JP6335683B2 - SiCエピタキシャルウェハの製造装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、搭載プレートやサテライト以外の部材については、SiC基板上に成長するエピタキシャル膜に大きな影響を及ぼさないものとして十分な検討がされていなかった。特に、原料ガスの供給口付近の部材に関しては、SiC基板上に成長するエピタキシャル膜に大きな影響を生じないと考えられ、十分な検討がされていなかった。これは、原料ガスの供給口付近は、原料ガスが早期に分解することを避けるために装置内に温度勾配をもたせ、原料ガスの供給口付近がそれほど高温に至らないようにすることが一般的であり、これらの部材がSiC基板上に成長するエピタキシャル膜に大きな影響を生じないと考えられていたためである。
当該部材を黒鉛などのカーボンで作製すると、原料ガス以外の部分からC系原料が供給され、SiC基板面上で適切になるように制御されたC/Si比の均一性を劣化させる。すなわち、SiCエピタキシャル膜の面内におけるキャリア濃度のばらつきを大きくするという問題があった。さらに、黒鉛は多孔質でありガスを吸蔵しやすい為、ドナーとなる窒素が、露出された表面から放出される点でも問題があった。
また、当該部材をTaCコートされたカーボンを用いて作製すると、下地(カーボン)との熱膨張率差や、交換作業時の機械的な衝撃により破損することがある。またコーティングの一部が昇華して、下地がむき出しになるということもある。さらに、エピタキシャル成長を繰り返してSiCやSiが付着すると、TaCの破損・剥離がさらに助長されることがある。このような場合も、破損部やむき出しとなった面からカーボンが装置内に供給され、SiC基板面上で適切になるように制御されたC/Si比の均一性を劣化させ、SiCエピタキシャル膜の面内におけるキャリア濃度のばらつきを大きくするという問題があった。また、むき出しになったカーボンは表面欠陥の原因となるパーティクルを発生させるという点でも問題があった。
このような部材の反りは、被成膜体であるSiC基板の大型が進んでいる近年、より発生しやすくなっており、大型で高品質なSiCエピタキシャル膜を得るために重要な問題となっている。
即ち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
なお、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際とは異なっていることがある。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
本発明の一実施形態のSiCエピタキシャルウェハの製造装置100は、凹状収容部11を有する搭載プレート10と、凹状収容部11内に配置され、上面にSiC基板Wが載置されるサテライト20と、サテライト20上に載置されるSiC基板Wの主面上に、SiCエピタキシャル膜の原料ガスGを供給するための原料ガス導入管30と、原料ガス導入管30のガス導入口31とサテライト20との間の原料ガスGの上流側に配置された上流側部材40とを有する。
図示を省略する高周波電源から誘導コイル70に高周波電流が供給されると、搭載プレート10およびシーリング50が高周波誘導加熱により加熱される。これら搭載プレート10およびシーリング50からの輻射や、サテライト20からの熱伝導等により、サテライト20に載置されたSiC基板Wを加熱することができる。なお、加熱手段は、搭載プレート10(回転台13)の下面側およびシーリング50の上面側に配置された構成に限らず、これらのいずれか一方側のみに配置された構成とすることも可能である。また高周波誘導加熱に限らず、抵抗加熱によるもの等を用いてもよい。
搭載プレート10には、平面視円形状をなし、回転台12の周方向(回転方向)に等間隔に複数並んで凹状収容部11が設けられている。図2は、製造装置100の搭載プレート10を平面視した模式図である。凹状収容部11が等間隔に6個並んで設けられている場合を例示している。
サテライト20は、原料ガスGとは別の駆動用ガスがサテライト20の下面と凹状収容部11との間に供給されることにより、中心軸周りに回転駆動される仕組みとなっている(図示せず)。これにより、サテライト20に載置されたSiC基板Wに対して均等に成膜を行うことができる。
製造装置100を用いて複数回成膜を行うと、上流側部材40上に付着物が堆積する。これらの付着物は清掃により除去することも可能であるが、清掃時にその他の部材を傷つけるリスクがある。保護部材は、このリスクを緩和することができる。また清掃により剥離されたものの除去しきれなかった付着物はパーティクルや部材の反りの発生の原因となるため、上流用部材は交換可能な交換用部材であることが好ましい。交換用部材とすることで、清掃等を行わずに、当該部材を交換するだけで、製造装置内部の付着物を容易に除去することができる。上流側部材40はこのような保護部材および/または交換用部材であり、付着物の除去を容易にし、機械的なダメージを抑制することができる。
上流側部材の具体的な例としては、例えば、特許文献1の自公転型のプラネタリ型SiCエピタキシャル製造装置においては、円形補償プレートに対応する。
図5は、SiCを含む層41が形成された上流側部材40を、その中心を通る任意の断面で切断した断面模式図である。SiCを含む層41は、上流側部材40の表面全体に渡って形成されている。なお、繰り返しになるが「SiCを含む層」は、成膜された「SiC成膜層」でも、異なる部材からなる「SiC部材」でもよい。
上流側部材40は、SiC基板W表面ほど高温には曝されないため、SiCを含む層41の一部が昇華されにくい。またSiCを含む層41は、その表面に付着する付着物と材質が同様であるため、熱膨張率差が少なく反りの発生を抑制することができる。被成膜体であるSiC基板の大型化に伴い、SiCエピタキシャル膜の製造装置の大型化が進んでいる現在において、当該反りを少しでも少なくすることは上流側部材の破損を防ぐため非常に重要である。またSiCを含む層41上に堆積する付着物と、SiCを含む層41の材質が同様になるため、付着物が剥離されにくく、パーティクルとして製造装置内部に再放出されることも抑制することができる。
上流側部材にSiC材料を用いる場合には、そりや割れの問題を生じずに、厚いSiC材料用いることができる。SiC材料の厚さは、1mm以上であることが好ましい。さらに、1.5mm以上がより好ましく、2mm以上8mm以下がさらに好ましい。SiC材料の厚さは、変形に対して強くなるため厚い方が望ましいが、8mmよりも厚くなるとコストが高くなるため好ましくない。
またSiCを含む層41は、SiCの単結晶からなっていてもよい。近年、昇華法によるSiC単結晶の大型化が進んでおり、大口径のSiC単結晶基板が入手できるようになっている。このようなSiC単結晶基板から、上流側部材を作成することができる。SiCの単結晶は、非常に硬いため、部材の取外し等の機械的衝撃によって破損しにくい。また一部が破損したとしても、その破損部も全てSiCからなるため、不要なカーボンの供給等を発生させることがない。また、SiCの単結晶からなるため付着物による熱膨張率差もほとんど生じない。またSiCの単結晶は強度が高く、単結晶であるために熱衝撃に対しても強いため、SiCの単結晶でSiCを含む層41を形成した場合、その厚みは0.5mm程度でも十分で、強度の高い上流側部材を作成することができる。
図7は、原料ガスの流れの方向の分割線により分割されている上流側部材を模式的に示したものである。図7では、中央部に空間を形成し、かつ半円状のリングを二つ組み合わせた形状としている。上流側部材の一部を分断しておくことで、組成の異なる付着物が付着することによる上流側部材が反りを緩和することができる。また、交換作業を容易に行うこともできる。
図8は、さらに分割線を5本とした場合を模式的に示したものである。このように分割線を3本以上に増やして部材の最大長さを小さくすることにより、個々の上流側部材で、付着物の堆積によるそりの大きさを小さくすることができる。
分割線が原料ガスの流れの方向であるということは、完全に流れの方向と一致している必要はなく、傾きを持っていてもよい。
SiCのエピタキシャル成長において、原料ガスは一般にSi系のシランとC系のプロパンを用いるが、それぞれのガスは分解速度が異なる。そのため、より上流側ではSi系の不純物が付着し、SiC基板に近づくにつれC系の不純物の含有量が多くなった付着物が付着する。そのため、堆積した付着物は上流側部材の上流側と下流側で熱膨張率が異なる。すなわち、付着物と被付着面の熱膨張率差だけでなく、付着物間でも熱膨張率差が生じる。そのため、上流側部材を原料ガスの流れ方向に対して分割すると、この原料ガスの流れ方向に生じる熱膨張率差をより効率的に緩和することができ、堆積した付着物が剥離しパーティクルが発生すること及び部材の反りを効果的に抑制することができる。
図9では、2本の分割線により、上流側部材を3つの同心円状の部材で構成することを示したが、分割線は3本以上とすることができる。
化学的気相成長装置としては、搭載プレート上に平面視6つの凹状収容部を有するプラネタリ型の化学的気相成長装置を設けた。搭載プレートの凹状収容部には、サテライトが収容され、サテライト上にはSiC基板(4インチ、4H−SiC−4°off基板)を載置した。
またサテライトと原料ガスの供給口の間には、図2で示すような円形形状の上流側部材を設けている。上流側部材は、化学的気相成長装置内側の表面側に、厚さ1mmのSiC多結晶からなる部材を有するものとした。
原料ガスは、図1で示すように、プラネタリ型の化学気相成長装置の中央に設置された原料ガス供給口から供給されるものとした。原料ガスとしては、シランとプロパンの混合ガスを用い、キャリアガスとして水素を用いた。
このような装置を用い、搭載プレートを公転、サテライトを自転させながら、SiC基板上に、SiCのエピタキシャル膜を10μm成長させる成長を、3回繰り返した。
その結果、3回目の成長で、SiC基板の中央のSiCエピタキシャル膜のキャリア濃度は、0.74×1016/cm−3で、SiC基板の外周から5mmの位置のSiCエピタキシャル膜のキャリア濃度は、0.69×1016/cm−3であった。
またこのとき、SiCエピタキシャル膜の表面欠陥密度は、0.4個/cm2であった。これらは3回の成長で特に変化はなかった。
またSiCエピタキシャル膜を成長させた後の上流側部材の反りは、0mmであり変化は見られなかった。上流側部材の反りは、上流側部材を平坦面に置いた際に最も平坦面から離れた点の平坦面までの鉛直方向の距離で規定した。
実施例2は、上流側部材が、厚さ5mmのSiC多結晶からなる部材を有するものとしたこと以外、実施例1と同様の条件でSiCエピタキシャル膜を成長させた。
このときの3回目の成長で、SiC基板の中央のSiCエピタキシャル膜のキャリア濃度は、0.76×1016/cm−3で、SiC基板の外周から5mmの位置のSiCエピタキシャル膜のキャリア濃度は、0.64×1016/cm−3であった。またこのとき、SiCエピタキシャル膜の表面欠陥密度は、0.4個/cm2であった。
またSiCエピタキシャル膜を成長させた後の上流側部材の反りは、0mmであり変化は見られなかった。
比較例1は、上流側部材として、TaCコートのカーボン部材を用い、その表面がSiC材料を含んでいない点のみが実施例1と異なり、その他の条件は実施例1と同様の条件でSiCエピタキシャル膜を成長させた。
実施例1と同じだけSiCエピタキシャル膜を成長させたとき、上流側部材に、0.3mmのそりが観察された。
また比較例1の上流側部材がSiCエピタキシャル成長後に反っていたのに対し、実施例1および実施例2の上流側部材はほとんど反りが確認されなかった。すなわち、実施例1および実施例2の上流側部材は破損の可能性が低いことがわかる。比較例では、SiCエピタキシャル成長の繰り返しによりさらにそりが増大し、積算200μmまで成長した場合、図12に示すように、平坦面上に上流部材を載置した際に、上流部材の下面が浮き上がっている。このときの上流側部材の反りは、2mmであった。
また、比較例においては、エピタキシャル成長の繰り返しにより、TaCの被膜の一部がはがれてきているのが観察され、それに伴い、パーティクルの増加とキャリア濃度分布の変化が観察された。
Claims (7)
- SiC基板の主面上に、化学的気相成長法によってSiCエピタキシャル膜を成長させるSiCエピタキシャルウェハの製造装置であって、
凹状収容部を有する搭載プレートと、
前記凹状収容部内に配置され、上面にSiC基板が載置されるサテライトと、
前記サテライト上に載置されるSiC基板の主面上に、SiCエピタキシャル膜の原料ガスを供給するための原料ガス導入管と、
前記原料ガス導入管のガス導入口と前記サテライトとの間の原料ガスの上流側に配置され、前記搭載プレート上に設けられた上流側部材とを有し、
前記上流側部材が、SiC材料からなり、
前記上流側部材は、中央部に空間を形成したドーナツ状の形状であり、
前記上流側部材は、複数に分割されていることを特徴とするSiCエピタキシャルウェハの製造装置。 - 前記上流側部材が、SiC多結晶からなることを特徴とする請求項1に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
- 前記上流側部材が、SiC単結晶からなることを特徴とする請求項1に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
- 前記複数に分割されている上流側部材において、分割線が原料ガスの流れの方向であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
- 前記複数に分割されている上流側部材において、分割線が原料ガスの流れの方向と直交する方向であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
- 前記SiC基板が載置されるサテライトと前記上流側部材が10mm以上離れていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
- 前記上流側部材の厚みが1mm以上であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造装置。
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