JP6294198B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
以下、一実施形態に係る絶縁シートについて、図1および図2を参照しつつ説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
材2のヤング率は、例えば0.5GPa以上12GPa以下に設定されている。シート部材2の熱膨張率は、例えば20ppm/℃以上120ppm/℃以下に設定されている。
なお、シート部材2のヤング率は、MTSシステムズ社製Nano Indentor XP/DCMを用いて測定される。また、シート部材2の熱膨張率は、市販のTMA装置を用いて、JISK7197−1991に準じた測定方法によって測定される。
。その結果、第2絶縁層5と第1絶縁層4との接着強度を向上させることができ、例えば第1絶縁層4と第2絶縁層5の熱膨張率の違いによる剥離を低減することができる。
次に、上述した絶縁シート1を用いて製造された配線基板14を、図3を参照しつつ詳細に説明する。図3は、配線基板を上下方向に切断した断面を模式的に示している。
化するものである。この無機絶縁フィラーは、例えば酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、水酸化アルミニウムまたは炭酸カルシウム等の無機絶縁材料からなる複数の粒子により構成されている。
本発明の実施形態に係る絶縁シート1を用いた配線基板14の製造方法について、図4〜図6を参照しつつ説明する。配線基板の製造方法は、主に準備工程、積層工程、露出工程、粗化工程および配線形成工程を有している。なお、本発明は、以下の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能で
ある。なお、図4〜図6は、本発明の一実施形態に係る絶縁シートを使用して製造する配線基板の製造方法の一工程を示した断面図である。
(1)まず、絶縁シート1を準備する。絶縁シート1は、以下の工程(2)〜(7)を経て準備される。
ーまたはカーテンコーター等によって行なう。
(7)図4に示すように、絶縁シート1をコア基板15上に積層する。具体的には絶縁シート1の積層は、絶縁シート1の第2絶縁層5がコア基板15に接触するように行なう。
(9)シート部材2をコア基板15に積層した絶縁シート1から除去する。シート部材2の除去は、例えば機械的に引き剥がすことによって行なう。シート部材2を剥がすことによって、図5に示すように、シート部材2に積層されていた第1絶縁層4が表面に露出する。
(11)第1絶縁層4の表層の一部(無機絶縁粒子6の一部)を除去する。第1絶縁層4の一部の表面を除去することによって、絶縁層3の表面を粗化することができる。第1絶縁層4の一部の表面の除去は、例えば無機絶縁粒子6が酸化珪素からなる場合であれば、無機絶縁粒子6を溶かす強アルカリ性の水溶液によって行なう、強アルカリ性の水溶液としては、例えば過マンガン酸カリウムまたは過マンガン酸ナトリウム等の水溶液である。なお、第1絶縁層4の無機絶縁粒子6の一部が除去される一方で、第2絶縁層5は残存させることから、第2絶縁層5は上記水溶液には溶けにくい材料で形成する。なお、このとき、無機絶縁粒子6を複数の材料から形成することによって、粗化の度合いを調整することができる。また、複数の無機絶縁粒子6中に、例えば、酸化アルミニウム等の異なる単一の材料からなる無機絶縁粒子6を混ぜることによっても粗化の度合いを調整することができる。
(12)貫通穴にビア導体20を形成する。ビア導体20は、例えば無電解めっき、蒸着法、CVD法またはスパッタリング法を用いて、貫通穴内に導電材料を埋めることによって形成される。
3を貫通する貫通導体と、絶縁層3上に配され、貫通導体に電気的に接続する配線21とを備えている配線基板である。また、コアレス基板とは、絶縁層3と、絶縁層3を貫通するビア導体20と、絶縁層3上に配され、ビア導体20に電気的に接続する配線21とを備え、絶縁層3と配線21とが交互に複数積層されてなるものであって、コア基板15を有していない配線基板である。
2 シート部材
3 絶縁層
4 第1絶縁層
5 第2絶縁層
6 無機絶縁粒子
7 間隙
8 第1樹脂部
9 接触部
10 凹部
11 第1無機絶縁粒子
12 第2無機絶縁粒子
13 第2樹脂部
14 配線基板
15 コア基板
16 配線層
17 樹脂基体
18 スルーホール導体
19 絶縁体
20 ビア導体
21 配線
Claims (1)
- コア基板と、該コア基板の上下に設けられた一対の配線層とを備えており、
該配線層は、絶縁層と、該絶縁層の前記コア基板とは反対側の表面に設けられた配線とを有しており、
前記絶縁層は、前記コア基板側に位置している第2絶縁層と、該第2絶縁層の前記コア基板とは反対側に位置している第1絶縁層とを有しており、
前記第1絶縁層は、平均粒子径が5nm以上100nm未満の第1無機絶縁粒子と平均粒子径が0.1μm以上5μm以下の第2無機絶縁粒子とで構成される無機絶縁粒子と、第1樹脂部とを含み、前記配線側に、前記第1無機絶縁粒子のサイズの凹部を有する表面を有し、該表面の前記凹部に前記配線の一部が被着していることを特徴とする配線基板。
Priority Applications (1)
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JP2014194597A JP6294198B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014194597A JP6294198B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 配線基板 |
Publications (2)
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JP2016064571A JP2016064571A (ja) | 2016-04-28 |
JP6294198B2 true JP6294198B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=55803859
Family Applications (1)
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JP2014194597A Active JP6294198B2 (ja) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 配線基板 |
Country Status (1)
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Family Cites Families (2)
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2014
- 2014-09-25 JP JP2014194597A patent/JP6294198B2/ja active Active
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