JP6318613B2 - 発光装置用リードフレーム又は基板に用いられるめっき液、並びに、それを用いて製造されるリードフレーム又は基板、及びその製造方法、及びそれを備える発光装置 - Google Patents
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 150
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 101
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 101
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 101
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims description 68
- LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N silver cyanide Chemical compound [Ag+].N#[C-] LFAGQMCIGQNPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229940098221 silver cyanide Drugs 0.000 claims description 21
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 16
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 14
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 14
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 13
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 4
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 4
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 claims description 4
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 claims description 3
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000012778 molding material Substances 0.000 claims description 3
- HKSGQTYSSZOJOA-UHFFFAOYSA-N potassium argentocyanide Chemical compound [K+].[Ag+].N#[C-].N#[C-] HKSGQTYSSZOJOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LUZZASVJWGRCFO-UHFFFAOYSA-N [Na].[Ag]C#N Chemical compound [Na].[Ag]C#N LUZZASVJWGRCFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N chembl1408157 Chemical compound N=1C2=CC=CC=C2C(C(=O)O)=CC=1C1=CC=C(O)C=C1 KXZJHVJKXJLBKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 4
- 229940095064 tartrate Drugs 0.000 claims 2
- BEUMKHGFCUCHSZ-UHFFFAOYSA-N N#C[Ag]C#N Chemical compound N#C[Ag]C#N BEUMKHGFCUCHSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 47
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 239000002585 base Substances 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 cerium activated yttrium aluminum garnet Chemical class 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 4
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004954 Polyphthalamide Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 description 2
- 238000005237 degreasing agent Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920006375 polyphtalamide Polymers 0.000 description 2
- NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N potassium cyanide Chemical compound [K+].N#[C-] NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 229910019655 synthetic inorganic crystalline material Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004254 Ammonium phosphate Substances 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXVOOSNBEGWRKY-UHFFFAOYSA-N [C-]#N.[C-]#N.[C-]#N.[K+].[SeH4+2] Chemical compound [C-]#N.[C-]#N.[C-]#N.[K+].[SeH4+2] LXVOOSNBEGWRKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000148 ammonium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019289 ammonium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001463 antimony compounds Chemical class 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 239000000404 calcium aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- 235000012215 calcium aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- WNCYAPRTYDMSFP-UHFFFAOYSA-N calcium aluminosilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O WNCYAPRTYDMSFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940078583 calcium aluminosilicate Drugs 0.000 description 1
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N diammonium hydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].OP([O-])([O-])=O MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N dipotassium dioxido(oxo)titanium Chemical compound [K+].[K+].[O-][Ti]([O-])=O NJLLQSBAHIKGKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical group 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- OQTOQAYHQVKZET-UHFFFAOYSA-N oxalonitrile;silver Chemical compound [Ag].N#CC#N OQTOQAYHQVKZET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006174 pH buffer Substances 0.000 description 1
- 239000006179 pH buffering agent Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L potassium L-tartrate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 1
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 1
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 1
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 1
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940074439 potassium sodium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 239000001472 potassium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229940111695 potassium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011005 potassium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- JVUYWILPYBCNNG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(oxo)borane Chemical compound [K+].[O-]B=O JVUYWILPYBCNNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229940065287 selenium compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003343 selenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O HELHAJAZNSDZJO-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 description 1
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000162 sodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011008 sodium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001433 sodium tartrate Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J tetrapotassium;phosphonato phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N triammonium citrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K trisodium phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])([O-])=O RYFMWSXOAZQYPI-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
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Description
以下に、発明の実施の形態について説明する。但し、以下に説明する銀又は銀合金めっき液、発光装置用リードフレーム又は基板、及びその製造方法、及びそれを備える発光装置は、本発明の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本発明を以下のものに限定しない。
実施例1〜23の発光装置は、以下のようにして作製する。リードフレームの材料(基体)としては、株式会社神戸製鋼所製のKLF194(CDA No.C19400、鉄含有率2.3%)銅材の板厚0.11mmの平板を使用し、株式会社エノモトのLED用オープンフレーム FLASH LED 6PIN OP1(外形寸法5050)のタイプに型抜きしたものを使用する。まず、これに、アルカリ系の脱脂剤で脱脂処理を施したあと、希硫酸で酸中和し、その後シアン浴により銅めっきを0.5μm施す。その後、本発明のめっき液にて銀又は銀合金めっきを行い、清浄な純水で洗浄した後、乾燥し、銀又は銀合金めっき膜を表面に備えるリードフレームを作製する。銀又は銀合金めっきは、全面銀めっき又は全面銀合金めっきとする。このリードフレームを金型内に配置し、成形材料として、ポリフタルアミド樹脂を注入し、硬化させて金型からはずす。そして、樹脂成形後のリードフレーム上にInGaN系の青色発光ダイオード素子を、樹脂の接着剤を介して載置した後、150℃で1時間加熱して接合する。その後、発光ダイオード素子の電極と、リードフレームと、を25μm径の金線にて接続する。次に、変性シリコーン樹脂にYAG蛍光体を20%の割合で配合したものを、樹脂成形体の開口部に充填し、熱風乾燥機にて硬化させ(硬化条件:150℃、4時間)、封止する。その後、個別の発光装置として切断する。
比較例1及び2の発光装置は、従来の銀めっき液を使用すること以外、実施例1〜23の発光装置と同様にして作製する。
以上のようにして得られた実施例1〜23及び比較例1,2の発光装置における全光束Φv(lm)を積分式全光束測定装置にて測定する。表1に、各実施例及び比較例における、銀又は銀合金めっき液及び銀又は銀合金めっき条件と、発光装置の全光束Φv(lm)と、を示す。
実施例24〜46の発光装置は、以下のようにして作製する。リードフレームの材料(基体)としては、株式会社神戸製鋼所製のKLF194(CDA No.C19400、鉄含有率2.3%)銅材の板厚0.11mmの平板を使用し、株式会社エノモトのLED用オープンフレーム FLASH LED 6PIN OP1(外形寸法5050)のタイプに型抜きしたものを使用する。まず、これに、アルカリ系の脱脂剤で脱脂処理を施したあと、希硫酸で酸中和し、その後シアン浴により銅めっきを0.5μm施す。その後、銀めっき液として、シアン化銀カリウム=70g/L、シアン化カリウム=100g/L、シアン化セレンカリウム=2ppmを用いて、液温25℃、電流密度3A/dm2で2分間めっき行い、約3μmの光沢度1.5の銀めっきの下地膜を得る。その後、本発明のめっき液にて銀又は銀合金めっきを行い、清浄な純水で洗浄した後、乾燥し、銀又は銀合金めっき膜を表面に備えるリードフレームを作製する。銀又は銀合金めっきは、全面銀めっき又は全面銀合金めっきとする。このリードフレームを金型内に配置し、成形材料として、ポリフタルアミド樹脂を注入し、硬化させて金型からはずす。そして、樹脂成形後のリードフレーム上にInGaN系の青色発光ダイオード素子を、樹脂の接着剤を介して載置した後、150℃で1時間加熱して接合する。その後、発光ダイオード素子の電極と、リードフレームと、を25μm径の金線にて接続する。次に、変性シリコーン樹脂にYAG蛍光体を20%の割合で配合したものを、樹脂成形体の開口部に充填し、熱風乾燥機にて硬化させ(硬化条件:150℃、4時間)、封止する。その後、個別の発光装置として切断する。
比較例3及び4の発光装置は、従来の銀めっき液を使用すること以外、実施例24〜46の発光装置と同様にして作製する。
以上のようにして得られた実施例1〜23及び比較例1,2の発光装置における全光束Φv(lm)を積分式全光束測定装置にて測定する。以下、各実施例及び比較例における、銀又は銀合金めっき液及び銀又は銀合金めっき条件と、発光装置の全光束Φv(lm)と、を表2に示す。
Claims (12)
- 銅又は銅合金を有するリードフレーム上に銅めっきが施されたリードフレームの表面に、電気めっきで厚さ0.1μm以上10μm以下の銀又は銀合金の下地膜を成膜する工程と、
前記銀又は銀合金の下地膜を成膜したあと、0.1g/L以上15g/L以下のシアン化銀錯体と50g/L以上250g/L以下の電気伝導塩を少なくとも含有し、pHが8以上13.5以下であるめっき液を用いて、析出効率が0.5%以上50%以下である電気めっきを行い、銀めっき膜を形成する工程と、
を含む発光装置用リードフレームの製造方法。 - 前記シアン化銀錯体として、シアン化銀、シアン化銀カリウム、シアン化銀ナトリウムから選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1に記載の発光装置用リードフレームの製造方法。
- 前記電気伝導塩として、シアン塩、りん酸塩、硝酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1又は2に記載の発光装置用リードフレームの製造方法。
- 前記銀めっき膜の光沢度は、1.0以上である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光装置用リードフレームの製造方法。
- 前記銀めっき膜は、波長450nm以上の光に対する反射率が90%以上である請求項4に記載の発光装置用リードフレームの製造方法。
- 銅又は銅合金を有するリードフレーム上に銅めっきが施されたリードフレームの表面に、電気めっきで厚さ0.1μm以上10μm以下の銀又は銀合金の下地膜を成膜する工程と、
前記銀又は銀合金の下地膜を成膜したあと、0.1g/L以上15g/L以下のシアン化銀錯体と50g/L以上250g/L以下の電気伝導塩を少なくとも含有し、pHが8以上13.5以下であるめっき液を用いて、析出効率が0.5%以上50%以下である電気めっきを行い、銀めっき膜を形成する工程と、
前記銀めっき膜が形成されたリードフレームを金型内に配置し、成形材料を前記金型内に注入し、硬化し、成形する工程と、
成形されたリードフレーム上に発光素子を載置する工程と、
を有する発光装置の製造方法。 - 銅又は銅合金の上に銅めっきが施された銅めっきの表面に、電気めっきで厚さ0.1μm以上10μm以下の銀又は銀合金の下地膜を成膜する工程と、
前記銀又は銀合金の下地膜を成膜したあと、0.1g/L以上15g/L以下のシアン化銀錯体と50g/L以上250g/L以下の電気伝導塩を少なくとも含有し、pHが8以上13.5以下であるめっき液を用いて、析出効率が0.5%以上50%以下である電気めっきを行い、銀めっき膜を形成する工程と、
を含む発光装置用基板の製造方法。 - 前記シアン化銀錯体として、シアン化銀、シアン化銀カリウム、シアン化銀ナトリウムから選ばれる少なくとも1種を含有する請求項7に記載の発光装置用基板の製造方法。
- 前記電気伝導塩として、シアン塩、りん酸塩、硝酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項7又は8に記載の発光装置用基板の製造方法。
- 前記銀めっき膜の光沢度は、1.0以上である、請求項7乃至9のいずれか一項に記載の発光装置用基板の製造方法。
- 前記銀めっき膜は、波長450nm以上の光に対する反射率が90%以上である請求項10に記載の発光装置用基板の製造方法。
- 銅又は銅合金の上に銅めっきが施された銅めっきの表面に、電気めっきで厚さ0.1μm以上10μm以下の銀又は銀合金の下地膜を成膜する工程と、
前記銀又は銀合金の下地膜を成膜したあと、0.1g/L以上15g/L以下のシアン化銀錯体と50g/L以上250g/L以下の電気伝導塩を少なくとも含有し、pHが8以上13.5以下であるめっき液を用いて、析出効率が0.5%以上50%以下である電気めっきを行い、銀めっき膜を形成する工程と、
前記銀めっき膜が形成された基板上に発光素子を載置する工程と、
を有する発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013271070A JP6318613B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 発光装置用リードフレーム又は基板に用いられるめっき液、並びに、それを用いて製造されるリードフレーム又は基板、及びその製造方法、及びそれを備える発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013271070A JP6318613B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 発光装置用リードフレーム又は基板に用いられるめっき液、並びに、それを用いて製造されるリードフレーム又は基板、及びその製造方法、及びそれを備える発光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015124427A JP2015124427A (ja) | 2015-07-06 |
JP6318613B2 true JP6318613B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=53535359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013271070A Active JP6318613B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 発光装置用リードフレーム又は基板に用いられるめっき液、並びに、それを用いて製造されるリードフレーム又は基板、及びその製造方法、及びそれを備える発光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6318613B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6825780B2 (ja) | 2016-07-27 | 2021-02-03 | 大口マテリアル株式会社 | 多列型led用配線部材及びその製造方法 |
JP7148792B2 (ja) * | 2018-09-27 | 2022-10-06 | 日亜化学工業株式会社 | 光半導体装置用金属材料、及びその製造方法、及びそれを用いた光半導体装置 |
JP7256382B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2023-04-12 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5278635A (en) * | 1975-12-12 | 1977-07-02 | Tokyo Shibaura Electric Co | Silver plating solution |
JPS5824509B2 (ja) * | 1980-05-08 | 1983-05-21 | 日本鉱業株式会社 | 銀パラジウム合金メツキ液及び銀パラジウム合金メツキ方法 |
JPS61148883A (ja) * | 1984-12-22 | 1986-07-07 | Toshiba Corp | 光半導体装置用リ−ドフレ−ム |
JPS62164890A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 金銀銅合金めつき液 |
JP2004084035A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Seiko Epson Corp | 表面処理方法、金属部品および時計 |
JP2004307907A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 銀めっき液からのカリウムイオン除去方法 |
JP2005347375A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 発光素子用ステム及び光半導体装置 |
JP4367457B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2009-11-18 | パナソニック電工株式会社 | 銀膜、銀膜の製造方法、led実装用基板、及びled実装用基板の製造方法 |
JP2008091818A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体装置用リードフレームおよびこれを用いた光半導体装置、並びにこれらの製造方法 |
JP2012124310A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Nitto Denko Corp | 反射膜およびその製造方法 |
JP6230778B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2017-11-15 | 日亜化学工業株式会社 | 光半導体装置用電解銀めっき液 |
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013271070A patent/JP6318613B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015124427A (ja) | 2015-07-06 |
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