JP6317044B2 - 光学ユニット及び光学ユニットの調整方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 459
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 45
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 124
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 104
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 51
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 29
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 29
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 21
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
- G02B21/361—Optical details, e.g. image relay to the camera or image sensor
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/14—Condensers affording illumination for phase-contrast observation
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Description
本発明は、光学ユニット及び光学ユニットの調整方法に関する。
従来、光学顕微鏡を用いた画像観察の分野では、顕微鏡光学系の瞳共役位置に位相マスクといった光学素子を配置し、当該光学素子の特性に応じた出力画像を撮像装置側で取得することが行われている。一般的な光学顕微鏡では、対物レンズの射出瞳位置は、対物レンズの内部に位置している。このため、光学顕微鏡の撮像ポート側にリレー光学系を配置し、試料の一次結像面を撮像装置側の二次結像面にリレーすると共に、リレー光学系に対物レンズの瞳を投影し、投影された瞳位置に光学素子を配置する構成が検討されている(例えば特許文献1,2参照)。
リレー光学系に投影された対物レンズの瞳位置に光学素子を配置する構成を簡便に実現するためには、これらの構成をユニット化した光学ユニットを用いることが考えられる。多くの光学顕微鏡では、対物レンズの瞳を撮像ポート側から見た射出瞳は、顕微鏡や対物レンズの種類などによって変位するおそれがある。実際に測定してみると、ある光学顕微鏡では射出瞳位置が−2830mm〜−1550mmの範囲にあり、別の光学顕微鏡では射出瞳位置が+330mm〜+1790mmの範囲にあるなど、光学顕微鏡ごとの大きなばらつきが確認された。
このため、光学ユニットを種々の光学顕微鏡に適用可能とするためには、光学素子の調整範囲を大きく確保する必要がある。光学素子の調整範囲を拡大するには、リレー光学系を構成するコリメーションレンズとフォーカスレンズとの間隔を大きくする、或いはフォーカスレンズの径を大きくする、といった構成が必要となる。しかしながら、これらの構成を採用すると、光学ユニットが大型化し、光学顕微鏡に接続する際の使い勝手が悪くなってしまうおそれがある。
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、大型化を避けつつ、種々の射出瞳投影位置に対して光学素子の配置位置を容易に調整可能な光学ユニット及び光学ユニットの調整方法を提供することを目的とする。
本発明の一側面に係る光学ユニットは、光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットであって、光学顕微鏡による一次結像面を撮像装置側の二次結像面にリレーするリレー光学系と、リレー光学系間の光軸上に配置された光学素子ホルダと、光学素子ホルダよりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置するフィールドレンズ配置部と、光学素子ホルダよりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿抜可能に配置するベルトランレンズ挿抜部と、を備える。
この光学ユニットでは、フィールドレンズを光学素子ホルダの前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡による射出瞳投影位置をリレー光学系間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズを用いることで、リレー光学系を構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子の必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニットの大型化を回避できる。また、この光学ユニットでは、光学素子ホルダよりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入することで、撮像装置を介して射出瞳投影位置を確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置に対して光学素子の配置位置を容易に調整できる。
また、ベルトランレンズ挿抜部は、ベルトランレンズの位置を光軸方向に変位させるベルトランレンズ変位部を有していてもよい。この場合、撮像装置の焦点を射出瞳投影位置に対して容易に合わせることができる。
また、ベルトランレンズ挿抜部は、ベルトランレンズを保持する複数のベルトランレンズ保持部を有し、ベルトランレンズ変位部は、ベルトランレンズ保持部のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されていてもよい。この場合、撮像装置の焦点を射出瞳投影位置に一層容易に合わせることができる。
また、フィールドレンズ配置部は、フィールドレンズの位置を光軸方向に変位させるフィールドレンズ変位部を有していてもよい。これにより、光軸方向に対する射出瞳投影位置の調整が容易なものとなる。
また、フィールドレンズ配置部は、フィールドレンズを保持する複数のフィールドレンズ保持部を有し、フィールドレンズ変位部は、フィールドレンズ保持部のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されていてもよい。これにより、光軸方向に対する射出瞳投影位置の調整が一層容易なものとなる。
また、光学ユニットは、光学素子ホルダの位置を光軸方向及び当該光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一つの方向に変位させるホルダ変位部を更に有していてもよい。これにより、射出瞳投影位置において光学素子の位置をXY平面上で容易に調整できる。
また、光学ユニットは、光学素子ホルダよりも前段側の光軸上に光分割素子を更に有していてもよい。この場合、異なる波長の光を撮像装置側で観察可能となる。
また、本発明の一側面に係る光学ユニットの調整方法は、光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットの調整方法であって、リレー光学系間の光軸上に配置される光学素子ホルダの位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入し、撮像装置の焦点を光学素子ホルダの位置に合わせる焦点調整ステップと、光学素子ホルダの位置よりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置し、光学顕微鏡の射出瞳投影位置を光学素子ホルダの位置に合わせる射出瞳投影位置調整ステップと、射出瞳投影位置と光学素子ホルダの位置とが合った状態でベルトランレンズを光軸から抜脱するベルトランレンズ抜脱ステップと、を備える。
この光学ユニットの調整方法では、フィールドレンズを光学素子ホルダの前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡による射出瞳投影位置をリレー光学系間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズを用いることで、リレー光学系を構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子の必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニットの大型化を回避できる。また、この光学ユニットの調整方法では、光学素子ホルダよりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入することで、撮像装置を介して射出瞳投影位置を確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置に対して光学素子の配置位置を容易に調整できる。
また、射出瞳投影位置調整ステップは、フィールドレンズの位置を光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくはフィールドレンズを焦点距離の異なるフィールドレンズに交換するステップを含んでいてもよい。これにより、光軸方向に対する射出瞳投影位置の調整が容易なものとなる。
また、射出瞳投影位置調整ステップは、光学顕微鏡の開口絞りの像を撮像装置に結像させるステップを含んでいてもよい。光学顕微鏡において予めコンデンサレンズの調整を行うことにより、開口絞りの像の結像位置を射出瞳投影位置として利用することが可能となる。
また、光学ユニットの調整方法は、射出瞳投影位置調整ステップの後、光学素子ホルダに光学素子を配置し、光学素子ホルダの位置を光軸方向及び光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させる光学素子変位ステップを更に備えていてもよい。これにより、射出瞳投影位置において光学素子の位置を最適化できる。
また、本発明の一側面に係る光学ユニットの調整方法は、光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットの調整方法であって、リレー光学系間の光軸上に配置される光学素子ホルダの位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入するベルトランレンズ挿入ステップと、光学素子ホルダの位置よりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置し、光学顕微鏡の射出瞳投影位置を光学素子ホルダの位置に対して粗調整された粗調整位置に調整する射出瞳投影位置粗調整ステップと、撮像装置の焦点を粗調整位置に合わせる焦点調整ステップと、光学素子ホルダの位置を粗調整位置に合わせるホルダ調整ステップと、光学素子ホルダの位置と粗調整位置とが合った状態でベルトランレンズを光軸上から抜脱するベルトランレンズ抜脱ステップと、を備える。
この光学ユニットの調整方法では、フィールドレンズを光学素子ホルダの前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡による射出瞳投影位置をリレー光学系間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズを用いることで、リレー光学系を構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子の必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニットの大型化を回避できる。また、この光学ユニットの調整方法では、光学素子ホルダよりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入することで、撮像装置を介して射出瞳投影位置を確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置に対して光学素子の配置位置を容易に調整できる。
また、射出瞳投影位置粗調整ステップは、フィールドレンズの位置を光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくはフィールドレンズを焦点距離の異なるフィールドレンズに交換するステップを含んでいてもよい。これにより、光軸方向に対する射出瞳投影位置の粗調整が容易なものとなる。
また、射出瞳投影位置粗調整ステップは、光学顕微鏡の開口絞りの像を撮像装置に粗結像させるステップを含んでいてもよい。光学顕微鏡において予めコンデンサレンズの調整を行うことにより、開口絞りの像の結像位置を射出瞳投影位置として利用することが可能となる。したがって、射出瞳投影位置の粗調整が容易なものとなる。
また、光学ユニットの調整方法は、射出瞳投影位置粗調整ステップの後、光学素子ホルダに光学素子を配置し、光学素子の位置を光軸方向及び光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させる光学素子変位ステップを更に備えていてもよい。これにより、射出瞳投影位置において光学素子の位置を最適化できる。
また、焦点調整ステップは、ベルトランレンズの位置を光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくはベルトランレンズを焦点距離の異なるベルトランレンズに交換するステップを含んでいてもよい。この場合、撮像装置の焦点を射出瞳投影位置に対して容易に合わせることができる。
また、上記ステップのうち少なくとも1つのステップは、撮像装置によって撮像しながら行ってもよい。これにより、光学ユニットの調整手順がより簡便なものとなる。
また、焦点調整ステップは、光学素子ホルダにチャートを配置するステップを含んでいてもよい。チャートを用いることにより、撮像装置の焦点を射出瞳投影位置に対して容易に合わせることができる。
この光学ユニット及び光学ユニットの調整方法によれば、大型化を避けつつ、種々の射出瞳投影位置に対して光学素子の配置位置を調整できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の一側面に係る光学ユニット及び光学ユニットの調整方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
[光学ユニットの構成]
[光学ユニットの構成]
図1は、光学ユニットの一実施形態を示す図である。同図に示す光学ユニット1は、光学顕微鏡2と撮像装置3との間に光学的に結合されるユニットである。光学ユニット1は、光学顕微鏡2の射出瞳投影位置Pに位相マスクなどの光学素子Mを配置し、当該光学素子の特性に応じた出力画像を撮像装置3側で取得するために用いられる。光学顕微鏡2は、例えば明視野顕微鏡や蛍光顕微鏡である。撮像装置3は、例えば2次元画素構造を持つCCD(Charge Coupled Device)カメラ、或いはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)カメラである。
図1に示すように、光学ユニット1は、筐体4内に、リレー光学系5と、光学素子ホルダ6と、フィールドレンズ配置部7と、ベルトランレンズ挿抜部8とを備えて構成されている。これらの構成要素は、互いに光学的に結合されている。筐体4の一端側には、光学顕微鏡2との接続部9が設けられている。接続部9は、例えばCマウントであり、光学顕微鏡2のカメラポートに接続される。また、筐体4の他端側には、撮像装置3との接続部10が設けられている。接続部10は、例えばCマウントであり、撮像装置3に接続される。
リレー光学系5は、光学顕微鏡2による一次結像面K1を撮像装置側の二次結像面K2にリレーするための光学系である。リレー光学系5は、コリメーションレンズ11と、フォーカスレンズ12とを含んで構成されている。コリメーションレンズ11は、フォーカスレンズ12との組み合わせにより像をリレーする機能を有するほか、結像レンズ14との組み合わせにより対物レンズ13の瞳をリレーする機能を有している。コリメーションレンズ11は、複数のコリメーションレンズからなるレンズ群であってもよい。同様に、フォーカスレンズ12は、複数のフォーカスレンズからなるレンズ群であってもよい。
光学素子ホルダ6は、光学素子Mを着脱自在に保持する部分である。光学素子ホルダ6は、リレー光学系5内の光軸上において、予め設定された射出瞳投影位置に配置されている。光学素子ホルダ6は、光学素子ホルダ6の位置を光軸方向及び当該光軸方向に直交する面の面内方向に変位させて調整するホルダ変位部15を有している。ホルダ変位部15は、例えば手動又は自動により駆動するマウントによって構成され、光学素子ホルダ6は、当該マウントに固定されている。光学素子ホルダ6に装着される光学素子Mとしては、例えば位相マスク、SSD(Stair Step Device)、シリンドリカルレンズ、プリズム、可変焦点レンズなどが挙げられる。
フィールドレンズ配置部7は、光軸上にフィールドレンズ16を配置する部分である。フィールドレンズ配置部7は、例えばフィールドレンズ保持部17を有している。また、フィールドレンズ配置部7は、フィールドレンズ16の位置を光軸方向に変位させて調整するフィールドレンズ変位部18を有している。フィールドレンズ変位部18は、例えば手動又は自動により駆動するマウントによって構成され、フィールドレンズ保持部17は、当該マウントに固定されている。
フィールドレンズ16は、フィールドレンズ配置部7により、光学顕微鏡2による一次結像面の近傍に配置されている。フィールドレンズ16を光軸方向に変位させることで、光学顕微鏡2の射出瞳投影位置Pが光軸方向に変位する。また、焦点距離の異なるフィールドレンズ16を用いることで射出瞳投影位置Pを変位させることもできる。
フィールドレンズ16は、複数のフィールドレンズからなるレンズ群であってもよい。この場合、各レンズの焦点距離、及びレンズ間の間隔を変えることで、射出瞳投影位置P及び射出瞳サイズを調整することができる。フィールドレンズ16をレンズ群とする場合には、例えば図2に示すように、フィールドレンズ変位部18は、フィールドレンズ保持部17のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されていることが好ましい。
ベルトランレンズ挿抜部8は、光軸上にベルトランレンズ19を挿抜させる部分である。ベルトランレンズ挿抜部8は、例えばベルトランレンズ保持部20を有している。また、ベルトランレンズ挿抜部8は、ベルトランレンズ19の位置を光軸方向に変位させて調整するベルトランレンズ変位部21を有している。ベルトランレンズ変位部21は、例えば手動又は自動により駆動するマウントによって構成され、ベルトランレンズ挿抜部8は、当該マウントに固定されている。
ベルトランレンズ19は、ベルトランレンズ挿抜部8により、光学素子ホルダ6よりも後段側に配置される。本実施形態では、ベルトランレンズ19の位置は、フォーカスレンズ12よりも前段側となっているが、フォーカスレンズ12よりも後段側であってもよい。ベルトランレンズ19を光軸上に挿入することにより、撮像装置3において射出瞳投影位置Pを撮像することが可能となる。光学ユニット1のユーザは、撮像装置3に電気的に接続されたモニタ等(不図示)によって、撮像した射出瞳投影位置Pの画像を確認しながら光学素子ホルダ6やフィールドレンズ16等を調整できる。
また、ベルトランレンズ19を光軸方向に変位させることで、レンズの焦点距離の製造誤差、撮像装置3のフランジバックの製造誤差、機械精度による誤差などを吸収し、所望の面に撮像装置3の焦点を合わせることができる。焦点距離の異なるベルトランレンズ19を用いることにより、撮像装置3で撮像できる射出瞳面の範囲、すなわち、撮像倍率を変えることができる。撮像倍率は、ベルトランレンズ19及びフォーカスレンズ12の焦点距離とレンズ間の間隔とによって定められる。ベルトランレンズ19は、フィールドレンズ16の調整、及び光学素子Mの調整が終了した後は、光軸上から脱抜される。
ベルトランレンズ19は、複数のベルトランレンズからなるレンズ群であってもよい。この場合、各レンズの焦点距離、及びレンズ間の間隔を変えることで、撮像装置3の焦点をより精密に調整することができる。ベルトランレンズ19をレンズ群とする場合には、ベルトランレンズ変位部21は、例えば図3に示すように、ベルトランレンズ保持部20のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されていることが好ましい。
[光学ユニットの調整方法の第1実施形態]
[光学ユニットの調整方法の第1実施形態]
図4は、光学ユニットの調整方法の第1実施形態を示すフローチャートである。同図に示すように、第1実施形態に係る光学ユニットの調整方法は、焦点調整ステップ(ステップS01)と、射出瞳投影位置調整ステップ(ステップS02)と、光学素子変位ステップ(ステップS03)と、ベルトランレンズ脱抜ステップ(ステップS04)とを備えている。これらステップは、撮像装置3によって撮像しながら実行できる。
図5は、光学ユニットによる瞳リレーの初期状態を示す図である。この初期状態では、ベルトランレンズ19及び光学素子Mは、いずれも非設置となっている。また、フィールドレンズ16は、説明の便宜上、仮想線にて図示している。光学ユニット1を光学顕微鏡2及び撮像装置3に接続した際の初期状態(調整前の状態)では、対物レンズ13の種類などにより、射出瞳投影位置Pがばらつくおそれがある。図5に示す例では、射出瞳投影位置Pは、光学素子ホルダ6の位置よりも光軸方向の後段側、すなわち、射出瞳投影位置の設計位置よりも光軸方向の後段側にずれた状態となっている。
焦点調整ステップは、ベルトランレンズ19を用いて、撮像装置3の焦点を光学素子ホルダ6の位置に合わせるステップである。この焦点調整ステップでは、図6に示すように、まず、光学素子ホルダ6にチャートCを配置する。チャートCは、例えばテストパターンが印刷されたシート体である。光学素子Mが非透明性を有する場合には、チャートCに代えて、光学素子M自体を光学素子ホルダ6に配置してもよい。
次に、ベルトランレンズ挿抜部8により、光学素子ホルダ6よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入する。ベルトランレンズ19は、撮像装置3の素子サイズに対してチャートや射出瞳のサイズが適合するように選択する。そして、ベルトランレンズ変位部21によってベルトランレンズ19の位置を光軸方向に調整し、図7に示すように、撮像装置3の焦点を光学素子ホルダ6の位置に一致させる。これにより、光学素子ホルダ6の位置を撮像装置3で撮像し、ユーザが観察することが可能となる。
撮像装置3の焦点を光学素子ホルダ6の位置に一致させた後、光学素子ホルダ6からチャートCを取り外す。なお、焦点調整ステップでは、ベルトランレンズ変位部21によるベルトランレンズ19の位置調整に代えて、ベルトランレンズ19を焦点距離の異なるベルトランレンズに交換してもよい。
射出瞳投影位置調整ステップは、光学顕微鏡2の射出瞳投影位置Pを光学素子ホルダ6の位置に合わせるステップである。この射出瞳投影位置調整ステップでは、まず、図8に示すように、フィールドレンズ配置部7により、光学素子ホルダ6よりも前段側の光軸上にフィールドレンズ16を配置する。フィールドレンズ16の配置位置は、光学顕微鏡2による一次結像面の近傍であることが好ましい。
次に、フィールドレンズ変位部18によってフィールドレンズ16の位置を光軸方向に調整し、図9に示すように、射出瞳投影位置Pを光学素子ホルダ6の位置に一致させる。このフィールドレンズ16の調整にあたっては、例えば光学顕微鏡2における開口絞りの羽根部材の像が対物レンズ13の射出瞳に結像するように、予め光学顕微鏡2内のコンデンサレンズの調整を行っておくことが好ましい。
これにより、撮像装置3で射出瞳投影位置Pを観察し、モニタ等に出力される瞳面を確認しながらフィールドレンズ16の調整を行うことが可能となる。例えば、対物レンズ13の射出瞳と共役な位置にある開口絞りの羽根部材に撮像装置3の焦点が合うか否か、又は瞳の大きさが最小であるか否かを確認することで、フィールドレンズ16の調整を簡便に行うことができる。なお、射出瞳投影位置調整ステップでは、フィールドレンズ変位部18によるフィールドレンズ16の位置調整に代えて、フィールドレンズ16を焦点距離の異なるフィールドレンズに交換してもよい。
また、フィールドレンズ16の調整にあたっては、例えば光学顕微鏡2における試料の配置位置(例えばステージ上)に拡散板を配置してもよい。この場合、拡散板に光源からの光を照射して拡散光を発生させ、当該拡散光によって対物レンズ13内の絞りを均一に照明することで、予め対物レンズ13の射出瞳の像を光学素子ホルダ6の位置で直接観察できるようにしてもよい。拡散板は、拡散光を発生する基板であればよい。基板として蛍光板を用い、励起光源からの励起光を照射して発生する蛍光を拡散光として照明に用いてもよい。こうすると、撮像装置3で射出瞳投影位置Pを観察し、モニタ等に出力される瞳面を確認しながらフィールドレンズ16の調整を行うことが可能となる。例えば直接的に対物レンズ13内の射出瞳に撮像装置3の焦点が合うか否か、又は瞳の大きさが最小であるか否かを確認することで、フィールドレンズ16の調整を行ってもよい。
光学素子変位ステップは、光学素子ホルダ6の位置を光軸方向及び光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させるステップである。この光学素子変位ステップでは、まず、光学素子ホルダ6に所望の光学素子Mを配置する。そして、図10に示すように、ホルダ変位部15によって光学素子Mを光軸方向及び光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させ、光学素子Mと射出瞳投影位置PとのXY位置などを最適化する。
ベルトランレンズ脱抜ステップは、光軸上からベルトランレンズ19を抜脱するステップである。光学素子ホルダ6の位置と射出瞳投影位置Pとが合った状態で、ベルトランレンズ挿抜部8によってベルトランレンズ19を光軸上から脱抜させることで、図11に示すように、射出瞳投影位置Pに光学素子Mが所望の状態で配置されたリレー光学系5が得られる。
なお、例えば射出瞳投影位置調整ステップまでを実行する現場と、光学素子変位ステップを実行する現場とが異なる場合には、射出瞳投影位置調整ステップの実行後にベルトランレンズ挿抜ステップを実行してもよい。そして、光学素子変位ステップの実行前に、再度ベルトランレンズ19を光軸に対して挿入してもよい。また、上記の例では、光学素子ホルダ6が配置される位置に光学素子ホルダ6を配置した状態で焦点調整ステップや光学素子変位ステップを行っているが、当該位置に光学素子ホルダ6の代わりに直接チャート等を筐体4に固定し、調整後にチャートを光学素子ホルダ6と置き換えるようにしてもよい。
以上のような光学ユニットの調整方法では、フィールドレンズ16を光学素子ホルダ6の前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡2による射出瞳投影位置Pをリレー光学系5間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズ16を用いることで、リレー光学系5を構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子Mの必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニット1の大型化を回避できる。また、この光学ユニットの調整方法では、光学素子ホルダ6よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入することで、撮像装置3を介して射出瞳投影位置Pを確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置Pに対して光学素子Mの配置位置を容易に調整できる。
従来の手法では、光学素子をセットする位置に紙などの反射物を配置し、反射物に映る光束の径などを目視にて観察し、射出瞳投影位置が所望の位置に位置しているか否かを確認していた。これに対し、本実施形態の手法では、ベルトランレンズ19を挿抜可能な機構を光学ユニット1に設けることにより、撮像装置3を介して光束の径や虹彩絞りピントを観察することで、射出瞳投影位置Pを容易に確認することが可能となる。
なお、ベルトランレンズ19は、原理的には、光学ユニット1の外部(接続部10よりも後段側)に配置することも可能である。しかしながら、ベルトランレンズ挿抜部8が光学ユニット1の内部に配置されていることで、接続部10に接続された撮像装置3を取り外すことなく射出瞳投影位置Pの確認が可能となる。このため、撮像装置3を取り外すことに起因して撮像装置3の位置再現性が損なわれてしまうことも回避できる。また、ベルトランレンズ19を用いることで、フィールドレンズ16による射出瞳投影位置Pの調整に加え、撮像装置3を介して光学素子Mの位置調整を行うことも可能となり、光学ユニット1の利便性の向上が図られる。
[光学ユニットの調整方法の第2実施形態]
[光学ユニットの調整方法の第2実施形態]
図12は、光学ユニットの調整方法の第2実施形態を示すフローチャートである。同図に示すように、第2実施形態に係る光学ユニットの調整方法は、ベルトランレンズ挿入ステップ(ステップS11)と、射出瞳投影位置粗調整ステップ(ステップS12)と、焦点調整ステップ(ステップS13)と、ホルダ調整ステップ(ステップS14)と、光学素子変位ステップ(ステップS15)と、ベルトランレンズ脱抜ステップ(ステップS16)とを備えている。これらステップは、撮像装置3によって撮像しながら実行できる。
光学ユニット1による瞳リレーの初期状態は、図5に示した状態と同じである。射出瞳投影位置Pは、光学素子ホルダ6の位置よりも光軸方向の後段側、すなわち、射出瞳投影位置の設計位置よりも光軸方向の後段側にずれた状態となっている。
ベルトランレンズ挿入ステップは、リレー光学系5間の光軸上に配置される光学素子ホルダ6の位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入するステップである。このステップでは、図13に示すように、ベルトランレンズ挿抜部8により、光学素子ホルダ6の位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入する。なお、このステップでは、上述した第1実施形態における焦点調整ステップのように、撮像装置3の焦点を光学素子ホルダ6の位置に合わせるようにベルトランレンズ19を変位させて調整することを併せて行ってもよい。
射出瞳投影位置粗調整ステップは、光学顕微鏡2の射出瞳投影位置Pを光学素子ホルダ6の位置に対して粗調整するステップである。このステップでは、まず、図14に示すように、フィールドレンズ配置部7により、光学素子ホルダ6よりも前段側の光軸上にフィールドレンズ16を配置する。フィールドレンズ16の配置位置は、光学顕微鏡2による一次結像面の近傍であることが好ましい。
次に、フィールドレンズ変位部18によってフィールドレンズ16の位置を光軸方向に調整し、図15に示すように、射出瞳投影位置Pを光学素子ホルダ6の位置に対して粗調整された粗調整位置Paに調整する。フィールドレンズ16の調整にあたっては、例えば撮像装置3において開口絞りの羽根部材の像がある程度結像した位置を粗調整位置Paとすればよい。また、例えば光学顕微鏡2における対物レンズ13内の射出瞳の像がある程度結像した位置を粗調整位置Paとしてもよい。なお、この射出瞳投影位置粗調整ステップにおいても、フィールドレンズ変位部18によるフィールドレンズ16の位置調整に代えて、フィールドレンズ16を焦点距離の異なるフィールドレンズに交換してもよい。
焦点調整ステップは、ベルトランレンズ19を用いて、撮像装置3の焦点を粗調整位置Paに合わせるステップである。このステップでは、ベルトランレンズ変位部21によってベルトランレンズ19の位置を光軸方向に調整し、図16に示すように、撮像装置3の焦点を粗調整位置Paに一致させる。これにより、粗調整位置Paを撮像装置3で撮像し、ユーザが粗調整位置Paを観察することが可能となる。なお、この焦点調整ステップにおいても、ベルトランレンズ変位部21によるベルトランレンズ19の位置調整に代えて、ベルトランレンズ19を焦点距離の異なるベルトランレンズに交換してもよい。
ホルダ調整ステップは、光学素子ホルダ6の位置を粗調整位置Paに合わせるステップである。ホルダ調整ステップでは、図17に示すように、ホルダ変位部15によって光学素子Mを光軸方向に微調整し、光学素子ホルダ6の位置を粗調整位置Pa(粗調整位置Paに位置する射出瞳投影位置P)に一致させる。
光学素子変位ステップ及びベルトランレンズ脱抜ステップは、第1実施形態と同様である。光学素子Mと射出瞳投影位置PのXY位置などを最適化した後、ベルトランレンズ19を光軸上から脱抜させることで、図18に示すように、射出瞳投影位置Pに光学素子Mが所望の状態で配置されたリレー光学系5が得られる。
なお、第2実施形態においても、例えばホルダ調整ステップまでを実行する現場と、光学素子変位ステップを実行する現場とが異なる場合には、ホルダ調整ステップの実行後にベルトランレンズ挿抜ステップを実行してもよい。そして、光学素子変位ステップの実行前に、再度ベルトランレンズ19を光軸に対して挿入してもよい。また、第2実施形態では、粗調整位置Paに射出瞳投影位置Pを粗調整するようにフィールドレンズを変位させる射出瞳投影位置粗調整ステップの後に、粗調整位置Paに撮像装置3の焦点が合うようにベルトランレンズを変位させる焦点調整ステップを行っているが、射出瞳投影位置粗調整ステップと焦点調整ステップとの実行順序を逆にして調整を行ってもよい。
以上のような光学ユニットの調整方法においても、第1実施形態と同様の作用効果を奏する。すなわち、フィールドレンズ16を光学素子ホルダ6の前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡2による射出瞳投影位置Pをリレー光学系5間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズ16を用いることで、リレー光学系5を構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子Mの必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニット1の大型化を回避できる。また、この光学ユニットの調整方法では、光学素子ホルダ6よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入することで、撮像装置3を介して射出瞳投影位置Pを確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置Pに対して光学素子Mの配置位置を容易に調整できる。
また、第2実施形態では、射出瞳投影位置Pの調整をフィールドレンズ16の調整のみによって行うのではなく、フィールドレンズ16による粗調整と光学素子ホルダ6の調整とによって行っている。このため、広範な種類のフィールドレンズ16を用意する必要が無くなり、光学ユニット1の利便性の向上が図られる。
[光学ユニットの変形例]
[光学ユニットの変形例]
図19は、光学ユニットの変形例を示す図である。同図に示すように、変形例に係る光学ユニット31は、2つの異なる波長の光を2台の撮像装置3A,3Bで観察可能となるように構成されている点で、上記実施形態に示した光学ユニット1と相違している。
撮像装置3Aは、例えば長波長の光に対応した撮像装置であり、撮像装置3Bは、例えば短波長の光に対応した撮像装置である。光学ユニット1の筐体4の他端側には、撮像装置3Aとの接続部10Aと、撮像装置3Bとの接続部10Bとがそれぞれ設けられている。
また、光学ユニット31は、上述した光学ユニット1の構成に加え、光分割素子32と、反射ミラー33と、フォーカスレンズ34とを更に備えている。光分割素子32は、例えばダイクロイックミラーやダイクロイックプリズム等の誘電体多層膜ミラーである。光分割素子32は、例えば長波長の光を透過させ、短波長の光を反射するように構成されている。光分割素子32によって光学顕微鏡2からの光を波長の異なる光に分光し、各々の光を撮像装置3A及び3Bで撮像することができる。
反射ミラー33は、光分割素子32で反射した光をフォーカスレンズ12に向けて略直角に反射させる。反射ミラー33によって、光分割素子32で反射した光を更に反射させ、光分割素子32を透過した光と向きを揃えることで、撮像装置3A及び3Bが光学ユニット31に対して接続される向きを揃えることができる。
フォーカスレンズ12,34は、コリメーションレンズ11との協働により、光学顕微鏡2による一次結像面K1を撮像装置側の二次結像面K2にリレーするリレー光学系5を構成する。光学ユニット31では、コリメーションレンズ11とフォーカスレンズ12とによって、長波長の光に対するリレー光学系5Aが構成され、コリメーションレンズ11とフォーカスレンズ34とによって短波長の光に対するリレー光学系5Bが構成されている。
光学素子ホルダ6及びホルダ変位部15は、リレー光学系5A内の光軸上及びリレー光学系5B内の光軸上にそれぞれ配置されている。また、ベルトランレンズ挿抜部8及びベルトランレンズ変位部21は、リレー光学系5A側の光学素子ホルダ6の後段側、及びリレー光学系5B側の光学素子ホルダ6の後段側にそれぞれ配置されている。
リレー光学系5A側のベルトランレンズ挿抜部8及びベルトランレンズ変位部21は、フォーカスレンズ12の前段側に配置され、リレー光学系5B側のベルトランレンズ挿抜部8及びベルトランレンズ変位部21は、フォーカスレンズ34の後段側に配置されている。なお、リレー光学系5A側のベルトランレンズ挿抜部8及びベルトランレンズ変位部21は、フォーカスレンズ12の後段側に配置されてもよく、リレー光学系5B側のベルトランレンズ挿抜部8及びベルトランレンズ変位部21は、フォーカスレンズ34の前段側に配置されてもよい。
以上のような光学ユニット31においても、上述した光学ユニットの調整方法をリレー光学系5A,5Bのそれぞれに適用することにより、2つの波長の光の結像関係を調整できる。フィールドレンズ16を光学素子ホルダ6の前段側の光軸上に配置することで、光学顕微鏡2による射出瞳投影位置Pをリレー光学系5A,5B間の光軸上の一定の範囲内に位置させることができる。フィールドレンズ16を用いることで、リレー光学系5A,5Bを構成するレンズの間隔及びレンズ径を抑えられ、光学素子Mの必要径を一定範囲内に抑えられるので、光学ユニット31の大型化を回避できる。また、光学素子ホルダ6よりも後段側の光軸上にベルトランレンズ19を挿入することで、撮像装置3を介して射出瞳投影位置Pを確認することが可能となる。したがって、種々の射出瞳投影位置Pに対して光学素子Mの配置位置を容易に調整できる。
1,31…光学ユニット、2…光学顕微鏡、3…撮像装置、5,5A,5B…リレー光学系、6…光学素子ホルダ、15…ホルダ変位部、16…フィールドレンズ、18…フィールドレンズ変位部、7…フィールドレンズ配置部、19…ベルトランレンズ、8…ベルトランレンズ挿抜部、20…ベルトランレンズ保持部、21…ベルトランレンズ変位部、32…光分割素子、C…チャート、K1…一次結像面、K2…二次結像面、M…光学素子、P…射出瞳投影位置。
Claims (18)
- 光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットであって、
前記光学顕微鏡による一次結像面を撮像装置側の二次結像面にリレーするリレー光学系と、
前記リレー光学系間の光軸上に配置された光学素子ホルダと、
前記光学素子ホルダよりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置するフィールドレンズ配置部と、
前記光学素子ホルダよりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿抜可能に配置するベルトランレンズ挿抜部と、を備えた光学ユニット。 - 前記ベルトランレンズ挿抜部は、前記ベルトランレンズの位置を光軸方向に変位させるベルトランレンズ変位部を有している請求項1記載の光学ユニット。
- 前記ベルトランレンズ挿抜部は、前記ベルトランレンズを保持する複数のベルトランレンズ保持部を有し、
前記ベルトランレンズ変位部は、前記ベルトランレンズ保持部のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されている請求項2記載の光学ユニット。 - 前記フィールドレンズ配置部は、前記フィールドレンズの位置を光軸方向に変位させるフィールドレンズ変位部を有している請求項1〜3のいずれか一項記載の光学ユニット。
- 前記フィールドレンズ配置部は、前記フィールドレンズを保持する複数のフィールドレンズ保持部を有し、
前記フィールドレンズ変位部は、前記フィールドレンズ保持部のそれぞれの位置を光軸方向に変位可能に構成されている請求項4記載の光学ユニット。 - 光学素子ホルダの位置を光軸方向及び当該光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一つの方向に変位させるホルダ変位部を更に有している請求項1〜5のいずれか一項記載の光学ユニット。
- 前記光学素子ホルダよりも前段側の光軸上に光分割素子を更に有している請求項1〜6のいずれか一項記載の光学ユニット。
- 光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットの調整方法であって、
リレー光学系間の光軸上に配置される光学素子ホルダの位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入し、前記撮像装置の焦点を前記光学素子ホルダの位置に合わせる焦点調整ステップと、
前記光学素子ホルダの位置よりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置し、前記光学顕微鏡の射出瞳投影位置を前記光学素子ホルダの位置に合わせる射出瞳投影位置調整ステップと、
前記射出瞳投影位置と前記光学素子ホルダの位置とが合った状態で前記ベルトランレンズを前記光軸から抜脱するベルトランレンズ抜脱ステップと、を備えた光学ユニットの調整方法。 - 前記射出瞳投影位置調整ステップは、前記フィールドレンズの位置を前記光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくは前記フィールドレンズを焦点距離の異なるフィールドレンズに交換するステップを含む請求項8記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記射出瞳投影位置調整ステップは、前記光学顕微鏡の開口絞りの像を前記撮像装置に結像させるステップを含む請求項8又は9記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記射出瞳投影位置調整ステップの後、前記光学素子ホルダに光学素子を配置し、前記光学素子ホルダの位置を前記光軸方向及び前記光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させる光学素子変位ステップを更に備えた請求項8〜10のいずれか一項記載の光学ユニットの調整方法。
- 光学顕微鏡と撮像装置との間に光学的に結合される光学ユニットの調整方法であって、
リレー光学系間の光軸上に配置される光学素子ホルダの位置よりも後段側の光軸上にベルトランレンズを挿入するベルトランレンズ挿入ステップと、
前記光学素子ホルダの位置よりも前段側の光軸上にフィールドレンズを配置し、前記光学顕微鏡の射出瞳投影位置を前記光学素子ホルダの位置に対して粗調整された粗調整位置に調整する射出瞳投影位置粗調整ステップと、
前記撮像装置の焦点を前記粗調整位置に合わせる焦点調整ステップと、
前記光学素子ホルダの位置を前記粗調整位置に合わせるホルダ調整ステップと、
前記光学素子ホルダの位置と前記粗調整位置とが合った状態で前記ベルトランレンズを前記光軸上から抜脱するベルトランレンズ抜脱ステップと、を備えた光学ユニットの調整方法。 - 前記射出瞳投影位置粗調整ステップは、前記フィールドレンズの位置を前記光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくは前記フィールドレンズを焦点距離の異なるフィールドレンズに交換するステップを含む請求項12記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記射出瞳投影位置粗調整ステップは、前記光学顕微鏡の開口絞りの像を前記撮像装置に粗結像させるステップを含む請求項12又は13記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記ホルダ調整ステップの後、前記光学素子ホルダに光学素子を配置し、前記光学素子の位置を前記光軸方向及び前記光軸方向に直交する面の面内方向の少なくとも一方に変位させる光学素子変位ステップを更に備えた請求項12〜14のいずれか一項記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記焦点調整ステップは、前記ベルトランレンズの位置を前記光軸方向に沿って変位させるステップ、若しくは前記ベルトランレンズを焦点距離の異なるベルトランレンズに交換するステップを含む請求項8〜15のいずれか一項記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記ステップのうち少なくとも1つのステップは、前記撮像装置によって撮像しながら行う請求項8〜16いずれか一項記載の光学ユニットの調整方法。
- 前記焦点調整ステップは、前記光学素子ホルダにチャートを配置するステップを含む請求項8〜11のいずれか一項記載の光学ユニットの調整方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016090873 | 2016-04-28 | ||
JP2016090873 | 2016-04-28 | ||
PCT/JP2017/007924 WO2017187777A1 (ja) | 2016-04-28 | 2017-02-28 | 光学ユニット及び光学ユニットの調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6317044B2 true JP6317044B2 (ja) | 2018-04-25 |
JPWO2017187777A1 JPWO2017187777A1 (ja) | 2018-05-10 |
Family
ID=60161439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017537522A Expired - Fee Related JP6317044B2 (ja) | 2016-04-28 | 2017-02-28 | 光学ユニット及び光学ユニットの調整方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190137750A1 (ja) |
EP (1) | EP3451040A4 (ja) |
JP (1) | JP6317044B2 (ja) |
CN (1) | CN109073872A (ja) |
WO (1) | WO2017187777A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT201800010053A1 (it) * | 2018-11-06 | 2020-05-06 | Smartmicrooptics S R L | Attrezzatura per l’osservazione microscopica abbinabile ad un dispositivo di acquisizione di immagini. |
CN110413009B (zh) * | 2019-07-24 | 2024-06-21 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种瞄准系统 |
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JP2008064933A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Opcell Co Ltd | 光学ユニット |
JP2009122624A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-06-04 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012011315B4 (de) * | 2012-06-04 | 2018-12-27 | Carl Zeiss Ag | Mikroskop und Verfahren zur Charakterisierung von Strukturen auf einem Objekt |
DE102012017917B4 (de) * | 2012-09-11 | 2023-09-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskopmodul und Lichtmikroskop sowie Verfahren und Datenspeicherträger |
WO2014163114A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | オリンパス株式会社 | 結像光学系、照明装置および観察装置 |
-
2017
- 2017-02-28 CN CN201780025847.7A patent/CN109073872A/zh active Pending
- 2017-02-28 US US16/096,014 patent/US20190137750A1/en not_active Abandoned
- 2017-02-28 EP EP17789066.2A patent/EP3451040A4/en not_active Withdrawn
- 2017-02-28 JP JP2017537522A patent/JP6317044B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2017-02-28 WO PCT/JP2017/007924 patent/WO2017187777A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002090654A (ja) * | 2000-09-12 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | 投影光学系を有する中間鏡筒及び投影光学系を有する顕微鏡 |
JP2007219319A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Nikon Corp | 位相差顕微鏡 |
JP2008064933A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Opcell Co Ltd | 光学ユニット |
JP2009122624A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-06-04 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2017187777A1 (ja) | 2018-05-10 |
WO2017187777A1 (ja) | 2017-11-02 |
US20190137750A1 (en) | 2019-05-09 |
CN109073872A (zh) | 2018-12-21 |
EP3451040A4 (en) | 2020-01-01 |
EP3451040A1 (en) | 2019-03-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6317044 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |