JP2011203578A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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真平 長谷川
Hironobu Tokunaga
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for a photospacer that has high alkaline developability, high exposure sensitivity, and high resolution, and is excellent in adhesion to a substrate and elastic recovery characteristics even when the cured product employs low-temperature processing.SOLUTION: This photosensitive resin composition (Q) for the photospacer is a photosensitive resin composition of negative type and alkaline developability including hydrophilic epoxy resin (A), multi-functional (meta) acrylate monomer (B), cationic polymerizable compound (C) containing two or more epoxy groups and/or alkoxy groups in a molecule, siloxane compound (D) having two or more hydrolysis alkoxy groups, a photo-radical polymerization initiator (E), and acid generator (F). The elastic recovery rate of the photospacer formed by post-baking the cured product by light irradiation at 200°C or lower is 50% or more.

Description

本発明は、光の照射により硬化し、アルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物と、この組成物を用いて形成した液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサに関するものである。さらに詳しくは弾性回復特性、および基板との密着性に優れ、また、光照射による硬化後、低温でのポストベーク処理を採用した場合でも優れた弾性回復特性、および基板との密着性を発揮できるフォトスペーサに関する。   The present invention relates to a negative photosensitive resin composition that is cured by light irradiation and is capable of alkali development, and a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed using the composition. . More specifically, it has excellent elastic recovery characteristics and adhesion to the substrate, and can exhibit excellent elastic recovery characteristics and adhesion to the substrate even when post-baking treatment at low temperature is adopted after curing by light irradiation. The present invention relates to a photo spacer.

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用
されている。例えば、カラーフィルタ上の画素に相当する部分は、着色顔料分散レジスト
であり、ブラックマトリックスにもレジストが使用されている。
そのような部分に使用されるレジストとしては、マスクを通して感光すると、光が照射された部分のみが固まり、現像により未露光部が剥離されるいわゆるネガ型レジストが多用されている。
液晶表示装置技術においては、カラーフィルタ側の基板と薄膜トランジスタ(TFT)側の基板の両基板間に液晶層の厚みを保つために、スペーサと呼ばれるガラスや樹脂をセル内部に配置している。
例えば、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により、所望の位置、例えば、画素間に位置する格子パターン状のブラックマトリクス上に、柱状の樹脂製スペーサを形成する方法が提案されている。このようなスペーサ(以下、フォトスペーサという。)は、画素上に重ならない位置に形成できるので、画素内に液晶とスペーサが混在して生じる光漏れといった表示品質に悪影響を及ぼす問題がなくなり、表示品質の向上が望める。
In recent years, liquid crystal display devices have attracted attention, and photosensitive resins are frequently used in the manufacturing process. For example, the portion corresponding to the pixel on the color filter is a color pigment dispersion resist, and the resist is also used for the black matrix.
As a resist used for such a portion, a so-called negative resist is often used in which only a portion irradiated with light is hardened when exposed through a mask and an unexposed portion is peeled off by development.
In the liquid crystal display device technology, in order to maintain the thickness of the liquid crystal layer between the substrate on the color filter side and the substrate on the thin film transistor (TFT) side, glass or resin called a spacer is disposed inside the cell.
For example, a method of forming a columnar resin spacer on a black matrix in a lattice pattern located at a desired position, for example, between pixels by a photolithography method using a photosensitive resin and partial pattern exposure and development Has been proposed. Since such a spacer (hereinafter referred to as a photo spacer) can be formed at a position that does not overlap with the pixel, there is no problem that adversely affects display quality such as light leakage caused by mixing of liquid crystal and spacer in the pixel. The improvement of quality can be expected.

一方、近年、LCD(液晶ディスプレイ)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって滴下方式(ODF方式)(ODF:One Drop Fill)が提案されている。ODF方式では、所定量の液晶を基板に滴下した後、基板で挟持することによって液晶を注入するため、従来の液晶流入方法に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。 On the other hand, in recent years, as mother glass for LCD (Liquid Crystal Display) manufacture becomes larger, a drop method (ODF method) (ODF: One Drop Fill) has been proposed instead of the conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method). Yes. In the ODF method, after a predetermined amount of liquid crystal is dropped onto the substrate and then sandwiched between the substrates, the liquid crystal is injected, so that the number of processes and the process time can be reduced as compared with the conventional liquid crystal inflow method.

しかしながら、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下し狭持する際に、面内に微妙な圧力差がかかるため、この悪影響を受けないようにするためにはフォトスペーサ自体が弾性特性を有することが望まれる。
すなわち、基板で液晶を狭持するパネル作製時の際にかかる加圧・除荷に対して総変形量と弾性回復特性の高いフォトスペーサが要求される。このような特性を持たないフォトスペーサではパネル作製持に液晶中に気泡が生じることがあり、セルギャップが均一にならずに液晶表示装置としては色むらが目立ってしまう等の不具合が生じる。
However, in the ODF system, when a predetermined amount of liquid crystal calculated from the cell gap is dropped and held, a delicate pressure difference is applied in the surface. It is desired that the photo spacer itself has elastic properties.
That is, a photo spacer having a high total deformation amount and a high elastic recovery characteristic is required for pressing and unloading when a panel for holding a liquid crystal between substrates is produced. Photo spacers that do not have such characteristics may cause bubbles in the liquid crystal when the panel is produced, and the cell gap is not uniform, and the liquid crystal display device has problems such as uneven color.

この問題を解決する特性を有するフォトスペーサを形成する材料として、モノマー量を多くすることによって改良する提案がなされている(例えば特許文献1)。
しかしながら、上記提案のような多官能モノマーを多く使用した場合、スペーサと基板との密着性が悪化するという問題があった。
As a material for forming a photospacer having a characteristic that solves this problem, there has been proposed improvement by increasing the amount of monomer (for example, Patent Document 1).
However, when many polyfunctional monomers like the above proposal are used, there is a problem that the adhesion between the spacer and the substrate deteriorates.

また、近年、LCDの小型化・高精細化が進み、表示品質を保持するために画素サイズが小さくなってきたことから、露光感度、解像度としては、10μmあるいはそれ以下のサイズでのパターニングが要求されてきている。
併せて、基板とスペーサとの接地面積が小さくなってきたことから、さらなる密着性が要求され、スペーサ径が小さくなってきたことから、さらなる弾性回復特性が要求されてきている。
しかしながら、密着性を改善しようとすると弾性回復特性が低下することが知られている。
In recent years, LCDs have become smaller and more precise, and the pixel size has been reduced to maintain display quality. Therefore, exposure sensitivity and resolution require patterning with a size of 10 μm or less. Has been.
In addition, since the ground contact area between the substrate and the spacer has been reduced, further adhesion is required, and since the spacer diameter has been reduced, further elastic recovery characteristics have been required.
However, it is known that the elastic recovery characteristic is lowered when trying to improve the adhesion.

また、近年、携帯型のパソコン、携帯電話、携帯情報端末(PDA)、携帯ゲーム機等の普及に伴い、表示品質の要求性能がますます厳しくなってきているとともにカラー液晶表示装置の軽量化や製造コストの低減の要求が高まってきている。
そのため、従来使用されていたガラス基板に変わり、樹脂性の基板を使用する試みがなされてきている。
In recent years, with the widespread use of portable personal computers, mobile phones, personal digital assistants (PDAs), portable game machines, etc., the required performance of display quality has become stricter and the weight of color liquid crystal display devices has been reduced. There is an increasing demand for reduction in manufacturing costs.
Therefore, an attempt has been made to use a resinous substrate instead of a conventionally used glass substrate.

しかしながら、従来知られているスペーサ用感光性樹脂組成物を、樹脂基板上にスペーサを形成するために使用すると、スペーサ形成工程のポストベーク処理時に高温が必要なため、基板の変形や黄変が起こる問題があった。
樹脂基板の変形や黄変を避け、かつ製造コストを下げるために、スペーサ形成工程のポストベーク処理時の温度を下げると、形成されたスペーサの弾性回復特性が低下したり、基板との密着性に問題が生じるという課題があった。
However, when a conventionally known photosensitive resin composition for spacers is used to form spacers on a resin substrate, a high temperature is required during post-baking in the spacer forming step, so that deformation or yellowing of the substrate may occur. There was a problem that happened.
If the temperature during post-baking in the spacer formation process is lowered to avoid deformation and yellowing of the resin substrate and reduce the manufacturing cost, the elastic recovery characteristics of the formed spacer will decrease, and the adhesion to the substrate will decrease. There was a problem that a problem occurred.

これらの課題を解決する特性を有するフォトスペーサを形成する材料として、特定の環状構造を有するエチレン性不飽和結合の重合性化合物を併用する方法(特許文献2)や、特定のオニウム系のリン酸塩とエチレン性不飽和結合の重合性化合物を併用する方法(特許文献3)により、ポストベーク処理時の温度が200℃以下でも、弾性回復特性や基板との密着性を改良する提案がなされている。
しかし、スペーサ径を小さくすると弾性回復特性および基板との密着性が低下してしまうということが知られている。
As a material for forming a photospacer having the characteristics to solve these problems, a method using a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond having a specific cyclic structure (Patent Document 2) or a specific onium-based phosphoric acid Proposals have been made to improve elastic recovery characteristics and adhesion to a substrate even when the temperature during post-baking is 200 ° C. or less by using a salt and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond in combination (Patent Document 3). Yes.
However, it is known that when the spacer diameter is reduced, the elastic recovery characteristics and the adhesion to the substrate are lowered.

そのため、上記の特許文献2および3のような改良では、10μm以下のサイズのスペーサ径、すなわち高解像度のフォトスペーサを得ようとしてスペーサ径を小さくする際に、弾性回復特性や基板との密着性が不十分であるという課題を有していた。
このように、これまで用いられているアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物について、光照射による硬化後、200℃以下の低温でポストベーク処理を採用した場合でさえも優れた弾性回復特性および基板への密着性を発揮できるものは知られていない。
For this reason, in the improvements as described in Patent Documents 2 and 3, when the spacer diameter is reduced to obtain a spacer diameter of 10 μm or less, that is, a high-resolution photo spacer, the elastic recovery characteristics and the adhesion to the substrate are obtained. Has the problem of insufficient.
Thus, with regard to the negative-type photosensitive resin composition that can be developed in the past, after curing by light irradiation, excellent elastic recovery even when post-baking treatment is adopted at a low temperature of 200 ° C. or lower Nothing that can exhibit the characteristics and adhesion to the substrate is known.

特開2002−174812号公報JP 2002-174812 A 特開2009−186838号公報JP 2009-186838 A 特開2009−75284号公報JP 2009-75284 A

そこで、アルカリ現像性が良好で、高感度、高解像度であり、かつ、光照射による硬化後、200℃以下の低温処理を採用した場合でも、その硬化物と基板との密着性に優れ、かつ優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を提供し、さらに、基板との密着性に優れ、かつ優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサを提供することを目的とする。 Therefore, the alkali developability is good, the sensitivity is high, the resolution is high, and even when a low temperature treatment of 200 ° C. or lower is adopted after curing by light irradiation, the cured product and the substrate have excellent adhesion, and It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition for a photospacer having excellent elastic recovery characteristics, and to provide a photospacer having excellent adhesiveness with a substrate and having excellent elastic recovery characteristics.

本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基と1個以上のカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、エポキシ基および/またはアルコキシ基を2個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物(C)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)、光ラジカル重合開始剤(E)、および酸発生剤(F)を必須成分とし、アルカリ現像性、解像度、に優れるネガ型のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)である。さらに、本発明で、光照射による硬化物を200℃以下でポストベークさせて形成されたフォトスペーサの弾性回復率が50%以上であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q);およびこれを硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられたフォトスペーサである。
The inventors of the present invention have reached the present invention as a result of studies to achieve the above object.
That is, the present invention relates to a hydrophilic epoxy resin (A) having one or more (meth) acryloyl groups and one or more carboxyl groups in the molecule, a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), an epoxy group and / or Or a cationically polymerizable compound (C) having two or more alkoxy groups in the molecule, a siloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, a photoradical polymerization initiator (E), and an acid generator This is a negative photosensitive resin composition (Q) for photospacers which has (F) as an essential component and is excellent in alkali developability and resolution. Furthermore, the photosensitive resin composition for photospacers (Q) wherein the elastic recovery rate of a photospacer formed by post-baking a cured product by light irradiation at 200 ° C. or less in the present invention is 50% or more. And a photo spacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the same.

本発明の感光性樹脂組成物及びそれから得られたフォトスペーサは、以下の効果を奏する。
・感光性樹脂組成物は、アルカリ現像性に優れている。
・感光性樹脂組成物は、解像度に優れている。
・光照射による硬化後、200℃以下の低温処理を採用した場合でも、本発明で得られるフォトスペーサは、基板との密着性に優れ、かつ弾性回復特性に優れている。
The photosensitive resin composition of the present invention and the photospacer obtained therefrom have the following effects.
-The photosensitive resin composition is excellent in alkali developability.
-The photosensitive resin composition is excellent in resolution.
-Even when a low temperature treatment of 200 ° C. or lower is adopted after curing by light irradiation, the photo spacer obtained in the present invention has excellent adhesion to the substrate and excellent elastic recovery characteristics.

本発明のフォトスペーサ用感光性樹脂組成(Q)は分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基と1個以上のカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、エポキシ基および/またはアルコキシ基を2個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物(C)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)、光ラジカル重合開始剤(E)、および酸発生剤(F)を必須成分として含有し、アルカリ現像性、解像度、に優れるネガ型のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)である。さらに、本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、光照射による硬化後、200℃以下の低温処理を採用した場合でも、基板との密着性、および弾性回復特性に優れたフォトスペーサを与えることができる。 The photosensitive resin composition (Q) for photospacers of the present invention comprises a hydrophilic epoxy resin (A) having one or more (meth) acryloyl groups and one or more carboxyl groups in the molecule, and a polyfunctional (meth) acrylate monomer. (B), a cationic polymerizable compound (C) having two or more epoxy groups and / or alkoxy groups in the molecule, a siloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, and a radical photopolymerization initiator This is a negative photosensitive resin composition (Q) for photospacers which contains (E) and an acid generator (F) as essential components and is excellent in alkali developability and resolution. Furthermore, the photosensitive resin composition (Q) of the present invention provides a photo spacer excellent in adhesion to a substrate and elastic recovery characteristics even when a low temperature treatment of 200 ° C. or lower is adopted after curing by light irradiation. be able to.

なお、本明細書において、「(メタ)アクリレート」の(メタ)を付した表現は「アクリレートまたはメタクリレート」を意味する。
また、「(メタ)アクリロイル基中の炭素−炭素二重結合(C=C)の含有量」は、単に「(メタ)アクリロイル基濃度」と略称することもある。
In the present specification, the expression “(meth) acrylate” with (meth) means “acrylate or methacrylate”.
Further, “content of carbon-carbon double bond (C═C) in (meth) acryloyl group” may be simply referred to as “(meth) acryloyl group concentration”.

以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である(A)〜(F)について、順に説明する。   Below, (A)-(F) which is an essential structural component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in order.

本発明の必須成分である親水性エポキシ樹脂(A)は、分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基と1個以上のカルボキシル基を必須成分として有する親水性エポキシ樹脂である。   The hydrophilic epoxy resin (A) which is an essential component of the present invention is a hydrophilic epoxy resin having one or more (meth) acryloyl groups and one or more carboxyl groups as essential components in the molecule.

本発明の親水性エポキシ樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
親水性エポキシ樹脂(A)のHLB値は、親水性エポキシ樹脂(A)の樹脂骨格(例えば、ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル系樹脂等)によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは4〜14、さらに好ましくは5〜13、特に好ましくは6〜12である。4以上であればフォトスペーサの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、14以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。
The hydrophilicity index in the hydrophilic epoxy resin (A) of the present invention is defined by HLB. Generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
The preferred range of the HLB value of the hydrophilic epoxy resin (A) varies depending on the resin skeleton of the hydrophilic epoxy resin (A) (for example, vinyl resin, epoxy resin, polyester resin, etc.), but preferably 4 to 14, More preferably, it is 5-13, Most preferably, it is 6-12. When it is 4 or more, the developing property is further improved when developing the photo spacer, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

ここでの「HLB」とは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば「界面活性剤入門」〔2007年、藤本武彦著〕212項に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。
HLB値は有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
HLBを導き出すための有機性の値及び無機性の値については「界面活性剤入門」〔2007年、藤本武彦著〕213頁に記載の表の値を用いて算出できる。
Here, “HLB” is an index indicating the balance between hydrophilicity and lipophilicity, and is calculated by the Oda method described in “Introduction to Surfactants” (2007, Takehiko Fujimoto), item 212. And is not a calculated value by the Griffin method.
The HLB value can be calculated from the ratio between the organic value and the inorganic value of the organic compound.
HLB≈10 × Inorganic / Organic values for deriving organic HLB and inorganic values are described in “Introduction to Surfactant” (2007, Takehiko Fujimoto), page 213. It can be calculated.

また、親水性エポキシ樹脂(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。   Moreover, the solubility parameter (henceforth SP value) of hydrophilic epoxy resin (A) becomes like this. Preferably it is 7-14, More preferably, it is 8-13, Most preferably, it is 11-13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,February,1974,Vol.14,No.2,Robert F. Fedors.(147〜154頁)」
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, February, 1974, Vol. 14, No. 2, Robert F. Fedors. (Pp. 147-154)"

本発明の親水性エポキシ樹脂(A)が有する親水基としては、必須のカルボキシル基以外に、水酸基、アミノ基、アミド基、ウレタン基、ウレア基、エポキシ基、ポリエーテル基、スルホン酸基、硫酸エステル基、燐酸基、燐酸エステル基等が挙げられる。さらに、より多くのカルボキシル基を含有してもよい。これらの親水基のうち、アルカリ現像性の観点から、エポキシ基、スルホン酸基、および追加のカルボキシル基が好ましく、さらに好ましくはカルボキシル基である。   The hydrophilic group possessed by the hydrophilic epoxy resin (A) of the present invention includes, in addition to the essential carboxyl group, a hydroxyl group, amino group, amide group, urethane group, urea group, epoxy group, polyether group, sulfonic acid group, sulfuric acid group. Examples thereof include an ester group, a phosphoric acid group, and a phosphoric acid ester group. Furthermore, you may contain more carboxyl groups. Of these hydrophilic groups, from the viewpoint of alkali developability, an epoxy group, a sulfonic acid group, and an additional carboxyl group are preferable, and a carboxyl group is more preferable.

親水性エポキシ樹脂のカルボキシル基の含有量は酸価で示される。親水性エポキシ樹脂(A)の酸価は、好ましくは10〜500mgKOH/g、さらに好ましくは15〜300mgKOH/g、特に好ましくは20〜150mgKOH/gである。この範囲であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。 The carboxyl group content of the hydrophilic epoxy resin is indicated by an acid value. The acid value of the hydrophilic epoxy resin (A) is preferably 10 to 500 mgKOH / g, more preferably 15 to 300 mgKOH / g, and particularly preferably 20 to 150 mgKOH / g. Within this range, the developability is more easily exhibited, and the water resistance of the cured product can be further improved.

本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
酸価(KOHmg/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、Aは0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数、fは0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価、Sは試料採取量(g)[但し、試料が溶剤を含む場合は溶剤を除いた量(g)]を表す。
The acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution. The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Acid value (KOHmg / g) = (A × f × 5.61) / S
Where A is the number of mL of the 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution, f is the titer of the 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution, S is the sampled amount (g) [where the sample is the solvent Is included, the amount excluding the solvent (g)].

分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂(A)の好ましい製造法は、原料のエポキシ樹脂(A)中のエポキシ基に、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸(a)を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、この(A)の(メタ)アクリル酸付加物の水酸基の一部に多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)を反応させる方法である。 A preferred method for producing a hydrophilic epoxy resin (A) having at least one (meth) acryloyl group and a carboxyl group in the molecule includes (meth) acryloyl group in the epoxy group in the raw material epoxy resin (A 0 ). A monocarboxylic acid (a) is reacted to open an epoxy group to form a hydroxyl group, and a polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid is added to a part of the hydroxyl group of the (meth) acrylic acid adduct of (A 0 ). In this method, the anhydride (e) is reacted.

エポキシ樹脂(A)としては、脂肪族エポキシ樹脂[例えばエポトートYH−300、PG−202、PG−207(いずれも東都化成社製)等]や脂環式エポキシ樹脂[例えばCY−179、CY−177、CY−175(いずれも旭化成エポキシ社製)など]や芳香族エポキシ樹脂[例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、グリシジル変性ポリビニルフェノール等]が挙げられる。
これらのうち好ましいのは、硬化性の観点から、芳香族エポキシ樹脂である。
Examples of the epoxy resin (A 0 ) include aliphatic epoxy resins [for example, Epototo YH-300, PG-202, PG-207 (all manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.)] and alicyclic epoxy resins [for example, CY-179, CY. -177, CY-175 (both manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd.)] and aromatic epoxy resins [for example, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, glycidyl-modified polyvinylphenol, etc.] Is mentioned.
Among these, aromatic epoxy resins are preferable from the viewpoint of curability.

親水性エポキシ樹脂(A)の製造に使用される前記の(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸(a)としては、アクリル酸、メタクリル酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸等が挙げられる。 As said (meth) acryloyl group containing monocarboxylic acid (a) used for manufacture of a hydrophilic epoxy resin (A), acrylic acid, methacrylic acid, 2-acryloyloxyethyl succinic acid, etc. are mentioned.

(A)の製造に使用される多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物(e)としては、不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価(2〜6価)カルボン酸(例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸、オクタデセニルコハク酸等の脂肪族飽和多価カルボン酸;テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸)、それらの無水物(例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸、オクタデセニル無水コハク酸等の脂肪族飽和多価カルボン酸無水物;無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物、ナフタレンテトラカルボン酸無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物)等が挙げられる。
これらのうち好ましいのは、反応性及び現像性の観点から、飽和多価カルボン酸無水物である。
The polyvalent carboxylic acid and polyvalent carboxylic acid anhydride (e) used in the production of (A) include unsaturated polyvalent carboxylic acids and their anhydrides, and saturated polyvalent (2-6 valent) carboxylic acids. (For example, aliphatic saturated polycarboxylic acids such as oxalic acid, succinic acid, phthalic acid, adipic acid, dodecanedioic acid, dodecenyl succinic acid, pentadecenyl succinic acid, octadecenyl succinic acid; tetrahydrophthalic acid, hexahydro Phthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid, aromatic polycarboxylic acid such as naphthalenetetracarboxylic acid), and their anhydrides (for example, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride) Aliphatic saturated polycarboxylic acid anhydrides such as pentadecenyl succinic anhydride and octadecenyl succinic anhydride; phthalic anhydride , Aromatic polycarboxylic anhydrides such as tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic anhydride, naphthalenetetracarboxylic anhydride ) And the like.
Of these, saturated polyvalent carboxylic acid anhydrides are preferable from the viewpoints of reactivity and developability.

前述の(A)の製造における、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸(a)/(A)の仕込み重量比は、好ましいのは(A)の(メタ)アクリロイル基の濃度が1.0mmol/g以上となるような仕込み重量比である。
(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸/(A)の重量比は上記の観点から、好ましくは0.072以上/1、さらに好ましくは0.079〜0.72/1である。また、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸の重量比は上記の観点から、好ましくは0.092以上/1、さらに好ましくは0.10〜0.92/1である。
In the preparation of (A), the charged weight ratio of (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid (a) / (A 0 ) is preferably such that the concentration of (meth) acryloyl group in (A) is 1.0 mmol. It is a preparation weight ratio which becomes more than / g.
From the above viewpoint, the weight ratio of (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid / (A 0 ) is preferably 0.072 or more / 1, and more preferably 0.079 to 0.72 / 1. Further, the weight ratio of the (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid is preferably 0.092 or more / 1, more preferably 0.10 to 0.92 / 1, from the above viewpoint.

前述の(A)と(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸(a)の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは5〜30時間である。また、必要により触媒(例えば、トリフェニルホスフィンなど)およびラジカル重合禁止剤(ヒドロキノン、p−メトキシフェノール等)を用いてもよい。 The reaction temperature in the reaction of the aforementioned (A 0 ) and the (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid (a) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 5 to 30 hours. If necessary, a catalyst (for example, triphenylphosphine) and a radical polymerization inhibitor (hydroquinone, p-methoxyphenol, etc.) may be used.

また、前述の(A)の(メタ)アクリル酸付加物の重量に対する、多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)の仕込み当量は、(A)の酸価が、好ましくは10〜500mgKOH/gとなるような(e)の仕込み当量であり、例えば、(e)が2価カルボン酸もしくはその無水物である場合、(e)の仕込み当量/(A)の(メタ)アクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは0.18〜8.9ミリ当量/g、さらに好ましくは0.53〜7.1ミリ当量/gである。 The charged equivalent of the polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid anhydride (e) with respect to the weight of the (meth) acrylic acid adduct of (A 0 ) is preferably the acid value of (A), preferably 10 The charge equivalent of (e) such that it is ˜500 mg KOH / g. For example, when (e) is a divalent carboxylic acid or an anhydride thereof, the charge equivalent of (e) / (meth) of (A 0 ) From the above viewpoint, the weight of the acrylic acid adduct is preferably 0.18 to 8.9 meq / g, more preferably 0.53 to 7.1 meq / g.

原料の(A)の(メタ)アクリル酸付加物と(e)との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは3〜10時間である。 The reaction temperature in the reaction of the raw material (A 0 ) (meth) acrylic acid adduct and (e) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 3 to 10 hours.

前述の(A)の数平均分子量(以下、Mnという。)は、感光性樹脂組成物としての光硬化反応性と現像性の観点から、通常500〜3,000、好ましくは1,000〜2,800、特に好ましくは1,500〜2,500である。   The number average molecular weight (hereinafter referred to as Mn) of the above (A) is usually 500 to 3,000, preferably 1,000 to 2 from the viewpoint of photocuring reactivity and developability as the photosensitive resin composition. 800, particularly preferably 1,500 to 2,500.

なお、MnはGPC測定機器(HLC−8120GPC、東ソー(株)製)、カラム(TSKgel GMHXL2本+TSKgel Multipore HXL−M、東ソー(株)製)を用いて、GPC法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。 Mn is a value in terms of polystyrene measured by the GPC method using a GPC measuring device (HLC-8120GPC, manufactured by Tosoh Corporation) and a column (2 TSKgel GMHXL + TSKgel Multipore HXL-M, manufactured by Tosoh Corporation). As sought.

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)に基づく(A)の含有量は、通常10〜80重量%、好ましくは10〜70重量%、さらに好ましくは20〜50重量%、特に好ましくは20〜40重量%である。この範囲であるとアルカリ現像性および基板との密着性が良好に発揮できる。 The content of (A) based on (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is usually 10 to 80% by weight, preferably 10 to 70% by weight, more preferably 20 to 50% by weight, Most preferably, it is 20-40 weight%. Within this range, alkali developability and adhesion to the substrate can be satisfactorily exhibited.

本発明の第2の必須成分である多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)は、公知の多官能(メタ)アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)、4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)、およびこれらを2種以上含有する混合物が挙げられる。 The polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), which is the second essential component of the present invention, is not particularly limited as long as it is a known polyfunctional (meth) acrylate monomer. B1), trifunctional (meth) acrylate (B2), 4-6 functional (meth) acrylate (B3), and a mixture containing two or more of these.

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、2価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばエチレングリコールのジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールのジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールのジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールのジ(メタ)アクリレート];2価アルコールのポリアルキレンオキサイドと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばポリエチレングリコールのジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールのジ(メタ)アクリレート];3価以上の多価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばネオペンチルグリコールのジ(メタ)アクリレート、グリセリンのジ(メタ)アクリレート];3価以上の多価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物に無水カルボン酸を付加させて得られるカルボン酸変性物[例えばグリセリンのカルボン酸変性のジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールのカルボン酸変性のジ(メタ)アクリレート];直鎖状の脂肪族ジオールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えば1,4−ブタンジオールのジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールのジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールのジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールのジ(メタ)アクリレート];側鎖を有する脂肪族ジオールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えば3−メチル−1,5−ペンタンジオールのジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールのジ(メタ)アクリレート];脂環式炭化水素のジオールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばジメチロール−トリシクロデカンのジ(メタ)アクリレート];芳香族炭化水素のジオールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばビスフェノールAのジ(メタ)アクリレート];多価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート];多価アルコールと(メタ)アクリル酸とヒドロキシカルボン酸のエステル化物[例えばヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート];OH基含有両末端エポキシアクリレート等が挙げられる。
これら(B1)のうち、硬化物と基板との密着性向上の観点から、ポリプロピレングリコールジアクリレート、OH基含有両末端エポキシアクリレートが好ましい。
As the bifunctional (meth) acrylate (B1), an esterified product of a dihydric alcohol and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) acrylate of ethylene glycol, di (meth) acrylate of diethylene glycol, di (meth) of propylene glycol Acrylate, di (meth) acrylate of dipropylene glycol]; esterified product of polyalkylene oxide of dihydric alcohol and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) acrylate of polyethylene glycol, di (meth) acrylate of polypropylene glycol]; Trivalent or higher polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid esterified product [eg, di (meth) acrylate of neopentyl glycol, di (meth) acrylate of glycerin]; trihydric or higher polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid of Carboxylic acid modified products obtained by adding carboxylic anhydride to stearides [for example, glycerin carboxylic acid modified di (meth) acrylate, neopentyl glycol carboxylic acid modified di (meth) acrylate]; linear fat Esterified product of aromatic diol and (meth) acrylic acid [for example, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) Acrylate, di (meth) acrylate of 1,10-decanediol]; esterified product of aliphatic diol having side chain and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) acrylate of 3-methyl-1,5-pentanediol , Di (meth) acrylate of 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol]; alicyclic charcoal Esters of hydrogen diol and (meth) acrylic acid [eg dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate]; Aromatic hydrocarbon diol and (meth) acrylic acid ester [eg bisphenol A di (meth) ) Acrylate]; esterified product of polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid [for example, di (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of bisphenol A, di (meth) acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, ethylene of pentaerythritol Di (meth) acrylate of an oxide adduct]; esterified product of polyhydric alcohol, (meth) acrylic acid and hydroxycarboxylic acid [for example, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate]; Relates and the like.
Among these (B1), polypropylene glycol diacrylate and OH group-containing both-end epoxy acrylate are preferable from the viewpoint of improving the adhesion between the cured product and the substrate.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのカルボン酸変性のトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
これら(B2)のうち、感光性樹脂組成物としての光硬化反応性の観点から、ペンタエリスリトールトリアクリレート、およびトリメチロールプロパントリアクリレートが好ましく、基板との密着性と光硬化反応性の観点から、ペンタエリスリトールトリアクリレートがさらに好ましい。
Trifunctional (meth) acrylate (B2) includes tri (meth) acrylate of glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethylene oxide adduct of trimethylolpropane And carboxylic acid-modified tri (meth) acrylate of pentaerythritol.
Among these (B2), from the viewpoint of photocuring reactivity as the photosensitive resin composition, pentaerythritol triacrylate and trimethylolpropane triacrylate are preferable, and from the viewpoint of adhesion to the substrate and photocuring reactivity, More preferred is pentaerythritol triacrylate.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのカルボン酸変性のペンタ(メタ)アクリレート、これらのアルキレンオキサイド付加物のポリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
これら(B3)のうち、感光性樹脂組成物としての光硬化反応性の観点から、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、およびプロピレン付加物のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが好ましく、基板との密着性と光硬化反応性の観点から、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートがさらに好ましい。
Examples of the 4- to 6-functional (meth) acrylate (B3) include pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol carboxylic acid-modified penta ( And (meth) acrylates and poly (meth) acrylates of these alkylene oxide adducts.
Among these (B3), from the viewpoint of photocuring reactivity as the photosensitive resin composition, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and propylene adduct dipentaerythritol hexaacrylate are preferable. From the viewpoints of adhesion and photocuring reactivity, dipentaerythritol pentaacrylate is more preferable.

多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)のうち好ましいものは、(B2)および(B3)であり、さらに好ましいものは(A)、(C)〜(E)との相溶性の観点から後述の親水基を含有するもの及びそれと親水基を含有しないものとの混合物である。特に好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、およびこれらの併用である。 Preferred among the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) are (B2) and (B3), and more preferred are those described later from the viewpoint of compatibility with (A) and (C) to (E). A mixture containing a hydrophilic group and a mixture containing no hydrophilic group. Particularly preferred are dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and combinations thereof.

市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−403(東亞合成(株)製:ペンタエリスリトールトリアクリレート)、ライトアクリレートPE−3A(共栄社化学(株)製:ペンタエリスリトールトリアクリレート)、ネオマーDA−600(三洋化成工業(株)製:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物)等が挙げられる。 As (B) which can be easily obtained from the market, for example, Aronix M-403 (manufactured by Toagosei Co., Ltd .: pentaerythritol triacrylate), light acrylate PE-3A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd .: pentaerythritol triacrylate) , Neomer DA-600 (manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd .: a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate) and the like.

多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)のうち、親水基を含有する多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)が有する親水基としては、水酸基、アミノ基、ポリエーテル基等が挙げられる。これらの親水基のうち、水酸基、およびポリエーテル基が好ましく、さらに好ましくは水酸基である。 Of the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), examples of the hydrophilic group possessed by the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) containing a hydrophilic group include a hydroxyl group, an amino group, and a polyether group. Of these hydrophilic groups, a hydroxyl group and a polyether group are preferable, and a hydroxyl group is more preferable.

また、本発明における(B)は、前述の(B1)〜(B3)以外に、感光性アクリルオリゴマー(B4)を併用してもよい。
感光性アクリルオリゴマー(B4)としては、Mnが1,000以下であって、1分子中に2個以上のアクリロイル基を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート等が挙げられる。
In addition, (B) in the present invention may be used in combination with the photosensitive acrylic oligomer (B4) in addition to the above (B1) to (B3).
Examples of the photosensitive acrylic oligomer (B4) include urethane acrylate and polyester acrylate having Mn of 1,000 or less and having two or more acryloyl groups in one molecule.

(B)中の(B4)の含有量は好ましくは50重量%以下、さらに好ましくは30重量%以下である。 The content of (B4) in (B) is preferably 50% by weight or less, more preferably 30% by weight or less.

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)に基づく(B)の含有量は、通常10〜80重量%以下、好ましくは20〜80重量%、さらに好ましくは30〜70重量%、特に好ましくは40〜60重量%である。この範囲であるとアルカリ現像性、硬化物の弾性回復特性、基板との密着性が良好に発揮できる。 The content of (B) based on (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is usually 10 to 80% by weight or less, preferably 20 to 80% by weight, more preferably 30 to 70% by weight. Particularly preferred is 40 to 60% by weight. Within this range, alkali developability, elastic recovery characteristics of the cured product, and adhesion to the substrate can be satisfactorily exhibited.

本発明において感光性樹脂組成物(Q)中の成分として含まれるカチオン重合性化合物(C)としては、エポキシ基およびアルコキシ基からなる群から選ばれる1種または2種以上の反応性官能基を分子内に合計で2個以上有する化合物である。
すなわち、カチオン重合性化合物(C)はエポキシ基を少なくとも2個以上、アルコキシ基を2個以上、またはエポキシ基1個以上とアルコキシ基1個以上を分子内に有する。
In the present invention, the cationic polymerizable compound (C) contained as a component in the photosensitive resin composition (Q) includes one or more reactive functional groups selected from the group consisting of epoxy groups and alkoxy groups. It is a compound having 2 or more in total in the molecule.
That is, the cationically polymerizable compound (C) has at least two epoxy groups, two or more alkoxy groups, or one or more epoxy groups and one or more alkoxy groups in the molecule.

カチオン重合性化合物(C)中のエポキシ基同士の反応またはアルコキシ基同士の重縮合反応といったカチオン性の反応による架橋が起こることで、高密着性と高弾性回復特性が発現する。また、エポキシ基とアルコキシ基との反応による架橋、エポキシ基またはアルコキシ基と親水性エポキシ樹脂(A)中の親水基との反応による架橋で、密着性および弾性回復特性のさらなる向上に効果があるものと推察される。   High adhesion and high elastic recovery characteristics are exhibited by the occurrence of crosslinking by a cationic reaction such as a reaction between epoxy groups or a polycondensation reaction between alkoxy groups in the cationically polymerizable compound (C). In addition, crosslinking by reaction between an epoxy group and an alkoxy group and crosslinking by reaction between an epoxy group or an alkoxy group and a hydrophilic group in the hydrophilic epoxy resin (A) are effective in further improving adhesion and elastic recovery characteristics. Inferred.

このようなカチオン重合性化合物(C)としては、下記一般式(1)で表わされるメラミン誘導体(C1)、脂肪族カチオン重合性化合物(C2)、芳香環を有するカチオン重合性化合物(C3)、脂環式構造を有するカチオン重合性化合物(C4)などが挙げられるが、前述のようにエポキシ基および/またはアルコキシ基を分子内に合計2個以上有する公知の化合物であれば、とくに限定されずに用いられる。 As such a cationically polymerizable compound (C), a melamine derivative (C1) represented by the following general formula (1), an aliphatic cationically polymerizable compound (C2), a cationically polymerizable compound (C3) having an aromatic ring, Examples thereof include a cationically polymerizable compound (C4) having an alicyclic structure, but it is not particularly limited as long as it is a known compound having two or more epoxy groups and / or alkoxy groups in the molecule as described above. Used for.

Figure 2011203578
Figure 2011203578

[R〜Rはそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、またはグリシジル基を表し、アルキル基またはグリシジル基の合計の数は2〜6個である。] [R 1 to R 6 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or a glycidyl group, and the total number of alkyl groups or glycidyl groups is 2 to 6. ]

上記一般式(1)で表わされる化合物中のR〜Rとしては、硬化性および弾性回復特性の観点から、好ましくは炭素数1〜3のアルキル基、およびグリシジル基であり、さらに好ましくは、炭素数1〜2のアルキル基である。 R 1 to R 6 in the compound represented by the general formula (1) are preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and a glycidyl group, more preferably from the viewpoint of curability and elastic recovery properties. , An alkyl group having 1 to 2 carbon atoms.

上記一般式(1)で表されるメラミン誘導体(C1)としては、例えば、メチロール化メラミンのメチロール基の一部又は全部を炭素数1〜8の1価アルコール[例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、i−プロピルアルコール、n−ブチルアルコール、i−ブチルアルコール、2−エチルブタノール、および2−エチルヘキサノール]で、エーテル化した部分エーテル化又はフルエーテル化メラミン樹脂が挙げられる。
これらは、メチロール基がすべてエーテル化されているか、又は部分的にエーテル化され、メチロール基が残存しているものも使用できる。メチルエーテル化メラミン、エチルエーテル化メラミン、ブチルエーテル化メラミン等のアルキルエーテル化メラミンが挙げられる。これらのなかで、メチルエーテル化メラミンが硬化性の観点から好ましい。
As the melamine derivative (C1) represented by the general formula (1), for example, a part or all of the methylol group of methylolated melamine is a monohydric alcohol having 1 to 8 carbon atoms [for example, methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, i-propyl alcohol, n-butyl alcohol, i-butyl alcohol, 2-ethylbutanol, and 2-ethylhexanol], and partially etherified or fully etherified melamine resins.
As these, all of the methylol groups may be etherified or partially etherified so that the methylol group remains. Examples include alkyl etherified melamines such as methyl etherified melamine, ethyl etherified melamine, and butyl etherified melamine. Among these, methyl etherified melamine is preferable from the viewpoint of curability.

脂肪族カチオン重合性化合物(C2)としては、例えば、Mn1,000以下の脂肪族エポキシ化合物[例えば、脂肪族アルコールまたはこれらのアルキレンオキシド(以下、AOと略記する。)付加物のポリグリシジルエーテル(以下、グリシジルエーテルはGEと略記する。)、炭素数8〜24の脂肪族長鎖多塩基酸のポリグリシジルエステル(以下、グリシジルエステルはGSと略記する。)、グリシジル(メタ)アクリレートのホモポリマー、およびグリシジル(メタ)アクリレートとその他のビニルモノマーとのコポリマー]、アルコキシ基およびエポキシ基を合計5官能以上有する脂肪族カチオン重合性化合物[例えば、ジペンタエリスリトールトリアルコキシのトリGE、ジペンタエリスリトールペンタアルコキシ]、および下記一般式(2)で表される化合物(C21)が挙げられる。   Examples of the aliphatic cation polymerizable compound (C2) include an aliphatic epoxy compound having an Mn of 1,000 or less [for example, an aliphatic alcohol or an alkylene oxide (hereinafter abbreviated as AO) adduct polyglycidyl ether ( Hereinafter, glycidyl ether is abbreviated as GE), polyglycidyl ester of aliphatic long-chain polybasic acid having 8 to 24 carbon atoms (hereinafter, glycidyl ester is abbreviated as GS), homopolymer of glycidyl (meth) acrylate, And copolymers of glycidyl (meth) acrylate and other vinyl monomers], aliphatic cationic polymerizable compounds having a total of five or more alkoxy groups and epoxy groups [for example, triGE of dipentaerythritol trialkoxy, dipentaerythritol pentaalkoxy ],and Serial compound represented by the general formula (2) (C21) can be mentioned.

Figure 2011203578
Figure 2011203578

式(2)中、A〜Aはそれぞれ独立に、水素原子または−CHORを表す。
この−CHOR基中のRは、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、またはグリシジル基を表し、A〜A中に含まれるRは同一であっても異なっていてもよい。
In formula (2), A 1 to A 4 each independently represent a hydrogen atom or —CH 2 OR 7 .
R 7 in the —CH 2 OR 7 group represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or a glycidyl group, and R 7 contained in A 1 to A 4 is the same or different. May be.

代表的な脂肪族エポキシ化合物としては、例えばエチレンジGE、ブチレンジGE、ヘキシルジGE、1,4−ブタンジオールジGE、1,6−ヘキサンジオールジGE、水素添加ビスフェノールAジGE、グリセリンのトリGE、トリメチロールプロパンのトリGE、ソルビトールのテトラGE、ペンタエリスリトールのペンタGE、ジペンタエリスリトールのヘキサGE、ジペンタエリスリトールのペンタGE、ポリエチレングリコールのジGE、ポリプロピレングリコールのジGE、脂肪族多価アルコール(プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセリン等)のAO付加物のポリGE、炭素数8〜24の脂肪族長鎖二塩基酸のジGS、高級脂肪酸のポリGS、およびエポキシ化大豆油が挙げられる。   Typical aliphatic epoxy compounds include, for example, ethylene diGE, butylene diGE, hexyl diGE, 1,4-butanediol diGE, 1,6-hexanediol diGE, hydrogenated bisphenol A diGE, glycerol triGE, Trimethylolpropane tri-GE, sorbitol tetra-GE, pentaerythritol penta-GE, dipentaerythritol hexa-GE, dipentaerythritol penta-GE, polyethylene glycol di-GE, polypropylene glycol di-GE, aliphatic polyhydric alcohol ( Poly GE of AO adduct of propylene glycol, trimethylol propane, glycerin, etc.), diGS of aliphatic long chain dibasic acid having 8 to 24 carbon atoms, poly GS of higher fatty acid, and epoxidized soybean oil.

上記一般式(2)で表される化合物(C21)中のA〜Aは、それぞれ独立に、水素原子または−CHORを表し、A〜Aのうち−CHORの数は2〜4個である。
さらにこのRは、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、またはグリシジル基を表す。A〜A中のRは同一であっても異なっていてもよい。硬化性および弾性回復特性の観点から、−CHORであることが好ましい。
また、硬化性および弾性回復特性のさらなる向上の観点から、Rはアルキル基、またはグリシジル基であることが好ましく、グリシジル基であることが特に好ましい。
化合物(C21)が架橋剤として働くためには、グリシジル基とアルコキシ基の合計が少なくとも2個以上必要であり、−CHOR基の2〜4個のRのうち、アルキル基またはグリシジル基の合計の数は2〜4個必要である。
A 1 to A 4 in the compound (C21) represented by the general formula (2) each independently represents a hydrogen atom or —CH 2 OR 7, and —CH 2 OR 7 among A 1 to A 4. Is 2 to 4.
R 7 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or a glycidyl group. R 7 in A 1 to A 4 may be the same or different. From the viewpoint of curability and elastic recovery properties, —CH 2 OR 7 is preferred.
Further, from the viewpoint of further improving the curability and the elastic recovery property, R 7 is preferably an alkyl group or a glycidyl group, and particularly preferably a glycidyl group.
In order for compound (C21) to act as a cross-linking agent, at least two or more glycidyl groups and alkoxy groups are required. Of 2 to 4 R 7 groups in —CH 2 OR 7 group, an alkyl group or glycidyl group The total number of groups should be 2-4.

としては、硬化性および弾性回復特性の観点から、好ましくは炭素数1〜3のアルキル基、およびグリシジル基、さらに好ましくは、炭素数1〜2のアルキル基、およびグリシジル基、貯蔵安定性の観点から特に好ましくはグリシジル基である。 R 7 is preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms and a glycidyl group, more preferably an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms, and a glycidyl group, storage stability, from the viewpoints of curability and elastic recovery properties. In view of the above, a glycidyl group is particularly preferable.

一般式(2)で表される代表的な化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールまたはグリセリンの水酸基の一部又は全部を炭素数1〜8の1価アルコール[例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、i−プロピルアルコール、n−ブチルアルコール、i−ブチルアルコール、2−エチルブタノール、および2−エチルヘキサノール]および/またはグリシジル化合物[例えば、エピクロロヒドリン]で、エーテル化した部分エーテル化又はフルエーテル化した化合物が挙げられる。   As a typical compound represented by the general formula (2), for example, part or all of the hydroxyl groups of pentaerythritol or glycerin may be monovalent alcohol having 1 to 8 carbon atoms [for example, methyl alcohol, ethyl alcohol, n- Partial etherification etherified with propyl alcohol, i-propyl alcohol, n-butyl alcohol, i-butyl alcohol, 2-ethylbutanol, and 2-ethylhexanol] and / or glycidyl compounds [eg epichlorohydrin] Or the compound fully etherified is mentioned.

これらは、水酸基がすべてエーテル化されているか、又は部分的にエーテル化され、水酸基が残存しているものも使用できる。例えば、メチルエーテル化グリセリン、グリシジルエーテル化ペンタエリスリトール、グリシジルエーテル化グリセリン等のアルキルエーテル化またはグリシジルエーテル化ペンタエリスリトール、およびアルキルエーテル化またはグリシジルエーテル化グリセリンが挙げられる。これらのなかで、グリシジルエーテル化ペンタエリスリトールが硬化性の観点から好ましい。 These may be used in which all hydroxyl groups are etherified or partially etherified and the hydroxyl groups remain. Examples include alkyl etherified or glycidyl etherified pentaerythritol, such as methyl etherified glycerin, glycidyl etherified pentaerythritol, glycidyl etherified glycerin, and alkyl etherified or glycidyl etherified glycerin. Among these, glycidyl etherified pentaerythritol is preferable from the viewpoint of curability.

芳香環を有するカチオン重合性化合物(C3)としては、例えば、少なくとも1個の芳香環を有するフェノール、またはそのアルキレンオキサイド(以下、AOと略記する。)付加物の(ポリ)グリシジルエーテル[フェノール、ビスフェノールA、ビスフェノールF、およびこれらのAO付加物の(ポリ)グリシジルエーテル等]、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、o−、p−、m−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、および炭素数1〜8のアルコキシ基を有するジアルコキシベンゼンが挙げられる。 As the cationically polymerizable compound (C3) having an aromatic ring, for example, a phenol having at least one aromatic ring, or an alkylene oxide (hereinafter abbreviated as AO) adduct (poly) glycidyl ether [phenol, Bisphenol A, bisphenol F, and (poly) glycidyl ethers of these AO adducts, etc.], phenol novolac epoxy resins, o-, p-, m-cresol novolac epoxy resins, and alkoxy groups having 1 to 8 carbon atoms And dialkoxybenzene.

脂環式構造を有するカチオン重合性化合物(C4)としては、炭素数7以上かつ数平均分子量1,500以下の指環式エポキシ化合物[例えば、少なくとも1個のシクロヘキセン環あるいはシクロペンテン環含有化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキシド含有化合物またはシクロペンテンオキシド含有化合物]、および炭素数1〜8のアルコキシ基を有する指環式炭化水素[例えばジエトキシシクロヘキサン、ジt−ブトキシシクロヘキサン、ジオクトキシシクロペンタン]が挙げられる。
脂環式エポキシ化合物としては、例えば、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−1−メチルシクロヘキシル−3,4−エポキシ−1−メチルヘキサンカルボキシレート、6−メチル−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−6−メチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘキサン−メタジオキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルカルボキシレート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ジシクロペンタジエンジエポキシド、およびエチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)が挙げられる。
Examples of the cationically polymerizable compound (C4) having an alicyclic structure include finger ring epoxy compounds having 7 or more carbon atoms and 1,500 or less number average molecular weight [for example, at least one cyclohexene ring or cyclopentene ring-containing compound is an oxidizing agent. A cyclohexene oxide-containing compound or a cyclopentene oxide-containing compound obtained by epoxidation with a ring], and a finger ring hydrocarbon having an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms [eg, diethoxycyclohexane, di-t-butoxycyclohexane, dioctoxycyclohexane Pentane].
Examples of the alicyclic epoxy compound include 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-1-methylcyclohexyl-3,4-epoxy-1-methylhexanecarboxylate. 6-methyl-3,4-epoxycyclohexylmethyl-6-methyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-3-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-3-methylcyclohexanecarboxylate 3,4-epoxy-5-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-5-methylcyclohexanecarboxylate, 2- (3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexane Metadioxane, bis (3 -Epoxycyclohexylmethyl) adipate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexylcarboxylate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane), dicyclopentadiene diepoxide, and ethylenebis (3,4-epoxycyclohexanecarboxylate) Can be mentioned.

これらのカチオン重合性化合物(C1)〜(C4)の中で、現像性、硬化性、弾性回復特性および密着性の観点から、好ましくは、ジペンタエリスリトールのヘキサGE、上記一般式(1)で表される化合物(C1)および上記一般式(2)で表される化合物(C21)であり、さらに好ましくは化合物(C1)および化合物(C21)であり、特に好ましくは化合物(C1)である。   Among these cationically polymerizable compounds (C1) to (C4), from the viewpoints of developability, curability, elastic recovery properties, and adhesion, preferably hexapentaGE of dipentaerythritol, the above general formula (1) The compound (C1) and the compound (C21) represented by the general formula (2), more preferably the compound (C1) and the compound (C21), and particularly preferably the compound (C1).

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)の合計重量に基づく(C)の含有量は、通常5〜60重量%、好ましくは5〜45重量%、特に好ましくは10〜30重量%である。この範囲であると弾性回復特性および基板との密着性が良好に発揮でき、現像性も良好に発揮できる。 The content of (C) based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is usually 5 to 60% by weight, preferably 5 to 45% by weight, particularly preferably 10 to 30%. % By weight. Within this range, the elastic recovery characteristics and the adhesion to the substrate can be exhibited well, and the developability can also be exhibited well.

本発明の必須成分である2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)は、例えば下記一般式(3)で表されるシラン化合物(d1)を必須構成単量体とし、そのアルコキシ基[一般式(3)中のOR10の部分]の一部または全部が縮合反応して高分子化した縮合物が挙げられる。ただし、それ以外の化学構造を有する加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物であってもよい。 The siloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, which is an essential component of the present invention, has, for example, a silane compound (d1) represented by the following general formula (3) as an essential constituent monomer, Examples include a condensate obtained by polymerizing a part or all of an alkoxy group [OR 10 part in the general formula (3)] by a condensation reaction. However, it may be a siloxane compound having a hydrolyzable alkoxy group having another chemical structure.

Figure 2011203578
Figure 2011203578

なお、ここでいう「加水分解性アルコキシ基」とは、炭素数1〜8のアルコキシ基で、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブチルオキシ基、sec−ブチルオキシ基、t−ブチルオキシ基、ペンチルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基が挙げられる。
一方、フェノキシ基は一般に加水分解しない。
The “hydrolyzable alkoxy group” as used herein is an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms such as methoxy group, ethoxy group, propyloxy group, isopropyloxy group, butyloxy group, sec-butyloxy group, t -A butyloxy group, a pentyloxy group, a heptyloxy group, and an octyloxy group are mentioned.
On the other hand, phenoxy groups generally do not hydrolyze.

上記の一般式(3)中、Rは、(メタ)アクリロイルアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、およびアミノアルキル基(アルキル基の炭素数は1〜6)からなる群から選ばれる1種の有機基である。また、Rは炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12の脂環式飽和炭化水素基、または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基;R10は炭素数1〜4のアルキル基である。mは0または1である。 In the general formula (3), R 8 is selected from the group consisting of a (meth) acryloylalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group (the alkyl group has 1 to 6 carbon atoms). One kind of organic group. R 9 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms; R 10 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. It is an alkyl group. m is 0 or 1.

式(3)中のRは、(メタ)アクリロイルアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、およびアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種の有機基であり、そのアルキレン基部分の炭素数は1〜6である。 R 8 in the formula (3) is one organic group selected from the group consisting of a (meth) acryloylalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group. Carbon number is 1-6.

ここで、(メタ)アクリロイルアルキル基は下記一般式(4);グリシドキシアルキル基は下記一般式(5);メルカプトアルキル基は−R11−SH;アミノアルキル基は−R11−NHで表される。 Here, the (meth) acryloylalkyl group is represented by the following general formula (4); the glycidoxyalkyl group is represented by the following general formula (5); the mercaptoalkyl group is -R 11 -SH; the aminoalkyl group is -R 11 -NH 2. It is represented by

Figure 2011203578
Figure 2011203578

式(4)中のR12は水素原子またはメチル基である。−R11−は炭素数1〜6のアルキレン基である。 R 12 in the formula (4) is a hydrogen atom or a methyl group. —R 11 — is an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms.

Figure 2011203578
Figure 2011203578

式(5)中の−R13−は炭素数1〜6のアルキレン基である。 -R < 13 >-in Formula (5) is a C1-C6 alkylene group.

一般式(3)において、R中に(メタ)アクリロイルアルキル基を有するシラン化合物の具体例としては、mが0または1の以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
In the general formula (3), specific examples of the silane compound having a (meth) acryloylalkyl group in R 8 include the following compounds in which m is 0 or 1.
Examples of the trifunctional silane compound in which m is 0, that is, three alkoxy groups include 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3- Examples include acryloyloxypropyltriethoxysilane.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, two alkoxy groups include 3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3 -Acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane and the like.

中にグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物の具体例としては、mが0または1の以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Specific examples of the silane compound having a glycidoxyalkyl group in R 8 include the following compounds in which m is 0 or 1.
Examples of the trifunctional silane compound in which m is 0, that is, three alkoxy groups include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, and the like.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, two alkoxy groups include 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, and the like.

中にメルカプトアルキル基を有するシラン化合物の具体例としては、mが0または1の以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Specific examples of the silane compound having a mercaptoalkyl group in R 8 include the following compounds in which m is 0 or 1.
Examples of the trifunctional silane compound in which m is 0, that is, three alkoxy groups include 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, and the like.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, two alkoxy groups include 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldiethoxysilane, and the like.

中にアミノアルキル基を有するシラン化合物の具体例としては、mが0または1の以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Specific examples of the silane compound having an aminoalkyl group in R 8 include the following compounds in which m is 0 or 1.
Examples of trifunctional silane compounds in which m is 0, that is, three alkoxy groups include N-2 aminoethyl γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyltriethoxysilane, and 3-aminopropyltrimethoxy. Silane, 3-aminopropyltriethoxysilane, etc. are mentioned.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。   Examples of trifunctional silane compounds in which m is 1, that is, two alkoxy groups include N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, and 3-aminopropylmethyl. Examples include dimethoxysilane and 3-aminopropylmethyldiethoxysilane.

はこのシラン化合物(d1)の縮合反応工程では反応せずに、縮合反応後もシロキサン化合物(D)中に残存し、本発明の感光性樹脂組成物が露光時または熱硬化する際の硬化反応に寄与する官能基である。
として好ましいものは硬化性の観点から(メタ)アクリロイルアルキル基およびグリシドキシアルキル基である。
R 8 does not react in the condensation reaction step of the silane compound (d1) and remains in the siloxane compound (D) after the condensation reaction, and the photosensitive resin composition of the present invention is exposed to light or thermally cured. It is a functional group that contributes to the curing reaction.
Preferred as R 8 are a (meth) acryloylalkyl group and a glycidoxyalkyl group from the viewpoint of curability.

式(3)中のRは、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12の脂環式飽和炭化水素基、または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基を表す。そして、その個数mは0または1である。 R 9 in Formula (3) represents a C 1-12 alkyl group, a C 1-12 alicyclic saturated hydrocarbon group, or a C 6-12 aromatic hydrocarbon group. The number m is 0 or 1.

のうち、脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖アルキル基、分岐アルキル基が挙げられる。
直鎖アルキル基としては、メチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、n−オクチルおよびn−ドデシル基が挙げられ、分岐アルキル基としてはイソプロピル、イソブチル、sec−ブチルおよび2−エチルヘキシル基等が挙げられる。
Among R 9 , examples of the aliphatic saturated hydrocarbon group include a linear alkyl group and a branched alkyl group.
Examples of the linear alkyl group include methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, n-octyl and n-dodecyl groups. Examples of the branched alkyl group include isopropyl, isobutyl, sec-butyl and 2-ethylhexyl groups. Can be mentioned.

脂環式飽和炭化水素基としては、シクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、およびメチルシクロヘキシル基等が挙げられる。 Examples of the alicyclic saturated hydrocarbon group include a cyclohexyl group, a cyclooctyl group, a cyclohexylmethyl group, a cyclohexylethyl group, and a methylcyclohexyl group.

のうち、芳香族炭化水素基としては、アリール基、アラルキル基およびアルキルアリール基等が挙げられる。
アリール基としてはフェニル、ビフェニル、ナフチル基およびこれらの重水素、フッ素もしくは塩素の各置換体;アラルキル基としてはトリル、キシリル、メシチルおよびこれらの重水素、フッ素もしくは塩化物;並びに、アルキルアリール基としてはメチルフェニルおよびエチルフェニル基等が挙げられる。
Among R 9 , examples of the aromatic hydrocarbon group include an aryl group, an aralkyl group, and an alkylaryl group.
As aryl groups, phenyl, biphenyl, naphthyl groups and their deuterium, fluorine or chlorine substituents; As aralkyl groups, tolyl, xylyl, mesityl and their deuterium, fluorine or chloride; and as alkylaryl groups Examples include methylphenyl and ethylphenyl groups.

のうち好ましいのは硬化反応性の観点から直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基であり、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基である。特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。 R 9 is preferably a linear alkyl group, a branched alkyl group or an aryl group from the viewpoint of curing reactivity, and more preferably a linear alkyl group or an aryl group. Particularly preferred are a methyl group, an ethyl group, a phenyl group and a combination thereof.

式(3)中のR10としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびsec−ブチル基等が挙げられ、好ましいのは熱硬化反応性の観点からメチル基およびエチル基である。
Si原子に結合するOR10基の数は(3−m)個であって、具体的には3または2個である。
Examples of R 10 in the formula (3) include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and a sec-butyl group. Preferred is methyl from the viewpoint of thermosetting reactivity. Group and ethyl group.
The number of OR 10 groups bonded to the Si atom is (3-m), specifically, 3 or 2.

一般式(3)で表されるシラン化合物(d1)のうち、硬化反応性の観点から好ましいのは、一般式(3)におけるRが(メタ)アクリロイルアルキル基またはグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物である。
さらに好ましいのは、アルコキシ基を3個有する(メタ)アクリロイロキシアルキル基含有3官能シラン化合物、およびアルコキシ基を3個有するグリシドキシアルキル基含有3官能シラン化合物であり、特に好ましいのは、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシランおよび3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランである。
Among the silane compounds (d1) represented by the general formula (3), R 8 in the general formula (3) preferably has a (meth) acryloylalkyl group or a glycidoxyalkyl group from the viewpoint of curing reactivity. Silane compound.
More preferred are (meth) acryloyloxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having 3 alkoxy groups, and glycidoxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having 3 alkoxy groups, and particularly preferred are 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)としては、一般式(3)で表されるシラン化合物(d1)のみからなる単独縮合重合体、並びに(d1)および(d1)と共縮合可能な1種類以上の他のシラン化合物の共縮合体が挙げられる。   Examples of the siloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups include a homocondensation polymer composed only of the silane compound (d1) represented by the general formula (3), and (d1) and (d1) Examples thereof include cocondensates of one or more other silane compounds capable of cocondensation.

このような他のシラン化合物としては、下記一般式(6)で表されるシラン化合物が挙げられる。 Examples of such other silane compounds include silane compounds represented by the following general formula (6).

14 Si(OR154−n (6) R 14 n Si (OR 15 ) 4-n (6)

式(6)中、R14は炭素数1〜12のアルキル基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基であり、R15は炭素数1〜4のアルキル基であり、nは0〜2の整数である。 In the formula (6), R 14 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 15 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is 0 to 0. It is an integer of 2.

14のうち好ましいのは直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。
15として好ましいのはメチル基およびエチル基である。
Among R 14, a linear alkyl group, a branched alkyl group, and an aryl group are preferable, a linear alkyl group and an aryl group are more preferable, and a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, and a combination thereof are particularly preferable.
R 15 is preferably a methyl group or an ethyl group.

一般式(6)において、nが0、すなわちアルコキシ基を4個有する4官能シラン化合物としては、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシラン等が挙げられる。
nが1、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
nが2、すなわちアルコキシ基を2個有する2官能シラン化合物としては、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシランおよびフェニルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
ポリシロキサン(D)の均一なネットワークの形成の観点から、これらのうち好ましくは、nが1、すなわち3官能シラン化合物である。
In the general formula (6), n is 0, that is, examples of the tetrafunctional silane compound having four alkoxy groups include tetramethoxysilane and tetraethoxysilane.
Examples of the trifunctional silane compound in which n is 1, that is, three alkoxy groups include phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, and methyltriethoxysilane.
Examples of the bifunctional silane compound in which n is 2, that is, two alkoxy groups include diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, and phenylmethyldiethoxysilane. .
Of these, n is preferably 1, that is, a trifunctional silane compound from the viewpoint of forming a uniform network of polysiloxane (D).

他のシラン化合物の仕込み割合は、硬化反応性の観点から好ましくは(d1)1モルに対し、他のシラン化合物の合計が0.1〜6.0モル、さらに好ましくは、0.2〜4.0モルが良好である。   From the viewpoint of curing reactivity, the charging ratio of the other silane compound is preferably 0.1 to 6.0 mol, more preferably 0.2 to 4 with respect to 1 mol of (d1). 0.0 mole is good.

シロキサン化合物(D)は、例えば、乾燥雰囲気下で、シラン化合物(d1)および必要により使用される他のシラン化合物中に所定量の水および必要により触媒を攪拌しながら20〜100℃で約10分〜60分かけて滴下し、その後副生するアルコールの沸点以下の温度(例えば0〜150℃)で1〜12時間かけて熟成することにより縮合反応して得ることができる。   The siloxane compound (D) is, for example, about 10 to 20 ° C. at 20 to 100 ° C. in a dry atmosphere with stirring a predetermined amount of water and, if necessary, a catalyst in the silane compound (d1) and other silane compounds used as necessary. It can be obtained by performing a condensation reaction by dropping over a period of 60 minutes to 60 minutes and then aging for 1 to 12 hours at a temperature below the boiling point of the by-produced alcohol (for example, 0 to 150 ° C.).

縮合反応において添加する水の量をXモル、シラン化合物(d1)および他のシラン化合物中のアルコキシ基のモル数をYとした場合、X/Yが小さすぎると縮合物の収量と分子量が低下する。一方、X/Yが大きすぎる場合は分子量が大きくなりすぎて保存安定性が低下する傾向にある。このことから、0.1<X/Y<5の範囲、好ましくは0.3<X/Y<3の範囲で行うことが好ましい。
添加する水は通常イオン交換水または蒸留水を用いる。また、分子量調整の目的で1個のアルコキシ基を有するシラン化合物を添加することもできる。1個のアルコキシ基を有するシラン化合物としては、例えばフェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシランが挙げられる。
If the amount of water added in the condensation reaction is X mol and the number of moles of alkoxy groups in the silane compound (d1) and other silane compounds is Y, the yield and molecular weight of the condensate will decrease if X / Y is too small. To do. On the other hand, when X / Y is too large, the molecular weight becomes too large and the storage stability tends to decrease. From this, it is preferable to carry out in the range of 0.1 <X / Y <5, preferably in the range of 0.3 <X / Y <3.
As the water to be added, ion exchange water or distilled water is usually used. Moreover, the silane compound which has one alkoxy group can also be added for the purpose of molecular weight adjustment. Examples of the silane compound having one alkoxy group include phenyltrimethoxysilane and methyltrimethoxysilane.

縮合反応の触媒としては蟻酸、酢酸、蓚酸、乳酸、マロン酸、クエン酸、酒石酸、リンゴ酸、コハク酸、フマル酸、フタル酸、ピロメリット酸、p―トルエンスルフォン酸、メタンスルフォン酸、トリフルオロ酢酸およびトリフルオロメタンスルフォン酸などの1価、2価または3価の有機酸;塩酸、リン酸、硝酸、フッ酸、臭素酸、塩素酸および過塩素酸などの無機酸;アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類水酸化物、第4級アルキルアンモニウムの水酸化物や炭酸塩および1〜3級アミン類などのアルカリ塩;第4級アルキルアンモニウムハロゲン化物;次亜塩素酸ナトリウム;スズ、ジルコニウム、チタニウム、アルミニウムおよび硼素などのケイ素以外の金属のアルコキシドおよびそれらのキレート錯体;などをあげることができ、この中で有機酸、無機酸、金属アルコキシド、金属アルコキシドのキレート化合物など酸性触媒が好ましく、有機酸が特に好ましい。   Condensation reaction catalysts include formic acid, acetic acid, succinic acid, lactic acid, malonic acid, citric acid, tartaric acid, malic acid, succinic acid, fumaric acid, phthalic acid, pyromellitic acid, p-toluenesulfonic acid, methanesulfonic acid, trifluoro Monovalent, divalent or trivalent organic acids such as acetic acid and trifluoromethanesulfonic acid; inorganic acids such as hydrochloric acid, phosphoric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, bromic acid, chloric acid and perchloric acid; alkali metal hydroxides; Alkaline earth hydroxides, quaternary alkylammonium hydroxides and carbonates and alkali salts such as primary to tertiary amines; quaternary alkylammonium halides; sodium hypochlorite; tin, zirconium, titanium Alkoxides of metals other than silicon, such as aluminum and boron, and their chelate complexes; Organic acid among inorganic acids, metal alkoxide, an acid catalyst is preferable, chelate compounds of a metal alkoxide, an organic acid is particularly preferred.

触媒の添加量はシラン化合物(d1)および他のシラン化合物の合計100重量部に対して、0.0001〜10重量部、好ましくは、0.001〜1重量部である。触媒の添加方法は特に規定されないが好ましくは水溶液として加える。また、好ましい反応温度は20℃〜100℃である。 The addition amount of the catalyst is 0.0001 to 10 parts by weight, preferably 0.001 to 1 part by weight with respect to 100 parts by weight as the total of the silane compound (d1) and the other silane compounds. The method for adding the catalyst is not particularly limited, but it is preferably added as an aqueous solution. Moreover, preferable reaction temperature is 20 to 100 degreeC.

本発明のシロキサン化合物(D)は、相溶性及び硬化物の弾性回復特性の観点から、前述の酸性基を有する多官能(メタ)アクリレートモノマー(A)とのSP値の差の絶対値が好ましくは2.0以下、さらに好ましくは1.9以下、特に好ましくは1.5以下、とりわけ好ましくは1.0以下である。 The siloxane compound (D) of the present invention preferably has an absolute value of the difference in SP value from the above-mentioned polyfunctional (meth) acrylate monomer (A) having an acidic group from the viewpoint of compatibility and the elastic recovery properties of the cured product. Is 2.0 or less, more preferably 1.9 or less, particularly preferably 1.5 or less, and particularly preferably 1.0 or less.

また、シロキサン化合物(D)のSP値は、好ましくは7.0〜13.0、さらに好ましくは8.0〜12.0、特に好ましくは8.0〜11.0、とりわけ好ましくは8.0〜10.5である。 The SP value of the siloxane compound (D) is preferably 7.0 to 13.0, more preferably 8.0 to 12.0, particularly preferably 8.0 to 11.0, and particularly preferably 8.0. ~ 10.5.

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)の合計重量に基づく(D)の含有量は、通常1〜40重量%が好ましく、さらに好ましくは1〜30重量%、特に好ましくは5〜30重量%である。この範囲であると弾性回復特性性および基板との密着性がさらに良好に発揮でき、相溶性もさらに良好に発揮できる。 The content of (D) based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is usually preferably 1 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, particularly preferably. 5 to 30% by weight. Within this range, the elastic recovery property and the adhesion to the substrate can be exhibited more satisfactorily, and the compatibility can also be exhibited better.

シロキサン化合物(D)のMnは、フォトスペーサとなったときの弾性回復特性と基板との密着性の観点から、好ましくは500〜100,000、さらに好ましくは1,000〜50,000、特に好ましくは2,000〜20,000である。 Mn of the siloxane compound (D) is preferably from 500 to 100,000, more preferably from 1,000 to 50,000, particularly preferably from the viewpoint of elastic recovery characteristics when it becomes a photospacer and adhesion to the substrate. Is 2,000 to 20,000.

光ラジカル重合開始剤(E)は、可視光線、紫外線、遠赤外線、荷電粒子線、X線などの放射線の露光により、重合性不飽和化合物の重合を開始しうるラジカルを発生する成分からなる。
このような光ラジカル重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン誘導体(E1)、アシルフォスフィンオキサイド誘導体(E2)、チタノセン誘導体(E3)、トリアジン誘導体(E4)、ビスイミダゾール誘導体(E5)、O−アシルオキシム(オキシムエステル)誘導体(E6)、ベンゾフェノン誘導体(E7)、チオキサントン誘導体(E8)、α−ジケトン誘導体(E9)、アントラキノン誘導体(E10)、アクリジン誘導体(E11)、およびこれらを2種以上含有する混合物が挙げられる。
The photo radical polymerization initiator (E) is composed of a component that generates a radical capable of initiating polymerization of the polymerizable unsaturated compound by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far infrared light, charged particle beam, and X-ray.
Examples of such photo radical polymerization initiators include acetophenone derivatives (E1), acylphosphine oxide derivatives (E2), titanocene derivatives (E3), triazine derivatives (E4), bisimidazole derivatives (E5), O-acyloxys. A oxime ester derivative (E6), a benzophenone derivative (E7), a thioxanthone derivative (E8), an α-diketone derivative (E9), an anthraquinone derivative (E10), an acridine derivative (E11), and two or more of these A mixture is mentioned.

アセトフェノン誘導体(E1)としては、例えば、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ジメチルベンジルケタール、メチルベンゾイルフォーメート、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン]が挙げられる。 Examples of the acetophenone derivative (E1) include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2 -Methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, dimethylbenzyl ketal, methylbenzoylformate, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholino Eniru) - butan-1-one] and the like.

アシルフォスフィンオキサイド誘導体(E2)としては、例えば、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドが挙げられる。 Examples of the acylphosphine oxide derivative (E2) include trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide.

チタノセン誘導体(E3)としては、例えば、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエンー1―イル)−ビス(2,6ージフルオロー3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウムが挙げられる。 Examples of the titanocene derivative (E3) include bis (η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium. .

トリアジン誘導体(E4)としては、例えば、トリクロロメチルトリアジン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジンが挙げられる。 Examples of the triazine derivative (E4) include trichloromethyltriazine and benzyl-2,4,6- (trihalomethyl) triazine.

ビスイミダゾール誘導体(E5)としては、例えば、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体が挙げられる。 Examples of the bisimidazole derivative (E5) include 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer.

O−アシルオキシム(オキシムエステル)誘導体(E6)としては、例えば、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(Oーベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)が挙げられる。 Examples of the O-acyloxime (oxime ester) derivative (E6) include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9. -Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime).

ベンゾフェノン誘導体(E7)としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンが挙げられる。 Examples of the benzophenone derivative (E7) include benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, and Michler's ketone.

チオキサントン誘導体(E8)としては、例えば、イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントンが挙げられる。 Examples of the thioxanthone derivative (E8) include isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, and diisopropylthioxanthone.

α−ジケトン誘導体(E9)としては、例えば、カンファーキノンが挙げられる。 Examples of the α-diketone derivative (E9) include camphorquinone.

アントラキノン誘導体(E10)としては、例えば、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノンが挙げられる。 Examples of the anthraquinone derivative (E10) include anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, and tert-butylanthraquinone.

アクリジン誘導体(E11)としては、例えば、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパンが挙げられる。 Examples of the acridine derivative (E11) include 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, and 1,3-bis (9-acridinyl) propane. Can be mentioned.

これら(E1)〜(E11)のうち、合成の容易さの観点から、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンおよび2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンが好ましく、反応性の観点から2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンがさらに好ましい。   Of these (E1) to (E11), from the viewpoint of ease of synthesis, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone and 2-benzyl-2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is preferred, and 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone is more preferred from the viewpoint of reactivity.

光ラジカル重合開始剤(E)は、市販のものが容易に入手することができ、例えば2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンとしては、イルガキュア907、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンとしては、イルガキュア369(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)等が挙げられる。   As the radical photopolymerization initiator (E), a commercially available product can be easily obtained. For example, as 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, Irgacure 907 is available. Examples of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one include Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)の合計重量に基づく光ラジカル重合開始剤(E)の含有量は、1〜15重量%が好ましく、さらに好ましくは3〜12重量%、特に好ましくは5〜10重量%である。1重量%以上であれば硬化反応性および弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、15重量%以下であれば光露光時のマスク汚れの低減および相溶性がさらに良好に発揮できる。 The content of the photo radical polymerization initiator (E) based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 1 to 15% by weight, more preferably 3 to 12% by weight. Particularly preferably, it is 5 to 10% by weight. If it is 1% by weight or more, curing reactivity and elastic recovery characteristics can be exhibited more satisfactorily, and if it is 15% by weight or less, mask stain reduction and compatibility during photoexposure can be further exhibited.

本発明において感光性樹脂組成物(Q)中に必須成分として含まれる酸発生剤(F)としては、熱または光エネルギーを吸収して酸を発生する化合物であれば特に限定されずに用いることができる。このような酸発生剤(E)としては、下記のスルホン化合物(F1)、スルホン酸エステル化合物(F2)、スルホンイミド化合物(F3)、ジスルホニルジアゾメタン(F4)、およびオニウム塩(F5)が挙げられる。   In the present invention, the acid generator (F) contained as an essential component in the photosensitive resin composition (Q) is not particularly limited as long as it is a compound that generates heat by absorbing heat or light energy. Can do. Examples of the acid generator (E) include the following sulfone compound (F1), sulfonic acid ester compound (F2), sulfonimide compound (F3), disulfonyldiazomethane (F4), and onium salt (F5). It is done.

スルホン化合物(F1)としては、フェナシルフェニルスルホン、4−トリスフェナシルスルホン−ケトスルホン、β−スルホニルスルホンおよびこれらのα−ジアゾ化合物等が挙げられる。 Examples of the sulfone compound (F1) include phenacylphenylsulfone, 4-trisphenacylsulfone-ketosulfone, β-sulfonylsulfone, and α-diazo compounds thereof.

スルホン酸エステル化合物(F2)としては、ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、ピロガロールメタンスルホン酸トリエステル、α−メチロールベンゾイントシレートおよびα−メチロールベンゾインドデシルスルホネート等が挙げられる。 Examples of the sulfonic acid ester compound (F2) include benzoin tosylate, pyrogallol tris trifluoromethane sulfonate, pyrogallol methane sulfonic acid triester, α-methylol benzoin tosylate and α-methylol benzoindodecyl sulfonate.

スルホンイミド化合物(F3)としては、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(p−トルエンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(パーフルオロオクタンスルホニルオキシ)ナフチルイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシイミドおよびN−(ベンゼンスルホニルオキシ)ナフチルイミド等が挙げられる。 Examples of the sulfonimide compound (F3) include N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (p-toluenesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboximide. N- (perfluorooctanesulfonyloxy) naphthylimide, N- (benzenesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (benzenesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] heptane-5,6-oxy-2,3-dicarboximide, N- (benzenesulfonyloxy) naphthylimide and the like.

ジスルホニルジアゾメタン化合物(F4)としては、ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−ジメチルベンゼンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(1−メチルエチルスルホニル)ジアゾメタンおよびビス(1、4−ジオキサスピロ[4,5]デカン−7−スルホニル)ジアゾメタン等が挙げられる。 Examples of the disulfonyldiazomethane compound (F4) include bis (trifluoromethylsulfonyl) diazomethane, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-toluenesulfonyl) diazomethane, bis (2,4-dimethylbenzenesulfonyl) diazomethane, bis (1 -Methylethylsulfonyl) diazomethane and bis (1,4-dioxaspiro [4,5] decan-7-sulfonyl) diazomethane.

オニウム塩(F5)としては、スルホニウム塩〔ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィドビスヘキサフルオロホスフェート、アリルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、ヘキサフルオロアンチモネート等〕、ヨードニウム塩(ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等)、ホスホニウム塩(エチルトリフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート等)、ジアゾニウム塩(フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等)、アンモニウム塩(1−ベンジル−2−シアノピリジニウムヘキサフルオロホスフェート等)、およびフェロセン〔(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−Fe(II)ヘキサフルオロホスフェート等〕等が挙げられる。 Examples of the onium salt (F5) include sulfonium salts [bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluorophosphate, allylsulfonium hexafluorophosphate, hexafluoroantimonate, etc.], iodonium salts (diphenyliodonium hexafluorophosphate, etc.) ), Phosphonium salts (such as ethyltriphenylphosphonium tetrafluoroborate), diazonium salts (such as phenyldiazonium hexafluorophosphate), ammonium salts (such as 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluorophosphate), and ferrocene [(2,4 -Cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -Fe (II) hexafluorophosphate, etc.].

これら酸発生剤(F1)〜(F5)のうち、貯蔵安定性および低温反応性の観点から、スルホンイミド化合物(F3)、ジスルホニルジアゾメタン化合物(F4)、およびオニウム塩(F5)が好ましく、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、およびヘキサフルオロアンチモネートのスルホニウム塩がさらに好ましく、ヘキサフルオロアンチモネートのスルホニウム塩が特に好ましい。   Of these acid generators (F1) to (F5), from the viewpoint of storage stability and low temperature reactivity, the sulfonimide compound (F3), the disulfonyldiazomethane compound (F4), and the onium salt (F5) are preferable. -(Trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, and a sulfonium salt of hexafluoroantimonate are more preferred, and a sulfonium salt of hexafluoroantimonate is particularly preferred.

感光性樹脂組成物(Q)の(A)〜(F)の合計重量に基づく(F)の含有量は、通常0.5〜15重量%、好ましくは1〜10重量%、特に好ましくは2〜5重量%である。10重量%以下であれば相溶性がさらに良好に発揮できる。 The content of (F) based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition (Q) is usually 0.5 to 15% by weight, preferably 1 to 10% by weight, particularly preferably 2 ~ 5% by weight. If it is 10% by weight or less, the compatibility can be further improved.

さらに、感光性樹脂組成物(Q)の酸価が特定の範囲にあると、現像性および感光性樹脂組成物(Q)の硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
すなわち、感光性樹脂組成物の(A)〜(F)の合計重量に基づく酸価が通常10〜110KOHmg/g、好ましくは25〜90KOHmg/g、さらに好ましくは40〜80KOHmg/g、特に好ましくは50〜75KOHmg/gである。この範囲であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
Furthermore, when the acid value of the photosensitive resin composition (Q) is in a specific range, the developability and the water resistance of the cured product of the photosensitive resin composition (Q) can be further improved.
That is, the acid value based on the total weight of the photosensitive resin composition (A) to (F) is usually 10 to 110 KOHmg / g, preferably 25 to 90 KOHmg / g, more preferably 40 to 80 KOHmg / g, particularly preferably. 50-75 KOH mg / g. Within this range, the developability is more easily exhibited, and the water resistance of the cured product can be further improved.

さらに、感光性樹脂組成物(Q)の(メタ)アクリロイル基中の炭素−炭素二重結合(C=C)の含有量(mmol/g)が高いほど、感光性樹脂組成物(Q)の硬化物の弾性回復特性がさらに良好に発揮できる。
すなわち、感光性樹脂組成物の(A)〜(F)の合計重量に基づく(メタ)アクリロイル基中の炭素−炭素二重結合(C=C)の含有量(mmol/g)が、通常6.5〜10.0mmol/gであり、好ましくは7.0〜10.0mmol/g、さらに好ましくは7.5〜9.5mmol/g、特に好ましくは8.0〜9.5mmol/gである。この範囲であれば弾性回復特性を良好に発揮できる。
Furthermore, the higher the content (mmol / g) of the carbon-carbon double bond (C = C) in the (meth) acryloyl group of the photosensitive resin composition (Q), the higher the photosensitive resin composition (Q). The elastic recovery characteristics of the cured product can be further improved.
That is, the content (mmol / g) of the carbon-carbon double bond (C = C) in the (meth) acryloyl group based on the total weight of the photosensitive resin composition (A) to (F) is usually 6 0.5 to 10.0 mmol / g, preferably 7.0 to 10.0 mmol / g, more preferably 7.5 to 9.5 mmol / g, and particularly preferably 8.0 to 9.5 mmol / g. . Within this range, the elastic recovery characteristics can be satisfactorily exhibited.

ここで、本発明における(メタ)アクリロイル基中の炭素−炭素二重結合の含有量(mmol/g)とは、本発明の感光性樹脂組成物(Q)中のアクリロイル基またはメタアクリロイル基に起因する炭素−炭素二重結合(C=C)の含有量(mmol/g)を指す。 Here, the content (mmol / g) of the carbon-carbon double bond in the (meth) acryloyl group in the present invention refers to the acryloyl group or methacryloyl group in the photosensitive resin composition (Q) of the present invention. This refers to the content (mmol / g) of the resulting carbon-carbon double bond (C = C).

この二重結合の濃度は、(メタ)アクリロイル基の二重結合へのアミンの付加反応(マイケル付加)を利用した滴定法により測定できる。
具体的な測定法は以下の通りである。
The concentration of the double bond can be measured by a titration method using an addition reaction (Michael addition) of an amine to a double bond of a (meth) acryloyl group.
The specific measurement method is as follows.

(1)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いてアセトン約10mlを加え溶解する。
(2)モルホリン標準液[ホルモリンとメタノールを1:4(容量比)で混合したもの]10mlを加え、さらに、50%酢酸標準液[酢酸とイオン交換水を1:1(容量比)で混合したもの]1.5mlを加えてよく振動した後、室温で15分間放置する。
(3)アセトニトリル15ml及び無水酢酸10mlを上記三角フラスコに加えよく振る。
(4)記録式自動滴定装置を用いて、0.5mol/Lの酢酸・メタノール滴定用溶液を用いて滴定する。
(5)同時に空試験を実施し、下式にて算出する。
(1) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then about 10 ml of acetone is added and dissolved.
(2) Add 10 ml of morpholine standard solution [mixed formolin and methanol 1: 4 (volume ratio)], and then add 50% acetic acid standard solution [acetic acid and ion-exchanged water 1: 1 (volume ratio) After adding 1.5 ml and shaking well, leave it at room temperature for 15 minutes.
(3) Add 15 ml of acetonitrile and 10 ml of acetic anhydride to the Erlenmeyer flask and shake well.
(4) Titrate with a 0.5 mol / L acetic acid / methanol titration solution using a recording type automatic titrator.
(5) A blank test is performed at the same time, and the following formula is used.

二重結合濃度(mmol/g)=f×(A−B)/2S
ただし、Aは試料の滴定に要した0.5mol/Lの酢酸・メタノール滴定用溶液のml数、Bは空試験に要した0.5mol/Lの酢酸・メタノール滴定用溶液のml数、fは0.5mol/Lの酢酸・メタノール滴定用溶液の力価、Sは試料採取量(g)[試料が溶剤を含む場合は溶剤を除いた量(g)]を表す。
Double bond concentration (mmol / g) = f × (A−B) / 2S
However, A is the number of ml of 0.5 mol / L acetic acid / methanol titration solution required for the titration of the sample, B is the number of ml of 0.5 mol / L acetic acid / methanol titration solution required for the blank test, f Represents the titer of a 0.5 mol / L acetic acid / methanol titration solution, and S represents the sample collection amount (g) [when the sample contains a solvent, the amount excluding the solvent (g)].

さらに、感光性樹脂組成物(Q)中の水酸基濃度が高いほど、感光性樹脂組成物(Q)の硬化物と基板との密着性がさらに良好に発揮できる。
密着性向上の観点から、感光性樹脂組成物の(A)〜(F)の合計重量に基づく水酸基濃度が、1.5〜5.0mmol/gが好ましく、2.0〜5.0mmol/gがさらに好ましく、2.5〜5.0mmol/gが特に好ましい。この範囲であると、感光性樹脂組成物(Q)の硬化物と基板との密着性および耐水性をさらに良好に発揮することができる。
Furthermore, the higher the hydroxyl group concentration in the photosensitive resin composition (Q), the better the adhesion between the cured product of the photosensitive resin composition (Q) and the substrate.
From the viewpoint of improving adhesion, the hydroxyl group concentration based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition is preferably 1.5 to 5.0 mmol / g, and 2.0 to 5.0 mmol / g. Is more preferable, and 2.5 to 5.0 mmol / g is particularly preferable. Within this range, the adhesion and water resistance between the cured product of the photosensitive resin composition (Q) and the substrate can be further improved.

この水酸基濃度(mmol/g)とは、本発明の感光性樹脂組成物(Q)中の水酸基の含有量(mmol/g)を指す。
この水酸基としては、アルコール性水酸基、フェノール性水酸基、カルボキシル基内の水酸基、スルホン酸基内の水酸基、燐酸基内の水酸基等が挙げられる。これらの水酸基のうち、アルコール性水酸基、およびカルボキシル基内の水酸基が好ましく、さらに好ましくはアルコール性水酸基である。
The hydroxyl group concentration (mmol / g) refers to the hydroxyl group content (mmol / g) in the photosensitive resin composition (Q) of the present invention.
Examples of the hydroxyl group include alcoholic hydroxyl groups, phenolic hydroxyl groups, hydroxyl groups in carboxyl groups, hydroxyl groups in sulfonic acid groups, hydroxyl groups in phosphoric acid groups, and the like. Of these hydroxyl groups, an alcoholic hydroxyl group and a hydroxyl group within a carboxyl group are preferred, and an alcoholic hydroxyl group is more preferred.

この水酸基濃度は、水酸基と無水フタル酸との脱水縮合反応を利用した無水フタル酸法(JIS K1557準拠)により得られる水酸基価から算出することで測定することができる。
具体的な測定法は以下の通りである。
This hydroxyl group concentration can be measured by calculating from the hydroxyl value obtained by the phthalic anhydride method (based on JIS K1557) utilizing a dehydration condensation reaction between a hydroxyl group and phthalic anhydride.
The specific measurement method is as follows.

(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、アセチル化剤[無水フタル酸とピリ
ジンを1:4(容量比)で混合したもの]5mlに溶解させる。
(ii)100℃にて2時間加熱後、1mlの水を加え、よく振動した後、室温で10分間放置する。
(iii)フェノールフタレインを指示薬、KOH水溶液(0.5mol/L)を滴定液として、滴定を行う。
(iv)同一試料について、酸価を測定する。
(v)同時に空試験を実施し、下式にて水酸基価を算出する。
水酸基価(KOHmg/g)=(B−A)×f×28.05/S+C
ただし、Aは試料の滴定に要した0.5mol/Lの水酸化カリウム滴定用溶液のml数、Bは空試験に要した0.5mol/Lの水酸化カリウム滴定用溶液のml数、fは0.5mol/Lの水酸化カリウム滴定用溶液の力値、Sは試料採取量(g[試料が溶剤を含む場合は溶剤を除いた量(g)]、Cは酸価[測定方法は前述の通り]を表す。
(vi)上式で得られた水酸基価を用いて、水酸基濃度を以下の式で算出する。
水酸基濃度(mmol/g)=水酸基価/56.1
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and dissolved in 5 ml of an acetylating agent [mixture of phthalic anhydride and pyridine at 1: 4 (volume ratio)].
(Ii) Heat at 100 ° C. for 2 hours, add 1 ml of water, vibrate well, and leave at room temperature for 10 minutes.
(Iii) Titration is performed using phenolphthalein as an indicator and KOH aqueous solution (0.5 mol / L) as a titrant.
(Iv) The acid value is measured for the same sample.
(V) A blank test is performed at the same time, and the hydroxyl value is calculated by the following formula.
Hydroxyl value (KOHmg / g) = (BA) × f × 28.05 / S + C
However, A is the number of ml of the 0.5 mol / L potassium hydroxide titration solution required for the titration of the sample, B is the number of ml of the 0.5 mol / L potassium hydroxide titration solution required for the blank test, f Is the force value of the 0.5 mol / L potassium hydroxide titration solution, S is the amount of sample collected (g [amount excluding the solvent (g) if the sample contains a solvent)], C is the acid value [the measurement method is As described above].
(Vi) Using the hydroxyl value obtained by the above equation, the hydroxyl group concentration is calculated by the following equation.
Hydroxyl concentration (mmol / g) = hydroxyl value / 56.1

感光性樹脂組成物(Q)は、必要によりさらにその他の成分を含有していてもよい。
その他の成分としては、無機微粒子、増感剤、重合禁止剤、溶剤、増粘剤、表面調整剤、およびその他の添加剤(例えば、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤、および防かび剤等)が挙げられる。
The photosensitive resin composition (Q) may further contain other components as necessary.
Other components include inorganic fine particles, sensitizers, polymerization inhibitors, solvents, thickeners, surface conditioners, and other additives (eg, inorganic pigments, silane coupling agents, dyes, fluorescent brighteners, Yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, antibacterial agents, fungicides, etc.).

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1〜10,000mPa・s、好ましくは1〜8,000mPa・sである。 The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer. The photosensitive resin composition is usually liquid at room temperature, and its viscosity is 0.1 to 10,000 mPa · s, preferably 1 to 8,000 mPa · s at 25 ° C.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)はアルカリ現像性が良好であり、その硬化物の弾性回復特性および基板との密着性に優れており、通常より低温の200℃以下のポストベーク処理を採用した場合でもその硬化物の弾性回復特性および基板との密着性に優れているので、特に液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサ用の感光性樹脂組成物として適している。   The photosensitive resin composition (Q) of the present invention has good alkali developability, is excellent in the elastic recovery characteristics of the cured product and the adhesion to the substrate, and is subjected to a post-bake treatment at a temperature of 200 ° C. or lower, which is lower than usual. Even when it is adopted, the cured product is excellent in the elastic recovery characteristics and the adhesion to the substrate, and is particularly suitable as a photosensitive resin composition for a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell.

一般的に、フォトスペーサの弾性回復特性は、一定の圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができ、弾性回復率の値の高い方が弾性回復特性に優れる。
そして、加圧が大きいほど、弾性回復率は小さくなる。
In general, the elastic recovery characteristic of a photospacer can be evaluated by the “elastic recovery rate” when a certain pressure is applied, and the higher the elastic recovery rate, the better the elastic recovery characteristic.
And the elastic recovery rate becomes small, so that pressurization is large.

ところで、従来から知られている感光性樹脂組成物を光照射で硬化させ、200℃より高い温度、例えば230℃でポストベーク処理を採用した場合、形成されたフォトスペーサの0.3mN/μmの圧力条件下での弾性回復率は、通常70%程度得られる。
しかし、圧力条件下を0.5mN/μmに上げると弾性回復率は大幅に低下する。
さらに、200℃以下、例えば150℃でポストベーク処理を採用した場合、0.5mN/μmの圧力条件下では30%程度の回復弾性率しか得られない。
By the way, when a conventionally known photosensitive resin composition is cured by light irradiation and a post-bake treatment is employed at a temperature higher than 200 ° C., for example, 230 ° C., 0.3 mN / μm 2 of the formed photo spacer. The elastic recovery rate under the pressure condition is usually about 70%.
However, when the pressure condition is increased to 0.5 mN / μm 2 , the elastic recovery rate is greatly reduced.
Furthermore, when post-baking is employed at 200 ° C. or lower, for example, 150 ° C., only a recovery elastic modulus of about 30% can be obtained under a pressure condition of 0.5 mN / μm 2 .

しかし、本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、感光性樹脂組成物を光照射で硬化させ、200℃以下の低温処理を採用した場合でも、形成されたフォトスペーサの0.5mN/μmの圧力条件下での弾性回復率が、通常50%〜100%であり、好ましくは60〜100%であり、さらに好ましくは70〜100%であり、特に好ましくは80〜100%である。
弾性回復率が70%以上であると弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。45%以下の場合、密着性はさらに向上するが、弾性回復特性が低く、液晶セルギャップを保持できない実用上問題となる可能性が高い。
However, the photosensitive resin composition (Q) of the present invention is 0.5 mN / μm of the formed photo spacer even when the photosensitive resin composition is cured by light irradiation and a low temperature treatment of 200 ° C. or less is adopted. The elastic recovery rate under the pressure condition of 2 is usually 50% to 100%, preferably 60 to 100%, more preferably 70 to 100%, and particularly preferably 80 to 100%.
When the elastic recovery rate is 70% or more, the elastic recovery characteristic can be further improved, and there is a high possibility that it can be used practically without any problem as a spacer for holding the liquid crystal cell gap. When it is 45% or less, the adhesion is further improved, but the elastic recovery characteristic is low, and there is a high possibility that it will be a practical problem that the liquid crystal cell gap cannot be maintained.

以下において本発明のフォトスペーサについて説明する。
本発明のフォトスペーサは、上記の感光性樹脂組成物(Q)を硬化させて形成され、液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサである。
フォトスペーサは、カラーフィルタ基板とTFT基板とを貼り合わせた時に液晶セルのギャップを決めるものであり、表示品質にとって重要な役割を果たす。フォトスペーサの高さは、通常2〜5μm程度の範囲で一定の高さを持つものであり、その均一性が要求される。また、高さの他、フォトスペーサに要求される形状、大きさ、密度等は液晶表示装置の設計によって適宜決定される。
The photo spacer of the present invention will be described below.
The photospacer of the present invention is a photospacer that is formed by curing the photosensitive resin composition (Q) and is provided for maintaining a gap in the liquid crystal cell.
The photo spacer determines the gap of the liquid crystal cell when the color filter substrate and the TFT substrate are bonded together, and plays an important role for display quality. The height of the photo spacer usually has a constant height in the range of about 2 to 5 μm, and its uniformity is required. In addition to the height, the shape, size, density, and the like required for the photo spacer are appropriately determined depending on the design of the liquid crystal display device.

本発明のフォトスペーサの好ましい形成工程は、感光性樹脂組成物を基板上に塗布後、光照射し、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行う工程である。
フォトスペーサの形成は、通常、以下(1)〜(5)の工程で行われる。
The preferable formation process of the photospacer of the present invention is a process in which a photosensitive resin composition is applied onto a substrate, irradiated with light, subjected to alkali development to form a pattern, and further post-baked.
The formation of the photo spacer is usually performed in the following steps (1) to (5).

(1)基板の着色層上に設けられた透明共通電極上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程。塗布方法としては、ロールコート、スピンコート、スプレーコートおよびスリットコート等が挙げられ、塗布装置としては、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
膜厚は、通常0.5〜10μm、好ましくは1〜5μmである。
(1) The process of apply | coating the photosensitive resin composition of this invention on the transparent common electrode provided on the colored layer of a board | substrate. Examples of the coating method include roll coating, spin coating, spray coating, and slit coating. Examples of the coating apparatus include spin coater, air knife coater, roll coater, bar coater, curtain coater, gravure coater, and comma coater. It is done.
The film thickness is usually 0.5 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm.

(2)塗布された感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる(プリベーク)工程。乾燥温度としては、好ましくは10〜120℃、さらに好ましくは12〜90℃、特に15〜60℃、とりわけ20〜50℃である。乾燥時間は、好ましくは0.5〜10分、さらに好ましくは1〜8分、特に好ましくは2〜5分である。乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。 (2) A step of drying (prebaking) the applied photosensitive resin composition layer by applying heat as necessary. The drying temperature is preferably 10 to 120 ° C, more preferably 12 to 90 ° C, particularly 15 to 60 ° C, particularly 20 to 50 ° C. The drying time is preferably 0.5 to 10 minutes, more preferably 1 to 8 minutes, and particularly preferably 2 to 5 minutes. Drying may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.

(3)所定のフォトマスクを介して、活性光線により感光性樹脂組成物層の露光を行う工程。本発明の感光性樹脂組成物であれば、直径4〜10μm程度(面積12〜100μm程度)のマスク開口部であっても、精度良く、すなわち直径5〜12μm(面積20〜120μm)の範囲でパターンを形成することができる。
活性光線としては、例えば、可視光線、紫外線、およびレーザー光線が挙げられる。光線源としては、例えば、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、および半導体レーザーが挙げられる。
露光量としては、特に限定されないが、好ましくは20〜300mJ/cm、生産コストの観点から20〜100mJ/cmがさらに好ましく、20〜60mJ/cmが特に好ましい。露光光を行う工程においては、感光性樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基を有する成分が反応して光硬化反応する。
(3) A step of exposing the photosensitive resin composition layer with actinic rays through a predetermined photomask. If the photosensitive resin composition of the present invention, even in mask openings having a diameter of about 4 to 10 [mu] m (2 about area 12~100Myuemu), accurately, i.e. the diameter 5~12μm of (area 20 to 120 2) A pattern can be formed in a range.
Examples of the active light include visible light, ultraviolet light, and laser light. Examples of the light source include sunlight, a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a semiconductor laser.
The exposure amount is not particularly limited, preferably 20~300mJ / cm 2, more preferably 20~100mJ / cm 2 from the viewpoint of production cost, 20~60mJ / cm 2 is particularly preferred. In the step of performing exposure light, a component having a (meth) acryloyl group in the photosensitive resin composition reacts to undergo photocuring reaction.

(4)光照射後、未露光部を現像液で除去し、現像を行う工程。現像液は、通常、アルカリ水溶液を用いる。アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液;炭酸ナトリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩の水溶液;ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、およびヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げられる。これらを単独又は2種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。現像液の温度は、好ましくは25〜40℃である。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
(4) A step of developing after removing the unexposed portion with a developer after light irradiation. As the developer, an alkaline aqueous solution is usually used. Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions of alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; aqueous solutions of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate and sodium hydrogencarbonate; hydroxytetramethylammonium and hydroxytetraethylammonium. And an aqueous solution of an organic alkali. These can be used alone or in combination of two or more kinds, and a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant and a nonionic surfactant can be added and used.
As a developing method, there are a dip method and a shower method, but the shower method is preferable. The temperature of the developer is preferably 25 to 40 ° C. The development time is appropriately determined according to the film thickness and the solubility of the photosensitive resin composition.

(5)後加熱(ポストベーク)工程。ポストベークの温度としては50〜280℃、好ましくは100〜250℃、さらに好ましくは120〜240℃、特に好ましくは140〜230℃である。
ポストベークの時間は5分〜2時間である。
(5) Post-heating (post-baking) step. The post-baking temperature is 50 to 280 ° C, preferably 100 to 250 ° C, more preferably 120 to 240 ° C, and particularly preferably 140 to 230 ° C.
The post-bake time is 5 minutes to 2 hours.

ポストベークは、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
ポストベークを行うことにより、フォトスペーサの弾性回復特性がさらに良好になる。
この後加熱(ポストベーク)工程においては、感光性樹脂組成物中の熱硬化性官能基を有する成分が反応して熱硬化するものと推定される。熱硬化性官能基としては、例えば、(C)または(D)のうちの加水分解性アルコキシ基、および(A)、(B)または(D)のうちの(メタ)アクリロイル基のうちで上記の露光工程で残存した微量の(メタ)アクリロイル基が挙げられる。
Post bake may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.
By performing post-baking, the elastic recovery characteristics of the photo spacer are further improved.
In this post-heating (post-baking) step, it is presumed that the component having a thermosetting functional group in the photosensitive resin composition reacts and thermosets. Examples of the thermosetting functional group include the hydrolyzable alkoxy group in (C) or (D) and the (meth) acryloyl group in (A), (B) or (D). The trace amount (meth) acryloyl group which remained in the exposure process of this is mentioned.

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、%は重量%、部は重量部を示す。 Hereinafter, although an example and a comparative example explain the present invention further, the present invention is not limited to these. Hereinafter, unless otherwise specified, “%” represents “% by weight” and “parts” represents “parts by weight”.

製造例1 [親水性エポキシ樹脂の溶液(A−1)の製造]
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN―102S」(日本化薬(株)製 エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部及びp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。
反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、さらに90℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて親水性エポキシ樹脂の含有量が50%となるように希釈して、アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂の50%溶液(A−1)を得た。
なお、この樹脂固形分換算としてのGPCによる数平均分子量(Mn):2,200、SP値:11.3、HLB値:6.4、酸価:91mgKOH/gであった。
Production Example 1 [Production of hydrophilic epoxy resin solution (A-1)]
Glass Kolben equipped with heating / cooling / stirring measures, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen inlet, cresol novolac epoxy resin “EOCN-102S” (Epoxy equivalent 200, Nippon Kayaku Co., Ltd.) and propylene 245 parts of glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 110 ° C. to dissolve uniformly. Subsequently, 76 parts of acrylic acid (1.07 mol part), 2 parts of triphenylphosphine and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110 ° C. for 10 hours.
The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mol part) of tetrahydrophthalic anhydride and further reacted at 90 ° C. for 5 hours. After that, propylene glycol monomethyl ether acetate was added, and the content of hydrophilic epoxy resin was 50%. Was diluted to obtain a 50% solution (A-1) of a hydrophilic epoxy resin having an acryloyl group and a carboxyl group.
In addition, it was number average molecular weight (Mn) by GPC as resin solid content conversion: 2,200, SP value: 11.3, HLB value: 6.4, and acid value: 91 mgKOH / g.

製造例2 [アクリレート変性ポリシロキサン(D−1)の製造]
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部(0.2モル部)、ジフェニルジメトキシシラン160部(0.65モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを6.7kPaの減圧下で2時間かけて除去し、アクリレート変性ポリシロキサン(D−1)(Mn:2,100)を得た。
Production Example 2 [Production of acrylate-modified polysiloxane (D-1)]
In a glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction pipe, 46 parts (0.2 mole part) 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 160 parts diphenyldimethoxysilane (0 .65 mol parts), 45 g (2.5 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol parts) of oxalic acid, and heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. The methanol produced as a by-product by hydrolysis was removed under reduced pressure of 6.7 kPa over 2 hours to obtain acrylate-modified polysiloxane (D-1) (Mn: 2,100).

製造例3 [酸発生剤溶液(F−2)の製造]
国際公開05/116038号パンフレットの実施例に記載の方法に従い、4−(フェニルチオ)フェニルジフェニルスルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートの50重量%プロピレンカーボネート溶液(F−2)を合成した。
Production Example 3 [Production of Acid Generator Solution (F-2)]
A 50 wt% propylene carbonate solution (F-2) of 4- (phenylthio) phenyldiphenylsulfonium tris (pentafluoroethyl) trifluorophosphate was synthesized according to the method described in Examples of the pamphlet of International Publication No. 05/116038.

比較製造例1 [比較例5に配合するメタクリル酸系共重合体の溶液(G−1)の製造]
特開2009−75284号公報の合成例1に記載の方法に従い、メタクリル酸、メタクリル酸トリシクロデカン−8−イル、スチレン、ブタジエンおよびメタクリル酸グリシジルを反応させて、これらのメタクリル酸系共重合体の30重量%ジエチレングリコールメチルエチルエーテル溶液(G−1)を合成した。
Comparative Production Example 1 [Production of methacrylic acid copolymer solution (G-1) blended in Comparative Example 5]
According to the method described in Synthesis Example 1 of JP-A-2009-75284, methacrylic acid, tricyclodecan-8-yl methacrylate, styrene, butadiene and glycidyl methacrylate are reacted to produce these methacrylic acid copolymers. A 30% by weight diethylene glycol methyl ethyl ether solution (G-1) was synthesized.

比較製造例2 [比較例6に配合するメタクリル酸系共重合体の溶液(G−2)の製造]
特開2009−186838号公報の実施例1に記載の方法に従い、メタクリル酸、ジメチルブチロラクトンアクリレートおよびメタクリル酸グリシジルから、これらのメタクリル酸系共重合体の30重量%1−メトキシ−2−プロパノール/1−メトキシ−2−プロピルアセテート溶液(G−2)を合成した。
Comparative Production Example 2 [Production of methacrylic acid copolymer solution (G-2) blended in Comparative Example 6]
According to the method described in Example 1 of JP2009-186838A, 30% by weight of these methacrylic acid-based copolymers from methacrylic acid, dimethylbutyrolactone acrylate and glycidyl methacrylate / 1-methoxy-2-propanol / 1 A methoxy-2-propyl acetate solution (G-2) was synthesized.

[感光性樹脂組成物の製造]
実施例1〜8および比較例1〜6
表1と表2の配合部数に従い、ガラス製の容器に各成分を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに有効成分の濃度が35%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して希釈し、本発明の実施例1〜8の感光性樹脂組成物、および比較例1〜6の感光性樹脂組成物を得た。
[Production of photosensitive resin composition]
Examples 1-8 and Comparative Examples 1-6
In accordance with the number of parts in Table 1 and Table 2, each component is charged into a glass container, stirred until uniform, and further diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the active ingredient concentration is 35%. The photosensitive resin composition of Examples 1-8 of this invention and the photosensitive resin composition of Comparative Examples 1-6 were obtained.

Figure 2011203578
Figure 2011203578

Figure 2011203578
Figure 2011203578

なお、表1と表2中の記号は以下の通りである。
(B−1):多官能(メタ)アクリレート:「NKエステルA−TMM−3Lnew」(ペンタエリスリトールトリアクリレート:新中村化学(株)社製)
(B−2):多官能(メタ)アクリレート:「DA−600」(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物:三洋化成工業(株)社製)
(B−3):多官能(メタ)アクリレート:「DPCA−120」(カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:日本化薬(株)社製)
(B−4):多官能(メタ)アクリレート:「アロニックスM−520」(東亞合成(株)社製)
(C−1)カチオン重合性化合物:「サイメル303」(三井サイテック(株)社製)
(C−2)カチオン重合性化合物:「デナコールEX−411」(ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル:ナガセケムテックス(株)社製)
(E−1):光ラジカル重合開始剤:「イルガキュア907」(2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)
(E−2):光ラジカル重合開始剤:「イルガキュアOX02」(エタノン,1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9,H,−カルバゾール−3−イル)−,1−(O−アセチルオキシム):チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)
(E−3):光ラジカル重合開始剤:「イルガキュア379」(2−ジメチルアミノ−2−(4−メチル−ベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)
(E−4):光ラジカル重合開始剤:「CGI242」(1−(9−(2−メチルベンゾイル)−9,H,−カルバゾール−3−イル)−1−(9−(2−メチルベンゾイル)−9,H,−カルバゾール−3−イル)−エタノン,1−(O−アセチルオキシム):チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)
(F−1)酸発生剤:「サンエイドSI−150L」(芳香族スルホニウムSbF 塩:三新化学工業(株)社製)
The symbols in Tables 1 and 2 are as follows.
(B-1): Multifunctional (meth) acrylate: “NK ester A-TMM-3Lnew” (pentaerythritol triacrylate: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
(B-2): Multifunctional (meth) acrylate: “DA-600” (mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.)
(B-3): Multifunctional (meth) acrylate: “DPCA-120” (Caprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate: Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(B-4): Multifunctional (meth) acrylate: “Aronix M-520” (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
(C-1) Cationic polymerizable compound: “Cymel 303” (Mitsui Cytec Co., Ltd.)
(C-2) Cationic polymerizable compound: “Denacol EX-411” (pentaerythritol polyglycidyl ether: manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
(E-1): Photoradical polymerization initiator: “Irgacure 907” (2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. )
(E-2): Photoradical polymerization initiator: “Irgacure OX02” (ethanone, 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9, H, -carbazol-3-yl)-, 1- (O-acetyloxime): Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
(E-3): Photoradical polymerization initiator: “Irgacure 379” (2-dimethylamino-2- (4-methyl-benzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butane-1 -ON: Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
(E-4): Photoradical polymerization initiator: “CGI242” (1- (9- (2-methylbenzoyl) -9, H, -carbazol-3-yl) -1- (9- (2-methylbenzoyl) ) -9, H, -carbazol-3-yl) -ethanone, 1- (O-acetyloxime): Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)
(F-1) Acid generator: "San-Aid SI-150L" (aromatic sulfonium SbF 6 - salt: Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.)

本発明の実施例1〜8の感光性樹脂組成物、および比較例1〜5の感光性樹脂組成物について、アルカリ現像性、基板との密着性、弾性回復特性、解像度を以下に示す方法で測定・評価した。その結果を表1と表2に示す。 About the photosensitive resin composition of Examples 1-8 of this invention, and the photosensitive resin composition of Comparative Examples 1-5, it is a method which shows alkali developability, adhesiveness with a board | substrate, an elastic recovery characteristic, and the resolution below. Measured and evaluated. The results are shown in Tables 1 and 2.

[アルカリ現像性の評価]
感光性樹脂組成物を、ガラス基板上に、仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、80℃で3分間乾燥した。直径6〜20μmの開口部を多数有するパターンのフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を60mJ/cm照射した。なお、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いてシャワー現像30秒間を行った。水洗を施したのち、230℃で30分間ポストベークしてフォトスペーサを基板上に多数形成した。
[Evaluation of alkali developability]
The photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 5 μm, and dried at 80 ° C. for 3 minutes. Light from a high-pressure mercury lamp was irradiated at 60 mJ / cm 2 through a photomask having a pattern having many openings with a diameter of 6 to 20 μm. Note that the exposure (gap) between the photomask and the substrate was 100 μm.
Thereafter, shower development was performed for 30 seconds using a 1% sodium carbonate aqueous solution. After washing with water, post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form a large number of photo spacers on the substrate.

フォトスペーサが形成されたこれらのガラス基板の表面上の残留物(1%炭酸ナトリウム水溶液に溶け残りのオリゴマーやモノマーなどのゲル状、固形状)の付着量により、下記の判定基準で現像性を評価した。
上記操作で得た基板を写真撮影し、画像データ処理により、基板上の残留物を定量的に確認した。判定基準は以下の通りである。
Depending on the amount of residue (gel, solid such as oligomers and monomers remaining in 1% sodium carbonate aqueous solution) on the surface of these glass substrates on which photo spacers have been formed, developability is determined according to the following criteria. evaluated.
The substrate obtained by the above operation was photographed, and the residue on the substrate was quantitatively confirmed by image data processing. Judgment criteria are as follows.

◎:基板上の残留物なし
○:基板上の残留物が認められるが5%未満
△:基板上の残留物の基板を覆う面積が5%〜75%未満
×:基板上の残留物の基板を覆う面積が75%以上
◎: No residue on substrate ○: Residue on substrate is recognized but less than 5% Δ: Area of residue on substrate covering substrate is less than 5% to less than 75% ×: Substrate of residue on substrate 75% or more area covering

[フォトスペーサの作製]
感光性樹脂組成物を、ガラス基板上に、仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、80℃で3分間乾燥した。直径6μm〜20μmの開口部を有するパターンのフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を60mJ/cm照射した。なお、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いてシャワー現像60秒間を行った。水洗を施したのち、230℃で30分間ポストベークしてフォトスペーサを基板上に多数形成した。
なお、比較例1はアルカリ現像性が悪く、スペーサを形成できなかったため、ポストベーク以降の処理は行わず、以下の評価も行っていない。
[Production of photo spacer]
The photosensitive resin composition was spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 5 μm, and dried at 80 ° C. for 3 minutes. Light from a high-pressure mercury lamp was irradiated at 60 mJ / cm 2 through a photomask having a pattern having openings with a diameter of 6 μm to 20 μm. Note that the exposure (gap) between the photomask and the substrate was 100 μm.
Thereafter, shower development was performed for 60 seconds using a 1% aqueous sodium carbonate solution. After washing with water, post-baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form a large number of photo spacers on the substrate.
In addition, since the comparative example 1 had poor alkali developability and a spacer could not be formed, the post-baking process was not performed, and the following evaluation was not performed.

また、上記フォトスペーサとは別に、ポストベーク処理温度を、それぞれ200℃、150℃、100℃および50℃に変更した以外は上述の230℃でのフォトスペーサの作製と同様にしてそれぞれの基板上にフォトスペーサを多数形成した。 In addition to the above photo spacers, the post-baking temperature was changed to 200 ° C., 150 ° C., 100 ° C., and 50 ° C., respectively. A large number of photo spacers were formed.

フォトスペーサの下底径はスペーサが基板と接する部分の直径を、フォトスペーサの上底径はスペーサの高さの90%の高さの位置の直径を、それぞれレーザー顕微鏡(商品名、カラー3Dレーザー顕微鏡 VK−8700:キーエンス(株)社製)を用いて測定した。
実施例1〜8の感光性樹脂組成物、および比較例1〜6の感光性樹脂組成物を用いて作製したフォトスペーサの下底径は、マスクの大きさに応じてそれぞれ7〜21μmの範囲、上底径は4〜19μmの範囲であった。
The lower base diameter of the photo spacer is the diameter of the portion where the spacer contacts the substrate, and the upper base diameter of the photo spacer is the diameter at a position 90% of the height of the spacer, respectively. Measurement was performed using a microscope VK-8700 (manufactured by Keyence Corporation).
The lower base diameters of the photo spacers prepared using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 6 are in the range of 7 to 21 μm depending on the size of the mask. The upper base diameter was in the range of 4 to 19 μm.

[密着性の評価]
LCDの小型化・高精細化に伴い、基板上に作製されるフォトスペーサのサイズに10μmあるいはそれ以下のサイズが要求されるようになってきた。ところが、基板とフォトスペーサとの接地面積が小さいほど、高い密着性が必要となる。すなわち密着性が高いフォトスペーサほど、スペーサの下底径が小さくなっても、擦りなどによって剥がれにくくなる性能に優れる。そこで密着性は、スペーサの下底径を直径15μmと8μmの2水準に設定し、以下の綿棒こすり試験によって評価することとした。
[Evaluation of adhesion]
With the miniaturization and high definition of LCD, a size of 10 μm or less is required for the size of a photo spacer manufactured on a substrate. However, the smaller the ground contact area between the substrate and the photo spacer, the higher the adhesion is required. That is, a photo spacer having higher adhesion is more excellent in performance of being less likely to be peeled off by rubbing or the like even when the lower bottom diameter of the spacer is reduced. Therefore, the adhesiveness was evaluated by setting the lower bottom diameter of the spacer at two levels of 15 μm and 8 μm, and the following swab rubbing test.

上述のフォトスペーサの作製と同様にして基板上にフォトスペーサを多数形成した。これらのスペーサの中から下底径がそれぞれ15μmおよび8μmのフォトスペーサについて、任意のスペーサ100個を判定の対象として選んだ。
アセトンに浸した綿棒を、縦横にそれぞれ10往復、2cm/秒の速度で、スペーサを形成した基板に擦りつけた後、基板上に存在していた任意のスペーサ100個の剥離状態を光学顕微鏡で観察し、密着性を評価した。
判定基準は以下の通りである。
◎:剥がれたスペーサの個数0個
○:剥がれたスペーサの個数1〜3個
△:剥がれたスペーサの個数4〜89個
×:剥がれたスペーサの個数90〜100個
A large number of photo spacers were formed on the substrate in the same manner as the photo spacers described above. Of these spacers, 100 arbitrary spacers were selected for determination with respect to photo spacers having a bottom diameter of 15 μm and 8 μm, respectively.
A cotton swab soaked in acetone was rubbed against the substrate on which the spacers were formed at a speed of 2 cm / second, 10 times in each direction, and then the peeling state of 100 arbitrary spacers existing on the substrate was observed with an optical microscope. Observed and evaluated for adhesion.
Judgment criteria are as follows.
A: No. of peeled spacers 0: No. of peeled spacers 1 to 3 Δ: No. of peeled spacers 4 to 89 x: No. of peeled spacers 90 to 100

[解像度の評価]
LCDの小型化・高精細化が進み、画素サイズが小さくなってきたことから、解像度として、10μmあるいはそれ以下のサイズでのパターニングが要求されるようになってきた。すなわち解像度が高いスペーサほど、マスクの残しパターンが小さくなっても、マスクの残しパターンと同じ大きさのスペーサを形成できる性能に優れる。
そこで解像度は、マスクの残しパターンを直径10μmに設定し、以下の試験によって評価することにした。
[Resolution evaluation]
As the size and resolution of LCDs have been reduced and the pixel size has been reduced, patterning with a resolution of 10 μm or less has been required as a resolution. That is, the higher the resolution, the better the performance of forming a spacer having the same size as the remaining mask pattern even if the remaining mask pattern is smaller.
Therefore, the resolution was evaluated by setting the remaining pattern of the mask to a diameter of 10 μm and performing the following test.

感光性樹脂組成物を、フォトマスクとして直径10μmの開口部を有するパターンのフォトマスクを使用した以外はフォトスペーサの作製と同様にして、フォトスペーサを基板上に多数形成した。レーザー顕微鏡にてフォトスペーサの下底径を測定し、これを解像度の評価とした。下底径が小さいほど解像度が高いといえる。 A large number of photospacers were formed on a substrate in the same manner as in the production of the photospacer except that a photomask having a pattern having an opening having a diameter of 10 μm was used as the photomask. The lower base diameter of the photo spacer was measured with a laser microscope, and this was used as an evaluation of resolution. It can be said that the smaller the bottom diameter, the higher the resolution.

スペーサの下底径による判定基準は以下の通りである。結果を表1と表2に示す。
○:11μm未満
△:11〜13μm
×:13μm以上
Criteria based on the lower base diameter of the spacer are as follows. The results are shown in Tables 1 and 2.
○: Less than 11 μm Δ: 11-13 μm
×: 13 μm or more

[弾性回復特性の評価]
フォトスペーサの弾性回復特性は、一定の圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができる。弾性回復率(%)の値の高い方が弾性回復特性に優れる。
また、フォトスペーサにかかる圧力が大きいときに、弾性回復率の値が高い方が弾性回復特性に優れる。
本発明において、弾性回復特性は以下の方法で、0.3mN/μmおよび0.5mN/μmの2水準の圧力条件下での弾性回復率を測定して評価することができる。
[Evaluation of elastic recovery characteristics]
The elastic recovery characteristic of the photo spacer can be evaluated by the “elastic recovery rate” when a certain pressure is applied. The higher the elastic recovery rate (%), the better the elastic recovery characteristics.
Further, when the pressure applied to the photospacer is large, the higher the elastic recovery rate, the better the elastic recovery characteristic.
In the present invention, the elastic recovery properties can be the following method is assessed by measuring the elastic recovery at pressure conditions of 2 levels of 0.3 mN / [mu] m 2 and 0.5 mN / [mu] m 2.

上述のようにして得られたフォトスペーサについて、フィッシャースコープH−100(フィッシャーインストルメンツ社製)硬度測定器を用い、断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)により、25℃において、一定の負荷速度(圧力が0.3mN/μmの場合0.010mN/μm・秒、圧力が0.5mN/μmの場合0.017mN/μm・秒)で、30秒かけて所定の圧力まで圧力をかけ、5秒間保持した後、一定の除荷速度(圧力が0.3mN/μmの場合0.010mN/μm・秒、圧力が0.5mN/μmの場合0.017mN/μm・秒)で30秒かけて圧力を0まで除荷し、5秒間保持した時の荷重とスペーサ変形量とのヒステリシス曲線から総変形量T(μm)を求め、さらに塑性変形量T(μm)を求めて、所定の圧力における弾性回復率(%)を下式で算出する。 The photospacer obtained as described above was subjected to a constant load at 25 ° C. by using a Fischerscope H-100 (Fischer Instruments) hardness meter and a square indenter (50 μm × 50 μm) in cross section. speed (if pressure is 0.3mN / μm 2 0.010mN / μm 2 · sec, when the pressure of 0.5mN / μm 2 0.017mN / μm 2 · second), to a predetermined pressure over 30 seconds under pressure was maintained for 5 seconds, a constant unloading speed (if the pressure of 0.3mN / μm 2 0.010mN / μm 2 · sec, when the pressure of 0.5mN / μm 2 0.017mN / μm pressure over 30 seconds 2 · sec) was unloading to 0, determine the total deformation amount T 0 ([mu] m) from the hysteresis curve of the load and the spacer deformation amount when held for 5 seconds, further plastic deformation T ([Mu] m) and asked to calculate elastic recovery at a given pressure (%) by the following equation.

弾性回復率(%)=[(T−T)/T]×100
圧力としては、0.3mN/μmまたは0.5mN/μmの圧力でヒステリシス曲線を測定し、弾性回復率を算出し、弾性回復特性を評価した。
弾性回復率の判定基準は以下の通りである。
◎:80%以上
○:70〜80%
△:60〜70%
×:60%未満
Elastic recovery rate (%) = [(T 0 −T 1 ) / T 0 ] × 100
As a pressure, a hysteresis curve was measured at a pressure of 0.3 mN / μm 2 or 0.5 mN / μm 2 , an elastic recovery rate was calculated, and an elastic recovery characteristic was evaluated.
The criteria for determining the elastic recovery rate are as follows.
A: 80% or more B: 70-80%
Δ: 60-70%
X: Less than 60%

本発明のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物は実施例1〜8で示す通り、アルカリ現像性、露光感度、解像度、基板との密着性、および弾性回復特性のすべての点で優れている。また、光照射による硬化後、200℃以下の低温処理を採用した場合でも、本発明で得られるフォトスペーサは、基板との密着性に優れ、かつ弾性回復特性に優れている。
一方、感光性樹脂組成物が本特許の必須成分の親水性エポキシ樹脂を使用していない比較例1では、現像残留物が多くスペーサを形成できない。
また、本発明の必須成分の多官能(メタ)アクリレートモノマーを使用していない比較例2では、弾性回復特性が低く、満足しない。本発明の必須成分のカチオン重合性化合物を使用していない比較例3では、基板との密着性および弾回復特性が低く、満足しない。本発明の必須成分のポリシロキサン化合物を使用していない比較例4では、基板との密着性および弾性回復特性が低く、満足しない。また多官能(メタ)アクリレートモノマーは使用しているが本発明の必須成分の親水性エポキシ樹脂、カチオン重合性化合物およびシロキサン化合物を使用しない比較例5や6では、基板との密着性および弾性回復特性が低く、満足しない。また、比較例1〜6のいずれも、低温処理を採用した場合、基板との十分な密着性および弾性回復特性が不十分である。
As shown in Examples 1 to 8, the photosensitive resin composition for a photospacer of the present invention is excellent in all aspects of alkali developability, exposure sensitivity, resolution, adhesion to a substrate, and elastic recovery characteristics. Further, even when a low temperature treatment of 200 ° C. or lower is adopted after curing by light irradiation, the photospacer obtained by the present invention has excellent adhesion to the substrate and excellent elastic recovery characteristics.
On the other hand, in Comparative Example 1 in which the photosensitive resin composition does not use the hydrophilic epoxy resin, which is an essential component of this patent, the development residue is large and the spacer cannot be formed.
Further, in Comparative Example 2 in which the polyfunctional (meth) acrylate monomer as an essential component of the present invention is not used, the elastic recovery characteristic is low, which is not satisfactory. In Comparative Example 3 in which the cationically polymerizable compound as an essential component of the present invention is not used, the adhesion to the substrate and the elastic recovery properties are low, which is not satisfactory. In Comparative Example 4 in which the polysiloxane compound which is an essential component of the present invention is not used, the adhesion to the substrate and the elastic recovery characteristics are low, which is not satisfactory. Further, in Comparative Examples 5 and 6 in which a polyfunctional (meth) acrylate monomer is used but the hydrophilic epoxy resin, the cationic polymerizable compound and the siloxane compound which are essential components of the present invention are not used, adhesion to the substrate and elastic recovery are obtained. The characteristics are low and not satisfactory. Moreover, when all of Comparative Examples 1-6 employ | adopt a low temperature process, sufficient adhesiveness with a board | substrate and an elastic recovery characteristic are inadequate.

本発明のフォトスペーサ用感光性樹脂組成物は、アルカリ現像性、露光感度、解像度、基板との密着性、および弾性回復特性が優れているため、カラーフィルタのオーバコート剤、さらにその他のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、光接着剤、またはハードコート剤などの用途の感光性樹脂組成物としても有用である。
さらに、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性、および弾性回復特性が優れているため、フレキシブルディスプレイ用のオーバーコート剤、有機EL素子の隔壁、有機EL素子の感光性絶縁膜、有機EL素子の防湿バリア膜用オーバーコート剤などの用途の感光性樹脂組成物としても有用である。
Since the photosensitive resin composition for photospacers of the present invention is excellent in alkali developability, exposure sensitivity, resolution, adhesion to a substrate, and elastic recovery characteristics, it is an overcoat agent for color filters, and other resist materials. For example, it is also useful as a photosensitive resin composition for uses such as a photo solder resist, a photosensitive resist film, a photo adhesive, or a hard coat agent.
Furthermore, even when low-temperature treatment is adopted, it has excellent adhesion to the substrate and elastic recovery characteristics, so it can be used as an overcoat agent for flexible displays, partition walls for organic EL elements, photosensitive insulating films for organic EL elements, organic It is also useful as a photosensitive resin composition for uses such as an overcoat agent for a moisture-proof barrier film of an EL element.

Claims (5)

分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基と1個以上のカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、エポキシ基および/またはアルコキシ基を2個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物(C)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)、光ラジカル重合開始剤(E)、および酸発生剤(F)を必須成分として含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を200℃以下でポストベークさせて形成されたフォトスペーサの弾性回復率が50%以上であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。   Two hydrophilic epoxy resins (A) having one or more (meth) acryloyl groups and one or more carboxyl groups in the molecule, polyfunctional (meth) acrylate monomers (B), two epoxy groups and / or alkoxy groups The essential components are a cationically polymerizable compound (C) having the above in the molecule, a siloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, a radical photopolymerization initiator (E), and an acid generator (F). A negative photosensitive resin composition that can be developed as an alkali, and is characterized by having an elastic recovery rate of 50% or more of a photo spacer formed by post-baking a cured product by light irradiation at 200 ° C. or lower. A photosensitive resin composition (Q) for a photospacer. 該シロキサン化合物(D)がさらに(メタ)アクリロイル基を含有する請求項1記載の感光性樹脂組成物(Q)。   The photosensitive resin composition (Q) according to claim 1, wherein the siloxane compound (D) further contains a (meth) acryloyl group. 該カチオン重合性化合物(C)が下記一般式(1)で表されるカチオン重合性化合物(C1)および一般式(2)で表されるカチオン重合性化合物(C21)からなる群から選ばれる1種以上である請求項1または2記載の感光性樹脂組成物(Q)。
Figure 2011203578
[R〜Rはそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、またはグリシジル基を表し、アルキル基またはグリシジル基の合計の数は2〜6個である。]
Figure 2011203578
[A〜Aはそれぞれ独立に、水素原子または−CHORを表す。Rは、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基、またはグリシジル基を表し、A〜A中のRは同一であっても異なっていてもよい。但し、A〜Aのうち−CHORの数は2〜4個であり、さらに2〜4個のRのうち、アルキル基またはグリシジル基の合計の数は2〜4個である。]
The cationic polymerizable compound (C) is selected from the group consisting of a cationic polymerizable compound (C1) represented by the following general formula (1) and a cationic polymerizable compound (C21) represented by the general formula (2) The photosensitive resin composition (Q) according to claim 1 or 2, wherein the photosensitive resin composition (Q) is at least one species.
Figure 2011203578
[R 1 to R 6 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or a glycidyl group, and the total number of alkyl groups or glycidyl groups is 2 to 6. ]
Figure 2011203578
[A 1 to A 4 each independently represents a hydrogen atom or —CH 2 OR 7 . R 7 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, or a glycidyl group, and R 7 in A 1 to A 4 may be the same or different. However, among A 1 to A 4 , the number of —CH 2 OR 7 is 2 to 4, and among 2 to 4 R 7 , the total number of alkyl groups or glycidyl groups is 2 to 4. is there. ]
感光性樹脂組成物の(A)〜(F)の合計重量に基づいて、該親水性エポキシ樹脂(A)を10〜70重量%、該多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)を20〜80重量%、該カチオン重合性化合物(C)を5〜45重量%、該シロキサン化合物(D)を1〜30重量%、該光ラジカル重合開始剤を3〜12重量%、該酸発生剤(F)を1〜10重量%をそれぞれ含有する請求項1〜3のいずれか記載の感光性樹脂組成物。   Based on the total weight of (A) to (F) of the photosensitive resin composition, 10 to 70% by weight of the hydrophilic epoxy resin (A) and 20 to 80 of the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B). 5% by weight, 5 to 45% by weight of the cationic polymerizable compound (C), 1 to 30% by weight of the siloxane compound (D), 3 to 12% by weight of the photo radical polymerization initiator, and the acid generator (F ) In an amount of 1 to 10% by weight, respectively. 請求項1〜4のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させて形成されたフォトスペーサ。   A photospacer formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 1.
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