JP6319705B2 - スピンコータ - Google Patents
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Description
2 スピンテーブル
3 溝
10 乾燥手段
15 フォトレジスト
16 赤外線ランプ
17 ヒータ
18 温風
20 段差
21 凸部
30 エッジ
40 段切れ部
50 モータ
60 盛り上がり部
70 タイマー
80 温度調節器
100 スピンコータ
150 反射鏡
200 蓋
301 ファン
302 フィルタ
303 整流器
500 電源コード
Claims (5)
- 5マイクロメートル以上の段差20を有する基板1にフォトレジスト15を塗布するスピンコータ100であって、基板1全体を一様に加熱する乾燥手段10であり、スピンテーブル2に設置した基板1にフォトレジスト15を滴下し、該スピンテーブル2を回転させて、その回転塗布中に、フォトレジスト15が前記段差20も段切れを発生せずに、段差に沿って一様な厚みで全面カバーしている状態で所望の厚みに達した時間経過後に、乾燥手段10の加熱を開始させるように設定するタイマーと、乾燥手段10の温度調整をする温度調節器と、を少なくとも具備した乾燥手段10を備えたことを特徴とするスピンコータ。
- 乾燥手段10として、赤外線ランプ16を用いた請求項1記載のスピンコータ。
- 乾燥手段10として、温風18を用いるようにした請求項1記載のスピンコータ。
- 乾燥手段10として、ヒータ17を用いた請求項1記載のスピンコータ。
- 乾燥手段10の乾燥開始時間、乾燥時間、温度のうちの少なくとも一つが調整できるようにした請求項1から4のいずれかに記載のスピンコータ。
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Family Applications (1)
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