JP6321082B2 - GaN系HEMTアクティブデバイスのためのリークバリヤ - Google Patents
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Description
1.技術分野
本発明は、窒化ガリウム(GaN)材料系から形成された高電子移動度トランジスタ(HEMT)に関し、特に、リーク電流が低減されたGaN系HEMTトランジスタに関する。
高電子移動度トランジスタ(HEMT)は当業界で周知であり、高デバイス出力パワー、パワー追加効率及びノイズ性能が決定的である種々の低ノイズ及びパワーマイクロ波用途に使用されることが知られている。HEMTは、商業的及び軍事的なレーダーシステム、通信システムなどにおけるQ、V及びWバンドマイクロ波パワー増幅器に使用されることが知られている。HEMTはまた、モノリシックマイクロ波集積回路及びモノリシックミリメートル波集積回路(MMIC)、例えば、高パワーレベルで放射するためのフェーズドアレイなどに効果的に集積されることが知られている。
号、並びに米国特許出願公開公報第2002/0079508号、第2002/0096692号、第2002/0106842号、第2002/0167023号及び第2003/0020092号に開示されている。そのようなGaNのHEMTはまた、日本特許第2002280571号、並びに国際出願PCT/US02/23056及びPCT/US98/04218にも開示されている。そのようなGaNのHEMTは同様に文献にも公開されている。例えば、以下の文献を参照:
"HIGH-POWER MICROWAVE GaN/AIGaN HEMT's ON SEMI-INSULATING SILICON CARBIDE SUBSTRATES", by S.T. Shepard et. al, IEEE Electron Device Letters, Vol. 20, No. 4, April 1999, pages 161-163;
"Application of GaN-Based Heterojunction FETs for Advanced Wireless Communication", by Yasuo Ohno et. al. IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 48, No. 3, March 2001, pages 517-523;
"Galium Nitride Based High Power Heterojunction Field Effect Transistors: Process Development and Present Status at UCSB", by Stacia Keller et. al., IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 48, No. 3, March 2001, pages 552-559;
"Technology and Reliability Constrained Future Copper Interconnects - Part I: Resistance Modeling", by Pawan Kapur et. al., IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 49, No. 4, April 2002, pages 590-597;及び
"Copper Gate AIGaN/GaN HEMT with Low Gate Leakage Current", by Jin-Ping Ao et.
al., IEEE Electron Device Letters, Vol. 24, No. 8, August 2003, pages 500-502。
公開された米国特許出願公開第2003/0020092A1号及び国際公開WO03/032397A2(国際出
願番号PCT/US02/23056)に開示されている。これら公報は絶縁されたゲートで形成されたGaNに基づくHEMTを開示している。特に、HEMTは基板の頂部にAlxGa1−xバッファ層を有して形成される。高抵抗率層がバッファ層の頂部に形成されている。AlGaNから形成されるバリア層は高抵抗率の層の頂部に形成される。ドレイン及びソースコンタクトは高抵抗率GaN層の頂部に形成される。SiNから形成される絶縁層がAlGaNバリア層の頂部に形成される。ゲートコンタクトが絶縁層の頂部に形成される。ゲートコンタクトがドレイン及びソースコンタクトから絶縁されるので、ゲートリーク電流が低減される。上記の技術はGaN/AlGaNのHEMT積層デバイスを用いてかなり上手く実施できる一方で、この技術は、絶縁されたゲート無しの、GaNに基づく材料から形成されたHEMTデバイスに適用できない。
リーク電流が低減された、GaN材料から形成された、また、デバイス内の不連続部の上にゲート金属を堆積することによる電流狭窄が排除される、HEMTデバイスが求められている。
本発明は、公知のGaNに基づくHEMTに比較してゲートリーク電流が低減された、GaN材料系から形成された、ゲートメサの上に形成されたステップ状不連続部の上にゲート金属を堆積することによる電流狭窄の問題を排除する、改良HEMTに関する。本発明によれば、ゲートリーク電流はゲートとオーミック金属パッドとの間のリーク流路を緩和することによって低減される。これはエピ層材料(GaNバッファ)の分離領域を通じて、並びにメサ側壁の上のゲート金属オーバーハングの間のメサ側壁の相当の接触から、起こりうる。この新規なアプローチは、MISFETの場合のように、ゲートとHEMTチャネルとの間の間隔を増大させる必要無しにリーク電流を緩和する。それゆえ、ゲートリーク電流は、より高い周波数性能の用途のための電荷変調(charge modulation)における改良に起因してデバイス高周波数性能を犠牲にすることなく緩和できる。HEMTデバイスはGaN材料系から形成される。1以上のGaNに基づく材料が積層され、エッチングされてゲートメサが形成され、ステップ状不連続部がソース及びドレイン領域を規定する。リーク電流を低減するために、ステップ状不連続部は窒化ケイ素(SiN)などの絶縁材料で埋め戻され(back-filled)、ソース及びドレイン領域に関して平坦な表面が
形成され、ゲート金属を平坦に形成することを可能にする。ソース及びドレイン領域を絶縁材料で埋め戻すことによってゲート及びソース間並びにゲート及びドレイン間のリーク電流が飛躍的に低減される。さらに、ステップ状不連続部の上にゲート金属を堆積することによる電流狭窄が事実上排除される。
容易に理解できる。
本発明は、GaN材料系から形成される公知のHEMTよりも比較的リーク電流が少ないGaN材料系から形成されるHEMTに関し、ゲート金属の電流狭窄の問題も解決する。本発明の二つの態様を開示する。一つの態様は、図2A〜2Dに示されるように、HEMTがバルクGaN材料から形成される本発明の態様に関する。本発明の別の態様は図3A〜3Fに示されており、HEMTはGaN/AlGaNから形成される。
ない相対的に平坦な表面を形成するように、ソース及びドレイン領域34及び36内に堆積される。絶縁材料でソース及びドレイン領域34及び36内を充填することによって、ゲート30及びソース34領域間並びにゲート30及びドレイン36領域間のリーク電流が飛躍的に低減される。
。よって、添付の特許請求の範囲内で、本発明は特に上述したもの以外にも実施できることが理解されるべきである。
Claims (10)
- 基板;
前記基板の一部の上に1以上のGaNに基づく材料で形成されたメサであって、前記メサの平坦な頂部及び前記メサの向かい合った側部に隣接する前記基板の露出した部分を形成するメサ、ここで、前記メサは、ステップ状不連続部である側壁を規定し、前記メサの向かい合った側部にステップを形成する;
前記基板の前記ステップ状不連続部である側壁の前記露出した部分の上に配置される絶縁材料の単一の層、ここで、前記絶縁材料は、前記側壁に対して前記メサの頂部とともに平らな面を形成する;
前記メサの前記平坦な頂部の一部の上に配置された平坦な底部表面を有し、向かい合った側壁を超えて前記絶縁材料の頂部の上に延びるゲート金属コンタクト;及び
平坦な底部表面をそれぞれ有する単一材料のソースコンタクト及びドレインコンタクト、ここで前記平坦な底部表面は、前記メサの頂部とともに平らな面を形成する絶縁材料の一部と接触及び重複し、前記メサの前記平坦な頂部と接触し前記メサの前記平坦な頂部の上に存在する;
を含む高電子移動度トランジスタ(HEMT)。 - 前記GaNに基づく材料がGaN及びAlGaNを含み、
前記基板上に形成されたGaN層;
前記GaN層上に形成されたAlGaNから形成されたバッファ層;及び
前記バッファ層の頂部に形成されたGaN層
を含む請求項1に記載のHEMT。 - 前記ゲート金属コンタクトの平坦な底部表面及び前記ソースコンタクト及びドレインコンタクトの平坦な底部表面が全て前記メサの頂部とともに平らな面を形成する、請求項1に記載のHEMT。
- 前記メサの側壁の全てが円柱状の基板の上に形成された単一の絶縁材料によって囲まれている、請求項1に記載のHEMT。
- 前記ソースコンタクト及びドレインコンタクトの各々の少なくとも一部が前記メサの頂部とともに平らな面を形成する絶縁材料の外側端部まで延び、当該外側端部で終了する、請求項1に記載のHEMT。
- 単一の高電子移動度トランジスタ(HEMT)を形成する方法であって、
基板上に窒化ガリウム(GaN)に基づく材料の少なくとも1つの層を堆積し;
前記基板上にGaNに基づく材料で単一のメサを形成し、ここで、前記メサは、頂部表面及び向かい合ったステップ状不連続部である側壁を規定し、前記頂部表面はゲート領域を形成し、前記側壁に隣接する基板は、さらに、前記向かい合ったステップ状不連続部である側壁に隣接するドレイン及びソース領域を形成する;
前記ステップ状不連続部である側壁に接触し前記メサの頂部とともに平らな面を形成する絶縁材料を前記ドレイン及びソース領域の頂部に堆積し;
前記メサの頂部表面にゲート金属を堆積し、ゲートコンタクトを規定し、ここで、前記ゲート金属は前記ドレイン及びソース領域の頂部の絶縁材料と重複し、前記ゲートコンタクトは、向かい合った側壁を超えて前記絶縁材料の一部と重複する;
前記ゲート金属が堆積された同じ頂部表面に少なくとも部分的に直接接触して前記ドレイン及びソース領域の頂部に堆積される前記絶縁材料の頂部表面と接触するソースコンタクト及びドレインコンタクトを形成する、ここで、前記ソースコンタクト及びドレインコンタクトは前記メサの頂部とともに平らな面を形成する絶縁材料の外側端部まで延び、前記ゲートコンタクト、ソースコンタクト及びドレインコンタクトは各々前記メサの頂部とともに平らな面を形成する平坦な底部表面を有する;
ことを含む方法。 - 前記メサの側壁の全てが円柱状の基板の上に形成された単一の絶縁材料によって囲まれている、請求項6に記載の方法。
- 前記GaNに基づく材料がGaN及び窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記1以上のGaNに基づく材料を堆積する工程が、
前記基板の頂部にGaN層を堆積し;
前記GaN層の頂部にAlGaNのバッファ層を堆積し;
前記バッファ層の頂部に頂部GaN層を堆積する
ことを含む、請求項8に記載の方法。 - 前記絶縁材料が窒化ケイ素(SiN)である、請求項6に記載の方法。
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