JP6328657B2 - マスク位置決めシステム及びマスク位置決め方法 - Google Patents
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Description
記載される要素や工程は、除外されることが明白に記載された場合等でなければ、複数の要素や工程を除外するものではないと理解される。さらにいえば、本発明の「ある実施形態」に言及すると、記載された機能も含む付加的な実施態様の存在を除外するものとの解釈を意図するものではない。
Claims (15)
- 複数のフレーム位置決めキャビティを有するマスクフレームと、
前記マスクフレームから吊下げられたマスクとを備え、前記マスクは、当該マスクの下側に形成され、かつ当該マスクにおける1つ以上の開口部を装備する領域の外側に近接して形成された複数のマスク位置決めキャビティを有し、かつ、
複数のマスク位置決めピンが突出して設けられたプラテンを備え、前記複数のマスク位置決めピンは、前記マスク位置決めキャビティと係合するように構成され、前記プラテンは、さらに複数のフレーム位置決めピンが突出して設けられ、前記複数のフレーム位置決めピンは、前記フレーム位置決めキャビティと係合するように構成されている、マスク位置決めシステム。 - 請求項1のシステムであって、前記プラテン上に、加工材を保持するためのチャックをさらに備える、マスク位置決めシステム。
- 請求項2のシステムであって、前記プラテン上に、前記チャック上に前記加工材を位置付けるためのキャリアをさらに備える、マスク位置決めシステム。
- 請求項1のシステムであって、少なくとも1つの前記マスク位置決めキャビティが、それぞれのマスク位置決めピンを前記マスク位置決めキャビティに係る所望の位置まで誘導するよう構成された輪郭面を有する、マスク位置決めシステム。
- 請求項4のシステムであって、少なくとも1つのマスク位置決めキャビティは円錐状である、マスク位置決めシステム。
- 請求項4のシステムであって、少なくとも1つのマスク位置決めキャビティはV字形状である、マスク位置決めシステム。
- 請求項1のシステムであって、前記マスクは、前記マスクに緩く係合する複数のボルトによって前記マスクフレームに接続される、マスク位置決めシステム。
- 請求項1のシステムであって、前記マスクは、少なくとも1つのバネによって前記マスクフレームから離れる方向に付勢されるマスク位置決めシステム。
- 請求項1のシステムであって、前記マスク位置決めピンは、前記プラテン上における加工材の位置付けを促進するよう構成される、マスク位置決めシステム。
- 請求項1のシステムであって、前記マスク位置決めピンは、前記プラテン上における加工材の位置決めを促進するよう構成される、マスク位置決めシステム。
- マスクの位置決め方法であって、
複数の加工材を保持するプラテン上へ複数のマスクを有するマスクフレームを下降させ、前記マスクは前記マスクフレームから吊下げられるものとし、
前記マスクフレームのフレーム位置決めキャビティを、前記プラテン上の対応するフレーム位置決めピンと合致するように移動させ、それによって前記マスクを前記加工材に対して大まかに位置決めし、さらに、
前記マスクのマスク位置決めキャビティを、前記プラテン上の対応するマスク位置決めピンと合致するように移動させ、それによって、各マスクをそれぞれの加工材に対する精密な位置決め状態まで移動させ、
前記マスク位置決めキャビティは、前記マスクの下側に形成され、かつ前記マスクにおける1つ以上の開口部を装備する領域の外側に近接して形成されている、マスク位置決め方法。 - 請求項11の方法であって、前記加工材を前記プラテン上に固定するため、各加工材を前記プラテン上のそれぞれのチャック上に設置する工程をさらに含む、マスク位置決め方法。
- 請求項12の方法であって、前記加工材を前記プラテン上に位置付け、位置決めするため、各加工材を複数の前記マスク位置決めピンと係合するように移動させる工程をさらに含む、マスク位置決め方法。
- 請求項11の方法であって、前記加工材を位置付けるため、各加工材を前記プラテン上のそれぞれのキャリア上に設置する工程をさらに含む、マスク位置決め方法。
- 請求項11の方法であって、前記マスクのマスク位置決めキャビティを前記プラテン上の対応するマスク位置決めピンと合致するように移動させる前記工程が、前記マスク位置決めピンをそれぞれのマスク位置決めキャビティの輪郭面と係合するように移動させる工程を含み、それによって前記マスク位置決めピンを前記マスク位置決めキャビティの精密な位置に合致するように誘導する工程を含む、マスク位置決め方法。
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