JP6299454B2 - 搬送アーム - Google Patents

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本発明は搬送アームに関し、特に、ベルトとプーリを用いた伸縮機構を有する搬送アームに関する。
ベルトとプーリを用いた搬送機構(搬送アーム)が特許文献1に記載されている。特許文献1に記載の搬送機構では、基台部(第1フレーム)上に第1移動部(第2フレーム)と伸縮部とが並列して配置されており、エアシリンダの伸縮部材は第1移動部に連結されている。第1移動部は第1案内部(ガイドレール)を介して基台部上に取り付けられており、第1移動部の上には第2案内部(ガイドレール)を介して第2移動部(可動部)が取り付けられている。第1移動部の側面には2つのプーリが取り付けられており、ベルトが2つのプーリに掛け渡されている。ベルトは、基台部と第2案内部とに固定されている。
特許文献1に記載の搬送機構では、伸縮部材の伸縮に応じて、第1移動部は第1案内部に案内されて移動する。ベルトの一部は基台部に固定されているので、第1移動部が基台部に対して移動すると、ベルトはプーリのまわりを回転する。第2移動部は、ベルトの他の一部に固定されているので、ベルトの回転に合わせて、第2案内部に案内されて第1移動部に対して移動する。
特開2012−169534号公報
特許文献1に記載の搬送機構では、基台部上に第1移動部とエアシリンダとを並列して配置しなければならないので、第1移動部とエアシリンダの双方が収まるように基台部の面積を大きくする必要がある。これによって、搬送機構が大型化するという問題があった。
本発明は、このような問題を解決するためなされたものであり、小型化が可能な搬送アームを提供することを目的とする。
本発明の搬送アームは、第1フレームと、第1フレームに取り付けられた対をなす第1プーリと、第1プーリに掛け渡された第1ベルトと、を有する第1アーム部と、第1アーム部にガイドレールを介して並設されるとともに、第2フレームと、第2フレームに取り付けられた対をなす第2プーリと、第2プーリに掛け渡された第2ベルトと、を有する第2アーム部と、第2アーム部にガイドレールを介して配置された可動部と、を備え、第2フレームは、第1ベルトと第2ベルトとの間に配置され、第1ベルトに固定されており、可動部は、第2ベルトの一部に固定されており、第2ベルトの他の一部は、第1フレームに固定されている。
本発明の搬送アームでは、第1ベルトを回転させることにより、第2ベルトを第1フレームに対して固定したまま、第2フレームを第1フレームに対して移動させる。これにより、第2ベルトは第2プーリに案内されながら回転して、第2ベルトに固定された可動部は第2フレームに対して移動する。よって、第2フレームは第1フレームからせり出す方向に摺動し、可動部は第2フレームのせり出す方向の先端まで第2フレーム上を移動する。よって、可動部にワークを載せて搬送することができる。さらに、本発明の搬送アームでは、第1ベルト及び第2ベルトは第1フレームの左右に配置されているので、幅方向への小型化が可能である。したがって、本発明により小型化が可能な搬送アームを提供することができる。
本発明によれば、小型化が可能な搬送アームを提供することができる。
実施の形態1に係る搬送アームの縮み状態を示す斜視図である。 図1に示された搬送アームを別の角度から見た斜視図である。 実施の形態1に係る搬送アームの伸び状態を示す斜視図である。 図3に示された搬送アームを別の角度から見た斜視図である。 実施の形態2に係る搬送アームを示す斜視図である。 実施の形態2に係る搬送アームを示す平面図である。 実施の形態2に係る搬送アームにハンドを取り付けた状態を示す斜視図である。
[実施の形態1]
図1〜図4を参照して、本発明の実施の形態1に係る搬送アームについて以下説明する。図1及び図2は搬送アームが縮んだ状態(縮み状態)を示しており、図3及び図4は搬送アームが伸びた状態(伸び状態)を示す。搬送アームは、先端に取り付けられたハンドによりウエハを把持し、前後に伸縮することにより、半導体製造装置からウエハを出し入れする用途に用いられる。
図1及び図2に示すように、搬送アーム1は、第1アーム部2と、第1アーム部2上にガイドレール35を介して並設された第2アーム部3と、第2アーム部3上にガイドレール36を介して配置されるとともに、ハンド8を取り付けるためのブラケット4(可動部)と、を有する。搬送アーム1において、第1アーム部2に対して第2アーム部3は前後に移動し、第2アーム部3に対してブラケット4が前後に移動する。
第1アーム部2は、長手形状の第1フレーム21と、第1フレーム21の一方の側面に取り付けられて対をなす第1プーリ22,23,24と、第1プーリ22,23,24に掛け渡された第1ベルト25と、第1ベルト25に外周側からテンションを与えるテンションプーリ26と、第1プーリ24に動力を供給するモータ5と、を有する。
第1フレーム21の上面には、断面コの字状の凹部材27が設けられている。第1プーリ22,23,24は、第1フレーム21の一方の側面に回転自在に取り付けられている。第1プーリ22,23は前後に離れて取り付けられており、第1プーリ24は第1プーリ23の下方に取り付けられている。第1プーリ24はモータ5の回転軸に接続されており、モータ5の動力によって回転する。第1プーリ24が回転すると、第1ベルト25が回転する。テンションプーリ26は、第1ベルト25を外周側から押さえることにより、第1ベルト25にテンションを与えている。
第2アーム部3は、長手形状の第2フレーム31と、第2フレーム31の第1プーリ22,23,24と反対の側面に回転自在に取り付けられた対をなす第2プーリ32,33と、第2プーリ32,33に掛け渡された第2ベルト34と、を有する。第2フレーム31の下面に、凹部材27と係合するガイドレール35が設けられている。ブラケット4の下面には凹部材41が設けられており、第2フレーム31の上面には凹部材41と係合するガイドレール36が設けられている。第2フレーム31には、第1ベルト25を把持する第1クランプ37が設けられ、第1クランプ37は第1ベルト25の一部を把持している。第2プーリ32は第2フレーム31の側面の前方に配置され、第2プーリ33は第2フレーム31の側面の後方に配置されている。
第2ベルト34は、第1フレーム21及び第2フレーム31を挟むようにして第1ベルト25と対向状態で配置されるとともに、第2プーリ32,33に掛け渡されている。すなわち、第1ベルト25と第2ベルト34は、第1フレーム21及び第2フレーム31の左右にそれぞれ配置されている。さらに、第1フレーム21の第1ベルト25と反対側に、第2ベルト34を把持する第2クランプ28が設けられている。第2ベルト34の一部は第1フレーム21の第2クランプ28により把持されており、第2ベルト34の他の一部はブラケット4の下面に設けられた第3クランプ42により把持されている。
次に、搬送アーム1の動作について説明する。
図1において、モータ5の回転軸を回転させて第1プーリ24を反時計回りに回転させると、第1プーリ24の回転に合わせて第1ベルト25が反時計回りに回転する。第1ベルト25を反時計回りに回転させると第1クランプ37は第1ベルト25に牽引されて、第2フレーム31が前方に向けて第1フレーム21上を摺動し、第1フレーム21に対して第2フレーム31が前方にせり出す。第1クランプ37は、第1プーリ22と第1プーリ23との間で前後に移動することができ、第1クランプ37は、搬送アーム1の縮み状態(図1参照)のときに最も後側に位置し、伸び状態(図3参照)のときに最も前側に位置する。
図2に示すように、第2ベルト34の一部は、第2クランプ28により第1フレーム21に対して固定されている。そのため、図4に示すように、第2フレーム31が第1フレーム21に対して前方にせり出すとき、第2フレーム31の移動に合わせて第2ベルト34は変形し、第2ベルト34は第2プーリ32,33に案内されながら回転する。第2ベルト34の他の一部に第3クランプ42を介して固定されたブラケット4は、第2フレーム31のせり出しに合わせて第2フレーム31と同じく前方に移動する。
第2クランプ28は、搬送アーム1の縮み状態(図1及び図2参照)のときに最も第2プーリ32側に位置し、伸び状態(図3及び図4参照)のときに最も第2プーリ33側に位置する。第3クランプ42は、搬送アーム1の縮み状態(図1及び図2参照)のときに最も第2プーリ33側に位置し、伸び状態(図3及び図4参照)のときに最も第2プーリ32側に位置する。
図1及び図2に示すように、搬送アーム1では、第1ベルト25及び第2ベルト34は第1フレーム21の左右にそれぞれ配置されている。そして、第2フレーム31の上面及び下面にはガイドレール35,36が取り付けられていて、第1フレーム21とブラケット4とが第2フレーム31を上下に挟んだ構造になっている。これにより、エアシリンダを用いて第2アーム部3を伸縮させる場合よりも、搬送アーム1の幅方向への小型化が可能となる。
また、搬送アーム1では、第1プーリ22,23,24、第2プーリ32,33、第1ベルト25、及び、第2ベルト34により第2フレーム31及びブラケット4を前後に移動させている。これらの駆動に用いられる部品は全て第1フレーム21及び第2フレーム31の側面に取り付けられているので、第1フレーム21及び第2フレーム31の断面形状はシンプルになる。これにより、第1フレーム21及び第2フレーム31の加工コストが低減される。
さらに、搬送アーム1では、モータ5の動力を第1ベルト25及び第1プーリ22,23,24により第2フレーム31に伝えることにより、第2フレーム31を前後に移動させている。搬送アーム1では、用いられるモータが一つだけであり、可動する部分にモータがないため、配線の断線のおそれが少なく信頼性及び耐久性が高い。
以上、説明したように、本実施の形態によれば、小型化が可能な搬送アームを提供することができる。
[実施の形態2]
図5及び図6に示すように、実施の形態2に係る搬送アーム50は、並列して配置された2台の搬送ユニット51,52を有する。搬送ユニット51,52には回転軸7が取り付けられており、回転軸7を中心にして回転させることができる。搬送ユニット51は図1及び図2に示す搬送アーム1と同じものであり、搬送ユニット52は搬送ユニット51の前後左右が入れ替わるように180°回転させたものである。
搬送ユニット51,52を構成する部材のうち、実施の形態1の搬送アーム1と同じ部材には、図1及び図2と同じ符号が付されている。実施の形態1と重複する部分の説明は省略し、相違点について以下説明する。
搬送ユニット52のブラケット53は、第2ベルト34への固定位置が搬送ユニット51のブラケット4と異なっている。搬送ユニット51では、ブラケット4は縮み状態において第2ベルト34の第2プーリ33側に固定されている。それに対して、搬送ユニット52では、ブラケット53は縮み状態において第2ベルト34の第2プーリ32側になるよう固定されている。
搬送ユニット51,52では、第1プーリ24を用いてモータ5を第1フレーム21の下側に潜り込ませて配置しているので、幅方向の寸法を小さくすることができる。そして、2台の搬送ユニット51,52を互いに前後左右が入れ替わるように180°回転させた状態で並列して配置することにより、回転軸7を中心とした回転半径の小さいダブルアームの構成を実現することができる。
また、図7に示すように、搬送ユニット51のブラケット4にワークを把持するハンド8Aを取り付け、搬送ユニット52のブラケット53にワークを把持するハンド8Bを取り付けることができる。これにより、搬送ユニット51に取り付けられたハンド8Aと搬送ユニット52に取り付けられたハンド8Bとを交互に出し入れしながら、半導体製造装置からのウエハの取り出し及び移動を行うことができる。
1,50…搬送アーム 2…第1アーム部 3…第2アーム部 4,53…ブラケット 5…モータ 21…第1フレーム 22,23,24…第1プーリ 25…第1ベルト 31…第2フレーム 32,33…第2プーリ 34…第2ベルト 35,36…ガイドレール

Claims (1)

  1. 第1フレームと、前記第1フレームに取り付けられた対をなす第1プーリと、前記第1プーリに掛け渡された第1ベルトと、を有する第1アーム部と、
    前記第1アーム部にガイドレールを介して並設されるとともに、第2フレームと、前記第2フレームに取り付けられた対をなす第2プーリと、前記第2プーリに掛け渡された第2ベルトと、を有する第2アーム部と、
    前記第2アーム部にガイドレールを介して配置された可動部と、
    それぞれ備える第1及び第2搬送ユニットが並列して配置された搬送アームであって、
    前記第1及び第2搬送ユニットのそれぞれにおいて、
    前記第2フレームは、前記第1ベルトと前記第2ベルトとの間に配置され、前記第1ベルトに固定されており、
    前記可動部は、前記第2ベルトの一部に固定されており、
    前記第2ベルトの他の一部は、前記第1フレームに固定されており、
    搬送アームが縮んだ状態において、
    前記第1搬送ユニットの前記可動部が固定されている前記第2ベルト上の第1位置は、対をなす前記第2プーリの一方の近傍であり、
    前記第2搬送ユニットの前記可動部が固定されている前記第2ベルト上の第2位置は、対をなす前記第2プーリの他方の近傍である、
    搬送アーム。
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