JP6290814B2

JP6290814B2 - インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、及び、インクジェット記録装置

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Publication number: JP6290814B2
Application number: JP2015068380A
Authority: JP
Inventors: 実古谷田
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba TEC Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba TEC Corp
Priority date: 2015-03-30
Filing date: 2015-03-30
Publication date: 2018-03-07
Anticipated expiration: 2035-03-30
Also published as: JP2016187904A

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、及び、インクジェット記録装置に関する。

工業用のインクジェットプリンタに用いられるシェアモードシェアードウォール型のインクジェットヘッドは、インクを射出するための圧電素子を有するヘッド本体と、ヘッド本体の圧電素子を駆動するための駆動ＩＣを備えている。従来のインクジェットヘッドでは、駆動ＩＣが接続される導体パターンが形成されたベース基板の表面に、導体パターンやベース基板をインクから保護するための保護膜が形成されている。

駆動ＩＣとベース基板に形成される導体パターンは、駆動ＩＣが実装されたリジット基板が、フレキシブル基板を介して、ベース基板に接続されることで電気的に接続される。フレキシブル基板とベース基板との接続は、治具の上に載置されたベース基板に、フレキシブル基板を熱圧着することにより行われる。このため、ベース基板の下面に形成される保護膜が、治具に張り付いてしまい、治具からベース基板を取り外す際に、保護膜が損傷してしまうことがあった。

特開２０１４−１６８８９１号公報

本発明は、上述の事情の下になされたもので、インクジェットヘッドの製造時に、ベース基板に設けられた保護膜の損傷を防止することを課題とする。

上記課題を解決するため、本実施形態に係るインクジェットヘッドは、一側の面にインクを吐出させるためのアクチュエータが設けられるとともに、一側の面に形成され、アクチュエータに接続される導体パターンを有するベース基板と、ベース基板の表面と導体パターンを覆う保護膜と、導体パターンを介してアクチュエータを駆動するための駆動回路が形成され、ベース基板の一側の面に設けられた領域に接続される制御基板と、ベース基板の他側の面の領域と対応する位置に少なくとも設けられる保護フィルムと、を有する。

本実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。射出ユニットの展開斜視図である。駆動ユニットの一部を拡大して示す図である。導体パターンを示す図である。射出ユニットのＸＺ断面図である。射出ユニットのＹＺ断面図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの製造方法を説明するための図である。射出ユニットの動作を説明するための図である。射出ユニットの動作を説明するための図である。射出ユニットの動作を説明するための図である。射出ユニットとフレキシブル基板の接続箇所を示す断面図である。保護フィルムの変形例を示す図である。インクジェット記録装置を示す図である。

以下、本実施形態を、図面を用いて説明する。説明には、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる直交座標系を用いる。

図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０を示す斜視図である。インクジェットヘッド１０は、シェアモードシェアードウォール型のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド１０は、射出ユニット２０、マニホールド４０、フレキシブル基板５０、リジット基板６０を有している。

図２は、射出ユニット２０の展開斜視図である。図２に示されるように、射出ユニット２０は、ベース基板２１、フレーム２２、オリフィスプレート２３、保護部材としての保護フィルム３４を有している。

ベース基板２１は、例えばアルミナからなり、長手方向をＹ軸方向とする長方形板状の部材である。ベース基板２１のＸ軸方向中央部には、Ｙ軸に沿って複数の開口２１１が形成されている。また、開口２１１の−Ｘ側及び＋Ｘ側には、Ｙ軸に沿って複数の開口２１２が形成されている。

ベース基板２１の上面には、２つの駆動ユニット２５が配置されている。図２に示されるように、駆動ユニット２５は、開口２１１のＸ軸方向両側に配置されている。

図３は、駆動ユニット２５の一部を拡大して示す図である。図３に示されるように、駆動ユニット２５は、ベース基板２１の上面に接着される圧電素子２５１と、圧電素子２５１の上面に配置される複数の圧電素子２５２を有している。

圧電素子２５１は、ＺＹ断面が台形で、長手方向をＸ軸方向とする部材である。圧電素子２５１は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするピエゾ素子である。圧電素子２５１の上面には、上方（＋Ｚ方向）に突出する突出部２５１ａが、Ｙ軸に沿って等間隔に形成されている。また、圧電素子２５１の下面は、ベース基板２１の上面に接着されている。

圧電素子２５２は、圧電素子２５１に形成された突出部２５１ａの上面に接着されている。圧電素子２５２は、＋Ｙ側からの見た形状が台形になるように整形され、圧電素子２５１の側面と、圧電素子２５２の側面は連続した平面になっている。また、圧電素子２５１，２５２それぞれの分極方向はＺ軸に平行であり、圧電素子２５１の極性と、圧電素子２５２の極性は逆になっている。

駆動ユニット２５では、圧電素子２５１の突出部２５１ａと圧電素子２５２で、インクを吐出するためのアクチュエータ２５０が構成される。そして、隣接するアクチュエータ２５０の間が圧力室Ｓとなる。また、２つの駆動ユニット２５のアクチュエータ２５０の配列ピッチＰＴは相互に等しいが、アクチュエータ２５０相互間でのアクチュエータの位置は、配列ピッチＰＴの１／２（＝ＰＴ／２）だけＹ軸方向にオフセットしている。

図３では図示が省略されているが、図４に示さるように、各圧力室Ｓの内壁面から、ベース基板２１の上面にかけて、導体パターン３０が形成されている。この導体パターン３０は、例えば、ニッケル膜からなるパターンであり、アクチュエータ２５０に電圧を印加するための電極として機能する。

図５は、射出ユニット２０のＸＺ断面図である。また、図６は、射出ユニット２０のＹＺ断面図である。図５及び図６に示されるように、導体パターン３０の上面には、電着膜３１が形成されている。電着膜３１は、例えば、電着液を用いて導体パターン３０の上面に電着組成物を生成し、生成した電着組成物を加熱することにより生成される。

図２に戻り、フレーム２２は、長手方向をＹ軸方向とする枠状の部材である。フレーム２２は、例えば、セラミックやアルミナ、又は、アルミニウム或いはステンレスからなる。

オリフィスプレート２３は、ポリイミドを素材とし、長手方向をＹ軸方向とする長方形のシートである。オリフィスプレート２３には、複数の開口２３１が形成されている。開口２３１は、エキシマレーザなどを用いたレーザ加工によって、Ｙ軸に平行な２列に並ぶように形成される。開口２３１は、インクを記録媒体としての紙に吐出するためのノズルとして機能する。

保護フィルム３４は、長手方向をＹ軸方向とする長方形の部材である。保護フィルム３４は、例えば、セラミック、耐熱性を有する樹脂、ガラス、或いは金属からなる。保護フィルム３４には、長手方向をＹ軸方向とする３つの開口３４ａが形成されている。ベース基板２１に形成された開口２１１，２１２は、ベース基板２１の下面に貼り付けられた保護フィルム３４の開口３４ａから露出した状態になる。

上述のように構成されるベース基板２１、フレーム２２、オリフィスプレート２３、及び保護フィルム３４は、ベース基板２１にフレーム２２と保護フィルム３４が接着され、フレーム２２にオリフィスプレート２３が接着されることで一体化される。そして、射出ユニット２０が形成される。以下、射出ユニット２０の製造方法について、概略図を参照しつつ説明する。

まず、ベース基板２１と同じ素材からなる基板２１０を準備する。そして、図７に示されるように、基板２１０に、機械加工を施して、開口２１１，２１２を形成する。基板２１０は、ベース基板２１となる。

次に、図８を参照するとわかるように、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするシート２５１Ａと、２５２Ａとが張り合わされることにより形成されたシートブロック２５０Ａを用意する。

シートブロック２５０Ａは、長手方向をＹ軸方向とする直方体状の部材である。シートブロック２５０Ａを構成するシート２５１Ａ，２５２Ａの分極方向はシート２５１Ａ，２５２Ａの法線に平行な方向（Ｚ軸方向）であり、本実施形態では、シート２５１Ａの極性が＋Ｚ方向となり、シート２５２Ａの極性が−Ｚ方向となっている。

次に、２つのシートブロック２５０Ａを、例えば、熱硬化性を有する接着剤或いは紫外線硬化性を有する接着剤を用いて、ベース基板２１の上面に接着する。図８に示されるように、シートブロック２５０Ａが、開口２１１と開口２１２の間に固定される。

次に、ダイシングソーを用いて、シートブロック２５０Ａそれぞれの＋Ｘ側の側面及び−Ｘ側の側面が、図９に示されるように、斜めになるように、シートブロック２５０Ａそれぞれを整形する。シートブロック２５０Ａそれぞれは、ＸＺ断面が台形の角柱状に整形される。

次に、図１０に示されるように、ダイヤモンドソーを用いて、シートブロック２５０Ａそれぞれに、Ｘ軸に平行な溝２５０ａを等間隔に複数形成する。シートブロック２５０Ａそれぞれを構成するシート２５２Ａは、溝２５０ａが形成されることにより、小片に分割される。シート２５２Ａが分割されることにより形成される小片は、図３に示される圧電素子２５２となる。また、シート２５１Ａには、溝２５０ａが形成されることで、突出部２５１ａが形成される。以上の工程を経て、アクチュエータ２５０を有する駆動ユニット２５が形成される。

次に、隣接するアクチュエータ２５０の間からベース基板２１の上面にかけて、図４に示される導体パターン３０を形成する。具体的には、全面スパッタを行い、次にめっき処理を行う。めっき処理の後に、レジスト塗布をし、パターン化し、エッチング処理をした後に、剥離を行う。

次に、図１１に示されるように、ベース基板２１の上面にマスキングテープ２００を張り付ける。マスキングテープ２００は、ベース基板２１の＋Ｘ側の外縁と−Ｘ側の外縁に沿って張り付けられる。マスキングテープ２００が張り付けられた領域に位置する導体パターン３０は、マスキングテープ２００によって、マスクされた状態になる。

次に、ベース基板２１を電着液に浸した後に、導体パターン３０を陽極として、導体パターン３０に電着膜３１を成膜する。そして、電着膜３１を加熱することにより、導体パターン３０に電着膜３１を焼き付ける。図１２に示されるように、電着膜３１は、導体パターン３０を被覆する。電着膜３１の厚さは、おおよそ０．５μｍ〜５μｍである。

次に、図１３に示されるように、ベース基板２１の上面に、接着剤３３を用いてフレーム２２を接着する。図１４に示されるように、フレーム２２は、ベース基板２１の上面に、導体パターン３０及び電着膜３１を介して配置される。

次に、ベース基板２１、駆動ユニット２５、フレーム２２の表面に、化学気相成長法（CVD: Chemical Vapor Deposition）により、例えばパリレンＣ、パリレンＮ、パリレンＤのようなパラキシレン系ポリマーからなる有機保護膜３２を形成する。図１５に示されるように、有機保護膜３２は、ベース基板２１の表面と、駆動ユニット２５の表面と、フレーム２２の表面に均一に形成される。有機保護膜３２の厚さは、おおよそ３μｍ〜１０μｍである。パラキシレン系ポリマーを用いた化学気相成長法を用いることで、ベース基板２１、駆動ユニット２５、フレーム２２の表面に、均一な保護膜を形成することができる。

次に、図１６に示されるように、フレーム２２に重なるようにオリフィスプレート２３を取り付ける。具体的には、図５に示されるように、フレーム２２の上面と駆動ユニット２５の上面に、接着剤３３を塗布して、オリフィスプレート２３をフレーム２２と駆動ユニット２５に接着する。駆動ユニット２５とオリフィスプレート２３によって、圧力室Ｓが規定される。オリフィスプレート２３に形成された開口２３１は、オリフィスプレート２３の上方から圧力室Ｓに通じたノズルとなる。

次に、ベース基板２１の下面に接着剤３３を塗布して、保護フィルム３４を接着する。そして、マスキングテープ２００を除去する。以上の工程を経ることによって、図２に示されるベース基板２１、フレーム２２、オリフィスプレート２３、保護フィルム３４が一体化され、射出ユニット２０が完成する。射出ユニット２０では、図５に示されるように、ベース基板２１上面のＸ軸方向両端の領域では、導体パターン３０が露出した状態になっている。

図１７は、射出ユニット２０のＸＺ断面を示す図である。射出ユニット２０では、図１７に示されるように、ベース基板２１に形成される開口２１１，２１２と、駆動ユニット２５の圧力室Ｓとの間をインクが循環するための流路が形成される。図１７に実線で示されるように、射出ユニット２０では、ベース基板２１の開口２１１から流入したインクは、駆動ユニット２５の圧力室Ｓを通過して、ベース基板２１の開口２１２から流出する。

また、インクが、図１７に実線で示されるように循環しているときに、図４に示される導体パターン３０に選択的に電圧を印加すると、アクチュエータ２５０が、図１８に示される状態から、図１９に示される状態に変形する。アクチュエータ２５０が変形することによって、図１７或いは図１９の白抜き矢印に示されるように、オリフィスプレート２３に形成された開口２３１からインクが吐出する。

図１に示されるように、フレキシブル基板５０は、射出ユニット２０と接続される。フレキシブル基板５０は、例えば、絶縁フィルムと導体層からなるフレキシブル基板である。インクジェットヘッド１０では、射出ユニット２０に４枚のフレキシブル基板５０が接続され、各フレキシブル基板５０には、射出ユニット２０を制御するための制御回路が形成されたリジット基板６０が接続される。

図２０は、射出ユニット２０とフレキシブル基板５０の接続箇所を示す断面図である。図２０に示されるように、フレキシブル基板５０を射出ユニット２０に接続するには、射出ユニット２０を、金属又はセラミックからなる治具３００の上に載置する。そして、ベース基板２１の上面に露出する導体パターン３０に重なるように、異方導電性フィルム３５を介して、フレキシブル基板５０を配置し、フレキシブル基板５０をベース基板２１に対して加熱圧着する。ベース基板２１とフレキシブル基板５０は、異方導電性フィルム３５によって接続される。

射出ユニット２０では、ベース基板２１の下面に保護フィルム３４が設けられている。保護フィルム３４によって、ベース基板２１に形成される有機保護膜３２と治具３００が直接接触することがなくなるため、フレキシブル基板５０をベース基板２１に対して加熱圧着したとしても、有機保護膜３２が治具３００に張り付くことがない。

図１に戻り、マニホールド４０は、射出ユニット２０を保持するとともに、射出ユニット２０をインクの循環系と接続するための部材である。マニホールド４０の内部には、は流路が形成されている。フレキシブル基板５０及びリジット基板６０が接続された射出ユニット２０は、マニホールド４０の上面に固定される。射出ユニット２０とマニホールド４０が一体化することで、インクジェットヘッド１０が完成する。

以上説明したように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０では、図２０に示されるように、射出ユニット２０を構成するベース基板２１の下面に保護フィルム３４が張り付けられている。治具３００に載置された射出ユニット２０のベース基板２１に対して、フレキシブル基板５０を押圧した状態で、フレキシブル基板５０を加熱したとしても、同時に加熱された有機保護膜３２が、治具３００に張り付くことがない。したがって、治具３００から射出ユニット２０を取り外す際に、有機保護膜３２が、ベース基板２１から剥がれたり、損傷を受けることがなくなる。

また、有機保護膜３２が損傷を受けることがなくなるため、ベース基板２１に形成される導体パターン３０を適切に保護することが可能となる。

上記実施形態に係る保護フィルム３４には、ベース基板２１に設けられた開口２１１，２１２が露出する開口３４ａが形成されている。したがって、ベース基板２１に保護フィルム３４を張り付ける際の位置決めが容易になる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態によって限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、保護フィルム３４に、長方形の開口３４ａが形成されている場合について説明した。上記実施形態に限らず、図２１に示されるように、保護フィルム３４には、ベース基板２１に設けられた開口２１１，２１２に対応する位置に円形の開口３４ａが形成されていてもよい。

また、保護フィルム３４に代えて、例えば、セラミック、耐熱性樹脂或いは金属からなる基板を、ベース基板２１に貼り付けてもよい。

上記実施形態では、有機保護膜３２が、パリレンＣ、パリレンＮ、パリレンＤのようなパラキシレン系ポリマーからなる場合について説明したが、有機保護膜３２は、ポリイミドのような素材から構成されていてもよい。

上記実施形態では、ベース基板２１とフレキシブル基板５０が、異方導電性フィルム３５によって接着される場合について説明したが、例えば、異方導電性ペースト、非導電性フィルム、非導電性ペーストなどによって、ベース基板２１とフレキシブル基板５０が接続されていてもよい。

上記実施形態では、保護フィルム３４が、ベース基板２１の下面全部を被覆する場合について説明した。上記実施形態に限らず、保護フィルム３４は、図２０に示される異方導電性フィルム３５に対応する部分にのみ設けられていてもよい。有機保護膜３２が加熱される部分は、異方導電性フィルム３５の下方に位置する部分のみである。このため、異方導電性フィルム３５を、異方導電性フィルム３５に対応する部分にのみ設けることで、有機保護膜３２の損傷を防止することができる。

上記実施形態では、ベース基板２１やフレーム２２が、セラミックやアルミナから形成されている場合について説明した。ベース基板２１及びフレーム２２の素材は、上記材料に限定されるものではなく、例えば樹脂等であってもよい。

上記実施形態では、オリフィスプレート２３が、ポリイミドからなる場合について説明したが、オリフィスプレート２３は、ポリイミド以外の金属や樹脂から構成されていてもよい。

上記実施形態に係るインクジェットヘッド１０は一例であり、ベース基板２１に形成される開口２１１，２１２の数や、アクチュエータ２５０の数は、インクジェットヘッド１０の用途や解像度に応じて、適宜変更することができる。

次に、上述したインクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置７０について説明する。図２２は、インクジェット記録装置７０を示す図である。このインクジェット記録装置７０には、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの４色のインクジェットヘッド１０Ｃ、１０Ｍ、１０Ｙ、１０Ｋが用いられる。インクジェットヘッド１０Ｃ、１０Ｍ、１０Ｙ、１０Ｋは、上述したインクジェットヘッド１０と同等の構成のものである。

インクジェット記録装置７０は、例えば記録媒体である用紙Ｐを搬送しながら、画像形成等の各種処理を行う装置である。インクジェット記録装置７０は、筐体８０と、筐体８０内部に設けられる給紙カセット７１と、筐体８０の上部に設けられる排紙トレイ７２と、用紙Ｐを保持した状態で回転する保持ローラ７３と、給紙カセット７１から保持ローラ７３を経由し、排紙トレイ７２にわたって形成される搬送路Ａ１に沿って用紙Ｐを搬送する搬送機構７４と、保持ローラ７３から剥離した用紙Ｐの表裏面を反転させて再び保持ローラ７３に供給する反転装置７８と、を備える。

保持ローラ７３の周りには、上流側から下流側に向かって順番に、用紙Ｐを保持ローラ７３の外面に押圧することで、用紙Ｐを保持ローラ７３の表面（外周面）に吸着させる保持装置７５と、保持ローラ７３に保持された用紙Ｐに画像を形成する画像形成装置７６と、用紙Ｐを除電して保持ローラ７３から剥離する除電剥離装置７７と、保持ローラ７３をクリーニングするクリーニング装置７９と、が設けられている。

搬送機構７４は、搬送路Ａ１に沿って設けられた複数のガイド部材８１〜８３や、複数の搬送用ローラ８４〜８９を備えている。搬送用ローラとしては、ピックアップローラ８４、給紙ローラ対８５、レジストローラ対８６、分離ローラ対８７、搬送ローラ対８８、排出ローラ対８９が設けられている。搬送用ローラ８４〜８９が、搬送用モータに駆動されることで回転すると、用紙Ｐは搬送路Ａ１に沿って下流側に送られる。

搬送路Ａ１におけるレジストローラ対８６のニップ近傍には、用紙Ｐの先端位置を検知する用紙位置センサ１０７が設けられている。さらに、ユーザによって各種の項目が設定可能なオペレーションパネルが設けられている。また、インクジェット記録装置７０の内部には、インクジェット記録装置７０の内部の温度を検出する温度センサ１０８が設けられている。そのほか、用紙Ｐの搬送状況を監視するためのセンサなどが各所に配置されている。

保持ローラ７３は、回転軸７１ａと、アルミニウムからなる円筒状の円筒フレーム９１と、円筒フレーム９１の表面に形成された絶縁層９２と、を備えている。円筒フレーム９１は、接地されていて、帯電ローラ９７による帯電時には対抗電極として電位が０Ｖに保持される。保持ローラ７３は、用紙Ｐを保持した状態で回転することにより用紙Ｐを搬送する。ここでは、図２２に示される矢印に示される向きに回転することにより、用紙Ｐを時計回りに搬送する。

保持装置７５は、用紙Ｐを保持ローラ７３に対して押圧する押圧装置９３と、静電気により用紙Ｐを保持ローラ７３に吸着させる吸着装置９４と、を備えている。

押圧装置９３は、回転軸９５ｃと、保持ローラ７３の表面に対向して配置される押圧ローラ９５（押圧部材）と、押圧ローラ９５を駆動する押圧モータと、を備えている。

押圧ローラ９５は、回転することにより、保持ローラ７３の表面を第１の押圧力で押し付ける第１状態と、第１の押圧力よりも小さい第２の押圧力で押し付ける第２状態と、保持ローラ７３から離間して押圧力が解除される第３状態とに遷移する。

押圧ローラ９５と保持ローラ７３間にかかる力は、用紙Ｐが変形せず、また、画質が低下しないような適正値に設定される。用紙Ｐが、保持ローラ７３と押圧ローラ９５のニップ部を通過する際に、押圧ローラ９５により保持ローラ７３に押し付けられることで、用紙Ｐが、保持ローラ７３に密着する。

押圧ローラ９５の外周面は、絶縁材からなる絶縁層９５ｂで覆われ、帯電した用紙Ｐの電荷が押圧ローラ９５を介してリークしないようになっている。

吸着装置９４は、押圧ローラ９５の下流側に配置される帯電ローラ９７を備えている。帯電ローラ９７は、帯電可能な金属製の帯電軸９７ａと帯電軸９７ａの外周に形成された表層部９７ｂと、を有し、保持ローラ７３に対向して配置されている。帯電ローラ９７に対しては、電荷の供給が可能である。また、帯電ローラ９７は、保持ローラ７３に対して、移動可能になっている。

帯電ローラ９７が保持ローラ７３に近接した状態で、帯電ローラ９７に電力が供給されると、帯電ローラ９７と接地された円筒フレーム９１との間に電位差が生じる。その結果、用紙Ｐを保持ローラ７３に吸着させる方向の静電気力が発生（帯電）する。静電気力により、用紙Ｐは、保持ローラ７３の表面に吸着する。

画像形成装置７６は、保持ローラ７３の上方に配置された４つのインクジェットヘッド１０Ｃ、１０Ｍ、１０Ｙ、１０Ｋを備えている。４色のインクジェットヘッド１０Ｃ、１０Ｍ、１０Ｙ、１０Ｋから、用紙Ｐへインクが吐出されることで、用紙Ｐに画像が形成される。

除電剥離装置７７は、用紙Ｐの除電を行う除電装置１０１と、除電後に保持ローラ７３の表面から用紙Ｐを剥離する剥離装置１０２と、を備えている。

除電装置１０１は、画像形成装置７６よりも下流側に設けられ、帯電可能な除電ローラ１０３を備えている。除電装置１０１は、電荷を供給して用紙Ｐを除電することで、用紙Ｐを保持ローラ１３から剥離しやすい状態にする。

剥離装置１０２は、除電装置１０１の下流側に設けられ、移動可能な分離爪１０５を備えている。分離爪１０５は、用紙Ｐと保持ローラ７３の間に挿入される剥離位置と、保持ローラ７３から退避する退避位置との間で移動可能である。分離爪１０５は、剥離位置に配置されたときに、用紙Ｐを保持ローラ７３の表面から剥離する。なお、図２２では、剥離位置にある分離爪１０５が破線で示され、退避位置にある分離爪１０５が実線で示されている。

クリーニング装置７９は、除電剥離装置７７よりも下流側に設けられている。クリーニング装置７９は、保持ローラ７３に当接する当接位置と保持ローラ７３から退避する離間位置とで移動動作可能なクリーニング部材と、クリーニング部材を動作させるクリーニングモータとを備えている。クリーニング部材が、保持ローラ７３の表面に当接した状態で、保持ローラ７３が回転することにより、保持ローラ７３の表面がクリーニングされる。

反転装置７８は、剥離装置１０２の下流側に設けられ、剥離装置１０２で剥離された用紙Ｐを反転させて再び保持ローラ７３の表面上に供給する。反転装置７８は、例えば用紙Ｐを前後方向逆にスイッチバックさせる所定の反転経路に沿って用紙Ｐを案内することにより、用紙Ｐを反転させる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施しうるものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０インクジェットヘッド
２１ベース基板
３０導体パターン
３２有機保護膜
３４保護フィルム
６０制御基板（リジット基板）
７０インクジェット記録装置

Claims

一側の面にインクを吐出させるためのアクチュエータが設けられるとともに、前記一側の面に形成され、前記アクチュエータに接続される導体パターンを有するベース基板と、
前記ベース基板の表面と前記導体パターンを覆う保護膜と、
前記導体パターンを介して前記アクチュエータを駆動するための駆動回路が形成され、前記ベース基板の前記一側の面に設けられた領域に接続される制御基板と、
前記ベース基板の他側の面の前記領域と対応する位置に少なくとも設けられる保護フィルムと、
を有するインクジェットヘッド。
前記ベース基板には、前記アクチュエータによって形成される圧力室にインクを循環させるための開口が形成される請求項１に記載のインクジェットヘッド。
前記保護フィルムは、前記開口が露出する開口部が形成されている請求項２に記載のインクジェットヘッド。
インクジェットヘッドの製造方法であって、
アクチュエータが設けられるベース基板の一側の面とは反対の他側の面に保護フィルムを張り付ける工程と、
前記保護フィルムを介して、前記ベース基板を治具に載置する工程と、
前記ベース基板の上面に制御基板を熱圧着させる工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドから吐出される位置に記録媒体を搬送するための搬送機構と、
を備えるインクジェット記録装置。