JP6289816B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Description

本発明は感光性樹脂組成物、およびその組成物から形成されたスペーサー、絶縁膜および保護膜に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, and a spacer, an insulating film, and a protective film formed from the composition.

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルター上の画素に相当する部分には、着色顔料を分散させた感光性樹脂が用いられており、ブラックマトリックスにも感光性樹脂が用いられている。   In recent years, liquid crystal display devices have attracted attention, and photosensitive resins are frequently used in the manufacturing process. For example, a photosensitive resin in which a color pigment is dispersed is used for a portion corresponding to a pixel on a color filter, and a photosensitive resin is also used for a black matrix.

従来、液晶表示パネルには所定の粒径を有するビーズをフォトスペーサーとして用い2枚の基板間に間隔を設けていた。しかし、これらのビーズはランダムに分散するため、色表示画素上に分布することにより光漏れ、入射光の散乱などが発生し液晶パネルのコントラストが低下するという問題があった。   Conventionally, in a liquid crystal display panel, beads having a predetermined particle diameter are used as a photo spacer to provide a gap between two substrates. However, since these beads are dispersed randomly, there is a problem that light leakage, scattering of incident light, etc. occur due to distribution on the color display pixels, and the contrast of the liquid crystal panel is lowered.

これらの問題を解消するため、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により画素間に位置するブラックマトリックス上に、柱状の樹脂性スペーサーを形成する方法が提案されている。このフォトスペーサーは画素を避けた位置に配置することができるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。   In order to solve these problems, a method has been proposed in which a columnar resinous spacer is formed on a black matrix located between pixels by a photolithographic method of partial pattern exposure and development using a photosensitive resin. . Since the photo spacer can be arranged at a position avoiding the pixels, it does not adversely affect the display quality as described above, and the display quality can be improved.

そして、さらなる表示品質の向上のために上記フォトスペーサーの高精細化が望まれている。しかし、高精細化に伴い弾性回復特性の低下、さらには、基板と密着性が低下しフォトスペーサーが剥離する現象が生じていた。
高精細化の方法として、硫黄原子含有化合物を添加する方法(例えば特許文献1)が開示されているが、微細なフォトスペーサーを形成すると密着性が著しく低下する。
In order to further improve display quality, higher definition of the photo spacer is desired. However, with the increase in definition, there has been a phenomenon in which the elastic recovery characteristic is lowered, and further, the adhesion with the substrate is lowered and the photo spacer is peeled off.
As a high definition method, a method of adding a sulfur atom-containing compound (for example, Patent Document 1) is disclosed. However, when a fine photospacer is formed, the adhesion is remarkably lowered.

一方、近年、液晶ディスプレイ(LCD)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって、滴下方式(ODF方式)(ODF:One Drop Fill)が提案されている。このODF方式では所定量の液晶を滴下した後に2枚の基板で挟持することによって液晶を注入するため、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。
しかし、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下して狭持するため、その際にガラス基板上に配置されたフォトスペーサーに圧力変化がかかる。この圧力変化に対して、形状が塑性変形しないよう、高い弾性回復特性を有することがフォトスペーサーに対して望まれる。
On the other hand, in recent years, a drop method (ODF: One Drop Fill) has been proposed in place of the conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method) as the mother glass for manufacturing a liquid crystal display (LCD) becomes larger. ing. In this ODF method, since a predetermined amount of liquid crystal is dropped and then liquid crystal is injected by being sandwiched between two substrates, the number of steps and the process time can be reduced as compared with the conventional vacuum suction method.
However, in the ODF system, a predetermined amount of liquid crystal calculated from the cell gap is dropped and held, so that a pressure change is applied to the photo spacer arranged on the glass substrate. It is desired for the photo spacer to have a high elastic recovery characteristic so that the shape does not plastically deform with respect to this pressure change.

このような高い弾性回復特性を得るためには、オルガノシリカゾルなどの無機微粒子をナノ分散させる方法(例えば特許文献2)や、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのような多官能モノマーの含有比率を50%以上に高めることによって高弾性を得る方法(例えば特許文献3)が知られている。
しかし、いずれの方法でも、フォトスペーサーとガラスなどの基板との密着性を低下させるため、高弾性と十分な密着性が両立し得る感光性樹脂組成物は得られていない。
In order to obtain such high elastic recovery characteristics, a method of nano-dispersing inorganic fine particles such as organosilica sol (for example, Patent Document 2), or a content ratio of a polyfunctional monomer such as dipentaerythritol hexaacrylate is 50% or more. A method (for example, Patent Document 3) is known in which high elasticity is obtained by increasing the thickness.
However, in any method, since the adhesiveness between the photo spacer and the substrate such as glass is lowered, a photosensitive resin composition capable of achieving both high elasticity and sufficient adhesiveness has not been obtained.

特開平10−274853号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-274853 特開2007−10885号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-10885 特開2002−174812号公報JP 2002-174812 A

本発明は硬化物が優れた弾性回復特性と密着性を有し、高精細なスペーサーの形成が可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the photosensitive resin composition in which hardened | cured material has the elastic recovery characteristic and adhesiveness which were excellent, and can form a high-definition spacer.

本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は下記4発明である。
(I) 親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、芳香族アミン(C1)、少なくとも1個のアルコキシ基を含有し下記一般式(2)で示されるシロキサン化合物(E)、および光重合開始剤(D)を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物
(II) (I)の感光性樹脂組成物を硬化させて表示素子上、カラーフィルター上もしくはパネル上に形成されたフォトスペーサー、絶縁膜または保護膜。
III) (II)のフォトスペーサー、絶縁膜もしくは保護膜を具備する表示素子、カラーフィルターまたはパネル。

Figure 0006289816
[式(2)中、R とR はそれぞれ独立にアルキル基、(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイロキシアルキル基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。R とR はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基または(メタ)アクリロイロキシ基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。繰り返し単位により1分子中にR とR が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR とn個のR のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。nは1〜20の整数である。] The inventors of the present invention have reached the present invention as a result of studies to achieve the above object.
That is, the present invention is the following four inventions.
(I) Hydrophilic resin (A), polyfunctional (meth) acrylate (B), aromatic amine (C1), siloxane compound (E) represented by the following general formula (2), which contains at least one alkoxy group And a photopolymerization initiator (D) as an essential component .
(II ) A photo spacer, insulating film or protective film formed on the display element, color filter or panel by curing the photosensitive resin composition of (I ) .
( III ) A display element, a color filter or a panel comprising the photospacer, insulating film or protective film of ( II ).
Figure 0006289816
[In Formula (2), R < 3 > and R < 4 > are respectively independently an alkyl group, a (meth) acryloyl group, or a (meth) acryloyloxyalkyl group, and carbon number of each functional group is 1-20. R 5 and R 6 are each independently an alkyl group, alkoxy group, aryl group, mercaptoalkyl group, aminoalkyl group, (meth) acryloyl group, (meth) acryloyloxyalkyl group, (meth) acryloyloxyalkoxy group or It is a (meth) acryloyloxy group, and each functional group has 1 to 20 carbon atoms. When a plurality of R 5 and R 6 are contained in one molecule by repeating units, they may be the same or different groups. However, at least one of n R 5 and n R 6 is an alkoxy group. n is an integer of 1-20. ]

本発明の感光性樹脂組成物は硬化物が優れた弾性回復特性と密着性を有し、高精細なフォトスペーサーを形成することができるという効果を奏する。   The photosensitive resin composition of the present invention has an effect that the cured product has excellent elastic recovery characteristics and adhesion, and can form a high-definition photospacer.

本第1発明の感光性樹脂組成物は、親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、芳香族アミン(C1)、および光重合開始剤(D)を必須成分として含有することを特徴とする。また、本第1および第2発明の感光性樹脂組成物を硬化させて得られるフォトスペーサー等の硬化物は優れた弾性回復特性を有し、ガラス基板との密着性に優れ、微小な形状を形成することができる。   The photosensitive resin composition of the first invention contains a hydrophilic resin (A), a polyfunctional (meth) acrylate (B), an aromatic amine (C1), and a photopolymerization initiator (D) as essential components. It is characterized by that. Further, a cured product such as a photospacer obtained by curing the photosensitive resin composition of the first and second inventions has excellent elastic recovery characteristics, excellent adhesion to a glass substrate, and a fine shape. Can be formed.

なお、本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレートまたはメタクリレート」を、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸またはメタクリル酸」を、「(メタ)アクリル樹脂」とは「アクリル樹脂またはメタクリル樹脂」を、「(メタ)アクリロイル基」とは「アクリロイル基またはメタクリロイル基」を、「(メタ)アクリロイロキシ基」とは「アクリロイロキシ基またはメタクリロイロキシ基」を意味する。   In this specification, “(meth) acrylate” means “acrylate or methacrylate”, “(meth) acrylic acid” means “acrylic acid or methacrylic acid”, and “(meth) acrylic resin” means “ “Acrylic resin or methacrylic resin”, “(meth) acryloyl group” means “acryloyl group or methacryloyl group”, and “(meth) acryloyloxy group” means “acryloyloxy group or methacryloyloxy group”.

以下において、本第1および第2発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である(A)、(B)、(C)、および(D)〔以下、(A)〜(D)と記載する。〕について順に説明する。なお、(C)とは(C1)および/または(C2)を意味する。
本発明における親水性樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトスペーサーの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。
In the following, (A), (B), (C), and (D) [hereinafter referred to as (A) to (D), which are essential components of the photosensitive resin compositions of the first and second inventions] To do. ] Will be described in order. (C) means (C1) and / or (C2).
The hydrophilicity index in the hydrophilic resin (A) in the present invention is defined by HLB. Generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
The HLB value of (A) is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 18, and particularly preferably 6 to 17. When it is 4 or more, the developing property is further improved when developing the photospacer, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

ここでの「HLB」とは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば「界面活性剤入門」〔2007年三洋化成工業株式会社発行、藤本武彦著〕212頁に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。
HLB値は有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB=10×無機性/有機性
HLBを導き出すための有機性の値及び無機性の値については前記「界面活性剤入門」213頁に記載の表の値を用いて算出できる。
Here, “HLB” is an index indicating a balance between hydrophilicity and lipophilicity, and is described in, for example, “Introduction to Surfactants” (published by Sanyo Chemical Industries, Ltd., 2007, Takehiko Fujimoto), page 212. It is known as the calculated value by the Oda method, not the calculated value by the Griffin method.
The HLB value can be calculated from the ratio between the organic value and the inorganic value of the organic compound.
HLB = 10 × inorganic / organic The organic value and the inorganic value for deriving HLB can be calculated using the values in the table described in the above “Introduction to Surfactant” page 213.

また、親水性樹脂(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)[(単位は(cal/cm312]は、好ましくは7〜14、さらに好ましくは8〜13、特に好ましくは9〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。 Further, the solubility parameter of the hydrophilic resin (A) (hereinafter, SP value of.) [(In (cal / cm 3) 1/ 2] is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, particularly preferably Is from 9 to 13. If it is 7 or more, the developability can be further improved, and if it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

なお、本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,February,1974,Vol.14,No.2,Robert F. Fedors(147〜154頁)」
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくい。
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, February, 1974, Vol. 14, No. 2, Robert F. Fedors (pp. 147-154)"
Those with close SP values are likely to mix with each other (highly dispersible), and those with a distant numerical value are difficult to mix.

親水性樹脂(A)が含有する親水性の官能基は、アルカリ現像性の観点から、カルボキシル基、エポキシ基、スルホン酸基、燐酸基が好ましく、より好ましくはカルボキシル基である。   From the viewpoint of alkali developability, the hydrophilic functional group contained in the hydrophilic resin (A) is preferably a carboxyl group, an epoxy group, a sulfonic acid group, or a phosphoric acid group, and more preferably a carboxyl group.

本発明で用いることができる親水性樹脂(A)の具体的な例としては、親水性エポキシ樹脂(A1)および親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)などがあげられる。   Specific examples of the hydrophilic resin (A) that can be used in the present invention include a hydrophilic epoxy resin (A1) and a hydrophilic (meth) acrylic resin (A2).

親水性エポキシ樹脂(A1)としては市販の品を入手して使用することができる。
親水性エポキシ樹脂(A1)は、通常の市販の親水性エポキシ樹脂でもいいし、さらに分子中に(メタ)アクリロイル基またはカルボキシル基を含有していてもよい。
例えば、分子中にさらに(メタ)アクリロイル基を導入するには、分子中にエポキシ基を有するノボラック型のエポキシ樹脂にアクリル酸やメタクリル酸を反応させればよいし、一方、カルボキシル基を導入するには、エポキシ樹脂にフタル酸や無水フタル酸などの多価カルボン酸や多価カルボン酸無水物を反応させればよい。(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基の両方を含有する親水性エポキシ樹脂は、ノボラック型のエポキシ樹脂に先に(メタ)アクリル酸を反応させ、次いで多価カルボン酸か多価カルボン酸無水物を付加させる方法があげられる。
A commercially available product can be obtained and used as the hydrophilic epoxy resin (A1).
The hydrophilic epoxy resin (A1) may be a normal commercially available hydrophilic epoxy resin, and may further contain a (meth) acryloyl group or a carboxyl group in the molecule.
For example, in order to further introduce a (meth) acryloyl group into a molecule, a novolac type epoxy resin having an epoxy group in the molecule may be reacted with acrylic acid or methacrylic acid, while a carboxyl group is introduced. For this, an epoxy resin may be reacted with a polyvalent carboxylic acid such as phthalic acid or phthalic anhydride or a polyvalent carboxylic anhydride. Hydrophilic epoxy resins containing both (meth) acryloyl and carboxyl groups are reacted with (meth) acrylic acid first on a novolak-type epoxy resin, and then added with a polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid anhydride. The method of making it.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)は既存の方法により(メタ)アクリル酸誘導体を含むモノマーを重合させることで得ることができる。   The hydrophilic (meth) acrylic resin (A2) can be obtained by polymerizing a monomer containing a (meth) acrylic acid derivative by an existing method.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)の製造方法としてはラジカル重合が好ましく、溶液重合法が分子量を調節しやすいため好ましい。   As a method for producing the hydrophilic (meth) acrylic resin (A2), radical polymerization is preferable, and a solution polymerization method is preferable because the molecular weight can be easily adjusted.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)を構成するモノマーとしては、(メタ)アクリル酸(a21)、(メタ)アクリル酸エステル(a22)等が挙げられる。   Examples of the monomer constituting the hydrophilic (meth) acrylic resin (A2) include (meth) acrylic acid (a21) and (meth) acrylic acid ester (a22).

(a22)としては、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸−2エチルヘキシル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の、アルキル基またはヒドロキシアルキル基の炭素数が1〜30の(メタ)アクリル酸アルキルおよびヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートが挙げられ、(メタ)アクリル酸メチル、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが好ましい。   As (a22), carbon number of alkyl group or hydroxyalkyl group such as methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, (meth) acrylate-2-ethylhexyl, hydroxyethyl (meth) acrylate, etc. is 1 to 30 alkyl (meth) acrylates and hydroxyalkyl (meth) acrylates may be mentioned, and methyl (meth) acrylate and hydroxyethyl (meth) acrylate are preferred.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)を構成するモノマーとしては、感光性樹脂組成物の硬化物の弾性回復特性の観点から、炭素数が8〜30の芳香環含有ビニル化合物(a23)を、(a21)、(a22)と併用してもよい。このような(a23)としてはスチレン等が挙げられる。   As a monomer constituting the hydrophilic (meth) acrylic resin (A2), an aromatic ring-containing vinyl compound (a23) having 8 to 30 carbon atoms from the viewpoint of the elastic recovery property of the cured product of the photosensitive resin composition, You may use together with (a21) and (a22). Examples of such (a23) include styrene.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)は、さらに硬化物の弾性回復特性を向上させる目的で、必要により(メタ)アクリロイル基を側鎖または末端に導入させることが好ましい。   In the hydrophilic (meth) acrylic resin (A2), it is preferable to introduce a (meth) acryloyl group into a side chain or a terminal as necessary for the purpose of further improving the elastic recovery property of the cured product.

側鎖に(メタ)アクリロイル基を導入する方法としては、例えば下記の(1)及び(2)の方法が挙げられる。   Examples of the method for introducing a (meth) acryloyl group into the side chain include the following methods (1) and (2).

(1)(a21)または(a22)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物((メタ)アクリロイロキシエチルイソシアネート等)を反応させる方法。 (1) A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an isocyanate group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a21) or (a22); A method of reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an isocyanate group (such as (meth) acryloyloxyethyl isocyanate).

(2)(a21)または(a22)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基(水酸基、カルボキシル基又は1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジル(メタ)アクリレート等)を反応させる方法。 (2) A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an epoxy group (such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a21) or (a22). And then reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an epoxy group (such as glycidyl (meth) acrylate).

これらの中で好ましくは親水性エポキシ樹脂(A1)であり、さらに好ましくは分子中に(メタ)アクリロイル基および/またはカルボキシル基を含有していてもよいノボラック型のエポキシ樹脂であり、特に好ましくは、現像性に優れることから、分子中に(メタ)アクリロイル基および/またはカルボキシル基を含有するノボラック型のエポキシ樹脂である。   Among these, a hydrophilic epoxy resin (A1) is preferable, and a novolak-type epoxy resin that may contain a (meth) acryloyl group and / or a carboxyl group in the molecule is particularly preferable. Since it is excellent in developability, it is a novolak type epoxy resin containing (meth) acryloyl group and / or carboxyl group in the molecule.

親水性樹脂(A)のゲルパーミエイションクロマトグラフィー(GPC)法による数平均分子量は、好ましくは1000〜30000、さらに好ましくは1500〜10000である。
本発明における数平均分子量は、GPC装置としてHLC−8320GPC(東ソー(株)製)を使用し、THF溶媒で、TSK標準ポリスチレン(東ソー(株)製)を基準物質として、測定温度:40℃、カラム:Alliance(ウォーターズ製)で測定したものである。また、解析ソフトとしてGPCワークステーションEcoSEC−WS(東ソー(株)製)を使用する。
The number average molecular weight by the gel permeation chromatography (GPC) method of the hydrophilic resin (A) is preferably 1000 to 30000, more preferably 1500 to 10000.
The number average molecular weight in the present invention uses HLC-8320GPC (manufactured by Tosoh Corp.) as a GPC device, THF solvent, TSK standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corp.) as a reference substance, measurement temperature: 40 ° C., Column: measured with Alliance (manufactured by Waters). Moreover, GPC workstation EcoSEC-WS (made by Tosoh Corporation) is used as analysis software.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物中の親水性樹脂(A)の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは5〜70重量%、さらに好ましくは20〜60重量%である。
5重量%以上では、感光性樹脂組成物のアルカリ現像性が良好であるためフォトスペーサーの形成が容易であり、70重量%以下であると、硬化物の弾性回復特性がより良好である。
The content of the hydrophilic resin (A) in the photosensitive resin compositions of the first and second inventions is preferably 5 to 70% by weight, more preferably based on the total weight of (A) to (D). Is 20 to 60% by weight.
If it is 5% by weight or more, formation of a photo spacer is easy because the alkali developability of the photosensitive resin composition is good, and if it is 70% by weight or less, the elastic recovery property of the cured product is better.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物の第2の必須成分である多官能(メタ)アクリレート(B)としては、公知の多官能(メタ)アクリレートであれば、とくに限定されずに用いられる。
このような多官能(メタ)アクリレート(B)としては、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)、4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)及び7〜10官能(メタ)アクリレート(B4)等が挙げられる。
例えば2官能(メタ)アクリレートとは、(メタ)アクリロイル基の数が2個であることを意味し、以下同様の記載法を用いる。
The polyfunctional (meth) acrylate (B) that is the second essential component of the photosensitive resin composition of the first and second inventions is not particularly limited as long as it is a known polyfunctional (meth) acrylate. Used.
As such polyfunctional (meth) acrylate (B), bifunctional (meth) acrylate (B1), trifunctional (meth) acrylate (B2), 4-6 functional (meth) acrylate (B3) and 7-10 A functional (meth) acrylate (B4) etc. are mentioned.
For example, bifunctional (meth) acrylate means that the number of (meth) acryloyl groups is two, and the same description method is used hereinafter.

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、例えば、炭素数2〜30の多価(好ましくは2〜8価)アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えば、エチレングリコールのジ(メタ)アクリレート、グリセリンのジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのジ(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−1,5−ペンタンジオールのジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−2−エチル−1,3−プロパンジオールのジ(メタ)アクリレート];炭素数2〜30の多価(好ましくは2〜8価)アルコールのアルキレンオキサイド(アルキレン基の炭素数2〜4)1〜30モル付加物と(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、グリセリンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート];OH基含有両末端エポキシアクリレート;および炭素数2〜30の多価アルコールと(メタ)アクリル酸と炭素数3〜30のヒドロキシカルボン酸のエステル化物[例えばヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート]等が挙げられる。   Examples of the bifunctional (meth) acrylate (B1) include esterified products of a polyhydric (preferably 2 to 8 valent) alcohol having 2 to 30 carbon atoms and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) of ethylene glycol. Acrylate, di (meth) acrylate of glycerol, di (meth) acrylate of trimethylolpropane, di (meth) acrylate of 3-hydroxy-1,5-pentanediol, 2-hydroxy-2-ethyl-1,3-propane Di (meth) acrylate of diol]; alkylene oxide (2 to 4 carbon atoms of alkylene group) of a polyhydric (preferably 2 to 8 valent) alcohol having 2 to 30 carbon atoms and (meth) acrylic Acid esterified products [for example, di (meth) acrylates and glycerides of ethylene oxide adducts of trimethylolpropane Di (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of ethylene]; epoxy acrylate containing both OH groups; and ester of polyhydric alcohol having 2 to 30 carbon atoms, (meth) acrylic acid and hydroxycarboxylic acid having 3 to 30 carbon atoms [For example, neopentyl glycol di (meth) acrylate hydroxypivalate] and the like.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、炭素数3〜30の3価以上(好ましくは3〜8価)アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばグリセリンのトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのトリ(メタ)アクリレート];および炭素数3〜30の3価以上(好ましくは3〜8価)のアルコールのアルキレンオキサイド(アルキレン基の炭素数2〜4)1〜30モル付加物と(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート]等が挙げられる。   The trifunctional (meth) acrylate (B2) may be an ester of an alcohol and (meth) acrylic acid having 3 to 30 carbon atoms (preferably 3 to 8) having 3 to 30 carbon atoms [for example, tri (meth) acrylate of glycerin, tri A tri (meth) acrylate of methylolpropane, a tri (meth) acrylate of pentaerythritol]; and an alkylene oxide of a trivalent or higher (preferably 3-8) valent alcohol having 3 to 30 carbon atoms (the number of carbon atoms of the alkylene group is 2 to 2). 4) 1-30 mol adduct and esterified product of (meth) acrylic acid [for example, tri (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane] and the like.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、炭素数5〜30の4価以上(好ましくは4〜8価)アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばペンタエリスリトールのテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールのヘキサ(メタ)アクリレート];および炭素数5〜30の4価以上(好ましくは4〜8価)のアルコールのアルキレンオキサイド(アルキレン基の炭素数2〜4)1〜30モル付加物と(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのプロピレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート]等が挙げられる。   As the tetra- to hexa-functional (meth) acrylate (B3), an esterified product of an alcohol and (meth) acrylic acid having 4 to 30 carbon atoms (preferably 4 to 8) having 5 to 30 carbon atoms [for example, tetra (meth) of pentaerythritol Acrylate, penta (meth) acrylate of dipentaerythritol, and hexa (meth) acrylate of dipentaerythritol]; and alkylene oxides of alkylene having 5 to 30 carbon atoms (preferably 4 to 8 valences) Carbonate 2-4) 1-30 mol adduct and esterified product of (meth) acrylic acid [for example, tetra (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of dipentaerythritol, penta (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of dipentaerythritol ) Propylene acrylate and dipentaerythritol Penta (meth) acrylate], etc. emissions oxide adducts.

7〜10官能の(メタ)アクリレート(B4)としては、例えばジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応により得られる化合物など、ジイソシアネートと上記の水酸基含有多官能(メタ)アクリレートとの反応により得ることができる。   Examples of the 7 to 10 functional (meth) acrylate (B4) include diisocyanate and the above hydroxyl group-containing polyfunctional (meth) acrylate such as a compound obtained by reaction of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and hexamethylene diisocyanate. It can obtain by reaction of.

弾性回復特性の点から、これらの中で好ましくは(B2)および(B3)であり、さらに好ましくは(B3)である。   Among these, (B2) and (B3) are preferable from the viewpoint of elastic recovery characteristics, and (B3) is more preferable.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物中の多官能(メタ)アクリレート(B)の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは20〜90重量%、さらに好ましくは30〜70重量%である。
20重量%以上では、硬化物の弾性回復特性がより良好であり、90重量%以下であると、感光性樹脂組成物の現像性がより良好であり、フォトスペーサーの形成が容易である。
The content of the polyfunctional (meth) acrylate (B) in the photosensitive resin composition of the first and second inventions is preferably 20 to 90% by weight based on the total weight of (A) to (D). More preferably, it is 30 to 70% by weight.
When it is 20% by weight or more, the elastic recovery property of the cured product is better, and when it is 90% by weight or less, the developability of the photosensitive resin composition is better and the formation of the photo spacer is easy.

本第1発明の感光性樹脂組成物の第3の必須成分である芳香族アミン(C1)としてはアミノ基を含有した芳香環含有化合物であればとくに限定されない。   The aromatic amine (C1), which is the third essential component of the photosensitive resin composition of the first invention, is not particularly limited as long as it is an aromatic ring-containing compound containing an amino group.

例えば、下記一般式(1)で表わされる化合物が好ましく用いられる。

Figure 0006289816
For example, a compound represented by the following general formula (1) is preferably used.
Figure 0006289816

[式(1)中、R1、R2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数が1〜20のアルキル基またはアリール基であり、同一でも異なる基であってもよい。Xは、炭素数が1〜20のアルキル基、アリール基、ヒドロキシル基、炭素数が1〜20のアルコキシ基、フェノキシ基またはアミノ基である。] [In Formula (1), R < 1 >, R < 2 > is respectively independently a hydrogen atom, a C1-C20 alkyl group, or an aryl group, The same or different group may be sufficient. X is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group, a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a phenoxy group, or an amino group. ]

芳香族アミン(C1)の具体例としては、アニリン、2,4,6−トリメチルアニリン、アニシジン、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステルなどが挙げられる。これらのうち、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルが特に好ましく用いられる。   Specific examples of the aromatic amine (C1) include aniline, 2,4,6-trimethylaniline, anisidine, p-dimethylaminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and the like. Is mentioned. Of these, p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester is particularly preferably used.

なお、芳香族アミン(C1)としては、硬化性の点から、その極大吸収波長が260nm〜360nmに存在する化合物が好ましく、極大吸収波長が280nm〜340nmに存在する化合物がさらに好ましい。   In addition, as aromatic amine (C1), the compound in which the maximum absorption wavelength exists in 260 nm-360 nm from a sclerosing | hardenable point is preferable, and the compound in which maximum absorption wavelength exists in 280 nm-340 nm is more preferable.

本第1発明の感光性樹脂組成物中の芳香族アミン(C1)の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは1〜20重量%、さらに好ましくは2〜15重量%である。
1重量%以上では、形成されるフォトスペーサーの解像度が良好であり、20重量%以下であると、光硬化性が向上し弾性回復特性がより良好となる。
The content of the aromatic amine (C1) in the photosensitive resin composition of the first invention is preferably 1 to 20% by weight, more preferably 2 to 2%, based on the total weight of (A) to (D). 15% by weight.
If it is 1% by weight or more, the resolution of the formed photospacer is good, and if it is 20% by weight or less, the photocurability is improved and the elastic recovery property is better.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物の第4の必須成分である光重合開始剤(D)としては公知の光ラジカル重合開始剤があげられる。(D)としては、硬化性の点から、その極大吸収波長が250〜400nmに存在する化合物が好ましく、極大吸収波長が350〜390nmに存在する化合物がさらに好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator (D) that is the fourth essential component of the photosensitive resin compositions of the first and second inventions include known photoradical polymerization initiators. (D) is preferably a compound having a maximum absorption wavelength of 250 to 400 nm, more preferably a compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 390 nm, from the viewpoint of curability.

光重合開始剤(D)としては、アセトフェノン誘導体(D1)、アシルフォスフィンオキサイド誘導体(D2)、チタノセン誘導体(D3)など、およびこれらの併用があげられる。   Examples of the photopolymerization initiator (D) include an acetophenone derivative (D1), an acyl phosphine oxide derivative (D2), a titanocene derivative (D3), and combinations thereof.

アセトフェノン誘導体(D1)としては、例えば、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ジメチルベンジルケタール、メチルベンゾイルフォーメート、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン]が挙げられる。   Examples of the acetophenone derivative (D1) include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2 -Methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, dimethylbenzyl ketal, methylbenzoylformate, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino Eniru) - butan-1-one] and the like.

アシルフォスフィンオキサイド誘導体(D2)としては、例えば、2,4,6,−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドが挙げられる。   Examples of the acylphosphine oxide derivative (D2) include 2,4,6, -trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide.

チタノセン誘導体(D3)としては、例えば、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエンー1―イル)−ビス(2,6ージフルオロー3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウムが挙げられる。   Examples of the titanocene derivative (D3) include bis (η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium. .

これら(D1)〜(D3)のうち、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドがよく用いられ、反応性の観点から2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドが好ましい。   Of these (D1) to (D3), 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino) Phenyl) -butan-1-one and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide are often used, and 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl)-from the viewpoint of reactivity 2-morpholino-1-propanone and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide are preferred.

光ラジカル重合開始剤(D)は、市販のものが容易に入手することができ、例えば2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンとしては、イルガキュア907、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドとしては、イルガキュア819(BASF社製)等が挙げられる。
これらの中で、硬化性の点から、好ましいものは、アシルフォスフィンオキサイド誘導体(D2)である。
As the radical photopolymerization initiator (D), a commercially available product can be easily obtained. For example, Irgacure 907 is used as 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone. Examples of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide include Irgacure 819 (manufactured by BASF).
Among these, the acyl phosphine oxide derivative (D2) is preferable from the viewpoint of curability.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物中の光重合開始剤(D)の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは1〜20重量%、さらに好ましくは2〜15重量%である。
1重量%以上では、光硬化性が向上するため好ましく、20重量%以下であると、フォトスペーサーとしたときのの解像度および弾性回復特性がより良好である。
The content of the photopolymerization initiator (D) in the photosensitive resin compositions of the first and second inventions is preferably 1 to 20% by weight based on the total weight of (A) to (D), and further Preferably it is 2 to 15% by weight.
If it is 1% by weight or more, it is preferable because photocurability is improved, and if it is 20% by weight or less, the resolution and the elastic recovery characteristic when it is used as a photospacer are better.

本第1および第2発明にかかる感光性樹脂組成物の、(A)〜(D)の合計重量に基づく光ラジカル重合性の炭素−炭素二重結合(C=C)の含有量は、好ましくは3.0〜8.0mmol/g、さらに好ましくは3.5〜7.6mmol/g、特に好ましくは4.0〜7.0mmol/gの範囲で用いられる。
3.0mmol/g以上では、光硬化性が十分であるため弾性回復特性がより良好であり、8.0mmol/g以下であると、硬化物のガラス基板などに対する密着性がより良好である。
The content of the photo-radically polymerizable carbon-carbon double bond (C = C) based on the total weight of (A) to (D) in the photosensitive resin composition according to the first and second inventions is preferably Is used in a range of 3.0 to 8.0 mmol / g, more preferably 3.5 to 7.6 mmol / g, and particularly preferably 4.0 to 7.0 mmol / g.
If it is 3.0 mmol / g or more, the photocurability is sufficient, so that the elastic recovery characteristic is better, and if it is 8.0 mmol / g or less, the adhesion of the cured product to a glass substrate or the like is better.

本第2発明は、親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、α−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)、および光重合開始剤(D)を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
なお、この第2発明は、第1発明の芳香族アミン(C1)がα−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)に構成がかわったものである。従って、親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、および光重合開始剤(D)は共通である。
第1発明と第2発明では、芳香族アミン(C1)を用いる第1発明の方が好ましい。
The second invention contains a hydrophilic resin (A), a polyfunctional (meth) acrylate (B), a compound (C2) that generates an α-aminoalkyl radical, and a photopolymerization initiator (D) as essential components. It is the photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
In the second invention, the configuration is changed to the compound (C2) in which the aromatic amine (C1) of the first invention generates an α-aminoalkyl radical. Accordingly, the hydrophilic resin (A), the polyfunctional (meth) acrylate (B), and the photopolymerization initiator (D) are common.
In the first invention and the second invention, the first invention using the aromatic amine (C1) is preferred.

このα−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)としては、イソプロピルアミン、N−メチル−2−プロピルアミン、N,N−ジメチルイソプロピルアミンなどが挙げられる。   Examples of the compound (C2) that generates this α-aminoalkyl radical include isopropylamine, N-methyl-2-propylamine, N, N-dimethylisopropylamine and the like.

また、α−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは1〜20重量%、さらに好ましくは1〜15重量%である。
なお、芳香族アミン(C1)とα−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)は併用しても差し支えなく、(C1)と(C2)の合計の含有量は、(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは1〜20重量%、さらに好ましくは2〜15重量%である。
上記範囲が好ましい理由は、(C1)の場合と同様である。
The content of the compound (C2) that generates an α-aminoalkyl radical is preferably 1 to 20% by weight, more preferably 1 to 15% by weight, based on the total weight of (A) to (D). is there.
The aromatic amine (C1) and the compound (C2) that generates an α-aminoalkyl radical may be used together, and the total content of (C1) and (C2) is (A) to (D). Is preferably 1 to 20% by weight, and more preferably 2 to 15% by weight, based on the total weight.
The reason why the above range is preferable is the same as in the case of (C1).

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物には、硬化物の弾性回復特性をより向上させる目的で、少なくとも1個のアルコキシ基を含有する下記の一般式(2)で示されるシロキサン化合物(E)をさらに含有させることが好ましい。
アルコキシ基を含有しないシロキサン化合物の場合は、硬化物の弾性回復特性を十分に向上させることができない。
In the photosensitive resin compositions of the first and second inventions, a siloxane compound represented by the following general formula (2) containing at least one alkoxy group for the purpose of further improving the elastic recovery property of the cured product It is preferable to further contain (E).
In the case of a siloxane compound that does not contain an alkoxy group, the elastic recovery characteristics of the cured product cannot be sufficiently improved.

Figure 0006289816
Figure 0006289816

[式(2)中、R3とR4はそれぞれ独立にアルキル基、(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイロキシアルキル基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。R5とR6はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基または(メタ)アクリロイロキシ基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。繰り返し単位により1分子中にR5とR6が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR5とn個のR6のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。nは1〜20の整数である。] [In Formula (2), R < 3 > and R < 4 > are respectively independently an alkyl group, a (meth) acryloyl group, or a (meth) acryloyloxyalkyl group, and carbon number of each functional group is 1-20. R 5 and R 6 are each independently an alkyl group, alkoxy group, aryl group, mercaptoalkyl group, aminoalkyl group, (meth) acryloyl group, (meth) acryloyloxyalkyl group, (meth) acryloyloxyalkoxy group or It is a (meth) acryloyloxy group, and each functional group has 1 to 20 carbon atoms. When a plurality of R 5 and R 6 are contained in one molecule depending on the repeating unit, they may be the same or different groups. However, at least one of n R 5 and n R 6 is an alkoxy group. n is an integer of 1-20. ]

式(2)中、 R3とR4はそれぞれ独立にアルキル基、(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイロキシアルキル基である。R3とR4に用いられるアルキル基としては直鎖アルキル基および分岐アルキル基が挙げられる。
直鎖アルキル基としてはメチル基、エチル基、ブチル基およびオクチル基などが挙げられ、分岐アルキル基としてはイソプロピル基、イソブチル基、2−エチルヘキシル基などが挙げられる。
In formula (2), R 3 and R 4 are each independently an alkyl group, a (meth) acryloyl group or a (meth) acryloyloxyalkyl group. Examples of the alkyl group used for R 3 and R 4 include a linear alkyl group and a branched alkyl group.
Examples of the linear alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a butyl group, and an octyl group. Examples of the branched alkyl group include an isopropyl group, an isobutyl group, and a 2-ethylhexyl group.

3とR4に用いられる(メタ)アクリロイル基としてはアクリロイル基およびメタクリロイル基が挙げられる。 Examples of the (meth) acryloyl group used for R 3 and R 4 include an acryloyl group and a methacryloyl group.

3とR4に用いられる(メタ)アクリロイロキシアルキル基としては1−アクリロイロキシプロピル基、1−メタクリロイロキシプロピル基などが挙げられる。 Examples of the (meth) acryloyloxyalkyl group used for R 3 and R 4 include a 1-acryloyloxypropyl group and a 1-methacryloyloxypropyl group.

式(2)中、R5とR6はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基または(メタ)アクリロイロキシ基であり、繰り返し単位により1分子中にR5とR6が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR5とn個のR6のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。
5とR6に用いられるアルキル基、(メタ)アクリロイル基および(メタ)アクリロイロキシアルキル基は、上記のR3とR4で説明したものと同じである。
In the formula (2), R 5 and R 6 are each independently an alkyl group, alkoxy group, aryl group, mercaptoalkyl group, aminoalkyl group, (meth) acryloyl group, (meth) acryloyloxyalkyl group, (meth) When it is an acryloyloxyalkoxy group or a (meth) acryloyloxy group and a plurality of R 5 and R 6 are contained in one molecule by a repeating unit, they may be the same or different groups. However, at least one of n R 5 and n R 6 is an alkoxy group.
The alkyl group, (meth) acryloyl group and (meth) acryloyloxyalkyl group used for R 5 and R 6 are the same as those described for R 3 and R 4 above.

5とR6に用いられるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、オクトキシ基などが挙げられる。これらのうち硬化性の観点からメトキシ基が好ましく用いられる。 Examples of the alkoxy group used for R 5 and R 6 include a methoxy group, an ethoxy group, a butoxy group, and an octoxy group. Of these, a methoxy group is preferably used from the viewpoint of curability.

5とR6に用いられるアリール基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基などが挙げられる。 Examples of the aryl group used for R 5 and R 6 include a phenyl group, a biphenyl group, and a naphthyl group.

5とR6に用いられるメルカプトアルキル基としてはメルカプトメチル基、メルカプトエチル基、メルカプトプロピル基が挙げられる。 Examples of the mercaptoalkyl group used for R 5 and R 6 include a mercaptomethyl group, a mercaptoethyl group, and a mercaptopropyl group.

5とR6に用いられるアミノアルキル基としてはアミノメチル基、アミノエチル基、アミノブチル基などが挙げられる。 Examples of the aminoalkyl group used for R 5 and R 6 include an aminomethyl group, an aminoethyl group, and an aminobutyl group.

5とR6に用いられる(メタ)アクリロイロキシ基としてはアクリロイロキシ基とメタクリロイロキシ基が挙げられる。 Examples of the (meth) acryloyloxy group used for R 5 and R 6 include an acryloyloxy group and a methacryloyloxy group.

5とR6に用いられる(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基としては1−アクリロイロキシプロポキシ基と1−メタクリロイロキシプロポキシ基が挙げられる。 Examples of the (meth) acryloyloxyalkoxy group used for R 5 and R 6 include a 1-acryloyloxypropoxy group and a 1-methacryloyloxypropoxy group.

シロキサン化合物(E)の繰り返し単位nとしては、化合物の反応性と保存安定性の観点から1〜20であり、1〜15が好ましい。   The repeating unit n of the siloxane compound (E) is 1 to 20 and preferably 1 to 15 from the viewpoints of the reactivity and storage stability of the compound.

感光性樹脂組成物の硬化性の観点から、シロキサン化合物(E)中には(メタ)アクリロイロキシ基または(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基が含有されていることが好ましい。
特に、式(2)中のR3とR4の少なくとも1個が(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイロキシアルキル基であることが好ましく、また、R5とR6の少なくとも1個が(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基または(メタ)アクリロイロキシ基であることが好ましい。
From the viewpoint of curability of the photosensitive resin composition, the siloxane compound (E) preferably contains a (meth) acryloyloxy group or a (meth) acryloyloxyalkoxy group.
In particular, at least one of R 3 and R 4 in the formula (2) is preferably a (meth) acryloyl group or a (meth) acryloyloxyalkyl group, and at least one of R 5 and R 6 is A (meth) acryloyl group, a (meth) acryloyloxyalkyl group, a (meth) acryloyloxyalkoxy group or a (meth) acryloyloxy group is preferred.

本発明において用いられるシロキサン化合物(E)は、シラン化合物を有機酸などの触媒と水の存在下で縮合反応させることで得ることができる。   The siloxane compound (E) used in the present invention can be obtained by subjecting a silane compound to a condensation reaction in the presence of a catalyst such as an organic acid and water.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物中のシロキサン化合物(E)の含有量は、フォトスペーサーの形成性と硬化物の弾性回復特性の観点から、(A)〜(D)の合計重量に対して、好ましくは25重量%以下、さらに好ましくは1〜22重量%、特に好ましくは5〜20重量%である。   The content of the siloxane compound (E) in the photosensitive resin compositions of the first and second inventions is the sum of (A) to (D) from the viewpoint of the photo-spacer formability and the elastic recovery characteristics of the cured product. Preferably it is 25 weight% or less with respect to a weight, More preferably, it is 1-22 weight%, Most preferably, it is 5-20 weight%.

本第1および第2発明の感光性樹脂組成物は、必要によりさらにその他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、無機微粒子、光増感剤、重合禁止剤、溶剤、増粘剤、表面調整剤、およびその他の添加剤(例えば、シランカップリング剤、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤および消臭剤等)が挙げられる。   The photosensitive resin compositions of the first and second inventions may further contain other components as necessary. Other components include inorganic fine particles, photosensitizers, polymerization inhibitors, solvents, thickeners, surface conditioners, and other additives (eg, silane coupling agents, fluorescent brighteners, yellowing inhibitors) , Antioxidants, antifoaming agents and deodorizing agents).

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、%は重量%、部は重量部を示す。尚、実施例1、3及び6は参考例である。 Hereinafter, although an example and a comparative example explain the present invention further, the present invention is not limited to these. Hereinafter, unless otherwise specified, “%” represents “% by weight” and “parts” represents “parts by weight”. Examples 1, 3 and 6 are reference examples.

製造例1 [親水性樹脂(A)の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN―102S」(日本化薬(株)製 エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、90℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部及びp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、90℃にて10時間反応させた。
反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、90℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで親水性樹脂含有量が50重量%となるように希釈して、親水性樹脂(A)として、アクリロイル基、カルボキシル基含有クレゾールノボラック型エポキシ樹脂の50%溶液(A−1)を得た。
この樹脂の固形分換算した酸価は88.4であった。GPCによる数平均分子量(Mn)は2,200であった。なお、SP値は11.3、HLB値は9.8であった。
Production Example 1 [Production of hydrophilic resin (A)]
In a glass flask equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction pipe, 200 parts of cresol novolac type epoxy resin “EOCN-102S” (epoxy equivalent 200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and propylene 245 parts of glycol monomethyl ether acetate were charged and heated to 90 ° C. to dissolve uniformly. Subsequently, 76 parts of acrylic acid (1.07 mol part), 2 parts of triphenylphosphine and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 90 ° C. for 10 hours.
The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mole part) of tetrahydrophthalic anhydride, reacted at 90 ° C. for 5 hours, and then the hydrophilic resin content was adjusted to 50% by weight with propylene glycol monomethyl ether acetate. Dilution was performed to obtain a 50% solution (A-1) of an acryloyl group- and carboxyl group-containing cresol novolac type epoxy resin as the hydrophilic resin (A).
The acid value in terms of solid content of this resin was 88.4. The number average molecular weight (Mn) by GPC was 2,200. The SP value was 11.3 and the HLB value was 9.8.

製造例2[少なくとも1個のアルコキシ基を含有し一般式(2)で示されるシロキサン化合物(E)の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部(0.2モル部)、ジフェニルジメトキシシラン160部(0.65モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを減圧下で2時間かけて除去し、アクリル変性シロキサン化合物(E−1)(Mn:2,100)を得た。
Production Example 2 [Production of siloxane compound (E) containing at least one alkoxy group and represented by the general formula (2)]
In a glass flask equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube, 46 parts (0.2 mole part) of 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 160 parts of diphenyldimethoxysilane (0 .65 mol parts), 45 g (2.5 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol parts) of oxalic acid, and heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. The methanol by-produced by hydrolysis was removed over 2 hours under reduced pressure to obtain an acrylic-modified siloxane compound (E-1) (Mn: 2,100).

実施例1〜7および比較例1〜3
表1の配合部数に従い、ガラス製の容器に製造例1で製造した親水性樹脂の溶液(A−1)を仕込み、下記の(B−1)、(B−2)、(B’−1)、(C−1)、(C−2)、(D−1)、および(D−2)、さらに製造例2で製造したシロキサン化合物(E−1)を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して、実施例1〜7の感光性樹脂組成物、および比較例1〜3の感光性樹脂組成物を得た。
Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3
The hydrophilic resin solution (A-1) produced in Production Example 1 was charged into a glass container according to the number of blended parts in Table 1, and the following (B-1), (B-2), (B'-1) ), (C-1), (C-2), (D-1), and (D-2), and the siloxane compound (E-1) produced in Production Example 2, and stirring until uniform. Furthermore, an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) was added to obtain the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 and the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 to 3.

Figure 0006289816
Figure 0006289816

なお、表1中の化学品の詳細は以下の通りである。
(B−1):ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(「ネオマーDA−600」:三洋化成工業(株)社製)
(B−2):ペンタエリスリトールトリアクリレート(「ライトアクリレートPE−3A」:共栄社化学(株)社製)
(B’−1):フェノキシエチルアクリレート(「ライトアクリレートPO−A」:共栄社化学(株)社製)
(C−1):p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル(「カヤキュアーEPA」:日本化薬(株)社製、極大吸収波長:310nm)
(C−2):イソプロピルアミン
(D−1):「イルガキュア819」(ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド:BASF社製、極大吸収波長:370nm)
(D−2):「ルシリンTPO」(2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイド:BASF社製、極大吸収波長:380nm)
The details of the chemicals in Table 1 are as follows.
(B-1): Dipentaerythritol pentaacrylate (“Neomer DA-600”: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.)
(B-2): Pentaerythritol triacrylate ("Light acrylate PE-3A": manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
(B′-1): Phenoxyethyl acrylate (“Light acrylate PO-A”: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
(C-1): p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester (“Kayacure EPA”: Nippon Kayaku Co., Ltd., maximum absorption wavelength: 310 nm)
(C-2): Isopropylamine (D-1): “Irgacure 819” (bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide: manufactured by BASF, maximum absorption wavelength: 370 nm)
(D-2): “Lucirin TPO” (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide: manufactured by BASF, maximum absorption wavelength: 380 nm)

以下に性能評価の方法を説明する。
[フォトスペーサーの作製]
10cm×10cm四方のガラス基板上にスピンコーターにより感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥し、乾燥膜厚5μmの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で80℃、3分間加熱した。得られた塗膜に対し、1cm2あたり10,000個、直径7、8、9および10μmの開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを通して超高圧水銀灯の光を60mJ/cm2照射した(i線換算で照度22mW/cm2)。
なお、マスクと基板の間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後0.05%KOH水溶液を用いてアルカリ現像した。水洗したのち、230℃で30分間ポストベークを行い、ガラス基板上に1cm2あたり10,000個のフォトスペーサーを形成した。
なお、マスク開口径を調整することにより所望の下底径を有するフォトスペーサーを形成することができる。
The performance evaluation method will be described below.
[Production of photo spacer]
The photosensitive resin composition was applied on a 10 cm × 10 cm square glass substrate by a spin coater and dried to form a coating film having a dry film thickness of 5 μm. This coating film was heated on a hot plate at 80 ° C. for 3 minutes. The obtained coating film was irradiated with 60 mJ / cm 2 of light from an ultrahigh pressure mercury lamp through a plurality of masks for forming a photospacer having 10,000 openings per cm 2 and diameters of 7, 8, 9 and 10 μm. (Illuminance 22 mW / cm 2 in terms of i-line).
In addition, the exposure (exposure gap) between the mask and the substrate was 100 μm.
Thereafter, alkali development was performed using a 0.05% aqueous KOH solution. After washing with water, post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form 10,000 photospacers per 1 cm 2 on the glass substrate.
Note that a photo spacer having a desired lower base diameter can be formed by adjusting the mask opening diameter.

[密着性の評価]
LCDの小型化・高精細化に伴い、基板上に作製されるフォトスペーサーのサイズに10μmあるいはそれ以下のサイズが要求されるようになってきた。ところが、基板とフォトスペーサーとの接地面積が小さいほど、高い密着性が必要となる。
すなわち密着性が高いフォトスペーサーほど、スペーサーの下底径が小さくなっても、擦りなどによって剥がれにくくなる性能に優れる。
そこで密着性は、スペーサーの下底径を直径8μmに設定し、以下の綿棒こすり試験によって評価することとした。
[Evaluation of adhesion]
With the miniaturization and high definition of the LCD, the size of the photo spacer manufactured on the substrate is required to be 10 μm or less. However, the smaller the ground contact area between the substrate and the photo spacer, the higher the adhesion is required.
In other words, a photo spacer with higher adhesion is more excellent in performance that is less likely to be peeled off by rubbing or the like even if the lower bottom diameter of the spacer is smaller.
Therefore, the adhesiveness was evaluated by setting the bottom bottom diameter of the spacer to 8 μm in diameter and performing the following swab rubbing test.

上記の直径7、8、9および10μmの開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを用いて作製したフォトスペーサーから下底径が直径8μmとなったマスクだけを選定し、下記の密着性試験を行った。
(1)フォトスペーサーを形成したガラス基板の裏側に油性ペンで縦1cm、横1cmの十文字の印を付ける。
(2)アセトンをしみ込ませた綿棒で、十文字の印の付いたガラス基板の表側の表面を、まず縦線の上から下方向に毎秒2cmの速度で10回擦りつける。
次に横線の左から右方向に毎秒2cmの速度で10回擦りつける。
(3)上記(2)において擦った部分が交差する箇所を、光学顕微鏡で剥離せずに残存するフォトスペーサーの数を数える。
なお、1個も剥がれがない場合はガラス基板上には1mm2あたり100個(10個×10個)のスペーサーが存在する。
Select only a mask having a bottom base diameter of 8 μm from the photo spacers prepared using a plurality of masks for forming photo spacers having openings with diameters of 7, 8, 9 and 10 μm, and have the following adhesion properties: A test was conducted.
(1) A cross mark of 1 cm in length and 1 cm in width is marked with an oil-based pen on the back side of the glass substrate on which the photospacer is formed.
(2) First, rubbing the surface of the front side of the glass substrate marked with a cross with a cotton swab soaked with acetone 10 times from the top of the vertical line downward at a speed of 2 cm per second.
Next, rubbing 10 times from the left of the horizontal line to the right at a speed of 2 cm per second.
(3) The number of photo spacers remaining without peeling off the portion where the rubbed portions in (2) intersect with each other is counted with an optical microscope.
In the case where no peeling occurs, there are 100 (10 × 10) spacers per mm 2 on the glass substrate.

判定基準は以下の通りである。
◎:剥がれたスペーサーの個数が100個中5個以下
○:剥がれたスペーサーの個数が100個中6〜9個
×:剥がれたスペーサーの個数が100個中10個以上
Judgment criteria are as follows.
◎: The number of spacers peeled off is 5 or less out of 100 ○: The number of spacers peeled off is 6 to 9 out of 100 ×: The number of spacers peeled off is 10 or more out of 100

[弾性回復特性の評価]
フォトスペーサーの弾性回復特性は、下記数式(1)で定義された一定の圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができる。弾性回復率(%)の値の高い方が弾性回復特性に優れる。
弾性回復特性は0.5mN/μm2の圧力条件下での弾性回復率を測定して評価した。
[Evaluation of elastic recovery characteristics]
The elastic recovery characteristic of the photospacer can be evaluated by the “elastic recovery rate” when a certain pressure defined by the following formula (1) is applied. The higher the elastic recovery rate (%), the better the elastic recovery characteristics.
The elastic recovery characteristic was evaluated by measuring the elastic recovery rate under a pressure condition of 0.5 mN / μm 2 .

(1)ガラス基板上に形成したフォトスペーサーのうち任意に選択した1個のフォトスペーサーに対し、微小硬度計(フィッシャーインストルメンツ社製;「フィッシャースコープH−100」)と断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)を用いて、荷重をかけたときと戻したときの変形量を測定した。
この際に、0.017mN/μm2・秒の負荷速度で、30秒かけて0.5mN/μm2まで荷重をかけ、5秒間保持した。
荷重がかかった状態でのフォトスペーサーの初期位置からの変形量を測定した。このときの変化量を総変形量T0(μm)とする。
(2)次に、0.017mN/μm2・秒の除荷速度で30秒かけて荷重を0まで解除し、その状態で5秒間保持した。この時のフォトスペーサーの変形量を塑性変形量T1(μm)とする。
(3)上記のようにして測定したT0とT1から、下記数式(1)を用いて弾性回復率を算出した。
(1) A micro hardness tester (Fischer Instruments, Inc .; “Fischer Scope H-100”) and a planar indenter having a square cross section for one photo spacer selected arbitrarily from among photo spacers formed on a glass substrate. (50 μm × 50 μm) was used to measure the amount of deformation when a load was applied and when the load was returned.
At this time, a load was applied to 0.5 mN / μm 2 over 30 seconds at a load speed of 0.017 mN / μm 2 · sec and held for 5 seconds.
The amount of deformation from the initial position of the photospacer in a state where a load was applied was measured. The amount of change at this time is defined as a total deformation amount T 0 (μm).
(2) Next, the load was released to 0 over 30 seconds at an unloading speed of 0.017 mN / μm 2 · sec, and the state was maintained for 5 seconds. The deformation amount of the photo spacer at this time is defined as a plastic deformation amount T 1 (μm).
(3) From the T 0 and T 1 measured as described above, the elastic recovery rate was calculated using the following formula (1).

弾性回復率(%)=[(T0−T1)/T0]×100 (1) Elastic recovery rate (%) = [(T 0 −T 1 ) / T 0 ] × 100 (1)

弾性回復率の値から下記の判定基準により、弾性回復特性を以下のように判定した。
◎:75%以上
○:70%以上75%未満
×:70%未満
From the value of the elastic recovery rate, the elastic recovery characteristics were determined as follows according to the following criteria.
◎: 75% or more ○: 70% or more and less than 75% ×: less than 70%

[解像度の評価]
LCDの小型化・高精細化が進み、画素サイズが小さくなってきたことから、微細なフォトスペーサーを形成することができる、すなわち解像度として、10μmあるいはそれ以下のサイズでのパターニングが要求されるようになってきた。
すなわち解像度が高いスペーサーほど、マスクの開口径が小さくなっても、マスクの開口径と同じ大きさのフォトスペーサーを形成できる性能に優れる。
そこで解像度は、マスクの開口径を10μmに設定し、上記の方法によりフォトスペーサーを形成したときのフォトスペーサーの下底径を測定することで評価した。
[Resolution evaluation]
As LCDs have become smaller and higher definition, and the pixel size has become smaller, fine photo spacers can be formed. That is, patterning with a resolution of 10 μm or less is required as the resolution. It has become.
That is, the higher the resolution, the better the performance of forming a photo spacer having the same size as the mask opening diameter even if the mask opening diameter is reduced.
Therefore, the resolution was evaluated by measuring the lower base diameter of the photo spacer when the photo spacer was formed by the above method with the opening diameter of the mask set to 10 μm.

上記のフォトスペーサーの作製において、フォトマスクとして、直径9μmの代わりに直径10μmの開口径を有するパターンのフォトマスクを使用した以外は上記と同様の方法によりガラス基板上にフォトスペーサーを形成した。
レーザー顕微鏡にてフォトスペーサーの下底径を測定し、これを解像度の評価とした。下底径が小さいほど解像度が高いといえる。
In the production of the photospacer, a photospacer was formed on a glass substrate by the same method as described above except that a photomask having a pattern having an opening diameter of 10 μm was used instead of 9 μm in diameter.
The lower base diameter of the photo spacer was measured with a laser microscope, and this was used as an evaluation of resolution. It can be said that the smaller the bottom diameter, the higher the resolution.

スペーサーの下底径による判定基準は以下の通りである。
○:11μm未満
×:11μm以上
Criteria based on the lower base diameter of the spacer are as follows.
○: Less than 11 μm ×: 11 μm or more

本第1または第2発明の実施例1〜7の感光性樹脂組成物は、表1に示す通り密着性、弾性回復特性および解像度のすべての点で優れている。
その一方で、多官能(メタ)アクリレート(B)を含有しない比較例1は、弾性回復特性および解像度を満足しない。また、多官能(メタ)アクリレート(B)の代わりに単官能アクリレートを用いた比較例2では、弾性回復特性を満足しない。また、芳香族アミン(C1)およびα−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)のいずれもを含有しない比較例3では解像度を満足しない。
As shown in Table 1, the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 of the first or second invention are excellent in all points of adhesion, elastic recovery characteristics, and resolution.
On the other hand, the comparative example 1 which does not contain a polyfunctional (meth) acrylate (B) does not satisfy elastic recovery characteristics and resolution. Further, Comparative Example 2 using a monofunctional acrylate instead of the polyfunctional (meth) acrylate (B) does not satisfy the elastic recovery property. Further, Comparative Example 3 containing neither the aromatic amine (C1) nor the compound (C2) that generates an α-aminoalkyl radical does not satisfy the resolution.

本発明の感光性樹脂組成物は、硬化後の弾性回復特性とガラス基板に対する密着性に優れるため、表示素子上、カラーフィルター上またはパネル上で、フォトスペーサー、絶縁膜または保護膜として硬化させて、表示素子用フォトスペーサー、カラーフィルタ保護膜、タッチパネル保護膜またはタッチパネル絶縁膜形成レジストとして好適に使用できる。さらに、その他にも各種のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤又はハードコート材などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。   Since the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in elastic recovery characteristics after curing and adhesion to a glass substrate, it is cured as a photospacer, insulating film or protective film on a display element, color filter or panel. It can be suitably used as a photo spacer for display elements, a color filter protective film, a touch panel protective film, or a touch panel insulating film forming resist. Furthermore, it is also suitable as a photosensitive resin composition for various other resist materials such as a photo solder resist, a photosensitive resist film, a photosensitive resin relief plate, a screen plate, a photoadhesive or a hard coat material.

Claims (7)

親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、芳香族アミン(C1)、少なくとも1個のアルコキシ基を含有し下記一般式(2)で示されるシロキサン化合物(E)、および光重合開始剤(D)を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0006289816
[式(2)中、R とR はそれぞれ独立にアルキル基、(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイロキシアルキル基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。R とR はそれぞれ独立にアルキル基、アルコキシ基、アリール基、メルカプトアルキル基、アミノアルキル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、(メタ)アクリロイロキシアルコキシ基または(メタ)アクリロイロキシ基であり、各官能基の炭素数は1〜20である。繰り返し単位により1分子中にR とR が複数個含まれる場合はそれぞれ同一でも異なる基であってもよい。ただし、n個のR とn個のR のうち、少なくとも1個はアルコキシ基である。nは1〜20の整数である。]
Hydrophilic resin (A), polyfunctional (meth) acrylate (B), aromatic amine (C1), siloxane compound (E) represented by the following general formula (2) containing at least one alkoxy group, and light A photosensitive resin composition comprising a polymerization initiator (D) as an essential component.
Figure 0006289816
[In Formula (2), R < 3 > and R < 4 > are respectively independently an alkyl group, a (meth) acryloyl group, or a (meth) acryloyloxyalkyl group, and carbon number of each functional group is 1-20. R 5 and R 6 are each independently an alkyl group, alkoxy group, aryl group, mercaptoalkyl group, aminoalkyl group, (meth) acryloyl group, (meth) acryloyloxyalkyl group, (meth) acryloyloxyalkoxy group or It is a (meth) acryloyloxy group, and each functional group has 1 to 20 carbon atoms. When a plurality of R 5 and R 6 are contained in one molecule by repeating units, they may be the same or different groups. However, at least one of n R 5 and n R 6 is an alkoxy group. n is an integer of 1-20. ]
該芳香族アミン(C1)が下記一般式(1)で表される化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
Figure 0006289816
[式(1)中、R、Rはそれぞれ独立に水素原子、炭素数が1〜20のアルキル基またはアリール基であり、同一でも異なる基であってもよい。Xは、炭素数が1〜20のアルキル基、アリール基、ヒドロキシル基、炭素数が1〜20のアルコキシ基、フェノキシ基またはアミノ基である。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the aromatic amine (C1) is a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0006289816
[In Formula (1), R < 1 >, R < 2 > is respectively independently a hydrogen atom, a C1-C20 alkyl group, or an aryl group, The same or different group may be sufficient. X is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group, a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a phenoxy group, or an amino group. ]
該芳香族アミン(C1)の極大吸収波長が260nm〜360nmに存在する請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 in which the maximum absorption wavelength of this aromatic amine (C1) exists in 260 nm-360 nm. 該光重合開始剤(D)の極大吸収波長が250〜400nmに存在する請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-3 in which the maximum absorption wavelength of this photoinitiator (D) exists in 250-400 nm. 該光重合開始剤(D)がアシルフォスフィンオキサイド誘導体である請求項1〜4いずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the photopolymerization initiator (D) is an acylphosphine oxide derivative. 感光性樹脂組成物の(A)、(B)、(C)、および(D)の合計重量に基づく光ラジカル重合性の炭素―炭素二重結合(C=C)の含有量が3.0〜8.0mmol/gである請求項1〜5いずれか記載の感光性樹脂組成物。   The content of the photo-radically polymerizable carbon-carbon double bond (C = C) based on the total weight of (A), (B), (C), and (D) of the photosensitive resin composition is 3.0. It is -8.0 mmol / g, The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-5. 感光性樹脂組成物の(A)、(B)、(C)、および(D)の合計重量に基づいて、該親水性樹脂(A)を5〜70重量%、該多官能(メタ)アクリレート(B)を20〜90重量%、該芳香族アミン(C1)と該α−アミノアルキルラジカルを発生する化合物(C2)の合計量を1〜20重量%、および該光重合開始剤(D)を1〜20重量%含有する請求項1〜6いずれか記載の感光性樹脂組成物。   Based on the total weight of (A), (B), (C), and (D) of the photosensitive resin composition, 5 to 70% by weight of the hydrophilic resin (A) and the polyfunctional (meth) acrylate 20 to 90% by weight of (B), 1 to 20% by weight of the total amount of the aromatic amine (C1) and the compound (C2) that generates the α-aminoalkyl radical, and the photopolymerization initiator (D) The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-6 containing 1-20 weight%.
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