JP6969944B2

JP6969944B2 - Cutting method and cutting measures for plate-shaped objects

Info

Publication number: JP6969944B2
Application number: JP2017179301A
Authority: JP
Inventors: 友春滝田; 成規原田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-09-19
Filing date: 2017-09-19
Publication date: 2021-11-24
Anticipated expiration: 2037-09-19
Also published as: JP2019057525A

Description

本発明は、複数枚の板状物を同時に保持手段に保持して分割する板状物の切削方法及び切削装置に関する。 The present invention relates to a method for cutting a plate-shaped object and a cutting device for dividing a plurality of plate-shaped objects by simultaneously holding them in a holding means.

比較的小型な板状物を切削して個々のデバイスに分割する際には、複数枚の板状物を一つの保持手段に保持し、切削ユニットの切削ブレードと各板状物とを分割予定ラインに沿って相対的に移動させることで、切削ブレードにより各板状物を個々のデバイスに分割する加工方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。 When cutting a relatively small plate-shaped object and dividing it into individual devices, multiple plate-shaped objects are held in one holding means, and the cutting blade of the cutting unit and each plate-shaped object are planned to be separated. A processing method is used in which each plate-like object is divided into individual devices by moving them relatively along a line (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１７−９２３６２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-92362

しかしながら、特許文献１に示す加工方法は、板状物の切削中に切削ブレードの回転によって切削水が切削ブレードから他の板状物に向かって飛散する虞があり、切削水中の切削屑が他の板状物に付着する虞があった。 However, in the processing method shown in Patent Document 1, there is a possibility that cutting water may be scattered from the cutting blade toward another plate-shaped object due to the rotation of the cutting blade during cutting of the plate-shaped object, and cutting debris in the cutting water may be present. There was a risk of adhering to the plate-like material.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる板状物の切削方法及び切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a plate-shaped object cutting method and a cutting apparatus capable of suppressing the adhesion of cutting chips in cutting water to the plate-shaped object. It is to be.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の板状物の切削方法は、保持手段と、切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、切削水供給手段と、を少なくとも有する切削装置を用いて、板状物を任意の分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、該分割予定ラインの延長線上に三枚以上の板状物が隣接しないように、複数枚の該板状物を該保持手段に保持する保持ステップと、切削点に供給される切削水を該切削ブレードの回転方向につれ回って排出しながら該板状物を切削する切削ステップと、を備え、該切削ステップにおいて、該切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、該切削水が排出される方向が、隣接する他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削ブレードを回転させながら切削することを特徴とする。
本発明の切削装置は、少なくとも一つの板状物の分割予定ラインの延長線上に他の板状物が位置する状態で複数枚の板状物を保持する保持手段と、切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に移動させる移動手段と、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、該制御ユニットは、該切削手段が複数枚の該板状物を切削する際に、切削点から排出される該切削水が該切削点から該保持手段の外周に向かう方向に回転された該切削ブレードを該保持手段の外周側から該板状物の該分割予定ラインに切り込ませて、該移動手段に該切削ブレードが該保持手段の中心に向かうように該保持手段を移動させることで、切削中に該切削ブレードの回転によって該切削ブレードから該切削水が排出される方向が、他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削手段と該移動手段との少なくとも一方を制御することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the method for cutting a plate-shaped object of the present invention includes at least a holding means, a cutting means for rotatably holding a cutting blade, and a cutting water supply means. It is a division method that divides a plate-shaped object along an arbitrary scheduled division line using a cutting device, and a plurality of plates are formed so that three or more plate-shaped objects are not adjacent to each other on an extension line of the planned division line. It is provided with a holding step of holding the plate-shaped object in the holding means, and a cutting step of cutting the plate-shaped object while discharging the cutting water supplied to the cutting point in the rotation direction of the cutting blade. In the cutting step, the cutting blade in which the cutting water discharged from the cutting point is rotated in a direction from the cutting point toward the outer periphery of the holding means is divided into the plate-shaped object from the outer peripheral side of the holding means. By cutting into the planned line and moving the holding means so that the cutting blade is directed toward the center of the holding means, the direction in which the cutting water is discharged is not the other adjacent plate-like object. It is characterized in that cutting is performed while rotating the cutting blade so as to face the outer periphery of the holding means.
The cutting device of the present invention has a holding means for holding a plurality of plate-shaped objects in a state where another plate-shaped object is located on an extension line of at least one plate-shaped object to be divided, and a cutting blade can be rotated. A cutting means for holding, a cutting water supply means for supplying cutting water to the cutting blade, a moving means for relatively moving the holding means and the cutting means, and a control unit for controlling each component. The control unit is provided with a cutting device, and when the cutting means cuts a plurality of the plate-shaped objects, the cutting water discharged from the cutting point is discharged from the cutting point to the outer periphery of the holding means. The cutting blade rotated in the direction toward the direction is cut into the planned division line of the plate-shaped object from the outer peripheral side of the holding means, and the moving means is directed so that the cutting blade is directed toward the center of the holding means. By moving the holding means, the direction in which the cutting water is discharged from the cutting blade by the rotation of the cutting blade during cutting is directed toward the outer periphery of the holding means instead of the other plate-like object. It is characterized by controlling at least one of a cutting means and the moving means.

本願発明は、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる、という効果を奏する。 Application onset Ming, cutting chips of the cutting water can be prevented from adhering to the plate-like material, an effect that.

図１は、実施形態１に係る板状物の切削方法が用いる切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device used in the method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment. 図２は、実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a workpiece to be machined in the method of cutting a plate-shaped object according to the first embodiment. 図３は、実施形態１に係る板状物の切削方法の流れを示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing the flow of the cutting method of the plate-shaped object according to the first embodiment. 図４は、図３に示された板状物の切削方法の切削ステップの一つの板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing a state in which a planned division line of a plate-shaped object, which is one of the cutting steps of the plate-shaped object cutting method shown in FIG. 3, is cut in a partial cross section. 図５は、図４に示された板状物を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. 図６は、図４に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a state in which the cutting of the planned division line of one plate-shaped object shown in FIG. 4 is completed in a partial cross section. 図７は、図６に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した切削ユニットを上昇させた状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 7 is a side view showing a state in which the cutting unit in which the cutting of the planned division line of one plate-shaped object shown in FIG. 6 is completed is raised in a partial cross section. 図８は、図７に示す状態から他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing a state in which a planned division line of another plate-shaped object is cut from the state shown in FIG. 7 in a partial cross section. 図９は、図８に示された板状物を示す平面図である。FIG. 9 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. 図１０は、実施形態２に係る板状物の切削方法の切削ステップにおいて、一つの板状物の分割予定ラインの切削の終了後に他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 10 shows a part of a state in which, in the cutting step of the plate-shaped object cutting method according to the second embodiment, another plate-shaped object scheduled to be split is cut after the cutting of one plate-shaped object scheduled to be split is completed. It is a side view shown in the cross section. 図１１は、図１０に示された板状物を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. 図１２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。FIG. 12 is a plan view of the workpiece to be machined by the method of cutting a plate-shaped object according to the modified examples of the first and second embodiments.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 An embodiment (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る板状物の切削方法が用いる切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。 [Embodiment 1]
The method of cutting a plate-shaped object according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a cutting device used in the method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view of a workpiece to be machined in the method of cutting a plate-shaped object according to the first embodiment.

実施形態１に係る板状物の切削方法は、図１に示す切削装置１を用いて板状物１００を分割する方法である。実施形態１に係る板状物の切削方法の加工対象である板状物１００は、平板状に形成され、例えば、ＣＳＰ（Chip Size Package）などのパッケージ基板である。板状物１００は、図２に示すように、表面１０１に互いに交差（実施形態１では、直交）する複数の分割予定ライン１０２によって区画された複数の領域にデバイス１０３が配設されている。板状物１００は、表面１０１の裏面１０４に粘着テープ１１０が貼着され、粘着テープ１１０の外周に環状フレーム１１１が貼着されることで、環状フレーム１１１と一体となっている。 The method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment is a method for dividing the plate-shaped object 100 by using the cutting device 1 shown in FIG. The plate-shaped object 100, which is the object of processing of the plate-shaped object cutting method according to the first embodiment, is formed in a flat plate shape and is, for example, a package substrate such as a CSP (Chip Size Package). As shown in FIG. 2, in the plate-shaped object 100, the device 103 is arranged in a plurality of regions partitioned by a plurality of scheduled division lines 102 that intersect each other (orthogonally in the first embodiment) with the surface 101. The plate-shaped object 100 is integrated with the annular frame 111 by attaching the adhesive tape 110 to the back surface 104 of the front surface 101 and attaching the annular frame 111 to the outer periphery of the adhesive tape 110.

また、板状物１００は、一つの粘着テープ１１０に複数枚貼着されて、複数枚の板状物１００が環状フレーム１１１と一体となっている。一つの粘着テープ１１０に貼着される複数枚の板状物１００は、互いに交差する分割予定ライン１０２のうちいずれの延長線上にも三枚以上の板状物１００が隣接しないように配置されている。即ち、一つの粘着テープ１１０に貼着される複数枚の板状物１００は、互いに交差する分割予定ライン１０２のうちいずれの延長線上に最大で二枚並ぶように配置されている。 Further, a plurality of plate-shaped objects 100 are attached to one adhesive tape 110, and the plurality of plate-shaped objects 100 are integrated with the annular frame 111. The plurality of plate-like objects 100 to be attached to one adhesive tape 110 are arranged so that three or more plate-like objects 100 are not adjacent to each other on any extension line of the planned division lines 102 that intersect with each other. There is. That is, the plurality of plate-shaped objects 100 to be attached to one adhesive tape 110 are arranged so as to line up at most two on any extension line of the planned division lines 102 that intersect each other.

なお、実施形態１において、板状物１００は、図２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の双方の延長線上に二つ並ぶように一つの粘着テープ１１０に４枚貼着されているが、本発明では、板状物１００が一つの粘着テープ１１０に貼着される数は、４枚に限定されないとともに、粘着テープ１１０に対する複数枚の板状物１００の配置は、図２に示された配置に限定されない。なお、実施形態１において、板状物１００は、パッケージ基板であるが、本発明では、パッケージ基板に限定されることなく、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどのウエーハ、セラミックス板又はガラス板でも良い。 In the first embodiment, as shown in FIG. 2, four plate-shaped objects 100 are attached to one adhesive tape 110 so as to be lined up on both extension lines of the planned division lines 102 that intersect each other. However, in the present invention, the number of the plate-shaped objects 100 to be attached to one adhesive tape 110 is not limited to four, and the arrangement of the plurality of plate-shaped objects 100 with respect to the adhesive tape 110 is shown in FIG. Not limited to the arrangement shown. In the first embodiment, the plate-shaped material 100 is a package substrate, but in the present invention, the plate-shaped material 100 is not limited to the package substrate, and a disk-shaped semiconductor wafer using silicon, sapphire, gallium, or the like as a base material is used. It may be a wafer such as an optical device wafer, a ceramic plate or a glass plate.

実施形態１に係る板状物の切削方法で用いられる切削装置１は、図１に示すように、板状物１００を保持面１１で吸引保持する保持手段であるチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持した板状物１００をスピンドル２１に装着した切削ブレード２２で切削する切削手段である切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された板状物１００を撮像する撮像ユニット３０と、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動手段である移動ユニット４０と、各構成要素を制御する制御ユニット５０とを少なくとも有する。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 used in the method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment has a chuck table 10 and a chuck table 10 which are holding means for sucking and holding the plate-shaped object 100 on the holding surface 11. The cutting unit 20 is a cutting means for cutting the plate-shaped object 100 held in the spindle 21 by the cutting blade 22 mounted on the spindle 21, the imaging unit 30 for imaging the plate-shaped object 100 held in the chuck table 10, and the chuck table 10. It has at least a moving unit 40 which is a moving means for relatively moving the cutting unit 20 and a cutting unit 20, and a control unit 50 which controls each component.

移動ユニット４０は、チャックテーブル１０を鉛直方向と平行なＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転駆動源４１と、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りする図示しないＺ軸移動ユニットとを少なくとも備える。 The moving unit 40 has a rotation drive source 41 that rotates the chuck table 10 around the axis parallel to the Z-axis direction parallel to the vertical direction, and an X-axis that processes and feeds the chuck table 10 in the X-axis direction parallel to the horizontal direction. A moving unit 42, a Y-axis moving unit (not shown) that indexes and feeds the cutting unit 20 in the Y-axis direction parallel to the horizontal direction and orthogonal to the X-axis direction, and a Z (not shown) that cuts and feeds the cutting unit 20 in the Z-axis direction. It is equipped with at least an axis moving unit.

チャックテーブル１０は、板状物１００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成された円盤形状である。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４２によりＸ軸方向に移動自在で回転駆動源４１によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、ポーラスセラミック等から形成された保持面１１が図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０は、保持面１１に環状フレーム１１１に一体となった板状物１００が粘着テープ１１０を介して載置され、保持面１１が真空吸引源により吸引されることで、環状フレーム１１１に一体となった複数枚の板状物１００を吸引保持する。なお、チャックテーブル１０は、環状フレーム１１１に一体となった複数枚の板状物１００を分割予定ライン１０２の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しない状態で複数枚の板状物１００を保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、環状フレーム１１１をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。 The chuck table 10 has a disk shape in which the holding surface 11 for holding the plate-shaped object 100 is formed of porous ceramic or the like. Further, the chuck table 10 is movably provided in the X-axis direction by the X-axis moving unit 42 and rotatably around the axis parallel to the Z-axis direction by the rotation drive source 41. The chuck table 10 has a holding surface 11 made of porous ceramic or the like connected to a vacuum suction source (not shown). In the chuck table 10, a plate-shaped object 100 integrated with the annular frame 111 is placed on the holding surface 11 via an adhesive tape 110, and the holding surface 11 is sucked by a vacuum suction source on the annular frame 111. A plurality of integrated plate-shaped objects 100 are sucked and held. In the chuck table 10, a plurality of plate-shaped objects 100 integrated with the annular frame 111 are divided into a plurality of plate-shaped objects in a state where three or more plate-shaped objects 100 are not adjacent to each other on an extension line of the scheduled line 102. Hold 100. Further, a plurality of clamp portions 12 for clamping the annular frame 111 are provided around the chuck table 10.

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物１００を切削する切削ブレード２２を装着するスピンドル２１を備えるものである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された板状物１００に対して、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 The cutting unit 20 includes a spindle 21 on which a cutting blade 22 for cutting a plate-shaped object 100 held on the chuck table 10 is mounted. Each of the cutting units 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit with respect to the plate-shaped object 100 held by the chuck table 10, and is movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving unit. It is provided in.

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット及びＺ軸移動ユニットにより、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２２を位置付け可能となっている。切削ブレード２２は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドル２１は、切削ブレード２２を回転させることで板状物１００を切削する。スピンドル２１は、スピンドルハウジング２３内に回転自在に収容されている。切削ユニット２０は、スピンドル２１に切削ブレード２２を装着することにより、切削ブレード２２を回転可能に保持する。切削ユニット２０のスピンドル２１及び切削ブレード２２の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニットによりＹ軸方向に割り出し送りされるとともにＺ軸移動ユニットに切り込み送りされながら、Ｘ軸移動ユニット４２によりチャックテーブル１０がＸ軸方向に切削送りされることにより、板状物１００を切削する。 The cutting unit 20 can position the cutting blade 22 at an arbitrary position on the holding surface 11 of the chuck table 10 by the Y-axis moving unit and the Z-axis moving unit. The cutting blade 22 is an ultra-thin cutting wheel having a substantially ring shape. The spindle 21 cuts the plate-shaped object 100 by rotating the cutting blade 22. The spindle 21 is rotatably housed in the spindle housing 23. The cutting unit 20 rotatably holds the cutting blade 22 by mounting the cutting blade 22 on the spindle 21. The axes of the spindle 21 and the cutting blade 22 of the cutting unit 20 are set to be parallel to the Y-axis direction. The cutting unit 20 is indexed and fed in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit, and is cut and fed to the Z-axis moving unit, while the chuck table 10 is cut and fed in the X-axis direction by the X-axis moving unit 42. The plate-shaped object 100 is cut.

また、切削ユニット２０には、切削中に切削ブレード２２の板状物１００を切削する切削点２５（図４に示す）に純水からなる切削水２６（図４に示す）を供給する切削水供給手段である切削水供給ノズル２４が取り付けられている。即ち、切削装置１は、切削水供給手段である切削水供給ノズル２４を備えている。なお、切削点２５とは、切削ブレード２２の外縁の切り刃のうちの板状物１００を切削している部分をいう。切削水供給ノズル２４から切削ブレード２２の切削点２５に供給された切削水２６は、切削点２５から切削ブレード２２の回転方向に連れ回って切削点２５での接線方向に沿うようにして排出される。 Further, the cutting unit 20 is supplied with cutting water 26 (shown in FIG. 4) made of pure water to a cutting point 25 (shown in FIG. 4) for cutting the plate-shaped object 100 of the cutting blade 22 during cutting. A cutting water supply nozzle 24, which is a supply means, is attached. That is, the cutting device 1 includes a cutting water supply nozzle 24 which is a cutting water supply means. The cutting point 25 refers to a portion of the cutting edge of the outer edge of the cutting blade 22 that is cutting the plate-shaped object 100. The cutting water 26 supplied from the cutting water supply nozzle 24 to the cutting point 25 of the cutting blade 22 is discharged from the cutting point 25 in the rotation direction of the cutting blade 22 along the tangential direction at the cutting point 25. NS.

また、切削装置１は、切削前後の板状物１００を収容するカセット６０が載置されかつカセット６０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ７０と、切削後の板状物１００を洗浄する洗浄ユニット８０と、板状物１００をカセット６０とチャックテーブル１０と洗浄ユニット８０との間で搬送する搬送ユニット９０とを備える。 Further, the cutting device 1 includes a cassette elevator 70 on which a cassette 60 accommodating a plate-shaped object 100 before and after cutting is placed and the cassette 60 is moved in the Z-axis direction, and a cleaning unit for cleaning the plate-shaped object 100 after cutting. The 80 is provided with a transport unit 90 for transporting the plate-shaped object 100 between the cassette 60, the chuck table 10, and the cleaning unit 80.

撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された板状物１００の表面１０１を撮像する。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持した板状物１００の表面１０１を撮像する図示しないＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子を備えている。撮像ユニット３０は、板状物１００を撮像して、板状物１００と切削ブレード２２との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得て、得た画像を制御ユニット５０に出力する。 The image pickup unit 30 takes an image of the surface 101 of the plate-shaped object 100 held by the chuck table 10. The image pickup unit 30 includes a CCD (Charge Coupled Device) image pickup device (not shown) that images the surface 101 of the plate-shaped object 100 held on the chuck table 10. The image pickup unit 30 takes an image of the plate-shaped object 100, obtains an image for performing alignment for aligning the plate-shaped object 100 and the cutting blade 22, and outputs the obtained image to the control unit 50.

制御ユニット５０は、切削装置１の上述した構成要素をそれぞれ制御して、板状物１００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット５０は、コンピュータである。制御ユニット５０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット５０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット５０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニット及びオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットと接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。 The control unit 50 controls each of the above-mentioned components of the cutting device 1 to cause the cutting device 1 to perform a machining operation on the plate-shaped object 100. The control unit 50 is a computer. The control unit 50 includes an arithmetic processing unit having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage device having a memory such as ROM (read only memory) or RAM (random access memory), and an input / output interface device. And have. The arithmetic processing unit of the control unit 50 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and sends a control signal for controlling the cutting apparatus 1 to the above-mentioned cutting apparatus 1 via an input / output interface apparatus. Output to the components that have been created. Further, the control unit 50 is connected to a display unit (not shown) composed of a liquid crystal display device for displaying the state of machining operation, an image, or the like, and an input unit (not shown) used when an operator registers machining content information or the like. There is. The input unit is composed of at least one of a touch panel provided on the display unit and an external input device such as a keyboard.

次に、切削装置１を用いた板状物の切削方法、即ち切削装置１の加工動作について説明する。図３は、実施形態１に係る板状物の切削方法の流れを示すフローチャートである。図４は、図３に示された板状物の切削方法の切削ステップの一つの板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図５は、図４に示された板状物を示す平面図である。図６は、図４に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した状態を一部断面で示す側面図である。図７は、図６に示す一つの板状物の分割予定ラインの切削が完了した切削ユニットを上昇させた状態を一部断面で示す側面図である。図８は、図７に示す状態から他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図９は、図８に示された板状物を示す平面図である。なお、図５及び図９に示す板状物１００の平面図は、切削前の分割予定ライン１０２を点線で示し、切削済の分割予定ライン１０２を実線で示す。 Next, a method of cutting a plate-shaped object using the cutting device 1, that is, a machining operation of the cutting device 1 will be described. FIG. 3 is a flowchart showing the flow of the cutting method of the plate-shaped object according to the first embodiment. FIG. 4 is a side view showing a state in which a planned division line of a plate-shaped object, which is one of the cutting steps of the plate-shaped object cutting method shown in FIG. 3, is cut in a partial cross section. FIG. 5 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. FIG. 6 is a side view showing a state in which the cutting of the planned division line of one plate-shaped object shown in FIG. 4 is completed in a partial cross section. FIG. 7 is a side view showing a state in which the cutting unit in which the cutting of the planned division line of one plate-shaped object shown in FIG. 6 is completed is raised in a partial cross section. FIG. 8 is a side view showing a state in which a planned division line of another plate-shaped object is cut from the state shown in FIG. 7 in a partial cross section. FIG. 9 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. In the plan view of the plate-shaped object 100 shown in FIGS. 5 and 9, the scheduled division line 102 before cutting is shown by a dotted line, and the scheduled division line 102 that has been cut is shown by a solid line.

実施形態１に係る板状物の切削方法（以下、単に切削方法と記す）は、図１に示す切削装置１を用いて、板状物１００を任意の分割予定ライン１０２に沿って分割する方法である。切削方法は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット５０に登録し、板状物１００を収容したカセット６０をカセットエレベータ７０に設置し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１により開始される。 The method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment (hereinafter, simply referred to as a cutting method) is a method of dividing the plate-shaped object 100 along an arbitrary scheduled division line 102 by using the cutting device 1 shown in FIG. Is. As for the cutting method, when the operator registers the machining content information in the control unit 50, installs the cassette 60 containing the plate-shaped object 100 in the cassette elevator 70, and the operator gives an instruction to start the machining operation, the cutting device 1 Is started by.

切削方法は、図３に示すように、保持ステップＳＴ１と、切削ステップＳＴ２とを備える。保持ステップＳＴ１は、複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０の保持面１１に保持するステップである。保持ステップＳＴ１では、制御ユニット５０は、搬送ユニット９０に切削前の板状物１００をカセット６０から取り出させてチャックテーブル１０に載置させ、チャックテーブル１０の保持面１１に板状物１００を吸引保持するとともに、クランプ部１２に環状フレーム１１１をクランプさせる。保持ステップＳＴ１は、一つの粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０に保持することにより、分割予定ライン１０２の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しないように、即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２のうち少なくとも一方の延長線上に二枚並ぶように複数枚の板状物１００をチャックテーブル１０に保持する。切削方法は、チャックテーブル１０の保持面１１に複数枚の板状物１００を吸引保持すると、切削ステップＳＴ２に進む。 As shown in FIG. 3, the cutting method includes a holding step ST1 and a cutting step ST2. The holding step ST1 is a step of holding a plurality of plate-shaped objects 100 on the holding surface 11 of the chuck table 10. In the holding step ST1, the control unit 50 causes the transport unit 90 to take out the plate-shaped object 100 before cutting from the cassette 60 and place it on the chuck table 10, and sucks the plate-shaped object 100 onto the holding surface 11 of the chuck table 10. While holding it, the annular frame 111 is clamped to the clamp portion 12. In the holding step ST1, by holding a plurality of plate-shaped objects 100 attached to one adhesive tape 110 on the chuck table 10, three or more plate-shaped objects 100 are adjacent to each other on the extension line of the scheduled division line 102. A plurality of plate-shaped objects 100 are held on the chuck table 10 so as not to be arranged, that is, two plates are arranged on an extension line of at least one of the scheduled division lines 102 intersecting with each other. The cutting method proceeds to the cutting step ST2 when a plurality of plate-shaped objects 100 are sucked and held on the holding surface 11 of the chuck table 10.

切削ステップＳＴ２は、切削点２５に供給される切削水２６を切削ブレード２２の回転方向につれ回って排出しながら板状物１００を切削するステップである。切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、加工内容情報に基づいて、Ｘ軸移動ユニット４２とＹ軸移動ユニットとＺ軸移動ユニットと回転駆動源４１により、切削水供給ノズル２４から切削水２６を供給しながら切削ユニット２０の回転する切削ブレード２２と板状物１００とを分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させて、切削ブレード２２を各板状物１００の分割予定ライン１０２に粘着テープ１１０まで切り込ませて、板状物１００を切削して、個々のデバイス１０３に分割する。 The cutting step ST2 is a step of cutting the plate-shaped object 100 while discharging the cutting water 26 supplied to the cutting point 25 in the rotation direction of the cutting blade 22. In the cutting step ST2, the control unit 50 supplies the cutting water 26 from the cutting water supply nozzle 24 by the X-axis moving unit 42, the Y-axis moving unit, the Z-axis moving unit, and the rotary drive source 41 based on the machining content information. While moving the rotating cutting blade 22 of the cutting unit 20 and the plate-shaped object 100 relatively along the planned division line 102, the cutting blade 22 is moved to the planned division line 102 of each plate-shaped object 100 with the adhesive tape 110. The plate-like object 100 is cut into individual devices 103.

切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、粘着テープ１１０に貼着されたすべての板状物１００のすべての分割予定ライン１０２を切削して、粘着テープ１１０に貼着されたすべての板状物１００を個々のデバイス１０３に分割すると、チャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方から退避させた後、チャックテーブル１０の吸引保持を解除させるとともにクランプ部１２のクランプを解除させる。制御ユニット５０は、搬送ユニット９０に切削後の板状物１００を洗浄ユニット８０に搬送させ、洗浄ユニット８０で洗浄した後カセット６０に収容する。制御ユニット５０は、カセット６０に収容されたすべての板状物１００を切削するまで、保持ステップＳＴ１と切削ステップＳＴ２とを繰り返し、カセット６０に収容されたすべての板状物１００を切削すると、切削方法を終了する。 In the cutting step ST2, the control unit 50 cuts all the scheduled division lines 102 of all the plate-like objects 100 attached to the adhesive tape 110, and all the plate-like objects 100 attached to the adhesive tape 110. Is divided into individual devices 103, the chuck table 10 is retracted from below the cutting unit 20, and then the suction holding of the chuck table 10 is released and the clamp of the clamp portion 12 is released. The control unit 50 transports the plate-shaped object 100 after cutting to the transport unit 90 to the cleaning unit 80, cleans it with the cleaning unit 80, and then houses it in the cassette 60. The control unit 50 repeats the holding step ST1 and the cutting step ST2 until all the plate-shaped objects 100 housed in the cassette 60 are cut, and when all the plate-shaped objects 100 housed in the cassette 60 are cut, the cutting is performed. End the method.

また、切削ステップＳＴ２では、制御ユニット５０は、粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００それぞれの最初の分割予定ライン１０２を切削する前に、各板状物１００を撮像ユニット３０に撮像させる。制御ユニット５０は、各板状物１００の分割予定ライン１０２と、切削ユニット２０の切削ブレード２２との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を施し、各板状物１００と切削ユニット２０との相対位置を調整するアライメントを遂行する。 Further, in the cutting step ST2, the control unit 50 captures each plate-shaped object 100 with the image pickup unit 30 before cutting the first scheduled division line 102 of each of the plurality of plate-shaped objects 100 attached to the adhesive tape 110. To take an image. The control unit 50 is subjected to image processing such as pattern matching for aligning the scheduled division line 102 of each plate-shaped object 100 with the cutting blade 22 of the cutting unit 20, and each plate-shaped object 100 and the cutting unit 20 are subjected to image processing. Perform alignment to adjust relative position with.

また、切削ステップＳＴ２では、例えば、粘着テープ１１０に貼着された複数枚の板状物１００のうちの図２中左上の板状物１００（以下、符号１００−１で示す）のＸ軸方向と平行な図２中の最も上方に位置する分割予定ライン１０２（以下、符号１０２−１で示す）を切削した直後に、図２中右上の板状物１００（以下、符号１００−２で示す）のＸ軸方向と平行な図２中の最も上方でかつ分割予定ライン１０２−１と同一線上又は略同一線上に位置する分割予定ライン１０２（以下、符号１０２−２で示す）を連続して切削する際には、制御ユニット５０は、以下のように各構成要素を制御する。 Further, in the cutting step ST2, for example, among the plurality of plate-shaped objects 100 attached to the adhesive tape 110, the plate-shaped object 100 on the upper left in FIG. 2 (hereinafter referred to by reference numeral 100-1) is in the X-axis direction. Immediately after cutting the planned division line 102 (hereinafter referred to as reference numeral 102-1) located at the uppermost position in FIG. ), Which is the uppermost part of FIG. 2 parallel to the X-axis direction and is located on the same line as or substantially the same as the planned division line 102-1. When cutting, the control unit 50 controls each component as follows.

板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削する際には、制御ユニット５０は、切削点２５から排出される切削水２６が、切削点２５からチャックテーブル１０の外周に向かう方向に切削ブレード２２を回転させる。切削点２５から排出される切削水２６が切削点２５からチャックテーブル１０の外周に向かう方向とは、切削点２５からチャックテーブル１０の中心に近付くことなく、常にチャックテーブル１０の中心から離れてチャックテーブル１０の外周に向かう方向をいう。 When cutting the planned division line 102-1 of the plate-shaped object 100-1, the control unit 50 determines that the cutting water 26 discharged from the cutting point 25 is directed from the cutting point 25 toward the outer periphery of the chuck table 10. Rotate the cutting blade 22. The direction in which the cutting water 26 discharged from the cutting point 25 is directed from the cutting point 25 toward the outer periphery of the chuck table 10 is always away from the center of the chuck table 10 without approaching the center of the chuck table 10 from the cutting point 25. The direction toward the outer periphery of the table 10.

また、板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削する際には、制御ユニット５０は、図４に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切り込ませて、図１に示すＸ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０から離れる方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される方向である排出方向２００（図５に矢印で示す）は、板状物１００−１から板状物１００−２に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうこととなる。 Further, when cutting the planned division line 102-1 of the plate-shaped object 100-1, the control unit 50 transfers the cutting blade 22 from the outer peripheral side of the chuck table 10 to the plate-shaped object 100-as shown in FIG. The chuck table 10 is cut from the cassette 60 along the X-axis direction so that the cutting blade 22 faces the center of the chuck table 10 in the X-axis moving unit 42 shown in FIG. Move away. Then, the discharge direction 200 (indicated by an arrow in FIG. 5), which is the direction in which the cutting water 26 is discharged, goes toward the outer periphery of the chuck table 10 without going from the plate-shaped object 100-1 to the plate-shaped object 100-2. It will be.

制御ユニット５０は、図６に示すように、板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削し終えると、図１に示すＸ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０の移動を停止させる。制御ユニット５０は、図７に示すように、Ｚ軸移動ユニットに切削ユニット２０を上昇させて切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させる。制御ユニット５０は、回転駆動源４１にチャックテーブル１０を軸心回りに９０度回転させた後、図１に示すＸ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０をカセット６０に近づく方向に移動させる。制御ユニット５０は、図８に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切り込ませて、Ｘ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０から離れる方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される排出方向２００（図９に矢印で示す）は、板状物１００−２から板状物１００−１に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうこととなる。このように、本発明において、切削水２６が排出される方向である排出方向２００が、板状物１００−１，１００−２から板状物１００−２，１００−２に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周に向かうとは、排出方向２００が、切削点２５からチャックテーブル１０の中心に近付くことなく、常にチャックテーブル１０の中心から離れてチャックテーブル１０の外周に向かう方向であることを示している。 As shown in FIG. 6, when the control unit 50 finishes cutting the planned division line 102-1 of the plate-shaped object 100-1, the X-axis moving unit 42 shown in FIG. 1 stops the movement of the chuck table 10. As shown in FIG. 7, the control unit 50 raises the cutting unit 20 to the Z-axis moving unit and retracts the cutting blade 22 from the chuck table 10. The control unit 50 rotates the chuck table 10 about 90 degrees around the axis of the rotation drive source 41, and then moves the chuck table 10 to the X-axis moving unit 42 shown in FIG. 1 in a direction approaching the cassette 60. As shown in FIG. 8, the control unit 50 cuts the cutting blade 22 from the outer peripheral side of the chuck table 10 into the planned division line 102-2 of the plate-shaped object 100-2, and cuts the cutting blade into the X-axis moving unit 42. The chuck table 10 is moved in the direction away from the cassette 60 along the X-axis direction so that 22 is directed toward the center of the chuck table 10. Then, the discharge direction 200 (indicated by an arrow in FIG. 9) from which the cutting water 26 is discharged is directed toward the outer periphery of the chuck table 10 without going from the plate-shaped object 100-2 to the plate-shaped object 100-1. .. As described above, in the present invention, the discharge direction 200, which is the direction in which the cutting water 26 is discharged, does not go from the plate-shaped objects 100-1 and 100-2 to the plate-shaped objects 100-2 and 100-2, and the chuck is used. Toward the outer periphery of the table 10 means that the discharge direction 200 is always away from the center of the chuck table 10 and toward the outer periphery of the chuck table 10 without approaching the center of the chuck table 10 from the cutting point 25. ing.

こうして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませた後、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して直前に切削済の分割予定ライン１０２−１と同一線上に位置する他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する。切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して、板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際に、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から上昇させて退避させた後、チャックテーブル１０を軸心回りに９０度回転させる。そして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませる。 In this way, in the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the chuck table 10 in the planned division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1. After that, immediately after cutting the scheduled division line 102-1, the scheduled division line 102-2 of another plate-shaped object 100-2 located on the same line as the scheduled division line 102-1 that has been cut immediately before is continuously cut. .. In the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 continuously cut the plate-shaped object 100-2 into one plate shape immediately after the cutting of the scheduled division line 102-1. After cutting the planned division line 102-1 of the object 100-1, the cutting blade 22 is raised from the chuck table 10 and retracted, and then the chuck table 10 is rotated 90 degrees around the axis. Then, in the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the chuck table 10 into the planned division line 102-2 of the other plate-shaped object 100-2.

こうして、実施形態１に係る切削方法において、制御ユニット５０は、切削ユニット２０が複数枚の板状物１００，１００−１，１００−２を切削する際に、切削中に切削ブレード２２の回転によって切削ブレード２２から切削水２６が排出される排出方向２００が、他の板状物１００，１００−１，１００−２でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ユニット２０と移動ユニット４０とのうちの少なくとも一方を制御する。即ち、実施形態１に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削する。なお、実施形態１に係る切削方法において、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させて、チャックテーブル１０を９０度回転するが、本発明では、切削ブレード２２の退避後のチャックテーブル１０を回転する角度は、９０度に限定されることなく、粘着テープ１１０に貼着された複数の板状物１００，１００−１，１００−２同士の位置関係により適宜変更しても良い。例えば、本発明は、板状物１００−１及び板状物１００−１の図５中の下方に保持される板状物１００の分割予定ライン１０２−１と同一方向の分割予定ライン１０２を全て切削した後に、チャックテーブル１０を１８０度回転させ、板状物１００−２及び板状物１００−２の図５中の下方に保持された板状物１００の分割予定ライン１０２−２と同一方向の分割予定ライン１０２を全て切削する。その後、本発明は、チャックテーブル１０を９０度回転させて同一の工程を繰り返しても良い。 Thus, in the cutting method according to the first embodiment, when the cutting unit 20 cuts a plurality of plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2, the control unit 50 is driven by the rotation of the cutting blade 22 during cutting. The cutting unit 20 and the moving unit 40 so that the discharge direction 200 in which the cutting water 26 is discharged from the cutting blade 22 faces the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2. Control at least one of them. That is, in the cutting method according to the first embodiment, in the cutting step ST2, the cutting blade is such that the discharge direction 200 in which the cutting water 26 is discharged faces the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other adjacent plate-shaped objects 100. Cutting while rotating 22. In the cutting method according to the first embodiment, the cutting blade 22 is retracted from the chuck table 10 after cutting the scheduled division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1, and the chuck table 10 is rotated 90 degrees. In the present invention, the angle at which the chuck table 10 is rotated after the cutting blade 22 is retracted is not limited to 90 degrees, and a plurality of plate-shaped objects 100, 100-1, 100 attached to the adhesive tape 110 are not limited to 90 degrees. -2 may be changed as appropriate depending on the positional relationship between the two. For example, the present invention includes all the planned division lines 102 in the same direction as the planned division line 102-1 of the plate-shaped material 100-1 and the plate-shaped material 100-1 held below in FIG. After cutting, the chuck table 10 is rotated 180 degrees in the same direction as the planned division line 102-2 of the plate-shaped material 100-2 and the plate-shaped material 100-2 held below in FIG. All the lines 102 scheduled to be split are cut. After that, in the present invention, the chuck table 10 may be rotated 90 degrees and the same process may be repeated.

実施形態１に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、切削水２６中の切削屑が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。 In the cutting method according to the first embodiment, in the cutting step ST2, the cutting blade 22 is set so that the discharge direction 200 in which the cutting water 26 is discharged faces the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other adjacent plate-shaped objects 100. Since cutting is performed while rotating, it is possible to prevent the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2 during cutting. As a result, the cutting method can prevent the cutting chips in the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2.

また、実施形態１に係る切削方法は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませて、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する前に、切削ブレード２２を退避させた後、チャックテーブル１０を軸心回りに回転して、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませる。このために、切削方法は、常に、板状物１００，１００−１，１００−２の分割予定ライン１０２，１０２−１，１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませることとなり、切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。 Further, in the cutting method according to the first embodiment, the cutting blade 22 is cut into the scheduled division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1 from the outer peripheral side of the chuck table 10, and one plate-shaped object 100-. Immediately after cutting the scheduled division line 102-1 of 1, before continuously cutting the scheduled division line 102-2 of the other plate-shaped object 100-2, after retracting the cutting blade 22, the chuck table 10 is used as an axis. Rotating around the center, the cutting blade 22 is cut into the scheduled division line 102-2 of the other plate-shaped object 100-2 from the outer peripheral side of the chuck table 10. For this reason, the cutting method is always to cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side of the chuck table 10 into the planned division lines 102, 102-1, 102-2 of the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2. Therefore, it is possible to prevent the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係る板状物の切削方法の切削ステップにおいて、一つの板状物の分割予定ラインの切削の終了後に他の板状物の分割予定ラインを切削する状態を一部断面で示す側面図である。図１１は、図１０に示された板状物を示す平面図である。なお、図１１に示す板状物１００，１００−１，１００−２の平面図は、切削前の分割予定ライン１０２，１０２−２を点線で示し、切削済の分割予定ライン１０２−１を実線で示す。また、図１０及び図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
The cutting method of the plate-shaped object according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 shows a part of a state in which, in the cutting step of the plate-shaped object cutting method according to the second embodiment, another plate-shaped object scheduled to be split is cut after the cutting of one plate-shaped object scheduled to be split is completed. It is a side view shown in the cross section. FIG. 11 is a plan view showing the plate-shaped object shown in FIG. In the plan view of the plate-shaped objects 100, 100-1 and 100-2 shown in FIG. 11, the planned division lines 102 and 102-2 before cutting are shown by dotted lines, and the planned division lines 102-1 that have been cut are shown by solid lines. Indicated by. Further, in FIGS. 10 and 11, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態２に係る板状物の切削方法（以下、単に切削方法と記す）は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際の切削ユニット２０及び移動ユニット４０の動作が異なること以外、実施形態１の切削方法と同じである。 The method for cutting a plate-shaped object according to the second embodiment (hereinafter, simply referred to as a cutting method) is a method for continuously cutting another plate-shaped object 100 immediately after cutting the planned division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1. It is the same as the cutting method of the first embodiment except that the operations of the cutting unit 20 and the moving unit 40 when cutting the planned division line 102-2 of -2 are different.

実施形態２に係る切削方法の切削ステップＳＴ２では、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１を切削し終えて、Ｚ軸移動ユニットに切削ユニット２０を上昇させて切削ブレード２２をチャックテーブル１０から退避させた後、制御ユニット５０は、切削ユニット２０のスピンドル２１に切削ブレード２２を逆向きに回転させると共に、Ｘ軸移動ユニット４２にチャックテーブル１０をカセット６０から離れる方向に移動させる。制御ユニット５０は、図１０に示すように、切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切り込ませて、Ｘ軸移動ユニット４２に切削ブレード２２がチャックテーブル１０の中心に向かうようにチャックテーブル１０をＸ軸方向に沿ってカセット６０に近付く方向に移動させる。すると、切削水２６が排出される排出方向２００−２（図１１に矢印で示す）は、板状物１００−２から板状物１００−１に向かうことなく、チャックテーブル１０の外周方向に向かうこととなる。 In the cutting step ST2 of the cutting method according to the second embodiment, after cutting the scheduled division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1, the cutting unit 20 is raised to the Z-axis moving unit to raise the cutting blade 22. After retracting from the chuck table 10, the control unit 50 rotates the cutting blade 22 in the reverse direction on the spindle 21 of the cutting unit 20 and moves the chuck table 10 in the direction away from the cassette 60 on the X-axis moving unit 42. .. As shown in FIG. 10, the control unit 50 cuts the cutting blade 22 from the outer peripheral side of the chuck table 10 into the planned division line 102-2 of the plate-shaped object 100-2, and cuts the cutting blade into the X-axis moving unit 42. The chuck table 10 is moved along the X-axis direction toward the cassette 60 so that the 22 is directed toward the center of the chuck table 10. Then, the discharge direction 200-2 (indicated by an arrow in FIG. 11) from which the cutting water 26 is discharged faces the outer peripheral direction of the chuck table 10 without going from the plate-shaped object 100-2 to the plate-shaped object 100-1. It will be.

こうして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませた後、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して直前に切削済の分割予定ライン１０２−１と同一線上に位置する他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する。切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して、板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する際に、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削後に切削ブレード２２をチャックテーブル１０から上昇させて退避させた後、切削ブレード２２を逆向きに回転させる。そして、切削ステップＳＴ２では、切削方法及び制御ユニット５０は、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から内周側に切り込ませる。 In this way, in the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the chuck table 10 in the planned division line 102-1 of one plate-shaped object 100-1. After that, immediately after cutting the scheduled division line 102-1, the scheduled division line 102-2 of another plate-shaped object 100-2 located on the same line as the scheduled division line 102-1 that has been cut immediately before is continuously cut. .. In the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 continuously cut the plate-shaped object 100-2 into one plate shape immediately after the cutting of the scheduled division line 102-1. After cutting the scheduled division line 102-1 of the object 100-1, the cutting blade 22 is raised from the chuck table 10 and retracted, and then the cutting blade 22 is rotated in the reverse direction. Then, in the cutting step ST2, the cutting method and the control unit 50 cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side to the inner peripheral side of the chuck table 10 into the planned division line 102-2 of the other plate-shaped object 100-2.

こうして、実施形態２に係る切削方法において、制御ユニット５０は、切削ユニット２０が複数枚の板状物１００，１００−１，１００−２を切削する際に、切削中に切削ブレード２２の回転によって切削ブレード２２から切削水２６が排出される排出方向２００−２が、チャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ユニット２０と移動ユニット４０とのうちの少なくとも一方を制御する。即ち、実施形態２に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００−２が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削する。 Thus, in the cutting method according to the second embodiment, when the cutting unit 20 cuts a plurality of plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2, the control unit 50 is driven by the rotation of the cutting blade 22 during cutting. At least one of the cutting unit 20 and the moving unit 40 is controlled so that the discharge direction 200-2 from which the cutting water 26 is discharged from the cutting blade 22 faces the outer periphery of the chuck table 10. That is, in the cutting method according to the second embodiment, in the cutting step ST2, the discharge direction 200-2 from which the cutting water 26 is discharged is directed toward the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other adjacent plate-shaped objects 100. Cutting while rotating the cutting blade 22.

実施形態２に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００−２が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、実施形態１と同様に、切削水２６中の切削屑が板状物１００に付着することを抑制することができる。 In the cutting method according to the second embodiment, in the cutting step ST2, the cutting blade so that the discharge direction 200-2 from which the cutting water 26 is discharged faces the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other adjacent plate-shaped objects 100. Since the cutting is performed while rotating the 22, it is possible to prevent the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped object 100 during cutting. As a result, the cutting method can prevent the cutting chips in the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped object 100, as in the first embodiment.

また、実施形態２に係る切削方法は、一つの板状物１００の分割予定ライン１０２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませて、一つの板状物１００−１の分割予定ライン１０２−１の切削直後に連続して他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２を切削する前に、切削ブレード２２を退避させた後、切削ブレード２２を逆向きに回転させて、他の板状物１００−２の分割予定ライン１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませる。このために、切削方法は、常に、板状物１００，１００−１，１００−２の分割予定ライン１０２，１０２−１，１０２−２に切削ブレード２２をチャックテーブル１０の外周側から切り込ませることとなり、切削水２６が板状物１００，１００−１，１００−２に付着することを抑制することができる。 Further, in the cutting method according to the second embodiment, the cutting blade 22 is cut into the scheduled division line 102 of one plate-shaped object 100 from the outer peripheral side of the chuck table 10, and one plate-shaped object 100-1 is scheduled to be divided. Immediately after cutting the line 102-1, the cutting blade 22 is retracted and then the cutting blade 22 is rotated in the reverse direction before cutting the line 102-2 to be continuously divided into the other plate-shaped objects 100-2. Then, the cutting blade 22 is cut into the scheduled division line 102-2 of the other plate-shaped object 100-2 from the outer peripheral side of the chuck table 10. For this reason, the cutting method is always to cut the cutting blade 22 from the outer peripheral side of the chuck table 10 into the planned division lines 102, 102-1, 102-2 of the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2. Therefore, it is possible to prevent the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped objects 100, 100-1, 100-2.

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法を図面に基づいて説明する。図１２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る板状物の切削方法の加工対象の被加工物の平面図である。図１２は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Modification example]
A method of cutting a plate-shaped object according to a modification of the first embodiment and the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 12 is a plan view of the workpiece to be machined by the method of cutting a plate-shaped object according to the modified examples of the first and second embodiments. In FIG. 12, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

実施形態１及び実施形態２に係る板状物の切削方法では、板状物１００は、図２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の双方の延長線上に二枚並ぶように一つの粘着テープ１１０に４枚貼着されている。しかしながら、変形例に係る板状物の切削方法では、板状物１００は、図１２に示すように、互いに交差する分割予定ライン１０２の一方の延長線上に二枚並び（即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２の一方の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接せず）、かつ互いに交差する分割予定ライン１０２の他方の延長線上に二枚並ぶ（即ち、互いに交差する分割予定ライン１０２の他方の延長線上に三枚以上の板状物１００が隣接しない）ように、一つの粘着テープ１１０に複数枚（図１２に示す場合には、６枚）貼着されている。 In the method for cutting a plate-shaped object according to the first embodiment and the second embodiment, as shown in FIG. 2, one plate-shaped object 100 is arranged so as to be lined up on both extension lines of the planned division lines 102 intersecting with each other. Four sheets are attached to the adhesive tape 110. However, in the method of cutting a plate-shaped object according to a modified example, as shown in FIG. 12, two plate-shaped objects 100 are arranged side by side on one extension line of a division scheduled line 102 that intersects with each other (that is, the division intersects with each other). Three or more plate-like objects 100 are not adjacent to one extension of the scheduled line 102, and two plates are lined up on the other extension of the scheduled split line 102 that intersect each other (that is, the scheduled split lines 102 that intersect each other). A plurality of sheets (six sheets in the case of FIG. 12) are attached to one adhesive tape 110 so that three or more plate-shaped objects 100 are not adjacent to each other on the other extension line of the above.

変形例に係る切削方法は、切削ステップＳＴ２において、切削水２６が排出される排出方向２００が、隣接する他の板状物１００でなくチャックテーブル１０の外周に向かうように、切削ブレード２２を回転させながら切削するので、切削中に切削水２６が板状物１００に付着することを抑制することができる。その結果、切削方法は、実施形態１と同様に、切削水２６中の切削屑が板状物１００に付着することを抑制することができる。 In the cutting method according to the modified example, in the cutting step ST2, the cutting blade 22 is rotated so that the discharge direction 200 in which the cutting water 26 is discharged faces the outer periphery of the chuck table 10 instead of the other adjacent plate-shaped objects 100. Since the cutting is performed while the cutting water is being cut, it is possible to prevent the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped object 100 during cutting. As a result, the cutting method can prevent the cutting chips in the cutting water 26 from adhering to the plate-shaped object 100, as in the first embodiment.

なお、前述した実施形態１、実施形態２及び変形例に係る板状物の切削方法によれば、以下の切削装置が得られる。
（付記１）
少なくとも一つの板状物の分割予定ラインの延長線上に他の板状物が位置する状態で複数枚の板状物を保持する保持手段と、
切削ブレードを回転可能に保持する切削手段と、
該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、
該保持手段と該切削手段とを相対的に移動させる移動手段と、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、
該制御ユニットは、該切削手段が複数枚の該板状物を切削する際に、切削中に該切削ブレードの回転によって該切削ブレードから該切削水が排出される方向が、他の該板状物でなく該保持手段の外周に向かうように、該切削手段と該移動手段との少なくとも一方を制御する、
ことを特徴とする切削装置。 According to the method for cutting a plate-shaped object according to the above-mentioned first, second and modified examples, the following cutting apparatus can be obtained.
(Appendix 1)
A holding means for holding a plurality of plate-shaped objects in a state where the other plate-shaped objects are located on an extension line of at least one plate-shaped object to be divided.
A cutting means that holds the cutting blade rotatably,
A cutting water supply means for supplying cutting water to the cutting blade,
A moving means for relatively moving the holding means and the cutting means, and a moving means.
A cutting device equipped with a control unit that controls each component.
In the control unit, when the cutting means cuts a plurality of the plate-shaped objects, the direction in which the cutting water is discharged from the cutting blade due to the rotation of the cutting blade during cutting is the other plate-shaped object. Control at least one of the cutting means and the moving means so as to go toward the outer periphery of the holding means instead of the object.
A cutting device characterized by that.

上記切削装置は、実施形態１等に係る切削方法と同様に、切削ステップにおいて、切削水が排出される排出方向が、隣接する他の板状物でなくチャックテーブルの外周に向かうように、切削ブレードを回転させながら切削するので、切削中に切削水が板状物に付着することを抑制することができる。その結果、切削装置は、実施形態１等と同様に、切削水中の切削屑が板状物に付着することを抑制することができる。 Similar to the cutting method according to the first embodiment, the cutting device cuts the cutting water so that the discharging direction of the cutting water is directed toward the outer periphery of the chuck table instead of the other adjacent plate-like objects. Since cutting is performed while rotating the blade, it is possible to prevent the cutting water from adhering to the plate-like object during cutting. As a result, the cutting apparatus can prevent the cutting chips in the cutting water from adhering to the plate-like object, as in the first embodiment.

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, it can be variously modified and carried out within a range that does not deviate from the gist of the present invention.

１切削装置
１０チャックテーブル（保持手段）
２０切削ユニット（切削手段）
２２切削ブレード
２４切削水供給ノズル（切削水供給手段）
２５切削点
２６切削水
１００，１００−１，１００−２板状物
１０２，１０２−１，１０２−２分割予定ライン
２００，２００−２排出方向（排出される方向）
ＳＴ１保持ステップ
ＳＴ２切削ステップ 1 Cutting device 10 Chuck table (holding means)
20 Cutting unit (cutting means)
22 Cutting blade 24 Cutting water supply nozzle (cutting water supply means)
25 Cutting point 26 Cutting water 100,100-1,100-2 Plate-shaped object 102,102-1,102-2 Scheduled division line 200,200-2 Discharge direction (discharge direction)
ST1 holding step ST2 cutting step

Claims

A cutting method for dividing a plate-like object along an arbitrary scheduled division line by using a cutting device having at least a holding means, a cutting means for holding the cutting blade rotatably, and a cutting water supply means. ,
A holding step of holding a plurality of the plate-shaped objects in the holding means so that three or more plate-shaped objects are not adjacent to each other on the extension line of the planned division line.
It is provided with a cutting step for cutting the plate-like object while discharging the cutting water supplied to the cutting point along the rotation direction of the cutting blade.
In the cutting step
The cutting water discharged from the cutting point is rotated in a direction from the cutting point toward the outer periphery of the holding means, and the cutting blade is cut from the outer peripheral side of the holding means into the planned division line of the plate-shaped object. By moving the holding means so that the cutting blade is directed toward the center of the holding means, the direction in which the cutting water is discharged is not the other adjacent plate-like object but the outer periphery of the holding means. A method for cutting a plate-shaped object, which comprises cutting while rotating the cutting blade so as to move toward.

A holding means for holding a plurality of plate-shaped objects in a state where the other plate-shaped objects are located on an extension line of at least one plate-shaped object to be divided.
A cutting means that holds the cutting blade rotatably,
A cutting water supply means for supplying cutting water to the cutting blade,
A moving means for relatively moving the holding means and the cutting means, and a moving means.
A cutting device equipped with a control unit that controls each component.
In the control unit, when the cutting means cuts a plurality of the plate-shaped objects, the cutting water discharged from the cutting point is rotated from the cutting point toward the outer periphery of the holding means. By cutting the blade from the outer peripheral side of the holding means into the planned division line of the plate-shaped object and moving the holding means to the moving means so that the cutting blade is directed toward the center of the holding means. The cutting means and the moving means so that the direction in which the cutting water is discharged from the cutting blade by the rotation of the cutting blade during cutting is toward the outer periphery of the holding means instead of the other plate-like object. Control at least one,
A cutting device characterized by that.