JP6299454B2 - 搬送アーム - Google Patents
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Description
図1〜図4を参照して、本発明の実施の形態1に係る搬送アームについて以下説明する。図1及び図2は搬送アームが縮んだ状態(縮み状態)を示しており、図3及び図4は搬送アームが伸びた状態(伸び状態)を示す。搬送アームは、先端に取り付けられたハンドによりウエハを把持し、前後に伸縮することにより、半導体製造装置からウエハを出し入れする用途に用いられる。
図5及び図6に示すように、実施の形態2に係る搬送アーム50は、並列して配置された2台の搬送ユニット51,52を有する。搬送ユニット51,52には回転軸7が取り付けられており、回転軸7を中心にして回転させることができる。搬送ユニット51は図1及び図2に示す搬送アーム1と同じものであり、搬送ユニット52は搬送ユニット51の前後左右が入れ替わるように180°回転させたものである。
Claims (1)
- 第1フレームと、前記第1フレームに取り付けられた対をなす第1プーリと、前記第1プーリに掛け渡された第1ベルトと、を有する第1アーム部と、
前記第1アーム部にガイドレールを介して並設されるとともに、第2フレームと、前記第2フレームに取り付けられた対をなす第2プーリと、前記第2プーリに掛け渡された第2ベルトと、を有する第2アーム部と、
前記第2アーム部にガイドレールを介して配置された可動部と、
をそれぞれ備える第1及び第2搬送ユニットが並列して配置された搬送アームであって、
前記第1及び第2搬送ユニットのそれぞれにおいて、
前記第2フレームは、前記第1ベルトと前記第2ベルトとの間に配置され、前記第1ベルトに固定されており、
前記可動部は、前記第2ベルトの一部に固定されており、
前記第2ベルトの他の一部は、前記第1フレームに固定されており、
搬送アームが縮んだ状態において、
前記第1搬送ユニットの前記可動部が固定されている前記第2ベルト上の第1位置は、対をなす前記第2プーリの一方の近傍であり、
前記第2搬送ユニットの前記可動部が固定されている前記第2ベルト上の第2位置は、対をなす前記第2プーリの他方の近傍である、
搬送アーム。
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JP2014122142A JP6299454B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 搬送アーム |
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JP2014122142A Active JP6299454B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 搬送アーム |
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