JP6299412B2 - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、この発明の実施の形態1に係る半導体装置について説明する。図1は、この発明の実施の形態1に係る半導体装置を説明するための断面図である。
図15は、本実施の形態2に係る半導体装置を示す断面図である。本実施の形態における半導体装置においては、半導体ウエハ14から切り出された半導体チップ20がプリント配線基板11へ実装されている。本実施の形態における半導体装置では、ポリイミド膜2が撥水化処理されていることを特徴としている。それ以外については、実施の形態1と同様である。本実施の形態によれば、半導体チップ20を実装する際のダイボンド樹脂10の這い上がり(ブリードアウト現象)を抑制する効果が得られる。
Claims (7)
- ダイボンド樹脂を介して基板に実装される半導体装置であって、
表面端部が窪むことによって設けられた段差を有する半導体基板と、
前記半導体基板の表面上に形成された電極と、
前記段差の表面側角部を被覆する保護膜と、
を備え、
前記保護膜は、樹脂からなり撥水性を有する、半導体装置。 - 前記保護膜は、前記段差の底面まで被覆するように設けられたこと
を特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板は、エピタキシャル層を有するエピタキシャル基板であり、
前記段差の深さが、前記エピタキシャル層の厚さよりも深いこと
を特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記保護膜は、前記半導体基板の外周縁に沿って設けられていること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記保護膜は、ポリイミド膜であること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - ダイボンド樹脂を介して基板に実装される半導体装置を製造する方法であって、
半導体ウエハに溝部を形成する工程と、
前記半導体ウエハの表面から前記溝部の側壁に跨って、前記ウエハの表面及び前記溝部の内部に樹脂からなる保護膜を形成する工程と、
前記溝部の底面の前記保護膜を除去するようにパターニングする工程と、
前記溝部の前記保護膜が除去された領域をダイシングする工程と、
前記保護膜を撥水化する工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記撥水化する工程は、フッ化処理を実施すること
を特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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