JP6306411B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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Description
基板を収容した処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料と第2の元素を含むハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める工程と、
前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する工程と、
前記処理室内を排気する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法が提供される。
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料を供給するハイドロ系原料供給系と、
前記処理室内へ第2の元素を含むハロゲン系原料を供給するハロゲン系原料供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
基板を収容した前記処理室内へ前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める処理と、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する処理と、前記処理室内を排気する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する処理を行わせるように、前記ハイドロ系原料供給系、前記ハロゲン系原料供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
基板を収容した処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料と第2の元素を含むハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める手順と、
前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する手順と、
前記処理室内を排気する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
以下、本発明の一実施形態について、図1〜図3を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、後述するようにガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板上に膜を形成するシーケンス例について、図4を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
基板としてのウエハ200を収容した処理室201内へハイドロ系原料としてのDSBガスとハロゲン系原料としてのHCDSガスとを供給して、DSBガスとHCDSガスとを処理室201内に封じ込めるステップAと、
DSBガスとHCDSガスとを処理室201内に封じ込めた状態を維持するステップBと、
処理室201内を排気するステップCと、
を含むサイクルを所定回数(1回以上)行うことで、ウエハ200上に、Siを含む膜として、Cが微量に添加(ドープ)されたシリコン膜、すなわち、C含有Si膜(C−doped Si膜)を形成する例について説明する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)される。この時、ウエハ配列領域の全領域にわたり空きスロットが生じないように、ウエハ200を装填する。これにより、基板処理中における実質的な処理室201の体積(容積)を小さくすることができ、処理ガスが分解して活性種が生成される領域を制限し(最小限に狭くし)、多種の活性種の生成を抑えることができる。そして、活性種の膜厚、膜質への影響を抑制することができ、ウエハ面内および面間で均一な膜厚および膜質を実現することが可能となる。特に、ウエハ配列領域のうち、少なくとも連通部270に近い部分(本実施形態ではウエハ配列領域の上部)に空きスロットが生じないようにウエハ200を装填することで、連通部270に近い領域の体積(容積)を小さくすることができ、連通部270の近傍における活性種の発生を抑えることができる。その結果、連通部270の近傍に配置されたウエハ200に対する活性種の膜厚、膜質への影響を適正に抑制することが可能となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
APCバルブ244を完全に閉じた状態で、バルブ243aを開き、ガス供給管232a内にDSBガスを流す。DSBガスは、MFC241aにより流量調整され、ノズル249aを介して処理室201内へ供給される。同時に、バルブ243bを開き、ガス供給管232b内にHCDSガスを流す。HCDSガスは、MFC241bにより流量調整され、ノズル249bを介して処理室201内へ供給される。所定時間経過したら、バルブ243a,243bを同時に閉じ、DSBガスおよびHCDSガスの処理室201内への供給を停止する。これらの操作により、DSBガスとHCDSガスとを処理室201内に封じ込める(ステップA)。
そして、上記のステップA〜ステップCを含むサイクルを、すなわち、ステップA、ステップB、ステップCを順次行うサイクルを所定回数、好ましくは複数回(n回)行う。これにより、ウエハ200上に、所定組成、所定膜厚のC含有Si膜を形成することが出来る。
所定組成、所定膜厚のC含有Si膜が形成されたら、バルブ243e〜243hを開き、処理室201内へN2ガスを供給し、処理室201内から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより、処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口されるとともに、処理済の複数のウエハ200が、ボート217に保持された状態でマニホールド209の下端から処理室201の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済みの複数のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果を得ることができる。
本実施形態における成膜処理は、上述の態様に限定されず、以下に示す変形例のように変更することができる。
図5に示すように、ステップB等において、処理室201内へ酸素含有ガスとして例えばO2ガスを供給するようにしてもよい。O2ガスは、ガス供給管232cから、MFC241c、バルブ243c、ノズル249cを介して処理室201内に供給される。O2ガスの供給流量は、例えば100〜1000sccmの範囲内の流量とすることができる。その他の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスと同様な処理手順、処理条件とすることができる。本変形例によれば、ウエハ200上に、SiおよびOを含む膜として、Cが微量に添加されたシリコン酸化膜、すなわち、C含有SiO膜(C−doped SiO膜)を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図6に示すように、ステップB等において、処理室201内へ窒素含有ガスとして例えばNH3ガスを供給するようにしてもよい。NH3ガスは、ガス供給管232dから、MFC241d、バルブ243d、ノズル249dを介して処理室201内に供給される。NH3ガスの供給流量は、例えば100〜1000sccmの範囲内の流量とすることができる。その他の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスと同様な処理手順、処理条件とすることができる。本変形例によれば、ウエハ200上に、SiおよびNを含む膜として、Cが微量に添加されたシリコン窒化膜、すなわち、C含有SiN膜(C−doped SiN膜)を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図7に示すように、ステップB等において、処理室201内へNH3ガスおよびO2ガスを供給するようにしてもよい。本変形例の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスや変形例1,2と同様な処理手順、処理条件とすることができる。本変形例によれば、ウエハ200上に、Si、OおよびNを含む膜として、Cが微量に添加されたシリコン酸窒化膜、すなわち、C含有SiON膜(C−doped SiON膜)を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図8に示すように、ステップB等において、処理室201内へ硼素含有ガスとして例えばBCl3ガスを供給するとともに、NH3ガスを供給するようにしてもよい。BCl3ガスは、ガス供給管232cから、MFC241c、バルブ243c、ノズル249cを介して処理室201内に供給される。BCl3ガスの供給流量は、例えば100〜1000sccmの範囲内の流量とすることができる。その他の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスや変形例2と同様な処理手順、処理条件とすることができる。本変形例によれば、ウエハ200上に、Si、BおよびNを含む膜として、Cが微量に添加されたシリコン硼窒化膜、すなわち、C含有SiBN膜(C−doped SiBN膜)を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ハイドロ系原料ガスとして有機シラン原料ガスを用いる場合、DSBガスの他、例えば、SiC2H8ガス、Si2CH8ガス、SiC3H10ガス、Si3CH10ガス、SiC4H12ガス、Si2C3H12ガス、Si3C2H12ガス、Si4CH12ガス、SiC2H6ガス、SiC3H8ガス、Si2C2H8ガス、SiC4H10ガス、Si2C3H10ガス、およびSi3C2H10ガスからなる群より選択される少なくとも1つの有機シラン原料ガスを用いることができる。すなわち、有機シラン原料ガスとしては、例えば、炭素元素が単結合の場合、SixCyH2(x+y+1)(式中、x、yは、それぞれ1以上の整数)で表される原料を好ましく用いることができ、また例えば、炭素元素が二重結合の場合、SixC(y+1)H2(x+y+1)(式中、x、yは、それぞれ1以上の整数)で表される原料を好ましく用いることができる。なお、これらの物質は、Si、CおよびHの3元素で構成され、その化学構造式中(1分子中)に、Si−C結合と、Si−H結合と、C−H結合と、をそれぞれ含む有機化合物ともいえる。また、これらの物質は、その化学構造式中に、Cの鎖状構造を含む鎖式化合物、すなわち、その分子内のCが鎖状に結合している有機化合物であることが好ましい。
ハイドロ系原料ガスとして、有機シラン原料ガスではなく、例えば、モノシラン(SiH4)ガス、ジシラン(Si2H6)ガス、トリシラン(Si3H8)ガスのような無機シラン原料ガスを用いるようにしてもよい。すなわち、ハイドロ系原料ガスとして、C非含有のシラン原料ガスを用いるようにしてもよい。本変形例の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスと同様な処理手順、処理条件とすることができる。図9は、ハイドロ系原料ガスとして、SiH4ガスを用いる例を示している。本変形例によれば、ウエハ200上に、Cが添加されていないSi膜、すなわち、C非含有Si膜(non−doped Si膜)を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ハロゲン系原料ガスとしてハロシラン原料ガスを用いる場合、HCDSガスの他、テトラクロロシランすなわちシリコンテトラクロライド(SiCl4、略称:STC)ガス、トリクロロシラン(SiHCl3、略称:TCS)ガス、ジクロロシラン(SiH2Cl2、略称:DCS)ガス、モノクロロシラン(SiH3Cl、略称:MCS)ガス等のハロシラン原料ガスを用いるようにしてもよい。本変形例の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスと同様な処理手順、処理条件とすることができる。本変形例によれば、ウエハ200上に、C含有Si膜を形成することができる。本変形例においても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ハイドロ系原料ガスに含まれる所定元素(第1の元素)と、ハロゲン系原料ガスに含まれる所定元素(第2の元素)とは、同一種類の元素である場合に限らず、異なる種類の元素であってもよい。例えば、ハロゲン系原料ガスとして、第2の元素としてSiを含むハロシラン原料ガスではなく、第2の元素として、チタニウム(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)等の遷移金属元素や、アルミニウム(Al)等の典型金属元素を含むハロゲン化金属原料ガスを用いるようにしてもよい。ハロゲン化金属原料ガスとしては、例えば、TiCl4ガス、ZrCl4ガス、HfCl4ガス、NbCl5ガス、TaCl5ガス、MoCl5ガス、WCl6ガス、AlCl3ガスを好適に用いることができる。本変形例の処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスと同様な処理手順、処理条件とすることができる。
変形例8と、変形例1〜7と、は任意に組み合わせることができる。組み合わせた場合における処理手順、処理条件は、例えば、図4を用いて説明した上述の成膜シーケンスや、変形例1〜8と同様な処理手順、処理条件とすることができる。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明はこのような形態に限定されない。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、
基板を収容した処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料と第2の元素を含むハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める工程と、
前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する工程と、
前記処理室内を排気する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法、および、基板処理方法が提供される。
付記1に記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料および前記ハロゲン系原料のうち少なくともいずれかは炭素を含む。
付記1または2に記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、前記第1の元素と炭素との化学結合を含む。
付記1乃至3のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、前記第1の元素、炭素および水素を含む。
付記1乃至4のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、前記第1の元素と炭素との化学結合(Si−C結合)および前記第1の元素と水素との化学結合(Si−H結合)を含む。
付記1乃至5のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、SixCyH2(x+y+1)およびSixC(y+1)H2(x+y+1)(式中、x、yは、それぞれ1以上の整数)からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1乃至6のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、Si2C2H10、SiC2H8、Si2CH8、SiC3H10、Si3CH10、SiC4H12、Si2C3H12、Si3C2H12、Si4CH12、SiC2H6、SiC3H8、Si2C2H8、SiC4H10、Si2C3H10、およびSi3C2H10からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1または2に記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、前記第1の元素と水素との化学結合(Si−H結合)を含む。
付記1、2または8に記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料は、SiH4、Si2H6、およびSi3H8からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1乃至9のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、無機原料(炭素非含有の原料)である。
付記1乃至10のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、クロロ基(Cl)、フルオロ基(F)、ブロモ基(Br)、およびヨード基(I)からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1乃至11のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、無機ハロゲン化物である(炭素非含有のハロゲン化物である)。
付記1乃至12のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、前記第2の元素と塩素との化学結合(Si−Cl結合、M−Cl結合)、前記第2の元素とフッ素との化学結合(Si−F結合、M−F結合)、前記第2の元素と臭素との化学結合(Si−Br結合、M−Br結合)、および前記第2の元素とヨウ素との化学結合(Si−I結合、M−I結合)からなる群より選択される少なくとも1つを含む(Mは金属元素)。
付記1乃至13のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、SiH3Cl、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、およびSi2Cl6からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1乃至13のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、TiCl4、ZrCl4、HfCl4、TaCl5、NbCl5、MoCl5、WCl6、およびAlCl3からなる群より選択される少なくとも1つを含む。
付記1乃至9のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハロゲン系原料は、前記第2の元素と炭素との化学結合を含む。
付記1、8乃至15のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料はいずれも無機原料(炭素非含有の原料)である。
付記1乃至17のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記封じ込めにより、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを反応させて、前記ハイドロ系原料に含まれる前記第1の元素と前記ハロゲン系原料に含まれる前記第2の元素との化学結合を形成する。
付記1乃至18のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記封じ込めにより、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを反応させて、前記ハイドロ系原料に含まれる前記第1の元素と前記ハロゲン系原料に含まれる前記第2の元素との化学結合を形成し、その際、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料との反応によりハロゲン化水素(塩化水素)を含むガス状の副生成物を生成し、前記処理室内を排気する工程において排気する。
付記3乃至16、18、19のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記封じ込めにより、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを反応させて、前記ハイドロ系原料に含まれる前記第1の元素と前記ハロゲン系原料に含まれる前記第2の元素との化学結合を形成し、その際、前記ハイドロ系原料に含まれる前記第1の元素と炭素との化学結合の少なくとも一部を切断することなく保持する。
付記1乃至20のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の元素と前記第2の元素とが同一元素である。
付記1乃至20のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の元素と前記第2の元素とが異なる元素である。
付記1乃至22のいずれかに記載の方法であって、好ましくは、
前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜は、炭素含有シリコン(炭素がドープされたシリコン)、炭素非含有シリコン(炭素がドープされていないシリコン)、および金属シリサイドからなる群より選択される少なくとも1つを含む。
本発明の他の態様によれば、
基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料を供給するハイドロ系原料供給系と、
前記処理室内へ第2の元素を含むハロゲン系原料を供給するハロゲン系原料供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
基板を収容した前記処理室内へ前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める処理と、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する処理と、前記処理室内を排気する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する処理を行わせるように、前記ハイドロ系原料供給系、前記ハロゲン系原料供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
本発明のさらに他の態様によれば、
基板を収容した処理室内へ第1の元素を含むハイドロ系原料と第2の元素を含むハロゲン系原料とを供給して、前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込める手順と、
前記ハイドロ系原料と前記ハロゲン系原料とを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する手順と、
前記処理室内を排気する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、前記第1の元素および前記第2の元素を含む膜を形成する手順をコンピュータに実行させるプログラム、および、該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。
200 ウエハ(基板)
201 処理室
202 処理炉
203 プロセスチューブ(処理容器)
203a アウターチューブ(外部反応管)
203b インナーチューブ(内部反応管)
217 ボート(支持具)
231 排気管
232a〜232h ガス供給管
Claims (15)
- 基板を収容した処理室内へ、シリコン、水素、および炭素を含む第1原料ガスと、シリコンおよび塩素を含む第2原料ガスと、を供給して、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込める工程と、
前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する工程と、
前記処理室内を排気する工程と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、炭素含有シリコン膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法。 - 前記第1原料ガスは、シリコンと炭素との化学結合を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料ガスは、シリコンと水素との化学結合を含む請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料ガスは、Si x C y H 2(x+y+1) およびSi x C (y+1) H 2(x+y+1) (式中、x、yは、それぞれ1以上の整数)からなる群より選択される少なくとも1つを含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料ガスは、Si 2 C 2 H 10 、SiC 2 H 8 、Si 2 CH 8 、SiC 3 H 10 、Si 3 CH 10 、SiC 4 H 12 、Si 2 C 3 H 12 、Si 3 C 2 H 12 、Si 4 CH 12 、SiC 2 H 6 、SiC 3 H 8 、Si 2 C 2 H 8 、SiC 4 H 10 、Si 2 C 3 H 10 、およびSi 3 C 2 H 10 からなる群より選択される少なくとも1つを含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1原料ガスは、炭素が鎖状に結合した鎖状骨格を含む請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2原料ガスは、無機原料ガスである請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2原料ガスは、シリコンと塩素との化学結合を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2原料ガスは、SiH 3 Cl、SiH 2 Cl 2 、SiHCl 3 、SiCl 4 、およびSi 2 Cl 6 からなる群より選択される少なくとも1つを含む請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封じ込めにより、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを反応させて、前記第1原料ガスに含まれるシリコンと前記第2原料ガスに含まれるシリコンとの化学結合を形成する請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封じ込めにより、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを反応させて、前記第1原料ガスに含まれるシリコンと前記第2原料ガスに含まれるシリコンとの化学結合を形成し、その際、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとの反応により塩化水素を含むガス状の副生成物を生成し、前記処理室内を排気する工程において前記副生成物を排気する請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封じ込めにより、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを反応させて、前記第1原料ガスに含まれるシリコンと前記第2原料ガスに含まれるシリコンとの化学結合を形成し、その際、前記第1原料ガスに含まれるシリコンと炭素との化学結合の少なくとも一部を切断することなく保持する請求項1〜11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記炭素含有シリコン膜中の炭素濃度を2at%以上10at%以下とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
前記処理室内へ、シリコン、水素、および炭素を含む第1原料ガスを供給する第1原料ガス供給系と、
前記処理室内へ、シリコンおよび塩素を含む第2原料ガスを供給する第2原料ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気系と、
基板を収容した前記処理室内へ前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを供給して、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込める処理と、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する処理と、前記処理室内を排気する処理と、を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、炭素含有シリコン膜を形成する処理を行わせるように、前記第1原料ガス供給系、前記第2原料ガス供給系および前記排気系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内に基板を収容した状態で、前記処理室内へ、シリコン、水素、および炭素を含む第1原料ガスと、シリコンおよび塩素を含む第2原料ガスと、を供給して、前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込める手順と、
前記第1原料ガスと前記第2原料ガスとを前記処理室内に封じ込めた状態を維持する手順と、
前記処理室内を排気する手順と、
を含むサイクルを所定回数行うことで、前記基板上に、炭素含有シリコン膜を形成する手順をコンピュータによって、前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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