutting device 30 dresses the lower end of the cutting blade of the cutting blade 10-1 rotated by the spindle 32 of one cutting unit 31-1. A plurality of grooves 21-1 for forming the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 formed on the member 20 are aligned with each other in the machining feed direction, and the cutting edge is below the other surface of the dress member 20 and from the other surface. Position it at the position where it becomes the length 6. At this time, as shown in FIG. 13, the cutting device 30 has a cutting blade formed on the dress member 20 at the lower end of the cutting blade of the cutting blade 10-1 rotated by the spindle 32 of one cutting unit 31-1. It is positioned so that it is aligned with all the grooves 21-1 for forming the cutting edge 4 of 1-1 in the machining feed direction.

実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、一方の切削ユニット３１−１の切削ブレード１０−１に対して保持テーブル３７を加工送り方向に相対的に移動させて、切削ブレード１０−１の切り刃をドレス部材２０の全長に亘って切り込ませる。このとき、ドレス部材２０の砥粒の粒径が、切削ブレード１０−１の砥粒の粒径よりも大きいために、ドレス部材２０が切削され難く、切削ブレード１０−１が主に切削される。こうして、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、図１３に示すように、切削ブレード１０−１をドレス部材２０の溝２１−１に沿って切削して、刃先４と連結部５とを形成し、被加工物２００の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する図２に示す切削ブレード１−１に形成する。 In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, the cutting device 30 moves the holding table 37 relative to the cutting blade 10-1 of one cutting unit 31-1 in the machining feed direction, and the cutting blade 10 The cutting edge of -1 is cut over the entire length of the dress member 20. At this time, since the particle size of the abrasive grains of the dress member 20 is larger than the particle size of the abrasive grains of the cutting blade 10-1, the dress member 20 is difficult to cut, and the cutting blade 10-1 is mainly cut. .. Thus, in the blade shaping step 1003, as shown in FIG. 13, the cutting device 30 cuts the cutting blade 10-1 along the groove 21-1 of the dress member 20 to form the cutting edge 4 and the connecting portion 5. Then, the cutting groove 208 is formed on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203 of the workpiece 200, and is formed on the cutting blade 1-1 shown in FIG.

実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、他方の切削ユニット３１−２のスピンドル３２により回転された切削ブレード１０−２の切り刃を切削ブレード１０−１と同様にドレス部材２０に切り込ませる。実施形態１において、ブレード整形ステップ１００３では、切削装置３０が、切削ブレード１０−２をドレス部材２０の溝２１−２に沿って切削して、刃先４と連結部５とを形成し、被加工物２００の第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する図２に示す切削ブレード１−２に形成する。切削装置３０が、切削ブレード１０−１,１０−２を切削ブレード１−１,１−２に形成すると、ブレード整形方法を終了する。 In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, the cutting device 30 dresses the cutting edge of the cutting blade 10-2 rotated by the spindle 32 of the other cutting unit 31-2 in the same manner as the cutting blade 10-1. Make a cut in. In the first embodiment, in the blade shaping step 1003, the cutting device 30 cuts the cutting blade 10-2 along the groove 21-2 of the dress member 20 to form the cutting edge 4 and the connecting portion 5, and to be machined. A cutting groove 208 is formed on the back surface 206 side of the second scheduled cutting line 204 of the object 200. It is formed on the cutting blade 1-2 shown in FIG. When the cutting device 30 forms the cutting blades 10-1 and 10-2 on the cutting blades 1-1 and 1-2, the blade shaping method ends.

次に、実施形態１に係る加工方法を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態１に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る加工方法は、図５に示されたブレード整形方法で整形された切削ブレード１−１,１−２で複数の切削予定ライン２０３,２０４が設定された被加工物２００に切削予定ライン２０３,２０４に沿った複数の切削溝２０８を形成する被加工物２００の加工方法である。加工方法は、図１４に示すように、固定ステップ２００１と、保持ステップ２００２と、アライメントステップ２００３と、切削ステップ２００４と、刃先修正ステップ２００５とを備える。 Next, the processing method according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 14 is a flowchart showing the flow of the processing method according to the first embodiment. In the machining method according to the first embodiment, the cutting blades 1-1 and 1-2 shaped by the blade shaping method shown in FIG. 5 cut into a workpiece 200 in which a plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 are set. This is a processing method of the workpiece 200 for forming a plurality of cutting grooves 208 along the planned lines 203 and 204. As shown in FIG. 14, the processing method includes a fixing step 2001, a holding step 2002, an alignment step 2003, a cutting step 2004, and a cutting edge correction step 2005.

（固定ステップ）
固定ステップ２００１は、切削ブレード１−１,１−２が切削装置３０のスピンドル３２に固定された状態とするステップである。実施形態１では、加工方法は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップ１００３を実施した切削装置３０により実施される。このため、実施形態１では、固定ステップ２００１は、図５に示されたブレード整形方法の各切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に切削ブレード１０−１,１０−２を装着し、固定した状態としたブレード準備ステップ１００１である。 (Fixed step)
The fixing step 2001 is a step in which the cutting blades 1-1 and 1-2 are fixed to the spindle 32 of the cutting device 30. In the first embodiment, the machining method is carried out by the cutting apparatus 30 that has carried out the blade shaping step 1003 of the blade shaping method shown in FIG. Therefore, in the first embodiment, in the fixing step 2001, the cutting blades 10-1 and 10-2 are mounted on the spindle 32 of each cutting unit 31-1 and 31-2 of the blade shaping method shown in FIG. The blade preparation step 1001 is in a fixed state.

なお、本発明では、加工方法は、図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップ１００３を実施した切削装置３０と異なる切削装置により実施されても良い。この場合、固定ステップ２００１は、図５に示されたブレード整形方法のブレード準備ステップ１００１と同様に、加工方法を実施する切削装置のスピンドルに図５に示されたブレード整形方法のブレード整形ステップ１００３において形成された切削ブレード１−１,１−２を装着し、固定する。 In the present invention, the processing method may be performed by a cutting device different from the cutting device 30 that has performed the blade shaping step 1003 of the blade shaping method shown in FIG. In this case, the fixing step 2001 is similar to the blade preparation step 1001 of the blade shaping method shown in FIG. 5, and the blade shaping step 1003 of the blade shaping method shown in FIG. The cutting blades 1-1 and 1-2 formed in the above are mounted and fixed.

（保持ステップ）
図１５は、図１４に示された加工方法の保持ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。保持ステップ２００２は、被加工物２００を切削装置３０の保持テーブル３７で保持するステップである。 (Holding step)
FIG. 15 is a side view schematically showing a holding step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. The holding step 2002 is a step of holding the workpiece 200 on the holding table 37 of the cutting apparatus 30.

実施形態１において、保持ステップ２００２では、被加工物２００の基板２０１の裏面２０６に形成された金属膜２０７の外周部を除去し、被加工物２００の裏面２０６側の外周部において、基板２０１を露出させる。実施形態１では、金属膜２０７の外周部を図示しない切削ブレードで切削して除去するが、本発明では、金属膜２０７の外周部を切削ブレードにより除去されることに限定されない。例えば、本発明では、被加工物２００の裏面２０６の外周部にあらかじめ金属膜２０７を成膜せずに基板２０１を露出させる未成膜領域を形成しておいても良い。 In the first embodiment, in the holding step 2002, the outer peripheral portion of the metal film 207 formed on the back surface 206 of the substrate 201 of the workpiece 200 is removed, and the substrate 201 is placed on the outer peripheral portion of the workpiece 200 on the back surface 206 side. Expose. In the first embodiment, the outer peripheral portion of the metal film 207 is removed by cutting with a cutting blade (not shown), but in the present invention, the outer peripheral portion of the metal film 207 is not limited to being removed by the cutting blade. For example, in the present invention, a non-deposited region for exposing the substrate 201 may be formed on the outer peripheral portion of the back surface 206 of the workpiece 200 without forming the metal film 207 in advance.

実施形態１において、保持ステップ２００２では、被加工物２００の表面２０２側を外周縁に環状の環状フレーム２２１が装着されたテープ２２２の中央に貼着して、裏面２０６側の金属膜２０７を露出させた状態で、被加工物２００を環状フレーム２２１の開口２２３内に支持する。実施形態１において、保持ステップ２００２では、切削装置３０が、図１５に示すように、保持テーブル３７にテープ２２２を介して被加工物２００の表面２０２側が載置され、金属膜２０７を上に向けて、被加工物２００をテープ２２２を介して保持テーブル３７に吸引保持し、クランプ部３８で環状フレーム２２１をクランプする。 In the first embodiment, in the holding step 2002, the front surface 202 side of the workpiece 200 is attached to the center of the tape 222 on which the annular frame 221 is attached to the outer peripheral edge to expose the metal film 207 on the back surface 206 side. In this state, the workpiece 200 is supported in the opening 223 of the annular frame 221. In the first embodiment, in the holding step 2002, as shown in FIG. 15, the cutting apparatus 30 is placed on the holding table 37 via the tape 222 on the surface 202 side of the workpiece 200, and the metal film 207 is turned upward. Then, the workpiece 200 is sucked and held on the holding table 37 via the tape 222, and the annular frame 221 is clamped by the clamp portion 38.

（アライメントステップ）
図１６は、図１４に示された加工方法のアライメントステップを一部断面で模式的に示す側面図である。アライメントステップ２００３は、切削ブレード１−１,１−２の複数の刃先４を被加工物２００の複数の切削予定ライン２０３,２０４に対応させて整列させるステップである。 (Alignment step)
FIG. 16 is a side view schematically showing the alignment step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. The alignment step 2003 is a step of aligning the plurality of cutting edges 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2 so as to correspond to the plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 of the workpiece 200.

実施形態１において、アライメントステップ２００３では、切削装置３０が、図１６に示すように、赤外線カメラ３９を保持テーブル３７に保持された被加工物２００の裏面２０６の外周部に対向させ、赤外線カメラ３９で被加工物２００の裏面２０６の外周部を撮像し、切削予定ライン２０３,２０４を検出する。実施形態１において、アライメントステップ２００３では、切削装置３０が、保持テーブル３７の軸心回りの向きを調整して、第１切削予定ライン２０３を加工送り方向と平行にして、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２に装着された切削ブレード１−１の刃先４と第１切削予定ライン２０３との位置合わせを遂行する。こうして、実施形態１において、アライメントステップ２００３では、切削ブレード１−１の複数の刃先４を被加工物２００の複数の第１切削予定ライン２０３に対応させて整列させる。 In the first embodiment, in the alignment step 2003, as shown in FIG. 16, the cutting apparatus 30 makes the infrared camera 39 face the outer peripheral portion of the back surface 206 of the workpiece 200 held on the holding table 37, and the infrared camera 39. The outer peripheral portion of the back surface 206 of the workpiece 200 is imaged with, and the scheduled cutting lines 203 and 204 are detected. In the first embodiment, in the alignment step 2003, the cutting device 30 adjusts the direction around the axis of the holding table 37 to make the first scheduled cutting line 203 parallel to the machining feed direction, and one cutting unit 31-. Aligning the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 mounted on the spindle 32 of No. 1 with the first scheduled cutting line 203 is performed. Thus, in the first embodiment, in the alignment step 2003, the plurality of cutting edges 4 of the cutting blade 1-1 are aligned so as to correspond to the plurality of first scheduled cutting lines 203 of the workpiece 200.

（切削ステップ）
図１７は、図１４に示された加工方法の切削ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。切削ステップ２００４は、アライメントステップ２００３を実施した後、切削ブレード１−１,１−２で複数の切削予定ライン２０３,２０４を切削して、各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成するステップである。 (Cutting step)
FIG. 17 is a side view schematically showing a cutting step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. In the cutting step 2004, after performing the alignment step 2003, a plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 are cut by the cutting blades 1-1 and 1-2, and a cutting groove is formed on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203 and 204. This is the step of forming 208.

実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、図１７に示すように、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２により回転された切削ブレード１−１の各刃先４の下端を、被加工物２００の第１切削予定ライン２０３の幅方向の中央と加工送り方向に並び、かつ被加工物２００の金属膜２０７の表面よりも下方でかつ金属膜２０７の表面から金属膜２０７の厚みを超えかつ刃先長６未満となる金属膜２０７を除去可能な位置に位置付ける。 In the first embodiment, in the cutting step 2004, as shown in FIG. 17, the cutting apparatus 30 covers the lower end of each cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 rotated by the spindle 32 of one cutting unit 31-1. The thickness of the metal film 207 is aligned with the center of the first scheduled cutting line 203 of the workpiece 200 in the width direction and the machining feed direction, below the surface of the metal film 207 of the workpiece 200, and from the surface of the metal film 207. The metal film 207 that exceeds and has a cutting edge length of less than 6 is positioned at a position where it can be removed.

実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２に装着された切削ブレード１−１に対して保持テーブル３７を加工送り方向に相対的に移動させて、切削ブレード１−１の各刃先４を第１切削予定ライン２０３の全長に亘って金属膜２０７に切り込ませて、被加工物２００の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する。 In the first embodiment, in the cutting step 2004, the cutting device 30 moves the holding table 37 relative to the cutting blade 1-1 mounted on the spindle 32 of one cutting unit 31-1 in the machining feed direction. Then, each cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 is cut into the metal film 207 over the entire length of the first scheduled cutting line 203, and a cutting groove is formed on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203 of the workpiece 200. Form 208.

実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、被加工物２００に切削ブレード１−１の刃先４と同数（実施形態１では、３本）の切削溝２０８を形成すると、一方の切削ユニット３１−１と保持テーブル３７とを切削ブレード１−１が有する刃先４の厚みである切削溝２０８の幅２０９の総数と刃先４間の間隔である第１間隔２１３の総数との和（実施形態１では、３本の切削溝２０８の幅２０９と２つの第１間隔２１３との和）に第１間隔２１３を加えた分、水平方向と平行でかつ加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対的に移動させる。実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、切削ブレード１−１の各刃先４を第１切削予定ライン２０３の全長に亘って金属膜２０７に切り込ませて、被加工物２００の第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を同様に形成する。 In the first embodiment, in the cutting step 2004, when the cutting apparatus 30 forms the same number of cutting grooves 208 as the cutting edges 4 of the cutting blade 1-1 (three in the first embodiment) in the workpiece 200, one of the cuttings is cut. The sum of the total number of widths 209 of the cutting groove 208, which is the thickness of the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1, and the total number of the first intervals 213, which is the interval between the cutting edges 4, of the unit 31-1 and the holding table 37 (implementation). In the first embodiment, the width 209 of the three cutting grooves 208 and the sum of the two first spacings 213) plus the first spacing 213 makes the indexing feed direction parallel to the horizontal direction and orthogonal to the machining feed direction. Move relatively. In the first embodiment, in the cutting step 2004, the cutting device 30 cuts each cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 into the metal film 207 over the entire length of the first scheduled cutting line 203, and the workpiece 200 is cut. A cutting groove 208 is similarly formed on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203.

実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、被加工物２００の全ての第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成すると、保持テーブル３７を軸心回りに９０度回転させて、第２切削予定ライン２０４を加工送り方向と平行にして、他方の切削ユニット３１−２のスピンドル３２に装着された切削ブレード１−２の刃先４と第２切削予定ライン２０４との位置合わせを遂行する。こうして、実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削ブレード１−２の複数の刃先４を被加工物２００の複数の第２切削予定ライン２０４に対応させて整列させるアライメントステップも実施する。 In the first embodiment, in the cutting step 2004, when the cutting apparatus 30 forms the cutting groove 208 on the back surface 206 side of all the first scheduled cutting lines 203 of the workpiece 200, the holding table 37 is rotated 90 degrees around the axis. By rotating the second scheduled cutting line 204 in parallel with the machining feed direction, the cutting edge 4 of the cutting blade 1-2 mounted on the spindle 32 of the other cutting unit 31-2 and the second scheduled cutting line 204 Perform alignment. Thus, in the first embodiment, in the cutting step 2004, an alignment step is also carried out in which the plurality of cutting edge 4s of the cutting blades 1-2 are aligned with the plurality of second scheduled cutting lines 204 of the workpiece 200.

実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、第１切削予定ライン２０３の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する際と同様に、被加工物２００の第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成する。実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、被加工物２００の全ての第２切削予定ライン２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成すると、切削ユニット３１−１,３１−２を保持テーブル３７から相対的に退避させる。実施形態１において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、保持テーブル３７の被加工物２００の吸引保持を停止し、クランプ部３８の環状フレーム２２１のクランプを解除し、保持テーブル３７から被加工物２００が搬出される。なお、本発明では、第１方向２１１と第２方向２１２でデバイス２０５のサイズが同じ場合は、１つの切削ブレードで切削ステップ２００４を行ってもよい。 In the first embodiment, in the cutting step 2004, the cutting apparatus 30 forms the cutting groove 208 on the back surface 206 side of the first scheduled cutting line 203, and the back surface of the second scheduled cutting line 204 of the workpiece 200 is formed. A cutting groove 208 is formed on the 206 side. In the first embodiment, in the cutting step 2004, when the cutting apparatus 30 forms the cutting groove 208 on the back surface 206 side of all the second scheduled cutting lines 204 of the workpiece 200, the cutting units 31-1 and 31-2 are formed. It is relatively retracted from the holding table 37. In the first embodiment, in the cutting step 2004, the cutting device 30 stops the suction holding of the workpiece 200 of the holding table 37, releases the clamp of the annular frame 221 of the clamp portion 38, and releases the workpiece from the holding table 37. 200 is carried out. In the present invention, when the size of the device 205 is the same in the first direction 211 and the second direction 212, the cutting step 2004 may be performed with one cutting blade.

（刃先修正ステップ）
図１８は、図１４に示された加工方法の刃先修正ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。実施形態１において、刃先修正ステップ２００５は、切削ステップ２００４の実施後に、ドレス部材２０に形成された溝２１−１,２１−２を切削ブレード１−１,１−２の刃先４で切削して、切削ブレード１−１,１−２の刃先４の形状を修正するステップである。 (Blade edge correction step)
FIG. 18 is a side view schematically showing a cutting edge correction step of the processing method shown in FIG. 14 in a partial cross section. In the first embodiment, in the cutting edge correction step 2005, after the cutting step 2004 is performed, the grooves 21-1 and 21-2 formed in the dress member 20 are cut by the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2. This is a step of correcting the shape of the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2.

実施形態１において、刃先修正ステップ２００５では、切削装置３０が、保持テーブル３７にテープ２４を介してドレス部材２０を吸引保持し、クランプ部３８で環状フレーム２３をクランプする。実施形態１において、刃先修正ステップ２００５では、切削装置３０が、図１８に示すように、一方の切削ユニット３１−１のスピンドル３２により回転された切削ブレード１−１の各刃先４の下端を、ドレス部材２０に形成された溝２１−１と加工送り方向に並び、かつドレス部材２０の他方の表面よりも下方でかつ他方の表面から刃先長６となる位置に位置付ける。 In the first embodiment, in the cutting edge correction step 2005, the cutting device 30 sucks and holds the dress member 20 on the holding table 37 via the tape 24, and the clamp portion 38 clamps the annular frame 23. In the first embodiment, in the cutting edge correction step 2005, the cutting device 30 sets the lower end of each cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 rotated by the spindle 32 of one cutting unit 31-1 as shown in FIG. It is positioned so as to be aligned with the groove 21-1 formed in the dress member 20 in the processing feed direction, below the other surface of the dress member 20, and at a position where the cutting edge length is 6 from the other surface.

実施形態１において、刃先修正ステップ２００５では、切削装置３０が、一方の切削ユニット３１−１の切削ブレード１−１に対して保持テーブル３７を加工送り方向に相対的に移動させて、ブレード整形ステップ１００３と同様に、切削ブレード１−１の刃先４をドレス部材２０の全長に亘って溝２１−１に切り込ませて、切削ブレード１−１の刃先４の形状を修正する。実施形態１において、刃先修正ステップ２００５では、切削装置３０が、切削ブレード１−１の刃先４の形状を修正した後、他方の切削ユニット３１−２のスピンドル３２により回転された切削ブレード１−２の刃先４をドレス部材２０の全長に亘って溝２１−２に切り込ませて、切削ブレード１−２の刃先４の形状を修正する。切削装置３０が、切削ブレード１−１,１−２の刃先４の形状を修正すると、加工方法を終了する。 In the first embodiment, in the cutting edge correction step 2005, the cutting device 30 moves the holding table 37 relative to the cutting blade 1-1 of one cutting unit 31-1 in the machining feed direction, and the blade shaping step. Similar to 1003, the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1 is cut into the groove 21-1 over the entire length of the dress member 20 to correct the shape of the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1. In the first embodiment, in the cutting edge correction step 2005, the cutting device 30 corrects the shape of the cutting edge 4 of the cutting blade 1-1, and then the cutting blade 1-2 is rotated by the spindle 32 of the other cutting unit 31-2. The cutting edge 4 of the cutting blade 1-2 is cut into the groove 21-2 over the entire length of the dress member 20 to correct the shape of the cutting edge 4 of the cutting blade 1-2. When the cutting device 30 modifies the shape of the cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2, the machining method ends.

なお、各切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に切削溝２０８が形成された被加工物２００は、真空チャンバの外部でプラズマ化されたガスが供給される所謂リモートプラズマ方式又は真空チャンバの内部でプラズマ化されたガスが供給される所謂ダイレクトプラズマ方式のプラズマエッチング（所謂プラズマダイシング）が施されて、個々のデバイス２０５に分割される。 The workpiece 200 in which the cutting groove 208 is formed on the back surface 206 side of each scheduled cutting line 203, 204 is a so-called remote plasma method in which a plasmalized gas is supplied outside the vacuum chamber or inside the vacuum chamber. The so-called direct plasma type plasma etching (so-called plasma dicing) to which the gas converted into plasma is supplied is performed, and the device 205 is divided into individual devices 205.

以上説明した実施形態１に係るブレード整形方法は、ドレス部材準備ステップ１００２において切削溝２０８の幅２０９と同じ幅の溝２１−１,２１−２を切削溝２０８間の間隔２１３,２１４と同じ間隔でドレス部材２０に形成し、ブレード整形ステップ１００３において切削ブレード１０−１,１０−２で溝２１−１,２１−２を切削して、切削ブレード１−１,１−２に切削溝１０８の幅２０９を有した刃先４を形成する。このために、実施形態１に係るブレード整形方法は、切削ブレード１−１,１−２に形成すべき切削溝２０８の幅２０９と同じ幅の複数の刃先４を切削溝２０８の間隔２１３,２１４と同じ間隔で形成することができる。 In the blade shaping method according to the first embodiment described above, in the dress member preparation step 1002, grooves 21-1, 21-2 having the same width as the width 209 of the cutting groove 208 are provided at the same interval as the interval 213,214 between the cutting grooves 208. In the blade shaping step 1003, the grooves 21-1 and 21-2 are cut by the cutting blades 10-1 and 10-2, and the cutting grooves 108 are formed in the cutting blades 1-1 and 1-2. The cutting edge 4 having a width of 209 is formed. Therefore, in the blade shaping method according to the first embodiment, a plurality of cutting edges 4 having the same width as the width 209 of the cutting groove 208 to be formed in the cutting blades 1-1 and 1-2 are provided at intervals of 213,214 of the cutting grooves 208. Can be formed at the same intervals as.

したがって、ブレード整形方法は、１回の切削で複数本の切削溝２０８を形成することが可能な切削ブレード１−１,１−２を得ることができ、複数の切削予定ライン２０３,２０４が設定された被加工物２００の切削時間を短縮することを可能とすることができる。 Therefore, as a blade shaping method, it is possible to obtain cutting blades 1-1 and 1-2 capable of forming a plurality of cutting grooves 208 in one cutting, and a plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 are set. It is possible to shorten the cutting time of the work piece 200.

また、ブレード整形方法は、複数の刃先４が一体の切削ブレード１−１,１−２を得ることができるので、スピンドル３２に１つの部品を固定、交換することで、スピンドル３２に複数の刃先４を固定、交換することができる。したがって、ブレード整形方法は、切削ブレード１−１,１−２の固定、交換を容易に行うことを可能とすることができるという効果を奏する。 Further, in the blade shaping method, since it is possible to obtain cutting blades 1-1 and 1-2 in which a plurality of cutting edges 4 are integrated, a plurality of cutting edges can be obtained on the spindle 32 by fixing and exchanging one component on the spindle 32. 4 can be fixed and replaced. Therefore, the blade shaping method has an effect that the cutting blades 1-1 and 1-2 can be easily fixed and replaced.

その結果、ブレード整形方法は、複数の切削予定ライン２０３,２０４が設定された被加工物２００の切削時間を短縮することを可能としながらも、切削ブレード１−１，１−２の固定、交換を容易に行うことを可能とすることができるという効果を奏する。 As a result, the blade shaping method fixes and replaces the cutting blades 1-1 and 1-2 while making it possible to shorten the cutting time of the workpiece 200 in which a plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 are set. It has the effect that it can be easily performed.

また、実施形態１に係る加工方法は、前述したブレード整形方法により形成された切削ブレード１−１,１−２を用いるので、複数の切削予定ライン２０３,２０４が設定された被加工物２００の切削時間を短縮することを可能としながらも、切削ブレード１−１,１−２の固定、交換を容易に行うことを可能とすることができるという効果を奏し、被加工物２００の加工効率が低下することを抑制することができるという効果を奏する。 Further, since the machining method according to the first embodiment uses the cutting blades 1-1 and 1-2 formed by the blade shaping method described above, the workpiece 200 in which a plurality of scheduled cutting lines 203 and 204 are set. While it is possible to shorten the cutting time, it is possible to easily fix and replace the cutting blades 1-1 and 1-2, and the processing efficiency of the workpiece 200 is improved. It has the effect of suppressing the decrease.

また、実施形態１に係る切削ブレード１−１,１−２は、前述したブレード整形方法により形成されて、形成すべき切削溝２０８の幅２０９と同じ幅の複数の刃先４を切削溝２０８の間隔２１３,２１４と同じ間隔で形成されている。その結果、切削ブレード１−１,１−２は、複数の切削予定ライン２０３,２０４が設定された被加工物２００の切削時間を短縮することを可能としながらも、切削ブレード１−１,１−２の固定、交換を容易に行うことを可能とすることができるという効果を奏し、被加工物２００の加工効率が低下することを抑制することができるという効果を奏する。 Further, the cutting blades 1-1 and 1-2 according to the first embodiment are formed by the blade shaping method described above, and a plurality of cutting edges 4 having the same width as the width 209 of the cutting groove 208 to be formed are formed in the cutting groove 208. It is formed at the same interval as the interval 213,214. As a result, the cutting blades 1-1, 1-2 can shorten the cutting time of the workpiece 200 in which a plurality of scheduled cutting lines 203, 204 are set, while the cutting blades 1-1, 1 It has the effect of making it possible to easily fix and replace -2, and has the effect of suppressing a decrease in the processing efficiency of the workpiece 200.

〔実施形態２〕
図１９は、実施形態２に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。なお、図１９は、実施形態１と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
FIG. 19 is a flowchart showing the flow of the processing method according to the second embodiment. In FIG. 19, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る加工方法は、切削装置３０が、切削ステップ２００４の実施中に刃先修正ステップ２００５を実施すること以外、実施形態１に係る加工方法と同じである。実施形態２に係る加工方法は、切削装置３０が、切削ステップ２００４の開始２００４−１後、所定のタイミングで刃先修正ステップ２００５を実施する。所定のタイミングは、例えば、前回の刃先修正ステップ２００５から各切削ユニット３１−１,３１−２のスピンドル３２に装着された切削ブレード１−１,１−２が切削溝２０８を所定回数形成する毎である。 The machining method according to the second embodiment is the same as the machining method according to the first embodiment except that the cutting apparatus 30 performs the cutting edge correction step 2005 during the execution of the cutting step 2004. In the machining method according to the second embodiment, the cutting apparatus 30 performs the cutting edge correction step 2005 at a predetermined timing after the start 2004-1 of the cutting step 2004. The predetermined timing is, for example, every time the cutting blades 1-1 and 1-2 mounted on the spindle 32 of each cutting unit 31-1 and 31-2 form the cutting groove 208 a predetermined number of times from the previous cutting edge correction step 2005. Is.

実施形態２において、切削ステップ２００４では、切削装置３０が、被加工物２００の全ての切削予定ライン２０３,２０４の裏面２０６側に切削溝２０８を形成すると、切削ユニット３１−１,３１−２を保持テーブル３７から相対的に退避させ、保持テーブル３７の被加工物２００の吸引保持を停止し、クランプ部３８の環状フレーム２２１のクランプを解除し、保持テーブル３７から被加工物２００が搬出されて、切削ステップ２００４を終了２００４−２し、加工方法を終了する。 In the second embodiment, in the cutting step 2004, when the cutting apparatus 30 forms the cutting groove 208 on the back surface 206 side of all the scheduled cutting lines 203 and 204 of the workpiece 200, the cutting units 31-1 and 31-2 are formed. The work piece 200 is relatively retracted from the holding table 37, the suction holding of the work piece 200 of the holding table 37 is stopped, the clamp of the annular frame 221 of the clamp portion 38 is released, and the work piece 200 is carried out from the holding table 37. , Cutting step 2004 is completed 2004-2, and the processing method is completed.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明の加工方法では、保持テーブル３７が石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム等の透明な透明部材から構成されている場合には、アライメントステップ２００３において、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子を備える撮像ユニットで被加工物２００の表面２０２側を保持テーブル３７越しに撮像して、切削予定ライン２０３,２０４を検出しても良い。なお、この場合、保持ステップ２００２において、金属膜２０７の外周部を除去しなくても良く、被加工物２００の裏面２０６の外周部にあらかじめ未成膜領域を形成しなくても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be modified in various ways without departing from the gist of the present invention. For example, in the processing method of the present invention, when the holding table 37 is composed of a transparent transparent member such as quartz glass, borosilicate glass, sapphire, calcium fluoride, lithium fluoride, magnesium fluoride, etc., the alignment step In 2003, the surface 202 side of the workpiece 200 was imaged through the holding table 37 with an imaging unit equipped with a CCD (Charge-Coupled Device) imaging element or a CMOS (Complementary MOS) imaging element, and the planned cutting lines 203 and 204 were captured. It may be detected. In this case, it is not necessary to remove the outer peripheral portion of the metal film 207 in the holding step 2002, and it is not necessary to form a non-deposited region in advance on the outer peripheral portion of the back surface 206 of the workpiece 200.

また、本発明の加工方法では、切削装置３０がドレス部材２０を保持するサブチャックテーブルを備え、切削ステップ２００４開始までにサブチャックテーブルにドレス部材２０を保持して、刃先修正ステップ２００５では、サブチャックテーブルに保持されたドレス部材２０の溝２１−１,２１−２に切削ブレード１−１,１−２の刃先４を切り込ませても良い。 Further, in the processing method of the present invention, the cutting device 30 includes a sub-chuck table for holding the dress member 20, holds the dress member 20 on the sub-chuck table by the start of the cutting step 2004, and in the cutting edge correction step 2005, the sub-chuck table is held. The cutting edge 4 of the cutting blades 1-1 and 1-2 may be cut into the grooves 21-1 and 21-2 of the dress member 20 held on the chuck table.

１−１,１−２ 切削ブレード
２ 切り刃
３ 軸心
４ 刃先
５ 連結部
１０−１,１０−２ 切削ブレード
１１−１,１１−２ 厚み
２０ ドレス部材
２１−１,２１−２ 溝
２２ ドレス部材
３０ 切削装置
３２ スピンドル
３７ 保持テーブル
４５ ドレス材ブレード
２００ 被加工物
２０３ 第１切削予定ライン（切削予定ライン）
２０４ 第２切削予定ライン（切削予定ライン）
２０８ 切削溝
２０９ 幅
２１３ 第１間隔（間隔）
２１４ 第２間隔（間隔）
２１５ 距離 1-1,1-2 Cutting blade 2 Cutting blade 3 Axial center 4 Cutting edge 5 Connecting part 10-1,10-2 Cutting blade 11-1,11-2 Thickness 20 Dress member 21-1,21-2 Groove 22 Dress Member 30 Cutting device 32 Spindle 37 Holding table 45 Dress material blade 200 Work piece 203 First scheduled cutting line (scheduled cutting line)
204 2nd scheduled cutting line (scheduled cutting line)
208 Cutting groove 209 Width 213 First interval (interval)
214 Second interval (interval)
215 distance

Claims (6)

複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成するための切削ブレードを整形するブレード整形方法であって、
隣接した２つの該切削溝を含む距離を超える値の厚みを有した切削ブレードを準備するブレード準備ステップと、
該切削溝と同じ幅の溝が形成されたドレス部材を準備するドレス部材準備ステップと、
該ブレード準備ステップと該ドレス部材準備ステップとを実施した後、該切削ブレードで該ドレス部材に形成された該溝を切削し、該切削ブレードに該切削溝の幅を有した複数の刃先を形成するブレード整形ステップと、
を備えたブレード整形方法。 It is a blade shaping method for shaping a cutting blade for forming a plurality of cutting grooves along the scheduled cutting line on a work piece on which a plurality of scheduled cutting lines are set.
A blade preparation step for preparing a cutting blade having a thickness exceeding the distance including two adjacent cutting grooves, and a blade preparation step.
A dress member preparation step for preparing a dress member having a groove having the same width as the cutting groove, and a dress member preparation step.
After performing the blade preparation step and the dress member preparation step, the cutting blade cuts the groove formed in the dress member, and the cutting blade is formed with a plurality of cutting edges having the width of the cutting groove. Blade shaping step and
Blade shaping method with. 該ドレス部材には、該ブレード整形ステップで該切削ブレードに形成する刃先に対応した数以上の該溝が形成されている、請求項１に記載のブレード整形方法。 The blade shaping method according to claim 1, wherein the dress member is formed with a number or more of the grooves corresponding to the cutting edge formed on the cutting blade in the blade shaping step. 該ドレス部材準備ステップでは、
該切削溝の幅に対応した厚みを有するドレス材用ブレードでドレス部材を切削して該溝を該ドレス部材に形成する、請求項１または請求項２に記載のブレード整形方法。 In the dress member preparation step,
The blade shaping method according to claim 1 or 2, wherein the dress member is cut with a dress material blade having a thickness corresponding to the width of the cutting groove to form the groove in the dress member. 請求項１から請求項３のいずれかに記載のブレード整形方法で整形された切削ブレードで複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成する被加工物の加工方法であって、
該切削ブレードが切削装置のスピンドルに固定された状態とする固定ステップと、
被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該切削ブレードの複数の該刃先を被加工物の複数の該切削予定ラインに対応させて整列させるアライメントステップと、
該アライメントステップを実施した後、該切削ブレードで複数の該切削予定ラインを切削する切削ステップと、を備えた加工方法。 A cutting blade shaped by the blade shaping method according to any one of claims 1 to 3 forms a plurality of cutting grooves along the scheduled cutting line on a workpiece on which a plurality of scheduled cutting lines are set. It is a processing method of the work piece,
A fixing step that keeps the cutting blade fixed to the spindle of the cutting device,
The holding step of holding the work piece on the holding table and
An alignment step in which a plurality of the cutting edges of the cutting blade are aligned corresponding to a plurality of scheduled cutting lines of the workpiece, and
A machining method comprising performing the alignment step and then cutting a plurality of scheduled cutting lines with the cutting blade. 該切削ステップの実施中または実施後に、該ドレス部材に形成された該溝を該切削ブレードで切削して該切削ブレードの該刃先の形状を修正する刃先修正ステップを更に備えた、請求項４に記載の加工方法。 4. The fourth aspect of the present invention further includes a cutting edge correction step of cutting the groove formed in the dress member with the cutting blade to correct the shape of the cutting edge of the cutting blade during or after the cutting step. The processing method described. 複数の切削予定ラインが設定された被加工物に該切削予定ラインに沿った複数の切削溝を形成する切り刃を備えた切削ブレードであって、
該切り刃は、
該切削予定ラインに切り込んで被加工物に切削溝を形成するとともに、軸心方向をあけて設けられた少なくとも２つの刃先と、
互いに隣り合う刃先同士を連結する連結部と、
を一体に備えることを特徴とする切削ブレード。 A cutting blade provided with a cutting edge that forms a plurality of cutting grooves along the planned cutting line on a work piece on which a plurality of scheduled cutting lines are set.
The cutting edge
A cutting groove is formed in the work piece by cutting into the planned cutting line, and at least two cutting edges provided with an axial direction are formed.
A connecting part that connects adjacent cutting edges and
A cutting blade that is characterized by being integrally equipped with.
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