JP2009514671A - スピンコートにより膜厚を制御する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1)コートされる基板の上に液体を分配し、有利な最初の拡張を行うために、この工程中はゆっくり回転する工程。
2)高速(一般には数100rpmから12000rpm)でディスクを回転させ、液体を均一に拡げる工程。層の膜厚は、粘性、温度、回転速度、および回転時間に依存する。そのような層に使用されるラッカーの一般的な粘性値は、1500mPasと2000mPasの間である。
それゆえに、標準的なスピンコートプロセスでは、膜厚の分布を最小レベルまで減らすことができない。最適化されたコート条件を達成するために、スピンコートプロセス中に追加の処理が必要となる。
(a)液体がその上に分配される基板の面に向かった加熱源により、スピンプロセス前またはスピンプロセス中に、部分的で選択的に、温度勾配を形成する工程と、
(b)低い強度のUV硬化と、その後のエッジ洗浄工程と、
(c)回転を伴わない最後の硬化工程と、
を含む、本質的に3工程のプロセスが提案される。
1)粘性のある、UVで硬化可能な液体、例えばラッカーを、回転する基板上に供給する(分配工程)。
2)液体を拡げる(スピン工程)。
3)回転しながら液体を加熱し、予備的な膜厚の均一性を得る。
1)約400〜1000rpmで基板を回転し、それに第1強度のUVを照射し、低いUV強度を用いてこれにより全表面の液体をまだ動ける状態にしておく。この箇所の「低い強度」は、10〜100mW/cm2で、0.5〜1.5秒間の持続期間を意味する。
2)高速で回転し、最終の膜厚で最終の膜厚均一性に調整し、外部エッジで余剰の液体を除去する。
1)回転なしに第2強度で最終硬化を行う。UV硬化パワーは、数100mW/cm2(好適には400〜700mW/cm2)で2〜3秒間である。
Claims (14)
- 基板の表面上に、所定の領域に高い均一性で粘性のある液体を拡げる方法であって、
i. サポート上に本質的に水平に基板を配置する工程と、
ii. 基板の表面上に、粘性のあるUV硬化可能な液体を供給する工程と、
iii.基板を回転させて、液体を半径方向外方に拡げる工程と、
iv. 基板上の液体を熱的に調整し、一定の方法でその粘性を部分的に変える工程と、
v. 第1強度のUVを液体に照射し、液体を部分的に硬化させる工程と、
vi. ディスクから余剰の液体を振り落とす工程と、
vii.第2強度のUVを液体に照射し、液体を硬化させる工程と、を含む方法。 - 液体の熱的な調整が、熱風の流れの手段により行われる請求項1に記載の方法。
- 第1強度のUV照射は、10〜100mW/cm2である請求項1または2に記載の方法。
- 第2強度のUV照射は、数100mW/cm2である請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 熱的な調整中に、基板が400〜1200rpmの速度で回転する請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 第1強度のUV照射中に、基板が400〜1000rpmの速度で回転する請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 工程i〜工程ivは、1つのプロセスステーションで行われる請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 工程vi〜工程viiは、別個のプロセスステーションでそれぞれ行われる請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 基板の表面上に、所定の領域に高い均一性で粘性のある液体を拡げるための装置であって、
回転可能なサポートと、
基板の表面上に液体を拡げる分配手段と、
基板上の液体を熱的に調整し、一定の方法でその粘性を部分的に変えるための熱源と、
液体にUV照射するためのUV照射源と、を含む装置。 - 更に、基板(1)とUV照射(5)との間に配置され、基板(1)の外縁がUV照射(5)に殆ど影響されないようにするマスクを含む請求項9に記載の装置。
- マスクは、円形で、基板と同軸に配置される請求項10に記載の装置。
- マスクは、円形で、基板に偏心して配置される請求項10に記載の装置。
- UV照射源は、第1の、低い強度のUV照射を行うために適用され、より高い第2の強度のUV照射を行うためのUV照射源を更に含む請求項9〜12のいずれか1項に記載の装置。
- 表面領域がコートされた基板を製造するための方法であって、請求項1〜8のいずれか1項に記載の粘性のある液体を拡げる方法を含む製造方法。
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