JP6318695B2 - 有機el装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 102
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 81
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 claims description 59
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 claims description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 101100334739 Mus musculus Fgfr3 gene Proteins 0.000 description 11
- 101150076716 SAM3 gene Proteins 0.000 description 11
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 7
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- LXEJRKJRKIFVNY-UHFFFAOYSA-N terephthaloyl chloride Chemical compound ClC(=O)C1=CC=C(C(Cl)=O)C=C1 LXEJRKJRKIFVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
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Description
本発明の第1実施形態にかかる有機EL装置の製造方法について、図1(a)〜図1(c)に各製造工程を示して説明する。
まず、基材1を用意し、この基材1の上にマスク2を設置する。基材1には、図示していないが複数の有機EL素子が並べて配置されていると共に、各有機EL素子を駆動するための配線パターンなどが形成されている。
続いて、SAM処理を行うことにより、基材1のうちマスク2から露出させられている部分の表面、つまり保護膜4を成膜したい所望位置およびマスク2の表面に、保護膜4が化学吸着されることを促すSAM3を形成する。例えば、マスク2を配置した基材1を成膜チャンバに投入し、マスク2が変形しない温度(例えば、50℃以下)で真空中(減圧雰囲気)でSAM処理を行う。SAM処理時の真空度は任意であるが、後述する保護膜4の成膜時よりも低真空の方が平均自由工程が短いため、好ましい。
この後、保護膜4の材料を含むガスを用いて、例えばALD法によってSAM3の表面に保護膜4を形成する。具体的には、SAM3の表面の終端構造、例えばSAM3を形成する時のカップリング剤としてアミノ基を有するシランカップリング剤を用いている場合、アミノ基と反応するテレフタル酸ジクロライドに加えて、エチレングリコール、エチレンジアミンを用いる。そして、これらを交互に用いて吹き付けることにより、SAM3の表面のアミノ基と反応してテレフタル酸ジクロライドがSAM3の表面に化学吸着され、SAM3の表面に保護膜4を形成することができる。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
2 マスク
3 SAM
4 保護膜
Claims (5)
- 有機EL素子が備えられた基材(1)に対して自己組織化単分子層(3)の形成処理を行ったのち、ガスを用いて前記基材の表面における所望位置に保護膜(4)を形成する有機EL装置の製造方法であって、
前記保護膜の材料が化学吸着されず、前記自己組織化単分子層の材料が化学吸着され、かつ、前記マスクが密着する材料で構成された前記基材を用意する工程と、
前記基材の表面に、前記基材の表面における前記所望位置が開口し、前記自己組織化単分子層の材料が化学吸着される材料で構成された前記マスクを設置する工程と、
前記基材の表面における所望位置および前記マスクの表面に、該表面への前記保護膜の形成材料の化学吸着を促進させる前記自己組織化単分子層を形成する工程と、
前記基材に対して化学吸着せず、かつ、前記自己組織化単分子層に対して化学吸着する材料からなる前記保護膜の材料を含むガスを用いて、前記基材の表面における所望位置および前記マスクの表面に形成された前記自己組織化単分子層の表面に前記保護膜を形成する工程と、を含んでいることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 前記保護膜を形成する工程では、前記保護膜の材料として水酸基に化学吸着されない材料を用いることを特徴とする請求項1に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記自己組織化単分子層を形成する工程を前記保護膜を形成する工程よりも低い温度で行うことを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL装置の製造方法。
- 前記基材を用意する工程では、前記基材としてガラスもしくはポリイミドを用い、
前記マスクを設定する工程では、前記マスクとして樹脂を用い、
前記自己組織化単分子層を形成する工程では、前記自己組織化単分子層の材料として、水酸基および前記保護膜の材料と反応する反応基を有するカップリング剤を用いることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の有機EL装置の製造方法。 - 前記保護膜を形成する工程では、前記ガスを用いた成膜方法としてALD法を用いることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014034347A JP6318695B2 (ja) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 有機el装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014034347A JP6318695B2 (ja) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 有機el装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015159083A JP2015159083A (ja) | 2015-09-03 |
JP6318695B2 true JP6318695B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=54182929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014034347A Active JP6318695B2 (ja) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 有機el装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6318695B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210135169A1 (en) * | 2017-03-23 | 2021-05-06 | The Japan Steel Works, Ltd. | Forming method of protection film for organic el device, manufacturing method of display apparatus, and display apparatus |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2793048B2 (ja) * | 1991-02-22 | 1998-09-03 | 三井化学株式会社 | 有機発光素子の封止方法 |
US20010052752A1 (en) * | 2000-04-25 | 2001-12-20 | Ghosh Amalkumar P. | Thin film encapsulation of organic light emitting diode devices |
WO2009104241A1 (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | パイオニア株式会社 | パターン形成方法及びシャドウマスク |
DE102009023350A1 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements |
JP2011040340A (ja) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Sharp Corp | 有機el装置 |
KR101097321B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-12-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 장치 및 이의 제조 방법 |
-
2014
- 2014-02-25 JP JP2014034347A patent/JP6318695B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015159083A (ja) | 2015-09-03 |
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