JP2008116488A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition Download PDF

Info

Publication number
JP2008116488A
JP2008116488A JP2006296791A JP2006296791A JP2008116488A JP 2008116488 A JP2008116488 A JP 2008116488A JP 2006296791 A JP2006296791 A JP 2006296791A JP 2006296791 A JP2006296791 A JP 2006296791A JP 2008116488 A JP2008116488 A JP 2008116488A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
meth
photosensitive resin
resin composition
acid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006296791A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4231076B2 (en
Inventor
Yusuke Yamamoto
祐介 山本
Takuo Oike
拓郎 大池
Shinya Adachi
慎弥 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Sanyo Chemical Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Chemical Industries Ltd filed Critical Sanyo Chemical Industries Ltd
Priority to JP2006296791A priority Critical patent/JP4231076B2/en
Priority to TW096105737A priority patent/TWI396941B/en
Priority to KR1020070016497A priority patent/KR101311505B1/en
Publication of JP2008116488A publication Critical patent/JP2008116488A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4231076B2 publication Critical patent/JP4231076B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for photospacers having good alkali developability and forming a cured product having excellent flexibility and elastic recovery characteristics. <P>SOLUTION: The alkali developable photosensitive resin composition (Q) for photospacers comprises a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), a polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups and a photo-radical polymerization initiator (D), wherein the polysiloxane (C) is a condensate comprising a silane compound (c1) represented by a general formula (1) as an essential constituent monomer. R<SP>1</SP>is one or more organic groups selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group and an aminoalkyl group, each of which has a 1-6C alkyl group; R<SP>2</SP>is a 1-12C aliphatic saturated hydrocarbon group or a 6-12C aromatic hydrocarbon group; R<SP>3</SP>is a 1-4C alkyl group; and m is 0 or 1. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光照射を含む工程により硬化し、アルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物と、該組成物を用いて形成した液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサに関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition for a photospacer that is cured by a process including light irradiation and is capable of alkali development, and a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed using the composition. It is.

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルタ上の画素に相当する部分は、着色顔料分散レジストであり、ブラックマトリックスにもレジストが使用されている。そのような部分に使用されるレジストとしては、マスクを通して感光すると、光が照射された部分のみが固まり、現像により未露光部が剥離されるいわゆるネガ型レジストが多用されている。   In recent years, liquid crystal display devices have attracted attention, and photosensitive resins are frequently used in the manufacturing process. For example, the portion corresponding to the pixel on the color filter is a color pigment dispersion resist, and the resist is also used for the black matrix. As a resist used for such a portion, a so-called negative resist is often used in which only a portion irradiated with light is hardened when exposed through a mask and an unexposed portion is peeled off by development.

さて、液晶表示装置技術においては、カラーフィルタ側基板と薄膜トランジスタ(TFT)側基板の両基板間に液晶層の厚みを保つために、スペーサと呼ばれるガラス又は樹脂製の透明球状体粒子(ビーズ)をセル内部に散布している。このスペーサは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサが入っていると、黒色表示時にスペーサ粒子を介して光が漏れてしまい、また、液晶が封入されている両基板間にスペーサ粒子が存在することによって、スペーサ粒子近傍の液晶分子の配向が乱され、この部分で光漏れを生じ、液晶表示装置のコントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼすといった問題を有している。また、例えば、強誘電性液晶のように、両基板間の間隔(液晶層の厚み)が狭い液晶表示装置においては、このスペーサ粒子を用いて両基板間の間隔を均一に精度よく保ことは困難なことである。   Now, in the liquid crystal display device technology, in order to maintain the thickness of the liquid crystal layer between both the color filter side substrate and the thin film transistor (TFT) side substrate, glass or resin transparent spherical particles (beads) called spacers are used. Sprayed inside the cell. Since these spacers are transparent particles, if there is a liquid crystal and a spacer in the pixel, light leaks through the spacer particles during black display, and both substrates in which the liquid crystal is sealed The presence of the spacer particles between them disturbs the orientation of the liquid crystal molecules in the vicinity of the spacer particles, causing light leakage at this portion, resulting in a decrease in the contrast of the liquid crystal display device and adversely affecting the display quality. Yes. Also, for example, in a liquid crystal display device in which the distance between the two substrates (the thickness of the liquid crystal layer) is narrow, such as a ferroelectric liquid crystal, the distance between the two substrates can be maintained uniformly and accurately using this spacer particle. It is difficult.

これに対しては、例えば、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により、所望の位置、例えば、画素間に位置する格子パターン状のブラックマトリクス上に、柱状の樹脂製スペーサを形成する方法が提案されている。このようなスペーサを以下フォトスペーサという。このフォトスペーサは、画素を避けた位置に形成できるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。   For this, for example, a photosensitive resin is used, and a columnar resin is formed on a black matrix in a lattice pattern located between pixels at a desired position by a photolithography method such as partial pattern exposure and development. There has been proposed a method of forming a spacer. Such a spacer is hereinafter referred to as a photo spacer. Since the photo spacer can be formed at a position avoiding the pixels, it does not adversely affect the display quality as described above, and the display quality can be improved.

一方、近年、LCD(Liquid Crystal Display)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって滴下方式(ODF方式)(ODF:One Drop Fill)が提案されている。ODF方式では、所定量の液晶を滴下した後、基板で挟持することによって液晶を注入するため 、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。しかしながら、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下し、狭持するため、高さのばらつきを補正する柔軟性と、その際に掛かる面内での微妙な圧力差に影響しないような弾性特性を有することがフォトスペーサに対して望まれる。   On the other hand, in recent years, as the mother glass for LCD (Liquid Crystal Display) production becomes larger, a dripping method (ODF method) (ODF: One Drop Fill) has been proposed instead of the conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method). ing. In the ODF method, after a predetermined amount of liquid crystal is dropped, the liquid crystal is injected by being sandwiched between substrates, so that the number of processes and the process time can be reduced as compared with the conventional vacuum suction method. However, in the ODF method, a predetermined amount of liquid crystal calculated from the cell gap is dropped and held, so that the flexibility of correcting the height variation and the subtle pressure applied in the plane are applied. It is desirable for photo spacers to have elastic properties that do not affect the difference.

すなわち、総変形量と弾性回復率が高いフォトスペーサが要求される。このような特性を持たないフォトスペーサではパネル作製持に液晶中に気泡が生じることがあり、セルギャップが均一にならずに液晶表示装置としては表示品質が劣化し、例えば、色むらが顕著なものとなってしまう等の不具合が生じる。これらの問題点を解決するための提案として、例えば、アルカリ現像性を有するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(特許文献−1)が提案されている。この提案では光重合性を有するモノマー、光重合開始剤とアルカリ現像性及び反応性を有するエポキシ樹脂を併用することで、機械的強度に優れたフォトスペーサを提案している。しかし、このようなエポキシ樹脂とアルカリ現像に必要なカルボン酸成分が共存しているような組成物では、エポキシ基とカルボン酸の間で架橋反応が進行する。その結果、脆くなり弾性回復特性は悪化する課題があった。
このような不具合を解決する特性を有するフォトスペーサを形成する材料として、近年、さらに新たな提案(特許文献−2)がされている。この提案では、全固形分中の多官能モノマー量を50〜70%にすることによって改良を図っている。しかしながら、多官能モノマーを大量に使用した場合アルカリ現像性が悪化するという問題があった。
特開2001−226449号公報 特開2002−174812号公報
That is, a photo spacer having a high total deformation amount and a high elastic recovery rate is required. Photo spacers that do not have such characteristics may cause bubbles in the liquid crystal when the panel is produced, and the cell gap is not uniform, and the display quality of the liquid crystal display device deteriorates. For example, color unevenness is noticeable. Inconveniences, such as becoming something, occur. As a proposal for solving these problems, for example, a photosensitive resin composition for photospacers having an alkali developability (Patent Document 1) has been proposed. This proposal proposes a photospacer with excellent mechanical strength by using a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and an epoxy resin having alkali developability and reactivity in combination. However, in a composition in which such an epoxy resin and a carboxylic acid component necessary for alkali development coexist, a crosslinking reaction proceeds between the epoxy group and the carboxylic acid. As a result, there has been a problem that the elastic recovery characteristic becomes worse due to brittleness.
In recent years, a further new proposal (Patent Document 2) has been made as a material for forming a photospacer having such a characteristic as to solve such a problem. In this proposal, the amount of polyfunctional monomer in the total solid content is improved by 50 to 70%. However, when a large amount of polyfunctional monomer is used, there is a problem that alkali developability deteriorates.
JP 2001-226449 A JP 2002-174812 A

本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、アルカリ現像性が良好な感光性樹脂組成物であってその硬化物が優れた柔軟性と優れた弾性回復特性を有する感光性樹脂組成物を提供し、さらに、優れた柔軟性と優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサの提供を課題とする。   The present invention has been made in order to solve the above problems, and is a photosensitive resin composition having good alkali developability, and the cured product has excellent flexibility and excellent elastic recovery characteristics. It is another object of the present invention to provide a photo spacer having excellent flexibility and excellent elastic recovery characteristics.

本発明者らは、上記問題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)、及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有し、該ポリシロキサン(C)が下記一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とする縮合物である、アルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q);及びこれを、光照射を含む工程により硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられたフォトスペーサである。
The inventors of the present invention have arrived at the present invention as a result of intensive studies to solve the above problems.
That is, the present invention comprises a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), a polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, and a radical photopolymerization initiator (D). A photosensitive resin composition for a photospacer that can be developed with an alkali, wherein the polysiloxane (C) is a condensate containing, as an essential constituent monomer, a silane compound (c1) represented by the following general formula (1): (Q); and a photo spacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the same by a process including light irradiation.

Figure 2008116488
Figure 2008116488

式中、R1は、アルキル基の炭素数が1〜6の、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。 In the formula, R 1 is one or more selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in the alkyl group. R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1. is there.

本発明の感光性樹脂組成物及びそれから得られたフォトスペーサは、以下の効果を奏する。
・感光性樹脂組成物はアルカリ現像性に優れている。
・フォトスペーサは柔軟性に優れ、かつ弾性回復特性に優れている。
The photosensitive resin composition of the present invention and the photospacer obtained therefrom have the following effects.
-The photosensitive resin composition is excellent in alkali developability.
-Photo spacers have excellent flexibility and elastic recovery characteristics.

本発明の感光性樹脂組成物は、親水性ポリマー(A)[以下において、単に(A)と表記する場合がある]、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)[以下において、単に(B)と表記する場合がある]、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)[以下において、単にポリシロキサン(C)、もしくは単に(C)と表記する場合がある]および、光ラジカル重合開始剤(D)[以下において、単に(D)と表記する場合がある]を含有し、(C)が特定のポリシロキサンであることにより、アルカリ現像性に優れ、かつ柔軟性および弾性回復特性に優れるフォトスペーサを提供するものである。
なお、上記及び以下において、例えば「(メタ)アクリレート」などの(メタ)を付した表現は「アクリレートおよび/またはメタクリレート」などを意味する。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a hydrophilic polymer (A) [hereinafter sometimes referred to simply as (A)], a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) [hereinafter referred to simply as (B). A polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups [hereinafter, it may be simply referred to as polysiloxane (C) or simply (C)], and light. It contains a radical polymerization initiator (D) [hereinafter sometimes simply referred to as (D)], and (C) is a specific polysiloxane, so that it has excellent alkali developability and is flexible and elastic. A photo spacer having excellent recovery characteristics is provided.
In the above and the following, for example, the expression with (meth) such as “(meth) acrylate” means “acrylate and / or methacrylate”.

以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である(A)〜(D)について、順に説明する。   Below, (A)-(D) which is an essential structural component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in order.

本発明における親水性ポリマー(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、(A)の樹脂骨格(例えば、ビニル系樹脂、エポキシ系系樹脂、ポリエステル系樹脂など)によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトスペーサの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるHLBは、小田法によるHLB値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」(槇書店発行、小田、寺村著)の501頁;または、「新・界面活性剤入門」(藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行)の198頁に詳しく記載されている。
The hydrophilicity index in the hydrophilic polymer (A) in the present invention is defined by HLB. Generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
Although the preferable range of the HLB value of (A) varies depending on the resin skeleton of (A) (for example, vinyl resin, epoxy resin, polyester resin, etc.), it is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 18. Especially preferably, it is 6-17. When it is 4 or more, the developing property is further improved when developing the photo spacer, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved. In addition, HLB in this invention is an HLB value by the Oda method, is a hydrophilicity-hydrophobicity balance value, and can be calculated from the ratio of the organic value and inorganic value of an organic compound.
HLB≈10 × Inorganic / Organic In addition, the inorganic value and the organic value are described in the document “Surfactant Synthesis and Applications” (published by Tsuji Shoten, Oda, Teramura), page 501; It is described in detail on page 198 of “Introduction to New Surfactants” (Takehiko Fujimoto, published by Sanyo Chemical Industries, Ltd.).

また、(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。   Moreover, the solubility parameter (hereinafter referred to as SP value) of (A) is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 11 to 13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY,1974,Vol.14,No.2,ROBERT F.FEDORS.(147〜154頁)」
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY, 1974, Vol. 14, No. 2, ROBERT F. FEDORS. (Pp. 147-154)"
Those with close SP values are easy to mix with each other (highly dispersible), and those with a distant numerical value are indexes indicating that they are difficult to mix.

(A)は、現像性の観点からカルボキシル基を有することが好ましい。カルボキシル基の含有量は酸価で示される。
(A)の酸価は、好ましくは10〜500mgKOH/gである。10mgKOH/g以上であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、500mgKOH/g以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
(A) preferably has a carboxyl group from the viewpoint of developability. The carboxyl group content is indicated by an acid value.
The acid value of (A) is preferably 10 to 500 mgKOH / g. If it is 10 mgKOH / g or more, the developability is more likely to be exhibited, and if it is 500 mgKOH / g or less, the water resistance of the cured product can be further improved.

本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
酸価(KOHmg/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数。
f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価
S:試料採取量(g)
The acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution.
The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Acid value (KOHmg / g) = (A × f × 5.61) / S
However, A: The number of mL of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution.
f: Potency of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution
S: Sampling amount (g)

(A)としては、親水性ビニル系ポリマー(A1)(以下、単に(A1)と表記する場合がある)、親水性エポキシ系ポリマー(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)、親水性ポリエステル樹脂(A3)、親水性ポリアミド樹脂(A4)、親水性ポリカーボネート樹脂(A5)および親水性ポリウレタン樹脂(A6)などが挙げられる。(A)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらのうち、感光性樹脂組成物の光硬化反応性の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは(A1)および(A2)である。
Examples of (A) include a hydrophilic vinyl polymer (A1) (hereinafter sometimes simply referred to as (A1)) and a hydrophilic epoxy polymer (A2) (hereinafter simply referred to as (A2)). ), Hydrophilic polyester resin (A3), hydrophilic polyamide resin (A4), hydrophilic polycarbonate resin (A5), and hydrophilic polyurethane resin (A6). (A) may be used by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, (A1) and (A2) are preferable from the viewpoint of photocuring reactivity of the photosensitive resin composition and the viewpoint of ease of production.

(A1)としては、親水基をビニル系ポリマー分子の側鎖および/または末端に有するものが挙げられる。親水基としては、カルボキシル基、水酸基、スルホン酸基、アミノ基、アミド基、ポリエーテル基およびこれらのうちの2種以上の併用などが挙げられる。充分な現像性を発揮するためには側鎖に親水基、特にカルボキシル基を有するものが好ましい。   Examples of (A1) include those having a hydrophilic group in the side chain and / or terminal of the vinyl polymer molecule. Examples of the hydrophilic group include a carboxyl group, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, an amino group, an amide group, a polyether group, and a combination of two or more of these. In order to exhibit sufficient developability, those having a hydrophilic group, particularly a carboxyl group in the side chain are preferred.

(A1)の好ましい製造方法は、親水基を有するビニルモノマー(a)(以下、単に(a)と表記する場合がある)と、必要により疎水基含有ビニルモノマー(b)(以下、単に(b)と表記する場合がある)とをビニル重合する方法である。   A preferred production method of (A1) is a vinyl monomer having a hydrophilic group (a) (hereinafter sometimes simply referred to as (a)) and, if necessary, a hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) (hereinafter simply referred to as (b) ) Is sometimes vinyl-polymerized.

親水基を有するビニルモノマー(a)としては、以下の(a1)〜(a7)のビニルモノマーが挙げられる。
(a1)カルボキシル基含有ビニルモノマー:
不飽和モノカルボン酸[(メタ)アクリル酸、クロトン酸および桂皮酸など]、不飽和多価(2〜4価)カルボン酸[(無水)マレイン酸、イタコン酸、フマル酸およびシトラコン酸など]、不飽和多価カルボン酸アルキル(炭素数1〜10のアルキル基)エステル[マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステルおよびシトラコン酸モノアルキルエステルなど]、並びにこれらの塩[アルカリ金属塩(ナトリウム塩およびカリウム塩等)、アルカリ土類金属塩(カルシウム塩およびマグネシウム塩等)、アミン塩およびアンモニウム塩等]が挙げられる。
(a1)のうち好ましいのは親水性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは(メタ)アクリル酸である。
Examples of the vinyl monomer (a) having a hydrophilic group include the following vinyl monomers (a1) to (a7).
(A1) Carboxyl group-containing vinyl monomer:
Unsaturated monocarboxylic acids [such as (meth) acrylic acid, crotonic acid and cinnamic acid], unsaturated polyvalent (2-4 valent) carboxylic acids [such as (anhydrous) maleic acid, itaconic acid, fumaric acid and citraconic acid], Unsaturated polyvalent carboxylic acid alkyl (alkyl group having 1 to 10 carbon atoms) ester [maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid monoalkyl ester, citraconic acid monoalkyl ester, etc.] and salts thereof [alkali metal salt (sodium salt) And potassium salts, etc.), alkaline earth metal salts (calcium salts and magnesium salts, etc.), amine salts and ammonium salts, etc.].
Of (a1), preferred is an unsaturated monocarboxylic acid from the viewpoint of hydrophilicity, and more preferred is (meth) acrylic acid.

(a2)水酸基含有ビニルモノマー:
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート[2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなど]、ポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート[ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなど]、アルキロール(メタ)アクリルアミド[N−メチロール(メタ)アクリルアミドなど]、ヒドロキシスチレンおよび2−ヒドロキシエチルプロペニルエーテルなどが挙げられる。
(a2)のうち好ましいのはアルカリ現像性の観点からヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、特に2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートである。
(a3)スルホン酸基含有ビニルモノマー:
例えば、ビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、2−(メタ)アクリロイルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属(ナトリウムおよびカリウム等)塩、アルカリ土類金属(カルシウムおよびマグネシウム等)塩、第1〜3級アミン塩、アンモニウム塩および第4級アンモニウム塩などが挙げられる。
(A2) Hydroxyl group-containing vinyl monomer:
Hydroxyalkyl (meth) acrylate [2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, etc.], polyalkylene glycol mono (meth) acrylate [polyethylene glycol mono (meta ) Acrylate etc.], alkylol (meth) acrylamide [N-methylol (meth) acrylamide etc.], hydroxystyrene and 2-hydroxyethylpropenyl ether.
Among (a2), hydroxyalkyl (meth) acrylate, particularly 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is preferable from the viewpoint of alkali developability.
(A3) Sulphonic acid group-containing vinyl monomer:
Examples thereof include vinyl sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, α-methyl styrene sulfonic acid, 2- (meth) acryloylamido-2-methylpropane sulfonic acid, and salts thereof. Examples of the salt include alkali metal (sodium and potassium) salts, alkaline earth metal (calcium and magnesium) salts, primary to tertiary amine salts, ammonium salts and quaternary ammonium salts.

(a4)アミノ基含有ビニルモノマー:
3級アミノ基含有(メタ)アクリレート[ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートおよびジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどのジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート]などが挙げられる。
(a5)アミド基含有ビニルモノマー:
(メタ)アクリルアミド、N−アルキル(炭素数1〜6)(メタ)アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、N,N’−メチレン−ビス(メタ)アクリルアミド、N,N−ジアルキル(炭素数1〜6)またはジアラルキル(炭素数7〜15)(メタ)アクリルアミド(例えば、N,N−ジメチルアクリルアミドおよびN,N−ジベンジルアクリルアミドなど)、メタクリルホルムアミド、N−メチル−N−ビニルアセトアミド、桂皮酸アミドおよび環状アミド(N−ビニルピロリドン、N−アリルピロリドン等)が挙げられる。
(a6)第4級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー;
炭素数6〜50(好ましくは8〜20)の第3級アミノ基含有ビニルモノマーの4級化物(4級化剤としては、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライドおよびジメチルカーボネート等)、例えば、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物およびジエチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物などが挙げられる。
(a7)ポリエーテル基含有ビニルモノマー:
アルコキシ(アルコキシ基の炭素数1〜8)ポリアルキレン(アルキレン基の炭素数2〜4)グリコールモノ(メタ)アクリレート[メトキシポリエチレングリコール(重合度2〜40)モノ(メタ)アクリレートおよびメトキシポリプロピレングリコール(重合度2〜30)モノ(メタ)アクリレートなど]などが挙げられる。
(A4) Amino group-containing vinyl monomer:
Tertiary amino group-containing (meth) acrylates [dialkylaminoalkyl (meth) acrylates such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate and diethylaminoethyl (meth) acrylate)] and the like.
(A5) Amide group-containing vinyl monomer:
(Meth) acrylamide, N-alkyl (C1-6) (meth) acrylamide, diacetone acrylamide, N, N'-methylene-bis (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (C1-6) or Diaralkyl (7 to 15 carbon atoms) (meth) acrylamide (for example, N, N-dimethylacrylamide and N, N-dibenzylacrylamide), methacrylformamide, N-methyl-N-vinylacetamide, cinnamic amide and cyclic amide (N-vinylpyrrolidone, N-allylpyrrolidone, etc.).
(A6) a quaternary ammonium base-containing vinyl monomer;
A quaternized product of a tertiary amino group-containing vinyl monomer having 6 to 50 carbon atoms (preferably 8 to 20 carbon atoms, such as methyl chloride, dimethyl sulfate, benzyl chloride and dimethyl carbonate), for example, dimethyl Examples include quaternized products of aminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, and quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylamide.
(A7) Polyether group-containing vinyl monomer:
Alkoxy (alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms) polyalkylene (alkylene group having 2 to 4 carbon atoms) glycol mono (meth) acrylate [methoxypolyethylene glycol (degree of polymerization 2 to 40) mono (meth) acrylate and methoxypolypropylene glycol ( Polymerization degree 2-30) mono (meth) acrylate, etc.].

(a)のうち好ましいのは、充分な現像性を付与するという観点から(a1)および(a2)、特に(a1)である。   Of these, (a) is preferably (a1) and (a2), particularly (a1) from the viewpoint of imparting sufficient developability.

疎水基含有ビニルモノマー(b)としては、以下の非イオン性のモノマー(b1)〜(b6)が挙げられる。   Examples of the hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) include the following nonionic monomers (b1) to (b6).

(b1)(メタ)アクリル酸エステル;
アルキル基の炭素数1〜20のアルキル(メタ)アクリレート[例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレートおよび2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなど];脂環基含有(メタ)アクリレート[ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シジクロペンテニル(メタ)アクリレートおよびイソボルニル(メタ)アクリレートなど];
(B1) (meth) acrylic acid ester;
C1-C20 alkyl (meth) acrylate of an alkyl group [for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc.]; alicyclic group-containing (meth) acrylate [dicyclopentanyl (meth) acrylate, sidiclopentenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, etc. ];

(b2)芳香族炭化水素モノマー;
スチレン骨格を有する炭化水素モノマー[例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレンおよびベンジルスチレン]およびビニルナフタレンなどが挙げられる。
(b3)カルボン酸ビニルエステル;
炭素数4〜50のもの、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルおよび酪酸ビニルなどが挙げられる。
(b4)ビニルエーテル系モノマー;
炭素数3〜50(好ましくは6〜20)のもの、例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテルなどが挙げられる。
(b5)ビニルケトン系モノマー;
炭素数4〜50のもの、例えば、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンおよびビニルフェニルケトンなどが挙げられる。
(b6)ハロゲン原子含有モノマー;
炭素数2〜50(好ましくは2〜20)のもの、例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレンおよびブロムスチレンなどが挙げられる。
(B2) an aromatic hydrocarbon monomer;
And hydrocarbon monomers having a styrene skeleton [for example, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, phenylstyrene, cyclohexylstyrene, and benzylstyrene] and vinylnaphthalene. It is done.
(B3) carboxylic acid vinyl ester;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl acetate, vinyl propionate and vinyl butyrate.
(B4) vinyl ether monomers;
Those having 3 to 50 (preferably 6 to 20) carbon atoms such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, vinyl propyl ether, vinyl butyl ether and the like can be mentioned.
(B5) vinyl ketone monomer;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl methyl ketone, vinyl ethyl ketone, and vinyl phenyl ketone.
(B6) a halogen atom-containing monomer;
Examples thereof include those having 2 to 50 (preferably 2 to 20) carbon atoms, such as vinyl chloride, vinyl bromide, vinylidene chloride, chlorostyrene and bromostyrene.

(b)のうち好ましいのは、光硬化反応性の観点から(b1)、さらに好ましいのは脂環基含有(メタ)アクリレートである。   Among (b), (b1) is preferable from the viewpoint of photocuring reactivity, and alicyclic group-containing (meth) acrylate is more preferable.

(A1)における、(a)/(b)の仕込みモノマーモル比は、通常10〜100/0〜90、光硬化反応性と現像性の観点から、好ましくは10〜80/20〜90、さらに好ましくは25〜85/15〜75である。   In (A1), the charged monomer molar ratio of (a) / (b) is usually 10 to 100/0 to 90, preferably 10 to 80/20 to 90, more preferably from the viewpoint of photocuring reactivity and developability. Is 25-85 / 15-75.

(A1)は、上記の(a)および必要により(b)を構成単量体とする重合体に、さらに光硬化反応性を向上させる目的で(メタ)アクリロイル基を側鎖に含有させてもよい。
側鎖に(メタ)アクリロイル基を含有させる方法としては、例えば下記の(1)および(2)の方法が挙げられる。
(1);(a)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物(アクリロイルエチルイソシアネートなど)を反応させる方法、
(2);(a)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基(水酸基、カルボキシル基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジルアクリレートなど)を反応させる方法。
(A1) may contain a (meth) acryloyl group in the side chain for the purpose of further improving photocuring reactivity in the polymer having (a) and, if necessary, (b) as a constituent monomer. Good.
Examples of the method of incorporating a (meth) acryloyl group in the side chain include the following methods (1) and (2).
(1): A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an isocyanate group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a), and then (meth) A method of reacting a compound having an acryloyl group and an isocyanate group (such as acryloylethyl isocyanate);
(2); producing a polymer using a monomer having a group capable of reacting with an epoxy group (hydroxyl group, carboxyl group, primary or secondary amino group, etc.) in at least a part of (a); A method of reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an epoxy group (such as glycidyl acrylate).

(A1)の数平均分子量(以下、Mnと略記。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる測定値)は、感光性樹脂組成物としての光硬化反応性と現像性の観点から、好ましくは500〜500,000、さらに好ましくは1,000〜100,000、特に好ましくは3,000〜20,000である。   The number average molecular weight of (A1) (hereinafter abbreviated as Mn. The measured value by gel permeation chromatography) is preferably 500 to 500, from the viewpoint of photocuring reactivity and developability as the photosensitive resin composition. 000, more preferably 1,000 to 100,000, and particularly preferably 3,000 to 20,000.

(A1)は、モノマーを必要により溶剤(F4)(以下、単に(F4)と表記する場合がある)で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることが出来る。溶剤(F4)としては、グリコールエーテル類(エチレングリコールモノアルキルエーテルおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソフ゛チルケトンおよびシクロヘキサノンなど)、およびエステル類(ブチルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)が挙げられる。(F4)のうち好ましいのはケトン類およびエステル類である。
(F4)を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて通常、1〜400%(以下において、特に限定しない限り%は重量%を表す)、好ましくは5〜300%、特に好ましくは10〜200%である。
重合開始剤としては、過酸化物及びアゾ化合物が挙げられる。
過酸化物としては、無機過酸化物(例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウムなど)、および有機過酸化物(例えば、過酸化ベンゾイル、ジ−t−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロパーオキサイド、ラウリルパーオキシドなど)などが挙げられる。アゾ化合物としては、アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、アゾビスシアノ吉草酸およびその塩(例えば塩酸塩など)、およびアゾビス(2−アミジノプロパン)ハイドロクロライドなどが挙げられる。好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
(A1) can be obtained by performing polymerization with a radical polymerization initiator after the monomer is diluted with a solvent (F4) (hereinafter sometimes simply referred to as (F4)) if necessary. Solvents (F4) include glycol ethers (such as ethylene glycol monoalkyl ether and propylene glycol monoalkyl ether), ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone), and esters (butyl acetate, ethylene glycol alkyl). Ether acetate and propylene glycol alkyl ether acetate). Of (F4), ketones and esters are preferred.
When (F4) is used, the amount used is not particularly limited, but is usually 1 to 400% based on the total weight of the monomers (in the following,% represents% by weight unless otherwise specified), preferably 5 to 5%. 300%, particularly preferably 10 to 200%.
Examples of the polymerization initiator include peroxides and azo compounds.
Peroxides include inorganic peroxides (eg, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, potassium persulfate, sodium persulfate, etc.) and organic peroxides (eg, benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, Cumene hydroperoxide, lauryl peroxide, etc.). Examples of the azo compound include azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), azobisisobutyronitrile, azobis (2-methylbutyronitrile), azobiscyanovaleric acid and its salts (for example, hydrochloride), and azobis (2 -Amidinopropane) hydrochloride and the like. Preferred is an azo compound. As a usage-amount of a polymerization initiator, 0.0001-20% is preferable normally based on the total weight of a monomer, More preferably, it is 0.001-15%, Most preferably, it is 0.005-10%. The reaction temperature and reaction time are appropriately determined depending on the type of radical polymerization initiator.

前述のように(A)の親水性の指標はHLBにより規定されるが、このうちの(A1)のHLB値は、好ましくは9〜19、さらに好ましくは10〜18、特に好ましくは11〜17である。(A1)のHLBが9以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。   As described above, the hydrophilicity index of (A) is defined by HLB. Of these, the HLB value of (A1) is preferably 9 to 19, more preferably 10 to 18, particularly preferably 11 to 17. It is. If the HLB of (A1) is 9 or more, developability can be further improved.

本発明における(A)のうちの親水性エポキシ系ポリマー(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)は、水酸基又はカルボキシル基等の親水性を有する官能基を含むエポキシ樹脂骨格を有するポリマーである。
(A2)は、光硬化反応性の観点から、分子中に(メタ)アクリロイル基を有する方が好ましい。
In the present invention, the hydrophilic epoxy polymer (A2) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2)) of (A) is an epoxy resin skeleton containing a functional group having hydrophilicity such as a hydroxyl group or a carboxyl group. It is a polymer having
(A2) preferably has a (meth) acryloyl group in the molecule from the viewpoint of photocuring reactivity.

(A2)の好ましい製造法は、エポキシ樹脂(A20)(以下、単に(A20)と表記する場合がある)中のエポキシ基に、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、該水酸基の一部に多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)(以下、単に(e)と表記する場合がある)を反応させる方法である。 A preferred process for the preparation of (A2) an epoxy resin (A2 0) to epoxy group (hereinafter sometimes referred to simply as (A2 0)) in, by reacting (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid epoxy A method of reacting a part of the hydroxyl group with a polyvalent carboxylic acid or a polyvalent carboxylic acid anhydride (e) (hereinafter sometimes simply referred to as (e)). is there.

(A20)としては、脂肪族エポキシ樹脂[例えばエポトートYH−300、PG−202、PG−207(いずれも東都化成社製)など]や脂環式エポキシ樹脂[例えばCY−179、CY−177、CY−175(いずれも旭化成エポキシ社製)など]や芳香族エポキシ樹脂[例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂おおびグリシジル変性ポリビニルフェノールなど]が挙げられる。
(A20)のうち好ましいのは硬化性の観点から芳香族エポキシ樹脂である。
(A2)の製造に使用される(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸としては、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。
(A2)の製造に使用される多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物(e)としては、前述の(a)のうちの不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価(2〜6価)カルボン酸(例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸およびオクタデセニルコハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸;テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸およびナフタレンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸)およびそれらの無水物(例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸およびオクタデセニル無水コハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸無水物;無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物およびナフタレンテトラカルボン 酸 無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物)が挙げられる。好ましいのは、反応性及び現像性の観点から飽和多価カルボン酸無水物である。
Examples of (A2 0 ) include aliphatic epoxy resins [eg, Etototo YH-300, PG-202, PG-207 (all manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)] and alicyclic epoxy resins [eg, CY-179, CY-177. CY-175 (all manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd.)] and aromatic epoxy resins [eg, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and glycidyl modified polyvinylphenol] Can be mentioned.
Among (A2 0 ), an aromatic epoxy resin is preferable from the viewpoint of curability.
Examples of the (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid used for the production of (A2) include acrylic acid and methacrylic acid.
Examples of the polyvalent carboxylic acid and polyvalent carboxylic acid anhydride (e) used in the production of (A2) include the unsaturated polyvalent carboxylic acids and anhydrides of the above-mentioned (a), and saturated polyvalent carboxylic acids. (2-6 valent) carboxylic acids (eg, aliphatic saturated polyvalent carboxylic acids such as oxalic acid, succinic acid, phthalic acid, adipic acid, dodecanedioic acid, dodecenyl succinic acid, pentadecenyl succinic acid and octadecenyl succinic acid) Acids; aromatic polycarboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid and naphthalenetetracarboxylic acid) and their anhydrides (for example, Succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, pentadecenyl succinic anhydride, octadecenyl succinic anhydride, etc. Aliphatic saturated polycarboxylic anhydrides; phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic anhydride and naphthalenetetracarboxylic Aromatic polyhydric carboxylic acid anhydrides such as acid anhydrides). A saturated polycarboxylic acid anhydride is preferable from the viewpoint of reactivity and developability.

(A2)の製造における、(メタ)アクリル酸/(A20)の仕込み重量比は、好ましいのは(A2)の(メタ)アクリロイル基の濃度が1.0mmol/g以上となるような(メタ)アクリル酸の仕込み重量比である。アクリル酸/(A20)の重量比は上記の観点から、好ましくは0.072以上/1、さらに好ましくは0.079〜0.72/1である。また、メタクリル酸の重量比は上記の観点から、好ましくは0.092以上/1、さらに好ましくは0.10〜0.92/1である。
(A20)と(メタ)アクリル酸の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは5〜30時間である。また、必要により触媒(例えば、トリフェニルホスフィンなど)およびラジカル重合禁止剤(ヒドロキノン、p−メトキシフェノールなど)を用いてもよい。
また、(A20)の(メタ)アクリル酸付加物の重量に対する、多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)の仕込み当量は、(A2)の酸価が、好ましくは10〜500mgKOH/gとなるような(e)の仕込み当量であり、例えば、(e)が2価カルボン酸もしくはその無水物である場合、(e)の仕込み当量/(A200)の(メタ)アクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは0.18〜8.9ミリ当量/g、さらに好ましくは0.53〜7.1ミリ当量/gである。
(A20)の(メタ)アクリル酸付加物と(e)との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは3〜10時間である。
In the production of (A2), the charged weight ratio of (meth) acrylic acid / (A2 0 ) is preferably such that the concentration of the (meth) acryloyl group in (A2) is 1.0 mmol / g or more (meta ) Acrylic acid charge weight ratio. From the above viewpoint, the weight ratio of acrylic acid / (A2 0 ) is preferably 0.072 or more / 1, and more preferably 0.079 to 0.72 / 1. The weight ratio of methacrylic acid is preferably 0.092 or more / 1, more preferably 0.10 to 0.92 / 1, from the above viewpoint.
The reaction temperature in the reaction between (A2 0 ) and (meth) acrylic acid is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 5 to 30 hours. Further, if necessary, a catalyst (for example, triphenylphosphine) and a radical polymerization inhibitor (hydroquinone, p-methoxyphenol, etc.) may be used.
The charged equivalent of the polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid anhydride (e) with respect to the weight of the (meth) acrylic acid adduct of (A2 0 ) is such that the acid value of (A2) is preferably 10 to 500 mgKOH. For example, when (e) is a divalent carboxylic acid or an anhydride thereof, (e) the charge equivalent of (e) / (A20 0 ) (meth) acrylic acid From the above viewpoint, the weight of the adduct is preferably 0.18 to 8.9 meq / g, and more preferably 0.53 to 7.1 meq / g.
The reaction temperature in the reaction of the (A2 0 ) (meth) acrylic acid adduct and (e) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 3 to 10 hours.

(A2)のMnは、感光性樹脂組成物としての光硬化反応性と現像性の観点から、通常500〜3,000、好ましくは1,000〜2,800、特に好ましくは1,500〜2,500である。   Mn of (A2) is usually 500 to 3,000, preferably 1,000 to 2,800, particularly preferably 1,500 to 2, from the viewpoint of photocuring reactivity and developability as the photosensitive resin composition. , 500.

(A2)のHLB値は、好ましくは4〜14、さらに好ましくは5〜13、特に好ましくは6〜12である。(A2)のHLBが4以上であれば、現像性が良好に発揮でき、14以下であれば後述の多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)との相溶性が確保できる。   The HLB value of (A2) is preferably 4 to 14, more preferably 5 to 13, and particularly preferably 6 to 12. If the HLB of (A2) is 4 or more, the developability can be exhibited satisfactorily, and if it is 14 or less, compatibility with the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) described later can be ensured.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、(Q)の固形分重量に基づいて、(A)を好ましくは10〜70%、さらに好ましくは15〜60%、特に好ましくは20〜50%含有する。10%以上であればさらに良好に現像性を発揮でき、70%以下であれば硬化物の弾性回復特性がさらに良好になる。なお、本発明における「固形分」とは、溶剤以外の成分をいう。   In the photosensitive resin composition (Q) of the present invention, (A) is preferably 10 to 70%, more preferably 15 to 60%, particularly preferably 20 to 50% based on the solid content weight of (Q). contains. If it is 10% or more, the developability can be further improved, and if it is 70% or less, the elastic recovery property of the cured product is further improved. In the present invention, “solid content” refers to components other than the solvent.

本発明において、感光性樹脂組成物中の1つの成分として用いられる多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)(以下、単に(B)と表記する場合がある)としては、公知の多官能(メタ)アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)および4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)が挙げられる。   In the present invention, the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) (hereinafter sometimes simply referred to as (B)) used as one component in the photosensitive resin composition is a known polyfunctional (meta) The acrylate monomer is not particularly limited, and examples thereof include bifunctional (meth) acrylate (B1), trifunctional (meth) acrylate (B2), and 4-6 functional (meth) acrylate (B3).

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等が例示される。   Examples of the bifunctional (meth) acrylate (B1) include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di (meth). Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate ( SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-decandiol di (meth) acrylate, 3-methyl-1, -Pentanediol di (meth) acrylate, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, di (ethylene oxide adduct of bisphenol A ( Examples include (meth) acrylate, di (meth) acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, and neopentyl glycol di (meth) acrylate of hydroxypivalate.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が例示される。   As trifunctional (meth) acrylate (B2), glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), pentaerythritol tri Examples include (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), tri (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane, and the like.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)等が例示される。   As the 4- to 6-functional (meth) acrylate (B3), pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate (methacrylate SP value = 12.5, acrylate SP value = 10.3), Examples include dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3).

(B)のSP値は、後述の(C)のSP値との差を−2.0〜2.0に設定し易いという観点から、好ましくは8〜13、さらに好ましくは9〜13、特に9〜12、とりわけ9.5〜11である。   The SP value of (B) is preferably 8 to 13, more preferably 9 to 13, particularly from the viewpoint of easily setting the difference from the SP value of (C) described later to -2.0 to 2.0. 9-12, especially 9.5-11.

(B)のうち好ましいものは、(B2)及び(B3)、さらに好ましいものは後述する(C)との相溶性の観点から水酸基を含有するポリマーであり、特に好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびこれらの併用である。市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−403(東亞合成(株)製)、ライトアクリレートPE−3A(共栄社化学(株)製)、ネオマーDA−600(三洋化成工業(株)製)等が挙げられる。   Among (B), preferred are (B2) and (B3), and more preferred is a polymer containing a hydroxyl group from the viewpoint of compatibility with (C) described later, particularly preferably dipentaerythritol pentaacrylate, Pentaerythritol triacrylate and combinations thereof. As (B) which can be easily obtained from the market, for example, Aronix M-403 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), light acrylate PE-3A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), neomer DA-600 (Sanyo Chemical Industries ( Etc.).

また、本発明における(B)には、その一部に感光性アクリルオリゴマー(B4)を含んでいてもよい。(B4)としては、Mnが1,000以下であって、カルボキシル基を含有せず、1分子中に2個以上のアクリロイル基を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレートおよびポリエーテルアクリレートなどが挙げられる。
(B)中の(B4)の含有量は好ましくは50%以下、さらに好ましくは30%以下である。
Moreover, (B) in this invention may contain the photosensitive acrylic oligomer (B4) in the one part. Examples of (B4) include urethane acrylate, polyester acrylate, and polyether acrylate having Mn of 1,000 or less and containing no carboxyl group and having two or more acryloyl groups in one molecule.
The content of (B4) in (B) is preferably 50% or less, more preferably 30% or less.

(Q)の固形分の重量に基づく(B)の含有量は、10〜70%が好ましく、さらに好ましくは20〜65%、特に好ましくは25〜60%である。10%以上であれば、硬化物の弾性回復特性がさらに好ましくなり、70%以下であれば、さらに現像性が良好になる。   The content of (B) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 10 to 70%, more preferably 20 to 65%, and particularly preferably 25 to 60%. If it is 10% or more, the elastic recovery property of the cured product is further preferable, and if it is 70% or less, the developability is further improved.

本発明において感光性樹脂組成物(Q)中の成分として含まれる2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)は、一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とし、そのアルコキシ基[一般式(1)中のOR3]の一部が縮合反応して高分子化した縮合物である。 In the present invention, the polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups contained as a component in the photosensitive resin composition (Q) is a silane compound (c1) represented by the general formula (1). It is a condensate in which a part of the alkoxy group [OR 3 in general formula (1)] is polymerized by condensation reaction as an essential constituent monomer.

Figure 2008116488
Figure 2008116488

式中、R1、アルキル基の炭素数が1〜6の、は(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。 In the formula, R 1 and the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms are one or more selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group. R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1. is there.

1は(c1)の縮合反応工程では反応せずに、縮合反応後もポリシロキサン(C)中に残存し、本発明の感光性樹脂組成物が熱硬化する際の熱硬化反応に寄与する官能基である。
1として好ましいものは硬化性の観点から(メタ)アクリロイロキシアルキル基およびグリシドキシアルキル基である。
R 1 does not react in the condensation reaction step (c1) but remains in the polysiloxane (C) even after the condensation reaction, and contributes to the thermosetting reaction when the photosensitive resin composition of the present invention is thermoset. It is a functional group.
R 1 is preferably a (meth) acryloyloxyalkyl group or a glycidoxyalkyl group from the viewpoint of curability.

2のうち、脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖アルキル基、分岐アルキル基および脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
直鎖アルキル基としては、メチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、n−オクチルおよびn−ドデシル基およびこれらの重水素置換体、分岐アルキル基としてはイソプロピル、イソブチル、sec−ブチルおよび2−エチルヘキシル基など、並びに環式飽和炭化水素基としてはシクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基およびメチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、アリール基、アラルキル基およびアルキルアリール基が挙げられる。
アリール基としてはフェニル、ビフェニル、ナフチル基およびこれらの重水素、フッ素もしくは塩素の各置換体;アラルキル基としてはトリル、キシリル、メシチルおよびこれらの重水素、フッ素もしくは塩化物;並びに、アルキルアリール基としてはメチルフェニルおよびエチルフェニル基などが挙げられる。
2のうち好ましいのは硬化反応性の観点から直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。
3としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびsec−ブチル基などが挙げられ、好ましいのは熱硬化反応性の観点からメチル基およびエチル基である。
Among R 2 , examples of the aliphatic saturated hydrocarbon group include a linear alkyl group, a branched alkyl group, and an alicyclic saturated hydrocarbon group.
Examples of linear alkyl groups include methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, n-octyl and n-dodecyl groups and their deuterium substitutes, and examples of branched alkyl groups include isopropyl, isobutyl, sec-butyl and 2- Examples of the ethylhexyl group and the cyclic saturated hydrocarbon group include a cyclohexyl group, a cyclooctyl group, a cyclohexylmethyl group, a cyclohexylethyl group, and a methylcyclohexyl group.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include an aryl group, an aralkyl group, and an alkylaryl group.
As aryl groups, phenyl, biphenyl, naphthyl groups and their deuterium, fluorine or chlorine substituents; As aralkyl groups, tolyl, xylyl, mesityl and their deuterium, fluorine or chloride; and as alkylaryl groups Examples include methylphenyl and ethylphenyl groups.
R 2 is preferably a linear alkyl group, branched alkyl group and aryl group from the viewpoint of curing reactivity, more preferably a linear alkyl group and aryl group, particularly preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group and These are combined.
Examples of R 3 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and a sec-butyl group, and a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of thermosetting reactivity. .

一般式(1)において、R1として(メタ)アクリロイロキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−メタクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン等
In the general formula (1), examples of the silane compound having a (meth) acryloyloxyalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having three alkoxy groups: 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3- Acryloyloxypropyltriethoxysilane and the like m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups: 3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acrylic Leuoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having a glycidoxyalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having 3 alkoxy groups, such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, 3 having 2 alkoxy groups Functional silane compounds: 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてメルカプトアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having a mercaptoalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, a trifunctional silane compound having three alkoxy groups, such as 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups. ..3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてアミノアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having an aminoalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having three alkoxy groups: N-2 aminoethyl γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxy Silane, 3-aminopropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups: N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyl Methyldiethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, etc.

(c1)のうち、硬化反応性の観点から好ましいのは、一般式(1)におけるR1が(メタ)アクリロイロキシアルキル基又はグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物であり、
さらに好ましいのは、アルコキシ基を3個有する(メタ)アクリロイロキシアルキル基含有3官能シラン化合物、およびアルコキシ基を3個有するグリシドキシアルキル基含有3官能シラン化合物であり、特に好ましいのは、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシランおよび3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランである。
Among (c1), preferred from the viewpoint of curing reactivity is a silane compound in which R 1 in the general formula (1) has a (meth) acryloyloxyalkyl group or a glycidoxyalkyl group,
More preferred are (meth) acryloyloxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having 3 alkoxy groups, and glycidoxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having 3 alkoxy groups, and particularly preferred are 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

(C)としては、シラン化合物(c1)のみからなる単独縮合重合体、並びに(c1)および(c1)と共縮合可能な1種類以上の他のシラン化合物(c2)の共縮合体が挙げられる。
他のシラン化合物(c2)としては、一般式(2)で表されるシラン化合物が挙げられる。
2nSi(OR3)4−n (2)
式中、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基であり、R3は炭素数1〜4のアルキル基であり、nは0〜2の整数である。
Examples of (C) include a homocondensation polymer composed only of the silane compound (c1), and a cocondensate of one or more other silane compounds (c2) capable of cocondensing with (c1) and (c1). .
Examples of the other silane compound (c2) include a silane compound represented by the general formula (2).
R 2 nSi (OR 3 ) 4−n (2)
In the formula, R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is 0 It is an integer of ~ 2.

2およびR3は上記で例示したものが挙げられる。
2のうち好ましいのは直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。
3として好ましいのはメチル基およびエチル基である。
Examples of R 2 and R 3 include those exemplified above.
Among R 2, a linear alkyl group, a branched alkyl group and an aryl group are preferable, a linear alkyl group and an aryl group are more preferable, and a methyl group, an ethyl group, a phenyl group and a combination thereof are particularly preferable.
R 3 is preferably a methyl group or an ethyl group.

一般式(2)において、nが0、すなわちアルコキシ基を4個有する4官能シラン化合物としては、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシラン等が挙げられる。
nが1、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
nが2、すなわちアルコキシ基を2個有する2官能シラン化合物としては、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシランおよびフェニルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
ポリシロキサン(C)の均一なネットワークの形成の観点から、これらのうち好ましくは、nが1、すなわち3官能シラン化合物である。
In the general formula (2), examples of the tetrafunctional silane compound in which n is 0, that is, four alkoxy groups include tetramethoxysilane and tetraethoxysilane.
Examples of the trifunctional silane compound in which n is 1, that is, three alkoxy groups include phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, and methyltriethoxysilane.
Examples of the bifunctional silane compound in which n is 2, that is, two alkoxy groups include diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, and phenylmethyldiethoxysilane. .
Of these, n is preferably 1, that is, a trifunctional silane compound from the viewpoint of forming a uniform network of polysiloxane (C).

他のシラン化合物(c2)の仕込み割合は、硬化反応性の観点から好ましくは(c1)1モルに対し、他のシラン化合物(c2)の合計が0.1〜6.0モル、さらに好ましくは、0.2〜4.0モルが良好である。   The charging ratio of the other silane compound (c2) is preferably from the viewpoint of curing reactivity, and the total amount of the other silane compound (c2) is preferably 0.1 to 6.0 mol, more preferably 1 mol of (c1). 0.2 to 4.0 moles is good.

ポリシロキサン(C)は、例えば、乾燥雰囲気下で、シラン化合物(c1)および必要により使用される他のシラン化合物(c2)中に所定量の水および必要により触媒を攪拌しながら20〜100℃で約10分〜60分かけて滴下し、その後副生するアルコールの沸点以下の温度(例えば0〜150℃)で1〜12時間かけて熟成することにより縮合反応して得ることができる。   The polysiloxane (C) is, for example, 20 to 100 ° C. in a dry atmosphere with stirring a predetermined amount of water and, if necessary, the catalyst in the silane compound (c1) and other silane compound (c2) used as necessary. In about 10 minutes to 60 minutes, and then aged for 1 to 12 hours at a temperature below the boiling point of the by-produced alcohol (for example, 0 to 150 ° C.) to obtain a condensation reaction.

縮合反応において添加する水の量をXモル、シラン化合物(c1)および他のシラン化合物(c2)中のアルコキシ基のモル数をYとした場合、X/Yが小さすぎると縮合物の収量と分子量が低下する。一方、X/Yが大きすぎる場合は分子量が大きくなりすぎて保存安定性が低下する傾向にある。このことから、0.1<X/Y<5の範囲、好ましくは0.3<X/Y<3の範囲で行うことが好ましい。添加する水は通常イオン交換水または蒸留水を用いる。また、分子量調整の目的で1個のアルコキシ基を有するシラン化合物を添加することもできる。1個のアルコキシ基を有するシラン化合物としては、例えばフェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン等が挙げられる。   When the amount of water added in the condensation reaction is X mol and the number of moles of alkoxy groups in the silane compound (c1) and the other silane compound (c2) is Y, if X / Y is too small, the yield of the condensate The molecular weight decreases. On the other hand, when X / Y is too large, the molecular weight becomes too large and the storage stability tends to decrease. From this, it is preferable to carry out in the range of 0.1 <X / Y <5, preferably in the range of 0.3 <X / Y <3. As the water to be added, ion exchange water or distilled water is usually used. Moreover, the silane compound which has one alkoxy group can also be added for the purpose of molecular weight adjustment. Examples of the silane compound having one alkoxy group include phenyltrimethoxysilane and methyltrimethoxysilane.

縮合反応の触媒としては蟻酸、酢酸、蓚酸、乳酸、マロン酸、クエン酸、酒石酸、リンゴ酸、コハク酸、フマル酸、フタル酸、ピロメリット酸、p―トルエンスルフォン酸、メタンスルフォン酸、トリフルオロ酢酸およびトリフルオロメタンスルフォン酸などの1価、2価もしくは3価の有機酸;塩酸、リン酸、硝酸、フッ酸、臭素酸、塩素酸および過塩素酸などの無機酸;アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類水酸化物、第4級アルキルアンモニウムの水酸化物や炭酸塩および1〜3級アミン類などのアルカリ塩;第4級アルキルアンモニウムハロゲン化物;次亜塩素酸ナトリウム;スズ、ジルコニウム、チタニウム、アルミニウムおよび硼素などのケイ素以外の金属のアルコキシドおよびそれらのキレート錯体;などをあげることができ、この中で有機酸、無機酸、金属アルコキシド、金属アルコキシドのキレート化合物など酸性触媒が好ましく、有機酸が特に好ましい。
触媒の添加量は(c1)および(c2)の合計100重量部に対して、0.0001〜10重量部、好ましくは、0.001〜1重量部である。触媒の添加方法は特に規定されないが好ましくは水溶液として加える。また、好ましい反応温度は20℃〜100℃である。
Condensation reaction catalysts include formic acid, acetic acid, succinic acid, lactic acid, malonic acid, citric acid, tartaric acid, malic acid, succinic acid, fumaric acid, phthalic acid, pyromellitic acid, p-toluenesulfonic acid, methanesulfonic acid, trifluoro Monovalent, divalent or trivalent organic acids such as acetic acid and trifluoromethanesulfonic acid; inorganic acids such as hydrochloric acid, phosphoric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, bromic acid, chloric acid and perchloric acid; alkali metal hydroxides; Alkaline earth hydroxides, quaternary alkylammonium hydroxides and carbonates and alkali salts such as primary to tertiary amines; quaternary alkylammonium halides; sodium hypochlorite; tin, zirconium, titanium , Alkoxides of metals other than silicon such as aluminum and boron, and their chelate complexes; Organic acid among this, an inorganic acid, a metal alkoxide, an acid catalyst is preferable, chelate compounds of a metal alkoxide, an organic acid is particularly preferred.
The added amount of the catalyst is 0.0001 to 10 parts by weight, preferably 0.001 to 1 part by weight, based on 100 parts by weight of the total of (c1) and (c2). The method for adding the catalyst is not particularly limited, but it is preferably added as an aqueous solution. Moreover, preferable reaction temperature is 20 to 100 degreeC.

(C)は、相溶性及び硬化物の弾性回復特性の観点から、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)とのSP値の差が好ましくは−2.0〜2.0、さらに好ましくは0〜1.9、特に好ましくは0.5〜1.9、とりわけ好ましくは1〜1.85である。
(C)のSP値は、前述の(B)のSP値との差を−2.0〜2.0に設定し易いという観点から、好ましくは7〜13、さらに好ましくは8〜12、特に8〜11、とりわけ8〜10.5である。
(C) preferably has a difference in SP value from the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) of −2.0 to 2.0, more preferably 0 from the viewpoint of compatibility and the elastic recovery property of the cured product. ˜1.9, particularly preferably 0.5 to 1.9, particularly preferably 1-1.85.
The SP value of (C) is preferably 7 to 13, more preferably 8 to 12, especially from the viewpoint that the difference from the SP value of (B) described above can be easily set to -2.0 to 2.0. 8-11, especially 8-10.5.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(C)の含有量は、1〜50%が好ましく、さらに好ましくは3〜40%、特に好ましくは5〜30%である。5%以上であれば柔軟性および弾性回復特性性がさらに良好に発揮でき、40%以下であれば相溶性がさらに良好に発揮できる。   The content of (C) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 1 to 50%, more preferably 3 to 40%, and particularly preferably 5 to 30%. If it is 5% or more, the flexibility and the elastic recovery property can be exhibited more satisfactorily, and if it is 40% or less, the compatibility can be further improved.

(C)のMnは、フォトスペーサとなったときの柔軟性と弾性回復特性の観点から、好ましくは500〜100,000、さらに好ましくは1,000〜50,000、特に好ましくは2,000〜20,000である。   Mn of (C) is preferably from 500 to 100,000, more preferably from 1,000 to 50,000, particularly preferably from 2,000 to 50,000, from the viewpoint of flexibility and elastic recovery characteristics when it becomes a photospacer. 20,000.

感光性樹脂組成物(Q)中の1つの成分として用いられる光ラジカル重合開始剤(D)としては例えば、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が挙げられる。(D)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the radical photopolymerization initiator (D) used as one component in the photosensitive resin composition (Q) include benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl. Propan-1-one, benzophenone, methylbenzoyl formate, isopropylthioxanthone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone , Tert-butylanthraquinone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy Cetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, Michler's ketone, benzyl-2,4,6- (trihalomethyl) triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9 -Phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, dimethylbenzyl ketal, trimethylbenzoyldiphenylphosphine Sid, tribromomethylphenylsulfone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) - butan-1-one, and the like. (D) may be used alone or in combination of two or more.

(D)は、市販のものが容易に入手することができ、例えば2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンとしては、イルガキュア907、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンとしては、イルガキュア369(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)等が挙げられる。   (D) can be easily obtained as a commercially available product. For example, as 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, Irgacure 907, 2-benzyl- Examples of 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one include Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(D)の含有量は、0.01〜10%が好ましく、さらに好ましくは0.05〜8%、である。0.01%以上であれば光硬化反応性がさらに良好に発揮でき、8%以下であれば解像度がさらに良好に発揮できる。   The content of (D) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0.01 to 10%, more preferably 0.05 to 8%. If it is 0.01% or more, the photocuring reactivity can be exhibited more satisfactorily, and if it is 8% or less, the resolution can be further improved.

感光性樹脂組成物(Q)において、(B)および(メタ)アクリロイル基を有する場合の(A)の合計重量に対する(D)の含有量は、硬化性の観点から、0.02〜15%であることが好ましく、さらに0.05〜10%であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition (Q), the content of (D) with respect to the total weight of (A) when it has (B) and (meth) acryloyl groups is 0.02 to 15% from the viewpoint of curability. It is preferable that it is 0.05 to 10%.

感光性樹脂組成物(Q)は、必要によりさらにその他の成分(E)を含有していてもよい。(E)としては、無機微粒子(E1)、増感剤(E2)、重合禁止剤(E3)、溶剤(E4)、酸発生剤(E5)、並びにその他の添加剤(E6)(例えば、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等)が挙げられる。   The photosensitive resin composition (Q) may further contain other components (E) as necessary. (E) includes inorganic fine particles (E1), sensitizer (E2), polymerization inhibitor (E3), solvent (E4), acid generator (E5), and other additives (E6) (for example, inorganic Pigments, silane coupling agents, dyes, fluorescent brighteners, yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, antibacterial agents, and fungicides.

無機微粒子(E1)としては、金属酸化物および金属塩が使用できる。
金属酸化物としては、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。
金属塩としては、例えば、炭酸カルシウムおよび硫酸バリウム等が挙げられる。
これらのうちで、耐熱透明性および耐薬品性の観点から、金属酸化物が好ましく、さらに好ましくは、酸化ケイ素および酸化チタン、特に酸化ケイ素が好ましい。
無機微粒子は、体積平均一次粒子径が1〜200nm、透明性の観点から、好ましくは1〜150nm、さらに好ましくは1〜120nm、特に好ましくは5〜20nmのものである。
As the inorganic fine particles (E1), metal oxides and metal salts can be used.
Examples of the metal oxide include titanium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide.
Examples of the metal salt include calcium carbonate and barium sulfate.
Of these, metal oxides are preferable from the viewpoint of heat-resistant transparency and chemical resistance, and silicon oxide and titanium oxide, and particularly silicon oxide are more preferable.
The inorganic fine particles have a volume average primary particle diameter of 1 to 200 nm, preferably from 1 to 150 nm, more preferably from 1 to 120 nm, and particularly preferably from 5 to 20 nm, from the viewpoint of transparency.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(E1)の含有量は、通常0〜50%、好ましくは1〜45%、特に好ましくは2〜40%である。50%以下であれば現像性がさらに良好に発揮でき、2〜40%であれば、特に弾性回復特性が優れる。   The content of (E1) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is usually 0 to 50%, preferably 1 to 45%, particularly preferably 2 to 40%. If it is 50% or less, the developability can be further improved, and if it is 2 to 40%, the elastic recovery property is particularly excellent.

増感剤(E2)としては、ニトロ化合物(例えば、アントラキノン、1,2−ナフトキノン、1,4−ナフトキノン,ベンズアントロン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、p−ジニトロベンゼン及び2−ニトロフルオレン等)、芳香族炭化水素(例えば、アントラセン及びクリセン等)、硫黄化合物(例えば、ジフェニルジスルフィド等)及び窒素化合物(例えば、ニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、5−ニトロ−2−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等)等が用いられる。   As the sensitizer (E2), nitro compounds (for example, anthraquinone, 1,2-naphthoquinone, 1,4-naphthoquinone, benzanthrone, p, p'-tetramethyldiaminobenzophenone, carbonyl compounds such as chloranil, nitrobenzene, p -Dinitrobenzene and 2-nitrofluorene etc.), aromatic hydrocarbons (eg anthracene and chrysene etc.), sulfur compounds (eg diphenyl disulfide etc.) and nitrogen compounds (eg nitroaniline, 2-chloro-4-nitroaniline) , 5-nitro-2-aminotoluene, tetracyanoethylene and the like.

光重合開始剤(D)の重量に基づく増感剤(E2)の含有量は、通常0.1〜100%、好ましくは0.5〜80%、特に好ましくは1〜70%である。   The content of the sensitizer (E2) based on the weight of the photopolymerization initiator (D) is usually 0.1 to 100%, preferably 0.5 to 80%, particularly preferably 1 to 70%.

重合禁止剤(E3)としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−p−ニトルフェニルメチル、N−(3−N−オキシアニリノ−1,3−ジメチルブチリデン)アニリンオキシド、p−ベンゾキノン、p−tert−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅(II)等が挙げられる。   There is no limitation in particular as a polymerization inhibitor (E3), What is used for normal reaction is used. Specifically, diphenylhydrazyl, tri-p-nitrophenylmethyl, N- (3-N-oxyanilino-1,3-dimethylbutylidene) aniline oxide, p-benzoquinone, p-tert-butylcatechol, nitrobenzene, Examples include picric acid, dithiobenzoyl disulfide, and copper (II) chloride.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく重合禁止剤(E3)の含有量は、0〜1.0%が好ましく、さらに好ましくは0.01〜0.5%、特に好ましくは0.02〜0.1%である。   The content of the polymerization inhibitor (E3) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0 to 1.0%, more preferably 0.01 to 0.5%, particularly preferably. 0.02 to 0.1%.

溶剤としては、前述の(A)の製造に使用される溶剤と同様のものが使用できる。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づいて、通常50〜1,000%が好ましく、さらに好ましくは70〜900%、特に好ましくは80〜800%である。なお、溶剤の配合量には前述の(A)および(C)の製造に使用される溶剤も含まれる。   As the solvent, the same solvents as those used in the production of the above (A) can be used. When using a solvent, the compounding amount of the solvent is not particularly limited, but is preferably 50 to 1,000%, more preferably 70 to 900, based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q). %, Particularly preferably 80 to 800%. In addition, the solvent used for manufacture of above-mentioned (A) and (C) is also contained in the compounding quantity of a solvent.

酸発生剤(E5)は光又は熱で酸を発生する化合物であり、縮合反応の促進のために添加されるものである。
(E5)としては、下記の(i)スルホン化合物、(ii)スルホン酸エステル化合物、(iii)スルホンイミド化合物、(iv)ジスルホニルジアゾメタン(v)ジスルホニルメタンおよび(vi)オニウム塩が挙げられる。
(i)スルホン化合物
フェナシルフェニルスルホン、4−トリスフェナシルスルホン−ケトスルホン、β−スルホニルスルホンおよびこれらのα−ジアゾ化合物等
(ii)スルホン酸エステル化合物
ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、ピロガロールメタンスルホン酸トリエステル、α−メチロールベンゾイントシレートおよびα−メチロールベンゾインドデシルスルホネート等
(iii)スルホンイミド化合物
N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(p−トルエンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(パーフルオロオクタンスルホニルオキシ)ナフチルイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシイミドおよびN−(ベンゼンスルホニルオキシ)ナフチルイミド等
(iv)ジスルホニルジアゾメタン化合物
ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−ジメチルベンゼンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(1−メチルエチルスルホニル)ジアゾメタンおよびビス(1、4−ジオキサスピロ[4,5]デカン−7−スルホニル)ジアゾメタン等
(v)オニウム塩
スルホニウム塩〔ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィドビスヘキサフルオロホスフェート、アリルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート塩等〕、
ヨードニウム塩(ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等)、ホスホニウム塩(エチルトリフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート等)、ジアゾニウム塩(フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等)、アンモニウム塩(1−ベンジル−2−シアノピリジニウムヘキサフルオロホスフェート等)、およびフェロセン〔(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−Fe(II)ヘキサフルオロホスフェート等〕等
The acid generator (E5) is a compound that generates an acid by light or heat, and is added to accelerate the condensation reaction.
Examples of (E5) include the following (i) sulfone compounds, (ii) sulfonic acid ester compounds, (iii) sulfonimide compounds, (iv) disulfonyldiazomethane (v) disulfonylmethane, and (vi) onium salts. .
(I) Sulfone compounds Phenacylphenylsulfone, 4-trisphenacylsulfone-ketosulfone, β-sulfonylsulfone, and α-diazo compounds thereof (ii) Sulfonic acid ester compounds Benzoin tosylate, pyrogallol tris-trifluoromethanesulfonate, pyrogallolmethane (Iii) sulfonimide compounds N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (p-toluenesulfonyloxy) bicyclo [2.2] sulfonic acid triester, α-methylolbenzointosylate, α-methylolbenzoindodecylsulfonate, etc. .1] Hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (perfluorooctanesulfonyloxy) naphthylimide, N- (benzenesulfonyloxy) bishi [2.2.1] Hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (benzenesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] heptane-5,6-oxy-2,3-di Carboximide and N- (benzenesulfonyloxy) naphthylimide, etc. (iv) Disulfonyldiazomethane compounds Bis (trifluoromethylsulfonyl) diazomethane, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-toluenesulfonyl) diazomethane, bis (2,4 -Dimethylbenzenesulfonyl) diazomethane, bis (1-methylethylsulfonyl) diazomethane and bis (1,4-dioxaspiro [4,5] decane-7-sulfonyl) diazomethane etc. (v) onium salts sulfonium salts [bis [4- ( Diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bi Suhexafluorophosphate, allylsulfonium hexafluorophosphate salt, etc.)
Iodonium salts (such as diphenyliodonium hexafluorophosphate), phosphonium salts (such as ethyltriphenylphosphonium tetrafluoroborate), diazonium salts (such as phenyldiazonium hexafluorophosphate), ammonium salts (1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluorophosphate, etc.) ), And ferrocene [(2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -Fe (II) hexafluorophosphate, etc.), etc.

(E5)のうち、好ましいのは好ましくはスルホンイミド化合物およびジスルホニルジアゾメタン化合物であり、さらに好ましくは、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタンである。   Of (E5), preferred are a sulfonimide compound and a disulfonyldiazomethane compound, and more preferred are N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide and bis (phenylsulfonyl) diazomethane.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(E5)の含有量は、10%以下が好ましく、さらに好ましくは0.01〜7%、特に好ましくは0.05〜5%である。0.001%以上であれば弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、10%以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。   The content of (E5) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 10% or less, more preferably 0.01 to 7%, and particularly preferably 0.05 to 5%. . If it is 0.001% or more, the elastic recovery property can be exhibited more satisfactorily, and if it is 10% or less, the developability can be further improved.

(E)の含有量の合計は、感光性樹脂組成物(Q)の重量に基づいて、通常1,000%以下、好ましくは80〜800%である。   The total content of (E) is usually 1,000% or less, preferably 80 to 800%, based on the weight of the photosensitive resin composition (Q).

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1〜10,000mPa・s、好ましくは1〜8,000mPa・sである。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer.
The photosensitive resin composition is usually liquid at room temperature, and its viscosity is 0.1 to 10,000 mPa · s, preferably 1 to 8,000 mPa · s at 25 ° C.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)はアルカリ現像性が良好であり、その硬化物の弾性回復特性に優れているので、特に液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサ用の感光性樹脂組成物として適している。   Since the photosensitive resin composition (Q) of the present invention has good alkali developability and is excellent in the elastic recovery property of the cured product, the photosensitive resin for a photospacer provided especially for maintaining a gap in the liquid crystal cell. Suitable as a conductive resin composition.

以下において本発明のフォトスペーサについて説明する。
本発明のフォトスペーサは、上記の感光性樹脂組成物(Q)を光照射を含む工程により硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサである。
フォトスペーサは、カラーフィルタ基板とTFT基板とを貼り合わせた時に液晶セルのギャップを決めるものであり、表示品質にとって重要な役割を果たす。フォトスペーサの高さは、通常2〜5μm程度の範囲で一定の高さを持つものであり、その均一性が要求される。また、高さの他、フォトスペーサに要求される形状、大きさ、密度等は液晶表示装置の設計によって適宜決定される。
The photo spacer of the present invention will be described below.
The photospacer of the present invention is a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the photosensitive resin composition (Q) by a process including light irradiation.
The photo spacer determines the gap of the liquid crystal cell when the color filter substrate and the TFT substrate are bonded together, and plays an important role for display quality. The height of the photo spacer usually has a constant height in the range of about 2 to 5 μm, and its uniformity is required. In addition to the height, the shape, size, density, and the like required for the photo spacer are appropriately determined depending on the design of the liquid crystal display device.

本発明のフォトスペーサの好ましい形成工程は、光照射の後、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行う工程である。
フォトスペーサの形成は、通常、以下(1)〜(5)の工程で行われる。
(1)基板の着色層上に設けられた透明共通電極上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程。
塗布方法としては、ロールコート、スピンコート、スプレーコートおよびスリットコート等が挙げられ、塗布装置としては、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
膜厚は、通常0.5〜10μm、好ましくは1〜5μmである。
The preferable formation process of the photospacer of the present invention is a process in which, after light irradiation, alkali development is performed to form a pattern, followed by post-baking.
The formation of the photo spacer is usually performed in the following steps (1) to (5).
(1) The process of apply | coating the photosensitive resin composition of this invention on the transparent common electrode provided on the colored layer of a board | substrate.
Examples of the coating method include roll coating, spin coating, spray coating, and slit coating. Examples of the coating apparatus include spin coater, air knife coater, roll coater, bar coater, curtain coater, gravure coater, and comma coater. It is done.
The film thickness is usually 0.5 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm.

(2)塗布された感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる(プリベーク)工程。
乾燥温度としては、好ましくは10〜100℃、さらに好ましくは12〜90℃、特に15〜60℃、とりわけ20〜50℃である。乾燥時間は、好ましくは0.5〜10分、さらに好ましくは1〜8分、特に好ましくは2〜5分である。乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
(2) A step of drying (prebaking) the applied photosensitive resin composition layer by applying heat as necessary.
The drying temperature is preferably 10 to 100 ° C, more preferably 12 to 90 ° C, particularly 15 to 60 ° C, particularly 20 to 50 ° C. The drying time is preferably 0.5 to 10 minutes, more preferably 1 to 8 minutes, and particularly preferably 2 to 5 minutes. Drying may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.

(3)所定のフォトマスクを介して、活性光線により感光性樹脂組成物層の露光を行う工程。
本発明の感光性樹脂組成物であれば、直径5〜10μm程度(面積20〜100μm2程度)のマスク開口部であっても、精度良く、すなわち直径6〜12μm(面積30〜120μm2)の範囲でパターンを形成することができる。

活性光線としては、可視光線、紫外線、レーザー光線等が挙げられる。光線源としては、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー等が挙げられる。
露光量としては、特に限定されないが、好ましくは20〜300mJ/cm2である。
露光を行う工程においては、感光性樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基を有する成分が反応して光硬化反応する。
(3) A step of exposing the photosensitive resin composition layer with actinic rays through a predetermined photomask.
In the case of the photosensitive resin composition of the present invention, even a mask opening having a diameter of about 5 to 10 μm (area of about 20 to 100 μm 2 ) is accurate, that is, a range of 6 to 12 μm (area of 30 to 120 μm 2 ). Can form a pattern.

Examples of the active light include visible light, ultraviolet light, and laser light. Examples of the light source include sunlight, a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a semiconductor laser.
Although it does not specifically limit as an exposure amount, Preferably it is 20-300 mJ / cm < 2 >.
In the step of performing exposure, a component having a (meth) acryloyl group in the photosensitive resin composition reacts to undergo photocuring reaction.

(4)続いて未露光部を現像液で除去し、現像を行う工程。
現像液は、通常、アルカリ水溶液を用いる。アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液;炭酸ナトリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩の水溶液;ヒドロキシテトラメチルアンモニウムおよびヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げられる。これらを単独又は2種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは25〜40℃である。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
(4) A step of developing by removing the unexposed portion with a developer.
As the developer, an alkaline aqueous solution is usually used. Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions of alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; aqueous solutions of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate and sodium hydrogencarbonate; hydroxytetramethylammonium and hydroxytetraethylammonium. An aqueous solution of an organic alkali can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more kinds, and a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant and a nonionic surfactant can be added and used.
As a developing method, there are a dip method and a shower method, but the shower method is preferable. The temperature of the developer is preferably 25 to 40 ° C. The development time is appropriately determined according to the film thickness and the solubility of the photosensitive resin composition.

(4)後加熱(ポストベーク)工程
ポストベークの温度としては、好ましくは100〜250℃、さらに好ましくは150〜240℃、特に好ましくは180〜230℃である。ポストベークの時間は5分〜6時間、好ましくは15分〜4時間、特に好ましくは30分〜3時間である。
ベークは、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
ポストベークを行うことにより、フォトスペーサの弾性回復特性がさらに良好になる。
後加熱工程においては、感光性樹脂組成物中の熱硬化性官能基を有する成分が反応して熱硬化するものと推定される。
熱硬化性官能基としては、例えば、(B)のうちの加水分解性アルコキシ基、グリシジル基、メルカプト基またはアミノ基、並びに(A)または(B)のうちの(メタ)アクリロイル基のうちで上記の露光工程で残存した微量の(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
(4) Post-heating (post-baking) step The post-baking temperature is preferably 100 to 250 ° C, more preferably 150 to 240 ° C, and particularly preferably 180 to 230 ° C. The post-baking time is 5 minutes to 6 hours, preferably 15 minutes to 4 hours, particularly preferably 30 minutes to 3 hours.
The baking may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.
By performing post-baking, the elastic recovery characteristics of the photo spacer are further improved.
In the post-heating step, it is presumed that a component having a thermosetting functional group in the photosensitive resin composition reacts and is thermoset.
Examples of the thermosetting functional group include hydrolyzable alkoxy group, glycidyl group, mercapto group or amino group in (B), and (meth) acryloyl group in (A) or (B). The trace amount (meth) acryloyl group etc. which remain | survived in said exposure process are mentioned.

上記のようにして得られた本発明のフォトスペーサは、柔軟性及び弾性回復特性に優れたフォトスペーサである。
フォトスペーサの柔軟性は、圧力がかかった時の「総変形量」によって評価することができる。総変形量の大きい方が柔軟性に優れる。
フォトスペーサの弾性回復特性は、圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができる。弾性回復率の高い方が弾性回復率に優れる。
The photo spacer of the present invention obtained as described above is a photo spacer excellent in flexibility and elastic recovery characteristics.
The flexibility of the photo spacer can be evaluated by the “total deformation amount” when pressure is applied. The larger the total deformation, the better the flexibility.
The elastic recovery characteristic of the photo spacer can be evaluated by the “elastic recovery rate” when pressure is applied. The higher the elastic recovery rate, the better the elastic recovery rate.

本発明において、柔軟性及び弾性回復特性は下記の「0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲における総変形量、弾性回復率」を測定して評価することができる。 In the present invention, the flexibility and elastic recovery characteristics can be evaluated by measuring the following “total deformation amount, elastic recovery rate in a pressure range of 0.2 to 0.8 mN / μm 2 ”.

「総変形量(μm)」および「弾性回復率(%)」の測定方法;
25℃において、一定の速度で所定の圧力をかけ、1秒間保持した後、一定の速度で圧力を除荷した時の荷重と変形量とのヒステリシス曲線(図1)から総変形量T0(μm)を求め、さらに塑性変形量T1(μm)を求めて、所定の圧力における弾性回復率(%)を下式で算出する。
弾性回復率(%)=[(T0−T1)/T0]×100
圧力としては、0.2mN/μm、0.4mN/μm、0.6mN/μm2および0.8mN/μm2の異なる4種の圧力でヒステリシス曲線を測定し、それぞれにおいて上記弾性回復率を求める。
Measuring method of “total deformation (μm)” and “elastic recovery rate (%)”;
At 25 ° C., a predetermined pressure is applied at a constant speed, held for one second, and then the total deformation amount T 0 (from the hysteresis curve (FIG. 1) between the load and the deformation amount when the pressure is unloaded at a constant speed. μm) is obtained, and the plastic deformation amount T 1 (μm) is obtained, and the elastic recovery rate (%) at a predetermined pressure is calculated by the following equation.
Elastic recovery rate (%) = [(T 0 −T 1 ) / T 0 ] × 100
The pressure, 0.2mN / μm 2, 0.4mN / μm 2, the hysteresis curve measured at four different pressures of 0.6mN / μm 2 and 0.8mN / μm 2, the elastic recovery rate in each Ask for.

本発明のフォトスペーサの総変形量は、0.2mN/μm2の圧力条件で、好ましくは0.2〜2.0μm、さらに好ましくは0.3〜1.8μm、特に好ましくは0.4〜1.5μmである。総変形量が0.2μm以上であれば液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。 The total deformation amount of the photo spacer of the present invention is preferably 0.2 to 2.0 μm, more preferably 0.3 to 1.8 μm, and particularly preferably 0.4 to 0.2 mN / μm 2 under pressure conditions. 1.5 μm. If the total deformation amount is 0.2 μm or more, there is a high possibility that it can be used practically as a spacer for holding the liquid crystal cell gap.

本発明のフォトスペーサの弾性回復率は、0.2〜0.8mN/μm2のいずれの圧力条件下であっても、好ましくは70%以上、さらに好ましくは75%以上、特に好ましくは80%以上である。弾性回復率が70%以上、特に75%以上であれば液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。 The elastic recovery rate of the photospacer of the present invention is preferably 70% or more, more preferably 75% or more, and particularly preferably 80% under any pressure condition of 0.2 to 0.8 mN / μm 2. That's it. If the elastic recovery rate is 70% or more, particularly 75% or more, there is a high possibility that it can be used practically as a spacer for holding the liquid crystal cell gap.

[実施例]
以下、実施例および製造例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下、部は重量部を意味する。
[Example]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a manufacture example demonstrate this invention concretely, this invention is not limited to these. Hereinafter, the part means part by weight.

[親水性ポリマー(A)の製造]
<製造例1>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、イソボルニルメタクリレート50部(33モル%)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート30部(33モル%)、メタクリル酸20部(34モル%)、およびシクロヘキサンノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル(V-60:和光純薬製、以下AIBNと称す)5部をシクロヘキサノン50部に溶解した溶液55部を80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させ、水酸基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー(A−1)(Mn:8,800、SP値:11.86、HLB値:11.98、弱酸価:102mgKOH/g)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。なお、MnはGPC測定機器(HLC−8120GPC、東ソー(株)製)、カラム(TSKgel GMHXL2本+TSKgel Multipore HXL−M、東ソ(株)製)を用いて、GPC法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。また、SP値、HLB値、弱酸価は、前述のようにして求めた。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
[Production of hydrophilic polymer (A)]
<Production Example 1>
A glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen inlet tube, isobornyl methacrylate 50 parts (33 mol%), 2-hydroxyethyl methacrylate 30 parts (33 mol%), methacryl 20 parts (34 mol%) of acid and 150 parts of cyclohexanenone were charged and heated to 80 ° C. A solution in which 5 parts of azobisisobutyronitrile (V-60: Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as AIBN) prepared in advance is dissolved in 50 parts of cyclohexanone after replacing the gas phase part in the system with nitrogen. 55 parts are dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further reacted at the same temperature for 3 hours to obtain a hydrophilic polymer (A-1) having a hydroxyl group and a carboxyl group (Mn: 8,800, SP value: 11. 86, HLB value: 11.98, weak acid value: 102 mg KOH / g) (solid content 25%). In addition, Mn is GPC measurement equipment (HLC-8120GPC, manufactured by Tosoh Corp.), column (TSKgel GMHXL 2 + TSKgel Multipore HXL-M, manufactured by Toso Corp.), polystyrene conversion measured by GPC method. Obtained as a value. The SP value, HLB value, and weak acid value were determined as described above. The same measurement method is used for the following production examples and comparative examples.

<製造例2>
製造例1と同様のコルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN−1020」(日本化薬製、エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部、およびp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、さらに90℃5時間反応させ、冷却後にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて固形分含有量を調整し、カルボキシル基およびアクリロイル基を有する親水性ポリマー(A−2)(Mn:2,200、SP値:11.26、HLB値:6.42、酸価:91mgKOH/g)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Production Example 2>
In the same Kolben as in Production Example 1, 200 parts of a cresol novolac type epoxy resin “EOCN-1020” (manufactured by Nippon Kayaku, epoxy equivalent 200) and 245 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate are charged and heated to 110 ° C. uniformly. Dissolved. Subsequently, 76 parts (1.07 mol part) of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine, and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110 ° C. for 10 hours. The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mol part) of tetrahydrophthalic anhydride, further reacted at 90 ° C. for 5 hours, and after cooling, propylene glycol monomethyl ether acetate was added to adjust the solid content, and carboxyl group and acryloyl A propylene glycol monomethyl ether acetate solution of a hydrophilic polymer (A-2) having a group (Mn: 2,200, SP value: 11.26, HLB value: 6.42, acid value: 91 mgKOH / g) was obtained ( Solids content is 25%).

[2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)の製造]
<製造例C−1>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部(0.2モル部)、ジフェニルジメトキシシラン160部(0.65モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、ポリシロキサン(C−1)(Mn:2,100、粘度:20mPa・s、SP値:9.36)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。また、粘度は25℃の定温下にてBL型粘度計(東機産業株式会社製)を用いて測定した。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
[Production of polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups]
<Production Example C-1>
In a glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction pipe, 46 parts (0.2 mole part) 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 160 parts diphenyldimethoxysilane (0 .65 mol parts), 45 g (2.5 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol parts) of oxalic acid, and heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. The methanol by-produced by hydrolysis was removed over 2 hours under reduced pressure of 50 mmHg. Thereafter, the solution is diluted with cyclohexanone so that the solid content is 25%, and a cyclohexanone solution of polysiloxane (C-1) (Mn: 2,100, viscosity: 20 mPa · s, SP value: 9.36) is obtained. (The solid content was 25%). The viscosity was measured using a BL type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) at a constant temperature of 25 ° C. The same measurement method is used for the following production examples and comparative examples.

<製造例C−2>
製造例C−1と同様のコルベンに、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン170部(0.82モル部)、フェニルトリメトキシシラン40部(0.20モル部)、ジフェニルジメトキシシラン30部(0.12モル部)とイオン交換水40g(2.2モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、ポリシロキサン(C−2)(Mn:7,800、粘度:70mPa・s、SP値:8.69)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Production Example C-2>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 170 parts (0.82 mole part) of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 40 parts (0.20 mole part) of phenyltrimethoxysilane, 30 parts of diphenyldimethoxysilane ( 0.12 mol part), 40 g (2.2 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol part) of oxalic acid, and heated and stirred under conditions of 60 ° C. for 6 hours, and further an evaporator. Was used to remove methanol by-produced by hydrolysis over 2 hours under reduced pressure of 50 mmHg. Thereafter, the solution is diluted with cyclohexanone so that the solid content is 25%, and a cyclohexanone solution of polysiloxane (C-2) (Mn: 7,800, viscosity: 70 mPa · s, SP value: 8.69) is obtained. (The solid content was 25%).

<比較製造例C−1’>
製造例C−1と同様のコルベンに、メチルトリメトキシシラン46部(0.34モル部)、フェニルトリメトキシシラン160部(0.80モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、比較のポリシロキサン(C−1’)(Mn:9,400、粘度:250mPa・s、SP値:8.49)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Comparative Production Example C-1 ′>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 46 parts (0.34 mole part) of methyltrimethoxysilane, 160 parts (0.80 mole part) of phenyltrimethoxysilane and 45 g (2.5 mole parts) of ion-exchanged water Then, 0.1 part (0.001 mol part) of oxalic acid was charged, heated and stirred under the conditions of 60 ° C. and 6 hours, and further by using an evaporator, methanol produced as a by-product by hydrolysis was added under reduced pressure of 50 mmHg. Removed over time. Then, it was diluted with cyclohexanone so that the solid content was 25%, and cyclohexanone of comparative polysiloxane (C-1 ′) (Mn: 9,400, viscosity: 250 mPa · s, SP value: 8.49) A solution was obtained (solid content 25%).

<比較製造例C−2’>
製造例C−1と同様のコルベンに、トリメチルモノメトキシシラン119部(1.14モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、比較のポリシロキサン(C−2’)(Mn:350、粘度:4mPa・s、SP値:6.75)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Comparative Production Example C-2 ′>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 119 parts (1.14 mole part) of trimethylmonomethoxysilane, 45 g (2.5 mole part) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mole part) of oxalic acid ), And heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. Further, by using an evaporator, methanol produced as a by-product by hydrolysis was removed under reduced pressure of 50 mmHg over 2 hours. Thereafter, the solution was diluted with cyclohexanone so that the solid content was 25%, and a cyclohexanone solution of comparative polysiloxane (C-2 ′) (Mn: 350, viscosity: 4 mPa · s, SP value: 6.75) was prepared. Obtained (solid content 25%).

<実施例1〜6および比較例1〜4>
[感光性樹脂組成物の製造]
表1の配合例に従い、ガラス製の容器に各親水性ポリマーの溶液、ポリシロキサンの溶液を仕込み、さらに下記の(B−1)、(D−1)、及び(E−1)を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して実施例の感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q6)、および比較例の感光性樹脂組成物(Y1)〜(Y4)を製造した。なお、表1中の( )内は、それぞれの成分の感光性樹脂組成物中における固形分換算での含有量を表す。
<Examples 1-6 and Comparative Examples 1-4>
[Production of photosensitive resin composition]
According to the formulation example of Table 1, each hydrophilic polymer solution and polysiloxane solution are charged into a glass container, and the following (B-1), (D-1), and (E-1) are further charged. Stir until uniform, and further add an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate), photosensitive resin compositions (Q1) to (Q6) of Examples, and photosensitive resin composition (Y1) of Comparative Examples -(Y4) was manufactured. In addition, () in Table 1 represents the content of each component in terms of solid content in the photosensitive resin composition.

B−1(多官能(メタ)アクリレート):「ネオマーDA−600」(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物:三洋化成工業(株)製)(SP値:10.55)、
C−3’:片末端グリシジル基変性ポリシロキサン(「X−22−173DX」:信越化学工業社製)(粘度:65mPa・s、SP値:6.66)
D−1(光ラジカル重合開始剤):「イルガキュア907」(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)、
E−1(酸発生剤):N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド
B-1 (polyfunctional (meth) acrylate): “Neomer DA-600” (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.) (SP value: 10.55),
C-3 ′: One-terminal glycidyl group-modified polysiloxane (“X-22-173DX”: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) (viscosity: 65 mPa · s, SP value: 6.66)
D-1 (photo radical polymerization initiator): “Irgacure 907” (2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. ),
E-1 (acid generator): N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide

Figure 2008116488
Figure 2008116488

[現像性の評価]
感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q6)、および(Y1)〜(Y4)を、それぞれガラス基板上に仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥し、その後1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒間現像を行い、現像性を評価した。結果を表1に示す。評価基準は以下の通りである。
◎:目視により残留物無し。
○:目視により残留物わずかにあり。
△:目視により残留物が多い。
[Evaluation of developability]
The photosensitive resin compositions (Q1) to (Q6) and (Y1) to (Y4) were each spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 5 μm, dried at 25 ° C. for 5 minutes, and then Development was performed for 30 seconds using a 1% aqueous sodium carbonate solution to evaluate developability. The results are shown in Table 1. The evaluation criteria are as follows.
A: There is no residue visually.
○: There is a slight residue visually.
Δ: There are many residues by visual inspection.

実施例7〜12、比較例5〜8
[フォトスペーサの作製]
感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q6)、および(Y1)〜(Y4)を、それぞれガラス基板上に、仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥した。フォトスペーサ形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射した。尚、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。その後1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像をした。水洗を施したのち、230℃で60分間ポストベークしてフォトスペーサをカラーフィルタ上に形成した。フォトスペーサの上底面積は150μm2、下底面積は400μm2であった。
[総変形量、弾性回復率の測定]
上記のようにして得られたフォトスペーサの総変形量、弾性回復率をフィッシャースコープH−100(フィッシャーインストルメンツ社製)装置を用いて測定した。
なお、断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)の平坦圧子を用いた。結果を表2および3に示す。
Examples 7-12, Comparative Examples 5-8
[Production of photo spacer]
The photosensitive resin compositions (Q1) to (Q6) and (Y1) to (Y4) were each spin-coated on a glass substrate so that the final film thickness was 5 μm, and dried at 25 ° C. for 5 minutes. The light of a high pressure mercury lamp was 100 mJ / cm 2 irradiation through a photomask for forming photo spacers. Note that the exposure (gap) between the photomask and the substrate was 100 μm. Thereafter, development was performed using a 1% aqueous sodium carbonate solution. After washing with water, post-baking was performed at 230 ° C. for 60 minutes to form a photo spacer on the color filter. The upper base area of the photo spacer was 150 μm 2 and the lower base area was 400 μm 2 .
[Measurement of total deformation and elastic recovery rate]
The total deformation amount and elastic recovery rate of the photo spacer obtained as described above were measured using a Fischer scope H-100 (Fischer Instruments) apparatus.
A flat indenter (50 μm × 50 μm) having a square cross section was used. The results are shown in Tables 2 and 3.

Figure 2008116488
Figure 2008116488

Figure 2008116488
Figure 2008116488

表1、表2および表3から判るように、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、現像性が良好でありかつ柔軟性および弾性回復特性に優れたフォトスペーサを形成することができる。
比較例1〜3では、使用された感光性樹脂組成物(Y1)〜(Y3)中のポリシロキサンが官能基または2個以上のアルコキシ基を有していないため必要とされる架橋反応が十分に進行しない。このような場合、分子間での「ずり」が大きくなるため、弾性回復率が小さくなる。このようなフォトスペーサを用いて液晶パネルを作成すると、セルギャップが均一とならずに表示品質が悪化する。
比較例4では、使用された感光性樹脂組成物(Y4)にポリシロキサンが含まれず、総変形量が小さく、柔軟性に劣る。このようなフォトスペーサを用いて液晶パネルを作成すると、セルギャップが均一とならずに表示品質が悪化する。
As can be seen from Tables 1, 2 and 3, by using the photosensitive resin composition of the present invention, a photo spacer having good developability and excellent flexibility and elastic recovery characteristics can be formed. .
In Comparative Examples 1 to 3, since the polysiloxane in the used photosensitive resin compositions (Y1) to (Y3) does not have a functional group or two or more alkoxy groups, the necessary crosslinking reaction is sufficient. Does not progress to. In such a case, since the “shear” between molecules increases, the elastic recovery rate decreases. When a liquid crystal panel is produced using such a photo spacer, the cell gap is not uniform and the display quality is deteriorated.
In Comparative Example 4, the used photosensitive resin composition (Y4) does not contain polysiloxane, has a small total deformation amount, and is inferior in flexibility. When a liquid crystal panel is produced using such a photo spacer, the cell gap is not uniform and the display quality is deteriorated.

本発明の感光性樹脂組成物は、フォトスペーサ用に好適に使用できる。
さらに、その他にも各種のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤またはハードコート剤などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。
さらに、金属(例えば、鉄、アルミニウム、チタン、銅等)、プラスチック(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテルフタラート、ポリ(メタ)アクリレート)、紙、ガラス、ゴム及び木材等の各種材料に対するコーティング剤、塗料、印刷インキ及び接着剤としても使用でき、成型材料等としても応用できる。
The photosensitive resin composition of this invention can be used conveniently for photospacers.
In addition, it is also suitable as a photosensitive resin composition for uses such as various resist materials such as a photo solder resist, a photosensitive resist film, a photosensitive resin relief plate, a screen plate, a photoadhesive or a hard coat agent.
Furthermore, coating agents for various materials such as metals (for example, iron, aluminum, titanium, copper, etc.), plastics (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, poly (meth) acrylate), paper, glass, rubber and wood, paints, It can also be used as a printing ink and an adhesive, and can also be applied as a molding material.

荷重と変形量のヒステリシス曲線Hysteresis curve of load and deformation

符号の説明Explanation of symbols

0: 総変形量
1: 塑性変形量
2: 弾性変形量
T 0 : Total deformation amount T 1 : Plastic deformation amount T 2 : Elastic deformation amount

Claims (6)

親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)、及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有し、該ポリシロキサン(C)が下記一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とする縮合物である、アルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。
Figure 2008116488
[式中、R1は、アルキル基の炭素数が1〜6の、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。]
Containing a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), a polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, and a photoradical polymerization initiator (D), A photosensitive resin composition (Q) for a photospacer capable of alkali development, in which siloxane (C) is a condensate containing a silane compound (c1) represented by the following general formula (1) as an essential constituent monomer.
Figure 2008116488
[Wherein, R 1 is one selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group, wherein the alkyl group has 1 to 6 carbon atoms. The above organic group, R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1 It is. ]
(c1)が、一般式(1)におけるR1が(メタ)アクリロイロキシアルキル基であるシラン化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物(Q)。 The photosensitive resin composition (Q) according to claim 1, wherein (c1) is a silane compound in which R 1 in the general formula (1) is a (meth) acryloyloxyalkyl group. 多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)と2個以上の加水分解性アルコキシ基を有する化合物(C)との溶解度パラメーターの差が−2.0〜2.0であるである請求項1または2記載の感光性樹脂組成物(Q)。 The difference in solubility parameter between the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) and the compound (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups is -2.0 to 2.0. The photosensitive resin composition (Q) described. 2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)の含有量が、感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づいて5〜30重量%である請求項1〜3のいずれか記載の感光性樹脂組成物(Q)。 The content of the polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups is 5 to 30% by weight based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q). Any photosensitive resin composition (Q). 請求項1〜4のいずれか記載の感光性樹脂組成物を光照射を含む工程により硬化させて形成されたフォトスペーサ。 The photo-spacer formed by hardening the photosensitive resin composition in any one of Claims 1-4 by the process including light irradiation. 光照射を含む工程が、光照射の後、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行うことを特徴とする工程である請求項5記載のフォトスペーサ。 6. The photospacer according to claim 5, wherein the step including light irradiation is a step in which after light irradiation, alkali development is performed to form a pattern, and further post baking is performed.
JP2006296791A 2006-02-22 2006-10-31 Photosensitive resin composition Expired - Fee Related JP4231076B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006296791A JP4231076B2 (en) 2006-10-31 2006-10-31 Photosensitive resin composition
TW096105737A TWI396941B (en) 2006-02-22 2007-02-15 Photosensitive resin composite
KR1020070016497A KR101311505B1 (en) 2006-02-22 2007-02-16 Photosensitive Resin Composition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006296791A JP4231076B2 (en) 2006-10-31 2006-10-31 Photosensitive resin composition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008116488A true JP2008116488A (en) 2008-05-22
JP4231076B2 JP4231076B2 (en) 2009-02-25

Family

ID=39502491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006296791A Expired - Fee Related JP4231076B2 (en) 2006-02-22 2006-10-31 Photosensitive resin composition

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4231076B2 (en)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233518A (en) * 2007-03-20 2008-10-02 Jsr Corp Radiation-sensitive resin composition and spacer for liquid crystal display element
JP2009288544A (en) * 2008-05-29 2009-12-10 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2011158513A (en) * 2010-01-29 2011-08-18 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2011203577A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2011203579A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012014930A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012013905A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012014932A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012098357A (en) * 2010-10-29 2012-05-24 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
WO2012133741A1 (en) * 2011-03-31 2012-10-04 大日本印刷株式会社 Photo-curable resin composition
US8377626B2 (en) 2009-03-31 2013-02-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming a pattern using negative-type photoresist compositions
JP2013050712A (en) * 2011-07-29 2013-03-14 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition, cured product and spacer
JP2016066004A (en) * 2014-09-25 2016-04-28 日立化成株式会社 Photosensitive resin composition
JP2018131588A (en) * 2017-02-17 2018-08-23 大阪有機化学工業株式会社 Photospacer resin, photospacer resin composition, photospacer and color filter

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233518A (en) * 2007-03-20 2008-10-02 Jsr Corp Radiation-sensitive resin composition and spacer for liquid crystal display element
JP2009288544A (en) * 2008-05-29 2009-12-10 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
US8377626B2 (en) 2009-03-31 2013-02-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming a pattern using negative-type photoresist compositions
JP2011158513A (en) * 2010-01-29 2011-08-18 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2011203577A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2011203579A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012013905A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012014932A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012014930A (en) * 2010-06-30 2012-01-19 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
JP2012098357A (en) * 2010-10-29 2012-05-24 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition
WO2012133741A1 (en) * 2011-03-31 2012-10-04 大日本印刷株式会社 Photo-curable resin composition
JP2012214590A (en) * 2011-03-31 2012-11-08 Dainippon Printing Co Ltd Photocurable resin composition
JP2013050712A (en) * 2011-07-29 2013-03-14 Sanyo Chem Ind Ltd Photosensitive resin composition, cured product and spacer
JP2016066004A (en) * 2014-09-25 2016-04-28 日立化成株式会社 Photosensitive resin composition
JP2018131588A (en) * 2017-02-17 2018-08-23 大阪有機化学工業株式会社 Photospacer resin, photospacer resin composition, photospacer and color filter

Also Published As

Publication number Publication date
JP4231076B2 (en) 2009-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4568237B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4680867B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4231076B2 (en) Photosensitive resin composition
JP6377056B2 (en) Photosensitive resin composition, photo spacer, protective film for color filter, and protective film or insulating film for touch panel
WO2013018705A1 (en) Photosensitive resin composition, cured product and spacer
JP2009133971A (en) Photosensitive resin composition
JP5514566B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5653173B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2009157235A (en) Photosensitive resin composition
JP2015152726A (en) photosensitive resin composition
JP2009133966A (en) Photosensitive resin composition
JP4699257B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2007264467A (en) Photosensitive resin composition for color filter substrate protection layer
JP2012014931A (en) Photosensitive resin composition
JP2011203578A (en) Photosensitive resin composition
TWI396941B (en) Photosensitive resin composite
JP4750577B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4672527B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4633772B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2009237412A (en) Photosensitive resin composition
JP4607793B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2009286904A (en) Photosensitive resin composition
JP4750777B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2008250189A (en) Photosensitive resin composition
JP2009288544A (en) Photosensitive resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080609

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080902

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081031

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20081202

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081204

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4231076

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees