JP6318061B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
101 n-型ドリフト層
102 p型コレクタ層
103 コレクタ電極
104 p型チャネル層
105 ゲート絶縁膜
106 第一のゲート電極
107 第二のゲート電極
108 第一のn型ソース領域
109 第二のn型ソース領域
Claims (8)
- 互いに直交するx方向とy方向によって規定されるxy平面、および前記xy平面に直交するz方向に対して、
前記xy平面に沿って形成された第一導電型のドリフト層と、
前記ドリフト層の第一表面に形成された第二導電型のコレクタ層と、
前記ドリフト層の第二表面に形成された第二導電型のチャネル層と、
前記チャネル層の表面から、前記チャネル層をz方向に貫通して前記ドリフト層まで達し、y方向に延設された複数のトレンチと、
前記トレンチの壁面に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成され、それぞれ独立に駆動可能である第一のゲート電極、および第二のゲート電極と、
前記チャネル層の表面にて、前記第一のゲート電極の側部に前記ゲート絶縁膜を介して選択的に形成された第一導電型の第一のソース領域、および前記第二のゲート電極の側部に前記ゲート絶縁膜を介して選択的に形成された第一導電型の第二のソース領域と
を備えた半導体装置であって、
前記第一のゲート電極と前記第二のゲート電極とは、x方向に交互に繰り返して配置され、
前記第一のソース領域のキャリア注入効率が、前記第二のソース領域のキャリア注入効率と比較して小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第一のソース領域のy方向の長さa1の、前記第一のソース領域を含む前記チャネル層のy方向の繰り返し単位の長さb1に対する比a1/b1が、
前記第二のソース領域のy方向の長さa2の、前記第二のソース領域を含む前記チャネル層のy方向の繰り返し単位の長さb2に対する比a2/b2より小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第二のゲート電極に与えられる駆動信号の電圧が、しきい値電圧より高い状態から低い状態へ切り替わるタイミングが、
前記第一のゲート電極に与えられる駆動信号の電圧が、しきい値電圧より高い状態から低い状態へ切り替わるタイミングより早い
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第一のソース領域のy方向の長さa1の、前記第一のソース領域を含む前記チャネル層のy方向の繰り返し単位の長さb1に対する比a1/b1が、
前記第二のソース領域のy方向の長さa2の、前記第二のソース領域を含む前記チャネル層のy方向の繰り返し単位の長さb2に対する比a2/b2より小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 互いに直交するx方向とy方向によって規定されるxy平面、および前記xy平面に直交するz方向に対して、
前記xy平面に沿って形成された第一導電型のドリフト層と、
前記ドリフト層の第一表面に形成された第二導電型のコレクタ層と、
前記ドリフト層の第二表面に選択的に形成された第二導電型のチャネル領域と、
前記チャネル領域の表面に選択的に形成された第一導電型の第一のソース領域と、
前記チャネル領域の表面に選択的に形成された第一導電型の第二のソース領域と、
前記第一のソース領域、前記チャネル領域および前記ドリフト層の上にゲート絶縁膜を介して形成された第一のゲート電極と、
前記第二のソース領域、前記チャネル領域および前記ドリフト層の上にゲート絶縁膜を介して形成された第二のゲート電極と
を備えた半導体装置であって、
前記第一のゲート電極と前記第二のゲート電極とは、x方向に交互に繰り返して配置され、
前記第一のソース領域のキャリア注入効率が、前記第二のソース領域のキャリア注入効率と比較して小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第一のソース領域のy方向の長さa1の、前記第一のソース領域を含む前記チャネル領域のy方向の繰り返し単位の長さb1に対する比a1/b1が、
前記第二のソース領域のy方向の長さa2の、前記第二のソース領域を含む前記チャネル領域のy方向の繰り返し単位の長さb2に対する比a2/b2より小さい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第二のゲート電極に与えられる駆動信号の電圧が、しきい値電圧より高い状態から低い状態へ切り替わるタイミングが、
前記第一のゲート電極に与えられる駆動信号の電圧が、しきい値電圧より高い状態から低い状態へ切り替わるタイミングより早い
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記第一のソース領域のy方向の長さa1の、前記第一のソース領域を含む前記チャネル領域のy方向の繰り返し単位の長さb1に対する比a1/b1が、
前記第二のソース領域のy方向の長さa2の、前記第二のソース領域を含む前記チャネル領域のy方向の繰り返し単位の長さb2に対する比a2/b2より小さい
ことを特徴とする半導体装置。
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