JP6295497B2 - 回転検出装置および該回転検出装置を備えた検査装置 - Google Patents

Description

本発明は検査対象物の回転を検出する回転検出装置および該回転検出装置を備えた検査装置に関する。

欠陥や異物の有無などを検査するために、検査対象物を回転させ、かつ搬送しながら、検査対象物の外観を撮影する検査装置がある。この種の検査装置は、検査対象物が正しく回転しているか否かを検出するための機能を備えている。例えば、特許文献１には、検査対象物の一例としての瓶を回転させながら異物検査をする検査装置が開示されている。この検査装置は、螺旋段部が設けられたガイドローラを、回転する瓶の胴部に接触させ、ガイドローラの回転に伴って変化する螺旋段部の位置をカメラで撮影して瓶が１周以上回転しているか否かを検出する。

しかしながら、この特許文献１に記載の検出装置は、瓶の回転をガイドローラを介して間接的に検出するものであるため、瓶とガイドローラとの間にすべりが発生した場合、ガイドローラは回転しているにもかかわらず、瓶が回転しない状態が発生する場合がある。このような場合、瓶の回転を正しく検出することができない。

特開２０１０−１５６５５０号公報

本発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、容器などの検査対象物が所定の回数以上回転したか否かを正確に検出することができる回転検出装置および該回転検出装置を備えた検査装置を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するため、本発明の一態様は、回転しながら移動する検査対象物の回転を検出する回転検出装置であって、光の光路を変更する光路変更部と、前記光路変更部を介して前記検査対象物に測定光を照射し、前記光路変更部を介して前記検査対象物からの測定光を受光し、前記測定光の周波数の変化に基づいて前記検査対象物の周速に関連する周速信号を生成する信号生成部と、測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物の基準位置に向けて前記測定光が照射され続けるように前記光路変更部を操作する制御部と、前記検査対象物が前記測定区間を移動している間に所定の回数以上回転したか否かを前記周速信号に基づいて判定する回転判定部とを備えたことを特徴とする。

本発明の好ましい態様は、前記回転判定部は、前記周速信号から得られる周速指標値が所定のしきい値を超えた場合は、前記検査対象物が前記測定区間を移動している間に前記所定の回数以上回転したと判定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記光路変更部は、角度が変更可能に構成されたトラッキングミラーであり、前記制御部は、前記測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物の基準位置に向けて前記測定光が照射され続けるように前記トラッキングミラーの角度を制御することを特徴とする。

本発明の他の態様は、上記回転検出装置と、前記検査対象物を回転させながら移動させる搬送装置と、前記測定区間を移動する前記検査対象物を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した画像に基づいて前記検査対象物を検査する画像処理装置とを備えたことを特徴とする検査装置である。

本発明の好ましい態様は、前記撮像装置は、前記信号生成部の上または下に配置され、前記光路変更部を介して前記検査対象物を撮像することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記検査対象物からの測定光を前記撮像装置へ導くための導光部を備え、前記制御部は、前記測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物からの測定光が前記撮像装置へ導かれるように前記導光部を操作し、前記撮像装置は、前記導光部を介して前記検査対象物を撮像することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記撮像装置および前記導光部は、前記検査対象物に対して前記信号生成部と同じ側に配置されることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記撮像装置および前記導光部は、前記検査対象物に対して前記信号生成部の反対側に配置されることを特徴とする。

本発明によれば、信号生成部は検査対象物からの測定光の周波数の変化に基づいて検査対象物の周速信号を生成する。したがって、回転検出装置は、周速信号に基づいて検査対象物が所定の回数以上回転したか否かを正確に判定することができる。

本発明の一実施形態に係る検査装置を示す図である。 メインロータ装置を横から見た図である。 メインロータ装置の斜視図である。 回転検出装置を示す図である。 測定区間の終点における容器の周速信号を生成しているときの信号生成部を示す図である。 図６（ａ）および図６（ｂ）はカメラおよび信号生成部を横から見た図である。 カメラおよび信号生成部の配置の別の例を示す図である。 カメラおよび信号生成部の配置のさらに別の例を示す図である。 カメラおよび信号生成部の配置のさらに別の例を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１乃至図９において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図１は本発明の一実施形態に係る検査装置を示す図である。この検査装置は、検査対象物としての容器１（図２および図３参照）を所定の搬送経路に沿って搬送しつつ、搬送中の容器１を検査するように構成されている。

本実施形態においては、容器１として、ペットボトルの予備成形品である円筒形状のプリフォームが用いられる。検査としては、例えば容器１の外観を検査する外観検査が行われる。検査装置は、容器１を所定の搬送経路に沿って搬送させるための移動手段として、搬送方向上流側から順に、スクリュー式搬送装置２、入口スターホイール式搬送装置３、メインロータ装置４、および出口スターホイール式搬送装置５を備えている。

スクリュー式搬送装置２は、入口スターホイール式搬送装置３に隣接して配置されており、スクリュー式搬送装置２には、容器１を一定間隔で入口スターホイール式搬送装置３に供給するスクリュー２ａが設置されている。容器１は、スクリュー式搬送装置２により連続的に搬入され、スクリュー２ａにより一定の間隔が形成されて、入口スターホイール式搬送装置３に搬送される。

入口スターホイール式搬送装置３は、スターホイール３ａの外周に等間隔で設けられた複数のポケット３ｂ（図３参照）に容器１を取り込んで搬送するように構成されている。この際、容器１は、その口部１ａ（図２参照）が上を向いた状態でスターホイール３ａに支持される。出口スターホイール式搬送装置５も入口スターホイール式搬送装置３と同様に構成されており、スターホイール５ａの外周に等間隔で設けられた複数のポケット（図示しない）に容器１を取り込んで搬送する。スクリュー式搬送装置２は、スクリュー２ａによって容器１同士の間隔を下流の入口スターホイール式搬送装置３のポケット３ｂ間のピッチに揃えるように構成されている。

図２はメインロータ装置４を横から見た図である。図３はメインロータ装置４の斜視図である。メインロータ装置４は、保持部材としての吸着ヘッド１０で容器１を保持し、この吸着ヘッド１０で保持した容器１を回転させつつ所定の搬送経路に沿って搬送する容器搬送装置である。図２に示すようにメインロータ装置４は、床Ｆに固定される架台１１と、架台１１に回転自在に支持されるメイン回転軸１２と、メイン回転軸１２と同軸に設けられてメイン回転軸１２と一体に回転する平ディスク１４とを備えている。さらに、メインロータ装置４は、平ディスク１４に支持部材１５を介して支持される複数の吸着ヘッド１０を備えている。支持部材１５は、吸着ヘッド１０を回転自在に支持している。

メインロータ装置４は、吸着ヘッド１０による容器１の保持および解放を切り替えるための切替弁１６を備えている。切替弁１６は、真空源としての真空ポンプ（図示しない）と吸着ヘッド１０との間の気体吸引経路に設けられている。切替弁１６は、吸着ヘッド１０に吸引力が作用するように真空ポンプと吸着ヘッド１０との接続および遮断を切り替えるための弁である。

吸着ヘッド１０は、容器１を吸着保持するヘッド本体２０と、ヘッド本体２０に接続され、連通路２１ａを有するヘッド回転軸２１と、ヘッド回転軸２１に接続される回転継手（ロータリージョイント）２２とを備えている。図２に示すように、回転継手２２はチューブ２３を介して切り替え弁１６に接続されている。ヘッド本体２０には気体流路２０ａが形成されており、この気体流路２０ａはヘッド回転軸２１の連通路２１ａに接続されている。ヘッド本体２０の下面には吸引口（図示しない）が形成されており、吸引口は気体流路２０ａに連通している。

真空ポンプによって連通路２１ａおよび気体流路２０ａ内に真空が形成されると、容器１内の空気はヘッド本体２０の吸引口から吸引され、容器１内には真空圧が形成される。この真空圧により容器１はヘッド本体２０に吸着保持される。

次に図３を参照してメインロータ装置４の吸着ヘッド１０に容器１を吸着保持させる手順について説明する。上述したように入口スターホイール式搬送装置３は、口部１ａが上を向いた状態で容器１を支持する。吸着ヘッド１０は、平ディスク１４によって所定の高さに維持された状態で所定の搬送経路に沿って移動している。容器１が搬入位置Ｐ１に到達すると、真空ポンプが駆動され、連通路２１ａおよび気体流路２０ａ内が減圧され、容器１はヘッド本体２０に吸着保持される。

容器１を吸着保持している吸着ヘッド１０が搬出位置Ｐ２（図１参照）に移動すると、切替弁１６は吸着ヘッド１０と真空ポンプとの接続を遮断する。すると、容器１内の真空が破壊され、容器１が吸着ヘッド１０から解放される。そして、容器１は出口スターホイール式搬送装置５に搬送され、さらに搬出コンベア７によって下流の工程に搬送される。

容器１は、所定の回転区間内で自転しながらメインロータ装置４によって搬送される。容器１を回転させる機構について、図１および図２を参照して説明する。図１に示すように、検査装置は、容器１を回転させる回転機構３０を備えている。回転機構３０は、吸着ヘッド１０に接触して該吸着ヘッド１０を回転させるためのタイミングベルト３１と、タイミングベルト３１を走行させるためのベルトプーリ３２，３２と、タイミングベルト３１に張力を与えるテンショナー３３，３３と、ベルトプーリ３２，３２のうちの１つを回転させる駆動装置３４とを備えている。

図２に示すように、ヘッド回転軸２１にはヘッド回転軸２１と一体に回転するヘッドプーリ３５が設けられている。ヘッドプーリ３５はタイミングベルト３１と噛み合い、タイミングベルト３１の走行に伴って回転する。ヘッドプーリ３５の回転とともにヘッド本体２０およびヘッド本体２０に吸着保持された容器１は図１の矢印で示す方向に回転する。なお、本実施形態において、メインロータ装置４は反時計回りに回転し、容器１は時計回りに回転しているが、これらメインロータ装置４および容器１の回転方向はこの例に限定されない。

検査装置は容器１の回転を検出する回転検出装置４０を備えている。回転検出装置４０について図４を参照して説明する。図４は回転検出装置４０を示す図である。図４では、回転機構３０は省略されている。図４に示すように、回転検出装置４０は、容器１に光を照射して容器１の周速に関連する周速信号を生成する信号生成部４１と、角度が変更可能に構成された光路変更部としてのトラッキングミラー４２と、トラッキングミラー４２の角度を制御する制御部４４とを備えている。

予め設定された測定区間（図４の例では、始点Ａから終点Ｂまで）を容器１が移動している間、信号生成部４１は、トラッキングミラー４２を介して容器１に測定光を照射し、容器１からの測定光をトラッキングミラー４２を介して受光し、測定光の周波数の変化から容器１の周速信号を生成し、この周速信号を出力する。測定区間は容器１の回転区間内にある。

トラッキングミラー４２はメインロータ装置４の法線方向上に配置されており、かつ信号生成部４１から照射される測定光の光路上に配置されている。容器１の周速は、自身の軸心まわりに回転している容器１の表面の速度であり、容器１の回転速度［ｍｉｎ^-1］と、容器１の軸心から測定点までの距離に依存して定まる速度である。

周速信号は、容器１の表面がある基準距離だけ変位したことを示す変位信号であってもよい。基準距離は、予め設定された単位距離であり、任意に選択することができる。変位信号の一例としてはパルス信号が挙げられる。変位信号（例えば、１つのパルス信号）の周期は、容器１の表面が基準距離だけ変位するのに要した時間を表している。信号生成部４１は、容器１の表面が基準距離だけ変位するたびに変位信号を連続的に出力する。本実施形態では、周速信号としてパルス信号が使用される。

容器１が測定区間に入ると、信号生成部４１の測定光は、トラッキングミラー４２を介して容器１に照射される。制御部４４は、容器１が測定区間を移動している間、測定光が容器１を追従するようにトラッキングミラー４２を操作する。より具体的には、制御部４４は、容器１が測定区間を移動している間、測定光が容器１の基準位置に向けて照射され続けるようにトラッキングミラー４２の角度を制御する。本実施形態では、基準位置は容器１の中心軸に設定されており、この基準位置に向けて測定光が照射され続けるように、制御部４４はトラッキングミラー４２の角度を制御している。なお、基準位置は容器１の中心軸以外の位置、例えば容器１の中心軸から少し外れた位置であってもよい。

本実施形態では、光路変更部としてトラッキングミラー４２が使用されているが、光路を変更できる装置であれば、他の構成を有する光学部材を使用してもよい。例えば、光路変更部として、レンズ、プリズムなど光学要素、またはこれら光学要素の組み合わせを使用し、光学要素の位置や角度を制御して光路を変更してもよい。また、液体レンズなど屈折率を変化させることができる光学要素を使用し、屈折率の変化を制御することにより光路を変更するようにしてもよい。

図５は測定区間の終点Ｂにおける容器１の周速信号を生成しているときの信号生成部４１を示す図である。図４および図５に示すように、容器１が測定区間を移動している間、信号生成部４１は、トラッキングミラー４２を介して測定光を容器１の外周面に照射し続け、トラッキングミラー４２を介して容器１からの測定光を受光し続ける。信号生成部４１は、発した光の周波数と受光した光の周波数との変化に基づいて、測定区間内を移動する容器１の周速信号を生成する。

容器１は回転区間内で自転しながらメインロータ装置４によって移動される。本実施形態によれば、容器１の移動に従ってトラッキングミラー４２の角度を変化させる、すなわち、移動する容器１に測定光を追従させることによって、信号生成部４１は、容器１自体の移動速度の影響を受けることなく、容器１の周速のみを示す周速信号を生成することができる。

容器１が測定区間から出ると、制御部４４はトラッキングミラー４２の角度を初期位置まで戻す。そして、次の容器１が測定区間に入ると、信号生成部４１の測定光は次の容器１に照射される。制御部４４は次の容器１の基準位置に向けて測定光が照射され続けるようにトラッキングミラー４２の角度を制御する。このようにして、信号生成部４１は測定区間を通過するすべての容器１の周速信号を取得する。

回転検出装置４０は、周速信号に基づいて容器１が所定の回数以上回転したか否かを判定する回転判定部４５をさらに備えている。回転判定部４５は信号生成部４１に接続されており、容器１の周速信号は回転判定部４５に送られる。回転判定部４５には所定のしきい値が記憶（格納）されている。この所定のしきい値は、測定区間内において容器１が所定の回数以上（例えば１周以上）回転しているか否かを判定するために使用される値である。

上述したように本実施形態では、周速信号として、容器１の表面がある基準距離だけ変位したことを示すパルス信号が使用され、信号生成部４１は、容器１の表面が基準距離だけ変位するたびにパルス信号を連続的に出力する。回転判定部４５は、測定区間を移動しているときの容器１の周速を示す周速指標値、すなわち測定区間を移動しているときのパルス信号の数（パルス数）をパルス信号から取得し、このパルス信号の数が所定のしきい値を超えたか否かを判定する。パルス信号の数が所定のしきい値を超えている場合、回転判定部４５は、容器１が測定区間を移動している間に所定の回数以上回転したと判断する。周速指標値であるパルス信号の数は、容器１自体の移動速度を反映しない容器１の周速を示しているので、回転検出装置４０は、容器１が所定の回数以上回転したか否かを正確に検出することができる。

パルス信号の数が所定のしきい値に達しない場合、回転判定部４５はこの容器１を未検査容器として特定する。特定された容器１は図示しない機構によって取り除かれる。したがって、未検査容器が下流の工程に搬送されることが防止される。

信号生成部４１または回転判定部４５は、パルス信号の数（パルス数）と上記基準距離とから容器１の表面の変位（移動距離）を算出してもよい。例えば、ある測定時間内にパルス信号が４回発せられた場合は、基準距離に４を乗算して得られた距離がその測定時間内に容器１の表面が移動した距離である。さらに、基準距離をパルス信号の周期で割り算することで、容器１の表面速度、すなわち周速を得ることも可能である。この場合も、回転判定部４５は同様にして、容器１が所定の回数以上回転したか否かを判定する。

さらに、信号生成部４１または回転判定部４５は容器１の周速から容器１の表面の移動距離を算出してもよい。具体的には、容器１の周速に経過時間を乗算して容器１の表面の移動距離を算出する。この場合、回転判定部４５は容器１の表面の移動距離が所定のしきい値を超えたか否かを判定する。容器１の表面の移動距離が所定のしきい値を超えた場合、回転判定部４５は、容器１が測定区間を移動している間に所定の回数以上回転したと判断する。

信号生成部４１によって受光される容器１からの測定光には、容器１の表面で散乱した散乱光や容器１の表面で反射した反射光などが含まれる。信号生成部４１として、レーザードップラー速度計を使用してもよい。レーザードップラー速度計は、容器１にレーザー光などの測定光を照射し、容器１の表面で散乱した散乱光を容器１からの測定光として受光し、測定光の周波数の変化に基づいて容器１の周速を測定する。

検査装置は、トラッキングミラー４２を介して測定区間を移動する容器１の画像を撮像する撮像装置であるカメラ５０と、カメラ５０によって取得された画像に基づいて容器１を検査する画像処理装置５１を備えている。カメラ５０は、容器１が測定区間を移動している間に容器１の外観を所定回数だけ撮像するように構成されている。画像処理装置５１は、カメラ５０に接続されており、カメラ５０が撮像した容器１の画像に基づいて容器１を検査する。

図６（ａ）および図６（ｂ）はカメラ５０および信号生成部４１を横から見た図である。図６（ａ）に示すように、カメラ５０は信号生成部４１の上に配置されており、カメラ５０および信号生成部４１の両方はトラッキングミラー４２を向いている。このような配置により、カメラ５０および信号生成部４１はトラッキングミラー４２を介して容器１の画像および容器１の周速信号を同時に取得することができる。図６（ｂ）に示すように、カメラ５０を信号生成部４１の下に配置してもよい。

図７はカメラ５０および信号生成部４１の配置の別の例を示す図である。図７の例では、カメラ５０および信号生成部４１はそれぞれ異なる位置に配置されている。回転検出装置４０はトラッキングミラー５２をさらに備えている。以下の説明では、トラッキングミラー４２を第１のトラッキングミラー４２と呼び、トラッキングミラー５２を第２のトラッキングミラー５２と呼ぶ。

第２のトラッキングミラー５２は容器１からの測定光をカメラ５０へ導くための導光部である。制御部４４は、容器１が測定区間を移動している間、容器１からの測定光がカメラ５０へ導かれるように第２のトラッキングミラー５２の角度を制御する。カメラ５０は、第２のトラッキングミラー５２を介して容器１の外観を撮像する。本実施形態では、導光部として第２のトラッキングミラー５２が使用されているが、測定光をカメラ５０へ導くことができる装置であれば、他の構成を有するものを使用してもよい。例えば、導光部として、レンズ、プリズムなど光学要素、またはこれら光学要素の組み合わせを使用し、光学要素の位置や角度を制御して光路を変更してもよい。また、液体レンズなど屈折率を変化させることができる光学要素を使用し、屈折率の変化を制御することにより光路を変更するようにしてもよい。

容器１が測定区間を移動している間、制御部４４は、信号生成部４１から照射された測定光が容器１の基準位置に向けて照射され続けるようにトラッキングミラー４２の角度を制御する。同様に、容器１が測定区間を移動している間、制御部４４は、カメラ５０が容器１の表面を撮像できるように第２のトラッキングミラー５２の角度を制御する。カメラ５０および第２のトラッキングミラー５２は、容器１に対して信号生成部４１と同じ側に配置されている。図７の例では、信号生成部４１はカメラ５０の右側方に位置しているが、信号生成部４１はカメラ５０の左側方に位置してもよい。

図８はカメラ５０および信号生成部４１の配置のさらに別の例を示す図である。図８の例では、カメラ５０は信号生成部４１の反対側に配置されている。より具体的には、信号生成部４１およびカメラ５０の位置は、メインロータ装置４に関して対称である。カメラ５０および第２のトラッキングミラー５２は、容器１に対して信号生成部４１の反対側に配置されている。容器１が測定区間を移動している間、信号生成部４１から照射された測定光が容器１の基準位置に向けて照射され続けるように、制御部４４は第１のトラッキングミラー４２の角度を制御する。同様に、容器１が測定区間を移動している間、カメラ５０が容器１の表面を撮像できるように、制御部４４は第２のトラッキングミラー５２の角度を制御する。

図９はカメラ５０および信号生成部４１の配置のさらに別の例を示す図である。図９に示す配置は、カメラ５０および第２のトラッキングミラー５２が信号生成部４１の反対側に配置されている点では図８に示す配置と同じであるが、図９に示す信号生成部４１は、図８に示す信号生成部４１と異なる位置に配置されている点で異なっている。信号生成部４１がトラッキングミラー４２を介して容器１に測定光を照射できれば、信号生成部４１の位置は図８および図９に示す位置に限定されない。

これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。例えば、上述した実施形態の測定区間は湾曲しているが、測定区間は直線であってもよい。つまり、本発明の回転検出装置は、検査対象物を直線的に搬送する搬送装置に隣接して設けられてもよい。

上記実施形態では、検査対象物である容器１としてプリフォームが用いられているが、検査対象物の他の例として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）製の容器、いわゆるペットボトルなどの円筒状の容器が挙げられる。ただし、検査対象物は円筒形状には限定されず、信号生成部４１での測定光の送受光が可能であれば多角形状であってもよい。さらに、検査対象物は容器に限定されず、他の物品であってもよい。

検査対象物が測定区間を移動しているときの検査対象物の周速を示す周速指標値は、検査対象物の周速を直接示す数値であってもよく、または検査対象物の表面の周方向の変位を示す数値であってもよい。例えば、信号生成部４１としてレーザードップラー速度計が使用される場合は、信号生成部４１は、容器１の表面の速度を周速指標値として生成する。

１，１００ 容器
２，１０２ スクリュー式搬送装置
３，１０３ 入口スターホイール式搬送装置
４，１０４ メインロータ装置
５，１０５ 出口スターホイール式搬送装置
７，１０７ 搬出コンベア
１０，１０８ 保持部材
１１ 架台
１２ メイン回転軸
１４ 平ディスク
１５ 支持部材
１６ 切替弁
２０ ヘッド本体
２０ａ 気体流路
２１ ヘッド回転軸
２１ａ 連通路
２２ 回転継手
２３ チューブ
３０ 回転機構
３１，１１０ タイミングベルト
３２ ベルトプーリ
３３，１１２ テンショナー
３４，１１３ 駆動装置
３５ ヘッドプーリ
４０ 回転検出装置
４１ 信号生成部
４２ トラッキングミラー
４４ 制御部
４５ 回転判定部
５０ カメラ（撮像装置）
５１ 画像処理装置
５２ トラッキングミラー

Claims (8)

1. 回転しながら移動する検査対象物の回転を検出する回転検出装置であって、
   光の光路を変更する光路変更部と、
   前記光路変更部を介して前記検査対象物に測定光を照射し、前記光路変更部を介して前記検査対象物からの測定光を受光し、前記測定光の周波数の変化に基づいて前記検査対象物の周速に関連する周速信号を生成する信号生成部と、
   測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物の基準位置に向けて前記測定光が照射され続けるように前記光路変更部を操作する制御部と、
   前記検査対象物が前記測定区間を移動している間に所定の回数以上回転したか否かを前記周速信号に基づいて判定する回転判定部とを備えたことを特徴とする回転検出装置。
2. 前記回転判定部は、前記周速信号から得られる周速指標値が所定のしきい値を超えた場合は、前記検査対象物が前記測定区間を移動している間に前記所定の回数以上回転したと判定することを特徴とする請求項１に記載の回転検出装置。
3. 前記光路変更部は、角度が変更可能に構成されたトラッキングミラーであり、
   前記制御部は、前記測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物の基準位置に向けて前記測定光が照射され続けるように前記トラッキングミラーの角度を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の回転検出装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の回転検出装置と、
   前記検査対象物を回転させながら移動させる搬送装置と、
   前記測定区間を移動する前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
   前記撮像装置が撮像した画像に基づいて前記検査対象物を検査する画像処理装置とを備えたことを特徴とする検査装置。
5. 前記撮像装置は、前記信号生成部の上または下に配置され、前記光路変更部を介して前記検査対象物を撮像することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. 前記検査対象物からの測定光を前記撮像装置へ導くための導光部を備え、
   前記制御部は、前記測定区間を前記検査対象物が移動している間、前記検査対象物からの測定光が前記撮像装置へ導かれるように前記導光部を操作し、
   前記撮像装置は、前記導光部を介して前記検査対象物を撮像することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
7. 前記撮像装置および前記導光部は、前記検査対象物に対して前記信号生成部と同じ側に配置されることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
8. 前記撮像装置および前記導光部は、前記検査対象物に対して前記信号生成部の反対側に配置されることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。

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