JP2021181184A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型でインク吐出性能の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、基材１１３と、圧電部材と、を備える。圧電部材は、基材の第１方向Ｙ一方側に配され、第１方向一方側に複数の溝１２１を有する。第１方向における基材と溝との距離が、溝の第１方向における深さ寸法よりも大きい。【選択図】図４

Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。

各種の液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドにおいて、基材に圧電素子を設け、圧力室を形成するエンドシュータ型の液体吐出ヘッドの構成が知られている。このような液体吐出ヘッドにおいて、圧電素子を小さくしてヘッドを小型化することが求められている。

特開２０１１−２０７０９８号公報

本発明が解決しようとする課題は、小型で液体吐出性能の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することである。

一実施形態にかかる液体吐出ヘッドは、基材と、前記基材の第１方向一方側に配されるとともに、第１方向における一方側に圧力室を構成する溝を有する圧電部材と、前記第１方向における前記基材と前記溝との距離が、前記溝の前記第１方向における深さ寸法よりも大きい。

第１実施形態にかかる液体吐出ヘッドの構成を示す斜視図。 同液体吐出ヘッドの構成を示す斜視図。 同液体吐出ヘッドのアクチュエータ部の一部の構成を示す斜視図。 同液体吐出ヘッドの一部の構成を示す断面図。 同アクチュエータ部の構成を示す断面図。 同アクチュエータ部の構成を示す断面図。 同液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置の構成を示す説明図。 他の実施形態にかかる液体吐出ヘッドのアクチュエータ部の構成を示す断面図。 同アクチュエータ部の構成を示す断面図。

以下に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１００及び液体吐出装置２００について、図１乃至図８を参照して説明する。図１は、第１実施形態にかかる液体吐出ヘッド１００の構成を示す斜視図であり、図２は液体吐出ヘッド１００のヘッドカバー１５０を省略して内部構成を示す説明図である。図３はアクチュエータ部１１２の一部の構成を示す斜視図である。図４は液体吐出ヘッド１００の一部の断面図であり、図５及び図６は液体吐出ヘッド１００のアクチュエータ部１１２の断面図である。図７は液体吐出ヘッド１００を用いた液体吐出装置の構成を示す説明図である。

なお、図中矢印Ｘ，Ｙ，Ｚはそれぞれ互いに直交する３方向を示す。Ｘ軸はノズルの配列方向である第２方向に、Ｙ軸はノズル列の並び方向である第１方向に、Ｚ軸は液滴を吐出する方向である第３方向に、それぞれ沿っている。また、各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示している。

図１乃至図６に示すように、液体吐出ヘッド１００は、ベース部１１０と、一対のアクチュエータ部１１２，１１２と、ノズルプレート１３０と、一対の回路基板ユニット１４０と、ヘッドカバー１５０と、を備える。本実施形態において、液体吐出ヘッド１００は、共通液室循環型のヘッドを例示する。一例として液体吐出ヘッド１００は、インク流路及び駆動系を２系統有し、異なる２種類のインクを吐出する、２色ヘッドである。なお、２系統に同一のインクを用いた場合には解像度２倍の単色ヘッドとなる。

液体吐出ヘッド１００は例えば図７に示されるインクジェット記録装置などの液体吐出装置２００に設けられる。液体吐出ヘッド１００は、液体吐出装置２００に設けられた液体収容部としての一対のインクタンク２５１に、インク流路がそれぞれ接続され、インクタンク２５１との間でインクを循環させる循環型のインク回路に設けられる。液体吐出ヘッド１００は例えば第３方向に沿うノズル１３１が下方に向く姿勢で配置される。

ベース部１１０は、セラミック材で板状に構成される。例えばベース部１１０は厚さ方向が第１方向に沿い、第２方向及び第３方向に沿う一対の主面を有する。ベース部１１０の内部にインク流路１１１が形成される。インク流路１１１は、例えばパイプ状部材等の接続管で構成される接続流路を介してインクタンク２５１に接続されるとともに、後述するアクチュエータ部１１２の流路に連通する。

例えば本実施形態においてベース部１１０内に２系統のインク流路１１１が形成され、各インク流路１１１がアクチュエータ部１１２の基材１１３に形成されるインク通路１１６を介して共通室１１７に連通する。

各アクチュエータ部１１２は、ベース部１１０の第１方向における一方側と他方側にそれぞれ設けられる。アクチュエータ部１１２は、一対の主面において、第３方向一方側、すなわちノズルプレート１３０側の領域に、配置される。各アクチュエータ部１１２は、基材１１３と、複数の溝を有する圧電部材１１４と、カバー部材１１５と、を備え、共通室１１７と複数の圧力室１１８とを内部に形成する。

基材１１３は、ベース部１１０の第１方向両側の主面に重ねて配置される板状部材である。各基材１１３の、ベース部１１０とは反対の面において、第３方向におけるノズルプレート１３０側の部位に、それぞれ圧電部材１１４が配置される。基材１１３には、ベース部１１０のインク流路１１１と、共通室１１７と、を接続するインク通路１１６が形成される。

圧電部材１１４は、厚さ方向が第１方向に沿う板状部材であり、第１方向に開口し圧力室１１８を構成する溝１２１を複数有する。圧電部材１１４の第１方向において溝１２１が開口する面はカバー部材１１５によって覆われる。

例えば圧電部材１１４は長手方向が第２方向に延び、第１方向から見た平面図は長方形状に構成される。圧電部材１１４は例えば一対の分極された圧電材がＹ方向に積層されて構成される。すなわち、圧電部材１１４は第１方向に、分極される。圧電材として例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が用いられる。

圧電部材１１４は、厚さ方向における一方側に開口する複数の溝１２１を第２方向に並列して有し、第３方向に直交する断面が櫛歯状に構成される。圧力室１１８を構成する複数の溝１２１と、複数の壁状の駆動素子部１２２とが、第２方向に交互に並んで配される。すなわち、隣接する駆動素子部１２２の間にそれぞれ圧力室１１８が形成される。各溝１２１で構成される圧力室１１８は、第３方向の全長にわたって延び、第３方向の一方がノズル１３１に連通し、他方側は共通室１１７に連通する。各溝１２１は第１方向において対向配置されるカバー部材１１５によって塞がれる。

カバー部材１１５は、第１方向に直交する第１壁部１２３と、第３方向に直交する第２壁部１２４と、第２方向に直交する第３壁部と、を有する。カバー部材１１５は、第１壁部１２３の第３方向におけるノズルプレート１３０側の部位が圧電部材の第１方向一方側に対向して溝１２１を覆うとともに、第１壁部１２３の第３方向におけるノズルプレート１３０とは反対側の部位が、基材１１３との間に共通室１１７を構成する所定の空間を形成して基材１１３を覆う。また、カバー部材１１５は第２壁部１２４が共通室１１７の第３方向一方側を覆う。カバー部材１１５は第３壁部が共通室１１７の第２方向の両端部を覆う。
すなわち、アクチュエータ部１１２において、カバー部材１１５によって、基材１１３とカバー部材１１５との間に共通室１１７が形成されるとともに、圧力室１１８の一方側が塞がれ、共通室１１７は圧力室１１８に連通する。

圧電部材１１４の共通室１１７側の面は、第１方向及び第３方向に対して傾斜する傾斜面１２５を有する。圧電部材１１４は、第２方向に直交する断面視が台形状に構成される。圧力室１１８の底面１２６と基材１１３の表面であるベース面１２７とが傾斜面１２５によって繋がる。例えば傾斜面１２５はベース面１２７や底面１２６に対して２０度〜７０度の範囲で傾斜する。

共通室１１７は、第２方向に延び、各アクチュエータ部１１２の第２方向の一方側から他方側に向けて、あるいは他方側から一方側に向けて、インクを流す経路を構成する。また、共通室１１７は第１方向に並列する複数の圧力室１１８に連通する。

各アクチュエータ部１１２において、第１方向における基材１１３と溝１２１との距離は、溝１２１の第１方向における深さ寸法よりも大きい。圧力室１１８は基材１１３の表面であるベース面１２７よりも第１方向における一方側の位置にある。さらに、圧力室１１８の底面１２６、すなわち圧力室１１８の第１方向におけるベース部１１０側の端部と、ベース面１２７とは、第１方向において圧力室１１８の深さｄ以上の大きさを有する。圧力室１１８の深さをｄとした場合、圧力室１１８の底面１２６とベース面１２７との間の第１方向の距離ＴはＴ＞ｄとなる。この段差寸法である距離Ｔの分、第１方向において、共通室１１７の寸法が、圧力室１１８の寸法よりも大きい。すなわち、共通室１１７は第３方向に直交する断面が圧力室１１８に対して第１方向に拡大する。

各圧力室１１８の内壁面には電極１２８が形成される。例えば電極１２８は圧力室１１８の底壁面と両側壁面に形成されている。電極１２８は、傾斜面１２５と、ベース面１２７と、に形成される配線１２９を介して回路基板ユニット１４０の回路基板１４１やフレキシブル配線基板１４２に形成された配線に接続され、さらに回路基板１４１、フレキシブル基板１３２を介して、ドライブＩＣ１４３に電気的に接続されている。

圧力室１１８の底面１２６と基材１１３のベース面１２７とが傾斜面１２５によって連続することから、これらの部位に同時に配線形成が可能である。

ノズルプレート１３０は、板状に構成され、第２方向に並ぶ複数のノズル１３１を有する。ノズルプレート１３０は、ノズル１３１が第２方向に複数配列されて構成されるノズル列を、一列以上、例えばアクチュエータ部１１２と同数列、備える。本実施形態において、各流路に１列ずつ、２色で２列のノズル列が配列されている。各ノズル１３１は、ノズルプレート１３０を第３方向に貫通する貫通孔である。ノズル１３１の軸方向は第３方向に沿う。

回路基板ユニット１４０は、第２方向においてベース部１１０を挟んで両側にそれぞれ設けられる。一対の回路基板ユニット１４０は、回路基板１４１と、フレキシブル配線基板１４２と、ドライブＩＣ１４３と、を備える。回路には各種電子部品やコネクタが搭載される。フレキシブル配線基板１４２は、第１方向において複数並列配置されている。複数のフレキシブル配線基板１４２には、ドライブＩＣ１４３が搭載される。フレキシブル配線基板１４２は、第３方向における一端側が回路基板１４１に、他端側がアクチュエータ部１１２に、それぞれ接続される。

ドライブＩＣ１４３は、フレキシブル配線基板１４２、及び回路基板１４１上の配線を介して、圧力室１１８に形成された電極１２８に、電気的に接続される。

以上のように構成された液体吐出ヘッド１００は、ドライブＩＣ１４３により駆動電圧をアクチュエータ部１１２の電極に印加して圧力室１１８の容積を増減することで、圧力室１１８に対向するノズル１３１から液滴を吐出させる。

以上のように構成された液体吐出ヘッド１００において、インクは、インクタンク２５１から、接続流路を通ってベース部１１０のインク流路１１１、基材１１３のインク通路１１６をそれぞれ通り、一対のアクチュエータ部１１２の共通室１１７から複数の圧力室１１８へ至る。そして、各圧力室１１８に対向配置されたノズル列のノズル１３１から吐出される。またインクは、圧力室１１８から共通室１１７、基材１１３のインク通路１１６、及びベース部１１０のインク流路１１１を経て、再びインクタンクに回収され、循環する。

以下、液体吐出ヘッド１００を有する液体吐出装置２００について、図７を参照して説明する。図７は液体吐出装置２００としてインクジェットプリンタの構成を示す説明図である。図７に示すように、液体吐出装置２００は、例えば記録媒体である用紙Ｐを搬送しながら画像形成等の各種処理を行う装置である。液体吐出装置２００は、外郭を構成する筐体２１０と、用紙供給部としての給紙カセット２１１と、排出部としての排紙トレイ２１２と、用紙Ｐを外面上に保持して回転することで液体吐出ヘッド１００に対して相対的に移動させる移動装置としての保持ローラ２１３と、搬送装置２１４と、保持装置２１５と、画像形成装置２１６と、除電剥離装置２１７と、複数の液体供給装置２１８と、を備える。

給紙カセット２１１は筐体２１０内部に設けられ、記録媒体としての用紙Ｐを保持する。
排紙トレイ２１２は、筐体２１０上部に設けられる。搬送装置２１４によって筐体２１０外に排出された用紙Ｐを支持する。

保持ローラ２１３は、軸方向に一定の長さを有する円筒状に構成されている。保持ローラ２１３は、その表面上に用紙Ｐを保持した状態で回転することにより用紙Ｐを搬送する。ここでは図７における時計回りに回転することにより用紙Ｐを外周に沿って時計回りに搬送する。

保持ローラ２１３の外周部分において上流側から下流側に向かって順番に、保持装置２１５と、画像形成装置２１６と、除電剥離装置２１７と、が設けられている。

搬送装置２１４は、搬送路に沿って設けられた複数のガイド部材２２１〜２２３や複数の搬送用ローラ２２４〜２２９を備える。これらの搬送用ローラ２２４〜２２９は搬送用モータに駆動されて回転することで、用紙Ｐを搬送路２０１に沿って下流側に送り、液体吐出ヘッド１００の対向位置に用紙Ｐを搬送する。搬送装置２１４は、給紙カセット２１１から保持ローラ２１３の外周を通って排紙トレイ２１２に至って形成される所定の搬送路に沿って用紙Ｐを搬送する。

保持装置２１５は、保持ローラ２１３の表面に対向配置される帯電ローラ２３７を備える。帯電ローラ２３７は、金属製の回転軸と、回転軸周りに配される導電ゴム層と、を有する円柱状に構成される。帯電ローラ２３７は電荷の供給状態の切り替えが可能であるとともに、保持ローラ２１３の表面に接離する方向に移動可能に構成される。帯電ローラ２３７は、高電圧発生回路に接続される。保持装置２１５は、用紙Ｐを保持ローラ２１３の外面に押圧し用紙Ｐを保持ローラ２１３の表面（外周面）に吸着させて保持させるとともに、帯電ローラ２３７が保持ローラ２１３に近接した状態で帯電ローラ２３７に電力を供給することで、用紙Ｐを保持ローラ２１３に吸着させる方向の静電気力を発生（帯電）させる。この静電気力により用紙Ｐを保持ローラ２１３の表面に吸着させる。

画像形成装置２１６は、帯電ローラ２３７よりも下流側であって保持ローラ２１３の表面の上方部分に対向配置された複数の液体吐出ヘッド１００を備える。複数の液体吐出ヘッド１００は、所定のピッチで設けられたノズルから用紙Ｐにインクを吐出して画像を形成するインクジェットヘッドである。

除電剥離装置２１７は、用紙Ｐを除電し保持ローラ２１３から剥離する。用紙Ｐの除電を行う除電装置２４１と、除電後に保持ローラ２１３の表面から用紙Ｐを剥離させる剥離装置２４２と、を備えている。除電剥離装置２１７は、用紙Ｐを除電し保持ローラ２１３から剥離する。

除電装置２４１は、画像形成装置２１６よりも用紙Ｐが搬送される方向に対して下流側に設けられ、帯電可能な除電ローラ２４３を備えている。除電装置２４１は、電荷を供給して用紙Ｐを除電することで、吸着力を解除して用紙Ｐを保持ローラ２１３から剥離しやすい状態にする。

剥離装置２４２は、除電装置２４１の下流側に設けられ、回動動作（移動）可能な分離ブレード２４５を備えている。分離ブレード２４５は用紙Ｐと保持ローラ２１３の間に挿入される剥離位置と、保持ローラ２１３から退避する退避位置との間で回動可能であり、剥離位置に配置された状態で用紙Ｐを保持ローラ２１３の表面から剥離させる。

液体供給装置２１８は各液体吐出ヘッド１００の各アクチュエータ部１１２に対してそれぞれ設けられる。液体供給装置２１８は、液体吐出ヘッド１００に接続されるインクタンク２５１と、供給機構としてのインクポンプ２５２と、圧力調整機構と、を備える。各インクタンク２５１はインク用の接続流路２５３を介して液体吐出ヘッド１００のインク流路１１１にそれぞれ接続される。複数の液体供給装置２１８はインクタンク２５１内のインクを液体吐出ヘッド１００との間で循環させる。

制御部２８０は、プロセッサの一例としてのＣＰＵ（中央制御装置）と、各種のプログラムなどを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイス部と、を備える。

液体吐出ヘッド１００及び液体吐出装置２００において、ノズル１３１から液体を吐出する駆動時には、制御部２８０は、ドライブＩＣ１４３により、アクチュエータ部１１２に駆動電圧を印加することで、圧力室の圧力を変化させ、各圧力室に対向配置されたノズル１３１からインク滴を吐出させる。

本実施形態によれば、小型で印刷性能の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供できる。液体吐出ヘッド１００において、圧力室１１８は、ベース面１２７よりも第１方向の一方側に配置されており、共通室１１７が圧力室１１８から第１方向にも拡大している。すなわち、段差の寸法である距離Ｔの分、第１方向において、共通室１１７の寸法が、圧力室１１８の寸法よりも大きくなっている。したがって、深さｄ以上の段差があることにより、圧力室１１８へのインク供給が、圧力室１１８の第１方向の両側からのみではなく第１方向からも供給されることにより、吐出性能の差異が生じにくくなる。例えば基材に対し圧力室及びカバーが近接して設置されている場合、圧力室に供給されるインクに対し共通室の断面積が小さくなり、吐出に対して悪影響が生じる。例えば隣接間で吐出するときに吐出速度差が生じたりするが、液体吐出ヘッド１００によれば、共通室１１７の断面積が確保できるため、吐出性能を向上できる。

また、液体吐出ヘッド１００によれば、共通室１１７と圧力室１１８との境界面が斜面になっているためインク供給の流れがスムースになり、吐出が安定する。さらに、傾斜面１２５によって、ベース面１２７と圧力室１１８の内面とに同時に配線１２９を形成できる。さらに配線を基材１１３上に設けることができ、基材１１３と同一平面上にドライブＩＣ１４３やＰＣ板等が実装でき、ヘッド厚みを小さくすることができる。すなわち、電気部品の実装を圧力室と垂直方向にするとヘッド幅が大きくなるが、本実施形態にかかる液体吐出ヘッド１００によれば、電気部品をベース面１２７と同一面に実装することで、ヘッド幅を小さくできる。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

上記実施形態において、カバー部材１１５が圧電部材１１４に対向配置される例を示したが、これに限られるものではない。例えば他の実施形態として図８及び図９に示すように、段差により圧力室１１８の底面１２６を基材１１２よりも第１方向一方側に配置するとともに、圧力室１１８を覆うカバー部材１１５の第１壁部と圧力室１１８の開口面との間にスペーサ１６０を設けるなどにより第１方向の両側に段差を形成してもよい。例えば、スペーサ１６０による段差の第１方向寸法をＨとした場合、Ｔ＋Ｈ＞ｄとする。第１方向において基材１１３と溝１１８との距離と、カバー部材１１５と圧電部材１２１との第１方向の距離との合計寸法は、第１方向における溝１１４の深さ寸法よりも大きい。スペーサ１６０は例えばマセライトなどの快削性セラミクスで構成された板状部材である。スペーサ１６０の第１方向寸法である厚さは、圧力室１１８の深さ以上とする。例えばＴ＞ｄであることが好ましい。Ｈ＞ｄであることが好ましい。本実施形態によれば、Ｔ＋Ｈが圧力室深さｄよりも大きいため、吐出はより安定する。

本実施形態においても、圧力室１１８の底面１２６と、共通室１１７の底部を構成する基材１１３の表面であるベース面１２７とを、第１方向に離れた位置とすることにより、共通室１１７の断面積を確保できる。さらに、スペーサ１６０を配することにより、共通室１１７の天井部と、圧力室１１８の天井部との位置を離間させることができ、第１方向の他方側にも共通室１１７を拡大して共通室１１７の断面積を確保できる。なお、スペーサ１６０は圧電部材１１４やカバー部材１１５の一部として構成されていてもよく、別体として構成されていてもよい。

上記第１実施形態において、２系統のインク流路を設ける例を示したがこれに限られるものではない。例えば１系統としてもよい。

液体吐出ヘッド１００として、液体を循環させるタイプのヘッドを例示したが、これに限られるものではなく、液体を循環させないタイプのヘッドにも適用可能である。

また、吐出する液体は印字用のインクに限られるものではなく、例えばプリント配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出する装置等であっても良い。

液体吐出ヘッドは、上記の他、例えば静電気で振動板を変形してインク滴を吐出する構造、あるいはヒータ等の熱エネルギーを利用してノズルからインク滴を吐出する構造等でもよい。

また、上記実施形態において、液体吐出ヘッドは、インクジェット記録装置等の液体吐出装置に用いられる例を示したが、これに限られるものではなく、例えば３Ｄプリンタ、産業用の製造機械、医療用途にも用いることが可能であり、小型軽量化及び低コスト化が可能である。

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、小型で印刷性能の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供できる。

なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１００…液体吐出ヘッド、１１０…ベース部、１１１…インク流路、１１２…アクチュエータ部、１１３…基材、１１４…圧電部材、１１５…カバー部材、１１６…インク通路、１１７…共通室、１１８…圧力室、１２１…溝、１２２…駆動素子部、１２３…第１壁部、１２４…第２壁部、１２５…傾斜面、１２６…底面、１２７…ベース面、１２８…電極、１２９…配線、１３０…ノズルプレート、１３１…ノズル、１３２…フレキシブル基板、１４０…回路基板ユニット、１４１…回路基板、１４２…フレキシブル配線基板、１４３…ドライブＩＣ、１５０…ヘッドカバー、１６０…スペーサ、２００…液体吐出装置、２０１…搬送路、２１０…筐体、２１１…給紙カセット、２１２…排紙トレイ、２１３…保持ローラ、２１４…搬送装置、２１５…保持装置、２１６…画像形成装置、２１７…除電剥離装置、２１８…液体供給装置、２２１〜２２３…ガイド部材、２２４〜２２９…搬送用ローラ、２３７…帯電ローラ、２４１…除電装置、２４２…剥離装置、２４３…除電ローラ、２４５…分離ブレード、２５１…インクタンク、２５２…インクポンプ、２５３…接続流路、２８０…制御部。

Claims (5)

1. 基材と、
   前記基材の第１方向一方側に配され、複数の溝を有する圧電部材と、を備え、
   前記第１方向における前記基材と前記溝との距離が、前記溝の前記第１方向における深さ寸法よりも大きい、液体吐出ヘッド。
2. 前記溝は前記第１方向と交差する第２方向に複数並んで配され、
   前記基材及び前記圧電部材の前記第１方向一方側に配され、前記溝の前記一方側を塞ぐとともに前記基材の表面との間に複数の前記溝に連通する共通室を構成する、カバー部材を備える、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１方向において、前記圧電部材と前記カバー部材との間にスペーサが配され、
   前記第１方向において、前記基材と前記溝との距離と、前記カバー部材と前記圧電部材との前記第１方向の距離との合計寸法は、前記第１方向における前記溝の深さ寸法よりも大きい、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記圧電部材は、前記溝の底面と前記基材の一方側の表面と連続する傾斜面を有し、
   前記傾斜面及び前記基材の表面に形成される配線を備え、
   前記配線に接続される電子部品が設けられる、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 基材と、前記基材の第１方向の一方側に配されるとともに、第１方向の一方側に圧力室を構成する溝を有する圧電部材と、を備えるとともに、前記第１方向における前記基材と前記溝との距離が、前記溝の前記第１方向における深さ寸法よりも大きい、液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドの対向位置に媒体を搬送する搬送装置と、を備える、液体吐出装置。

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