JP6319114B2 - 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
一のポンプから一のノズルに供給された薬液を当該一のノズルから吐出して液流を形成する工程と、
前記液流が形成される領域を繰り返し撮像し、画像データを取得する工程と、
前記画像データから、薬液の吐出量の経時変化に関するデータを取得する工程と、
前記経時変化に関するデータと基準データとに基づいて、前記経時変化について異常の有無を検出し、当該異常に対処する対処工程と、
を備え、
前記対処工程は、前記一のポンプから前記一のノズルへの薬液の供給量の経時変化を規定するパラメータを補正する工程を含み、
前記液処理は、基板の回転数を経時変化させることにより行われ、
前記基準データは、基板の回転数の経時変化とノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係であり、
前記パラメータを補正する工程は、前記基準データに対して、基板の回転数の経時変化と前記一のノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係が適合するように行われることを特徴とする
前記ノズルに薬液を供給するためのポンプと、
前記ノズルから吐出された薬液の液流が形成される領域を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、
前記液流が形成される領域を繰り返し撮像して得られる画像データから薬液の吐出量の経時変化に関するデータを取得し、当該データと基準データとに基づいて、前記経時変化について異常の有無を検出し、当該異常に対処する対処部と、
を備え、
前記対処部は、
前記一のポンプから前記一のノズルへの薬液の供給量の経時変化を規定するパラメータを記憶するメモリと、
前記メモリのパラメータに基づいて前記薬液の供給量を調整する調整機構と、
前記異常が検出されたときに、前記メモリのパラメータを補正する補正部と、
により構成され、
前記液処理は、基板の回転数を経時変化させることにより行われ、
前記基準データは、基板の回転数の経時変化とノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係であり、
前記補正部は、前記基準データに対して、基板の回転数の経時変化と前記一のノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係が適合するように補正することを特徴とする。
本発明の記憶媒体は、基板にノズルから薬液を供給して液処理を行う液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記の液処理方法を実行するようにステップ群が組まれている。
2A、2B レジスト塗布モジュール
22 スピンチャック
36 レジスト吐出ノズル
38 カメラ
39 撮像領域
5 ポンプ
55 駆動手段
6 制御部
60 プログラム
Claims (6)
- 基板に薬液を供給して液処理を行う液処理方法において、
一のポンプから一のノズルに供給された薬液を当該一のノズルから吐出して液流を形成する工程と、
前記液流が形成される領域を繰り返し撮像し、画像データを取得する工程と、
前記画像データから、薬液の吐出量の経時変化に関するデータを取得する工程と、
前記経時変化に関するデータと基準データとに基づいて、前記経時変化について異常の有無を検出し、当該異常に対処する対処工程と、
を備え、
前記対処工程は、前記一のポンプから前記一のノズルへの薬液の供給量の経時変化を規定するパラメータを補正する工程を含み、
前記液処理は、基板の回転数を経時変化させることにより行われ、
前記基準データは、基板の回転数の経時変化とノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係であり、
前記パラメータを補正する工程は、前記基準データに対して、基板の回転数の経時変化と前記一のノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係が適合するように行われることを特徴とする液処理方法。 - 他のポンプから他のノズルに供給された薬液を当該他のノズルから吐出して液流を形成する工程と、
前記他のノズルからの液流が形成される領域を繰り返し撮像し、画像データを取得する工程と、
前記画像データから、基板の回転数の経時変化とノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係を前記基準データとして取得する工程と、
を含むことを特徴とする請求項1記載の液処理方法。 - 前記パラメータは、前記ポンプにおける薬液を吐出させるための圧力であることを特徴とする請求項1または2記載の液処理方法。
- 前記薬液の吐出量の経時変化に関するデータを取得する工程は、
前記画像データに基づいて液流の幅と、単位時間あたりの液流の端部の移動距離とを検出する工程と、を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の液処理方法。 - 基板にノズルから薬液を吐出して液処理を行う液処理装置において、
前記ノズルに薬液を供給するためのポンプと、
前記ノズルから吐出された薬液の液流が形成される領域を撮像し、画像データを取得するための撮像部と、
前記液流が形成される領域を繰り返し撮像して得られる画像データから薬液の吐出量の経時変化に関するデータを取得し、当該データと基準データとに基づいて、前記経時変化について異常の有無を検出し、当該異常に対処する対処部と、
を備え、
前記対処部は、
前記一のポンプから前記一のノズルへの薬液の供給量の経時変化を規定するパラメータを記憶するメモリと、
前記メモリのパラメータに基づいて前記薬液の供給量を調整する調整機構と、
前記異常が検出されたときに、前記メモリのパラメータを補正する補正部と、
により構成され、
前記液処理は、基板の回転数を経時変化させることにより行われ、
前記基準データは、基板の回転数の経時変化とノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係であり、
前記補正部は、前記基準データに対して、基板の回転数の経時変化と前記一のノズルから吐出される薬液の吐出量の経時変化との対応関係が適合するように補正することを特徴とする液処理装置。 - 基板にノズルから薬液を供給して液処理を行う液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし4のいずれか一つに記載された液処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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