JP6748419B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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本発明は感光性樹脂組成物に関する。詳しくは、フォトスペーサまたはカラーフィルタ保護膜用の感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition. Specifically, it relates to a photosensitive resin composition for a photo spacer or a color filter protective film.

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルター上の画素に相当する部分には、着色顔料を分散させた感光性樹脂が用いられており、ブラックマトリックスにも感光性樹脂が用いられている。 In recent years, liquid crystal display devices have been in the limelight, and photosensitive resins are often used in the manufacturing process thereof. For example, a photosensitive resin in which a color pigment is dispersed is used in a portion corresponding to a pixel on a color filter, and a photosensitive resin is also used in a black matrix.

従来、液晶表示パネルには所定の粒径を有するビーズをフォトスペーサーとして用い2枚の基板間に間隔を設けていた。しかし、これらのビーズはランダムに分散するため、色表示画素上に分布することにより光漏れ、入射光の散乱などが発生し液晶パネルのコントラストが低下するという問題があった。 Conventionally, in a liquid crystal display panel, beads having a predetermined particle size are used as a photo spacer and a space is provided between two substrates. However, since these beads are dispersed at random, there is a problem that when they are distributed on the color display pixels, light leakage, scattering of incident light, etc. occur and the contrast of the liquid crystal panel is lowered.

これらの問題を解消するため、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により画素間に位置するブラックマトリックス上に、柱状の樹脂性スペーサーを形成する方法が提案されている。このフォトスペーサーは画素を避けた位置に配置することができるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。 In order to solve these problems, a method has been proposed in which a photosensitive resin is used and a columnar resin spacer is formed on a black matrix located between pixels by a photolithography method of partial pattern exposure and development. .. Since this photo spacer can be arranged at a position avoiding pixels, it does not adversely affect the display quality as described above, and the display quality can be improved.

そして、さらなる表示品質の向上のために上記フォトスペーサーの高精細化が望まれている。しかし、高精細化に伴い高感度化が必要になるが、通常の光重合開始剤だけでは感度が低く、さらに形成された高精細化されたフォトスペーサーの弾性回復特性の低下、さらには、基板と密着性が低下しフォトスペーサーが剥離する現象が生じていた。
高精細化の方法として、硫黄原子含有化合物を添加する方法(例えば特許文献1)が開示されているが、微細なフォトスペーサーを形成すると密着性が著しく低下する。
Further, in order to further improve the display quality, high definition of the photo spacer is desired. However, higher definition is required for higher sensitivity, but the sensitivity is low only with ordinary photopolymerization initiators, and the elastic recovery property of the formed high definition photo spacer is deteriorated. Then, there was a phenomenon that the adhesiveness was lowered and the photo spacer was peeled off.
A method of adding a sulfur atom-containing compound (for example, Patent Document 1) has been disclosed as a method of achieving high definition, but when a fine photo spacer is formed, the adhesiveness is significantly reduced.

一方、近年、液晶ディスプレイ(LCD)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって、滴下方式(ODF方式)(ODF:One Drop Fill)が提案されている。このODF方式では所定量の液晶を滴下した後に2枚の基板で挟持することによって液晶を注入するため 、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。
しかし、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下して狭持するため、その際にガラス基板上に配置されたフォトスペーサーに圧力変化がかかる。この圧力変化に対して、形状が塑性変形しないよう、高い弾性回復特性を有することがフォトスペーサーに対して望まれる。
On the other hand, in recent years, as a mother glass for manufacturing a liquid crystal display (LCD) has become larger, a dropping method (ODF method) (ODF: One Drop Fill) has been proposed instead of a conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method). ing. In this ODF method, a predetermined amount of liquid crystal is dropped and then sandwiched between two substrates to inject the liquid crystal, so that the number of processes and process time can be shortened as compared with the conventional vacuum suction method.
However, in the ODF method, a predetermined amount of liquid crystal, which is calculated from the cell gap and estimated, is dropped and held, so that a pressure change is applied to the photo spacers arranged on the glass substrate at that time. It is desired for the photo spacer to have a high elastic recovery property so that the shape is not plastically deformed due to this pressure change.

このような高い弾性回復特性を得るためには、オルガノシリカゾルなどの無機微粒子をナノ分散させる方法(例えば特許文献2)や、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのような多官能モノマーの含有比率を50%以上に高めることによって高弾性を得る方法(例えば特許文献3)が知られている。
しかし、いずれの方法でも、フォトスペーサーとガラスなどの基板との密着性を低下させるため、高弾性と高解像性および十分な密着性が両立し得るフォトスペーサー形成用の感光性樹脂組成物は得られていない。
In order to obtain such high elastic recovery characteristics, a method of nano-dispersing inorganic fine particles such as an organosilica sol (for example, Patent Document 2) or a content ratio of a polyfunctional monomer such as dipentaerythritol hexaacrylate is 50% or more. There is known a method (for example, Patent Document 3) in which high elasticity is obtained by increasing the strength to 0.
However, in any of the methods, since the adhesiveness between the photospacer and the substrate such as glass is lowered, a photosensitive resin composition for forming a photospacer capable of achieving both high elasticity and high resolution and sufficient adhesiveness is Not obtained.

特開平10−274853号公報JP-A-10-274853 特開2007−10885号公報JP, 2007-10885, A 特開2002−174812号公報JP-A-2002-174812

本発明は高解像性であり、かつ優れた弾性回復特性と密着性を有する高精細なスペーサーの形成が可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having high resolution and capable of forming a highly precise spacer having excellent elastic recovery characteristics and adhesiveness.

本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、ラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、および少なくとも300〜400nmの範囲内に吸収極大波長を有するベンゾフェノン型光重合開始剤(C)を必須成分として含有することを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物;並びにこれらの感光性樹脂組成物を硬化させて液晶表示素子上に形成されたフォトスペーサーおよびカラーフィルター用保護膜である。
The present inventors have arrived at the present invention as a result of studies to achieve the above object.
That is, the present invention provides a hydrophilic resin (A) having a radical-polymerizable organic group, a polyfunctional (meth)acrylate monomer (B), and a benzophenone type photopolymerization initiation having an absorption maximum wavelength in the range of at least 300 to 400 nm. Alkali-developable photosensitive resin composition containing agent (C) as an essential component; and photospacer and color filter formed on a liquid crystal display element by curing these photosensitive resin compositions It is a protective film.

本発明の感光性樹脂組成物は高感度、高解像度であり、かつ優れた密着性を有する高精細なフォトスペーサーを形成することができるという効果を奏する。 The photosensitive resin composition of the present invention has the effects of being capable of forming a high-definition photo spacer having high sensitivity, high resolution, and excellent adhesion.

本発明のアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物は、ラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、および少なくとも300〜400nmの範囲内に吸収極大波長を有するベンゾフェノン型光重合開始剤(C)を必須成分として含有する The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention comprises a hydrophilic resin (A) having a radical-polymerizable organic group, a polyfunctional (meth)acrylate monomer (B), and an absorption maximum within a range of at least 300 to 400 nm. Contains a benzophenone type photopolymerization initiator (C) having a wavelength as an essential component

なお、本明細書において、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレートまたはメタクリレート」を、「(メタ)アクリル酸」とは「アクリル酸またはメタクリル酸」を、「(メタ)アクリル樹脂」とは「アクリル樹脂またはメタクリル樹脂」を、「(メタ)アクリロイル基」とは「アクリロイル基またはメタクリロイル基」を、「(メタ)アクリロイロキシ基」とは「アクリロイロキシ基またはメタクリロイロキシ基」を意味する。 In the present specification, "(meth)acrylate" means "acrylate or methacrylate", "(meth)acrylic acid" means "acrylic acid or methacrylic acid", and "(meth)acrylic resin" means " "Acrylic resin or methacrylic resin" means "(meth)acryloyl group" means "acryloyl group or methacryloyl group" and "(meth)acryloyloxy group" means "acryloyloxy group or methacryloyloxy group".

また、アルカリ現像可能とは、現像液を用いて未硬化部を除去する工程で、現像液のアルカリ性水溶液で未硬化部分がきれいに除去できることを意味する。 In addition, the term "developable with alkali" means that the uncured portion can be removed cleanly with an alkaline aqueous solution of the developer in the step of removing the uncured portion using the developer.

以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である(A)〜(C)について順に説明する。
本発明における第1の必須成分であるラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトスペーサーの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。
Below, (A)-(C) which is an essential structural component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in order.
The index of hydrophilicity in the hydrophilic resin (A) having a radically polymerizable organic group, which is the first essential component in the present invention, is defined by HLB, and generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
The HLB value of (A) is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 18, and particularly preferably 6 to 17. When it is 4 or more, the developability is better when developing the photo spacer, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further good.

ここでの「HLB」とは、親水性と親油性のバランスを示す指標であって、例えば「界面活性剤入門」〔2007年三洋化成工業株式会社発行、藤本武彦著〕212頁に記載されている小田法による計算値として知られているものであり、グリフィン法による計算値ではない。
HLB値は有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB=10×無機性/有機性
HLBを導き出すための有機性の値及び無機性の値については前記「界面活性剤入門」213頁に記載の表の値を用いて算出できる。
The “HLB” here is an index showing the balance between hydrophilicity and lipophilicity, and is described in, for example, “Introduction to Surfactants” [2007, Sanyo Chemical Industry Co., Ltd., Takehiko Fujimoto], page 212. It is known as the value calculated by the Oda method, and is not the value calculated by the Griffin method.
The HLB value can be calculated from the ratio of the organic value and the inorganic value of the organic compound.
HLB=10×inorganic/organic The organic value and the inorganic value for deriving HLB can be calculated using the values in the table on page 213 of “Introduction to Surfactants”.

また、親水性樹脂(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)[(単位は(cal/cm1/2]は、好ましくは7〜14、さらに好ましくは8〜13、特に好ましくは9〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。 The solubility parameter of hydrophilic resin (A) (hereinafter referred to as SP value) [(unit is (cal/cm 3 ) 1/2 ] is preferably 7-14, more preferably 8-13, and particularly preferably. Is 9 to 13. If 7 or more, the developability can be more excellently exhibited, and if 14 or less, the water resistance of the cured product is further excellent.

なお、本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,February,1974,Vol.14,No.2,Robert F. Fedors(147〜154頁)」
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくい。
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, February, 1974, Vol. 14, No. 2, Robert F. Fedors (147-154)"
Those with similar SP values are likely to mix with each other (high dispersibility), and those with different SP values are less likely to mix.

本発明のラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)が分子内に含有するラジカル重合性基は、光硬化性の観点から、(メタ)アクリロイル基、ビニル基およびアリル基が好ましく、より好ましくは(メタ)アクリロイル基である。 From the viewpoint of photocurability, the radical polymerizable group contained in the molecule of the hydrophilic resin (A) having a radical polymerizable organic group of the present invention is preferably a (meth)acryloyl group, a vinyl group and an allyl group, Preferred is a (meth)acryloyl group.

また、本発明のラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)が分子内に含有する親水性の官能基は、アルカリ現像性の観点から、カルボキシル基、エポキシ基、スルホン酸基、リン酸基が好ましく、より好ましくはカルボキシル基である。 The hydrophilic functional group contained in the molecule of the hydrophilic resin (A) having a radically polymerizable organic group of the present invention is a carboxyl group, an epoxy group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid from the viewpoint of alkali developability. A group is preferable, and a carboxyl group is more preferable.

本発明で用いることができるラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)の具体的な例としては、ラジカル重合性有機基を有する親水性エポキシ樹脂(A1)およびラジカル重合性有機基を有する親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)などが挙げられる。 Specific examples of the hydrophilic resin (A) having a radical polymerizable organic group that can be used in the present invention include a hydrophilic epoxy resin (A1) having a radical polymerizable organic group and a radical polymerizable organic group. Hydrophilic (meth)acrylic resin (A2) etc. are mentioned.

本発明のラジカル重合性有機基を有する親水性エポキシ樹脂(A1)としては市販品のエポキシ樹脂にラジカル重合性有機基を有する化合物を反応させ、さらに親水性の官能基を有する化合物を反応することによって合成することができる。
例えば、分子中にエポキシ基を有するノボラック型のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、さらにフタル酸や無水フタル酸などの多価カルボン酸や多価カルボン酸無水物を反応が挙げられる。
As the hydrophilic epoxy resin having a radical polymerizable organic group (A1) of the present invention, a commercially available epoxy resin is reacted with a compound having a radical polymerizable organic group, and further a compound having a hydrophilic functional group is reacted. Can be synthesized by.
For example, a novolac type epoxy resin having an epoxy group in the molecule is reacted with (meth)acrylic acid, and then a polyvalent carboxylic acid such as phthalic acid or phthalic anhydride or a polyvalent carboxylic acid anhydride is reacted.

本発明のラジカル重合性有機基を有する親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)は既存の方法により(メタ)アクリル酸誘導体を重合させ、さらにラジカル重合性基を有する化合物を反応することで得ることができる。 The hydrophilic (meth)acrylic resin (A2) having a radically polymerizable organic group of the present invention is obtained by polymerizing a (meth)acrylic acid derivative by an existing method and further reacting a compound having a radically polymerizable group. You can

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)の製造方法としてはラジカル重合が好ましく、溶液重合法が分子量を調節しやすいため好ましい。 Radical polymerization is preferable as the method for producing the hydrophilic (meth)acrylic resin (A2), and solution polymerization is preferable because it is easy to control the molecular weight.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)を構成するモノマーとしては、(メタ)アクリル酸(a21)、(メタ)アクリル酸エステル(a22)があげられる。 Examples of the monomer constituting the hydrophilic (meth)acrylic resin (A2) include (meth)acrylic acid (a21) and (meth)acrylic acid ester (a22).

(a22)としては(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸−2エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸イソボルニル等が挙げられ、好ましくは(メタ)アクリル酸メチルである。 Examples of (a22) include methyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, -2 ethylhexyl (meth)acrylate, hydroxyethyl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, and the like. (Meth)methyl acrylate.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)を構成するモノマーとしては、感光性樹脂組成物の弾性回復特性の観点から、芳香環含有ビニル化合物(a23)を、(a21)、(a22)と併用してもよい。このような(a23)としてはスチレンが挙げられる。 As the monomer constituting the hydrophilic (meth)acrylic resin (A2), the aromatic ring-containing vinyl compound (a23) is used in combination with (a21) and (a22) from the viewpoint of elastic recovery characteristics of the photosensitive resin composition. May be. Examples of such (a23) include styrene.

親水性(メタ)アクリル樹脂(A2)は、さらにフォトスペーサーの弾性回復特性を向上させる目的で必要により(メタ)アクリロイル基を側鎖または末端に導入させることが好ましい。 In the hydrophilic (meth)acrylic resin (A2), it is preferable to introduce a (meth)acryloyl group into the side chain or the terminal, if necessary, for the purpose of further improving the elastic recovery property of the photospacer.

側鎖に(メタ)アクリロイル基を導入する方法としては、例えば下記の(1)及び(2)の方法が挙げられる。 Examples of the method of introducing a (meth)acryloyl group into the side chain include the following methods (1) and (2).

(1)(a21)または(a22)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物[(メタ)アクリロイロキシエチルイソシアネート等]を反応させる方法。 (1) A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an isocyanate group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a21) or (a22), and then A method of reacting a compound having a (meth)acryloyl group and an isocyanate group [(meth)acryloyloxyethyl isocyanate or the like].

(2)(a21)または(a22)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる官能基(水酸基、カルボキシル基又は1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジル(メタ)アクリレート等)を反応させる方法。 (2) A polymer is prepared by using a monomer having a functional group (such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or a primary or secondary amino group) capable of reacting with an epoxy group in at least a part of (a21) or (a22). A method of producing and then reacting a compound having a (meth)acryloyl group with an epoxy group (glycidyl (meth)acrylate or the like).

本発明の親水性樹脂(A)の数平均分子量は、1,000〜100,000であり、好ましくは3,000〜50,000である。 The hydrophilic resin (A) of the present invention has a number average molecular weight of 1,000 to 100,000, preferably 3,000 to 50,000.

本発明の感光性樹脂組成物中の親水性樹脂(A)の含有量は、現像性の観点から(A)〜(C)の合計重量に基づいて、好ましくは5〜80重量%、さらに好ましくは15〜70重量%である。 The content of the hydrophilic resin (A) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably from 5 to 80% by weight, and more preferably from the viewpoint of developability, based on the total weight of (A) to (C). Is 15 to 70% by weight.

本発明の第2の必須成分である多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)としては、2個以上の(メタ)アクリロイル基を有するモノマーあれば、とくに限定されずに用いられる。
このような多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)としては、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)、4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)及び7〜10官能(メタ)アクリレート(B4)が挙げられる。
As the polyfunctional (meth)acrylate monomer (B) which is the second essential component of the present invention, any monomer having two or more (meth)acryloyl groups can be used without particular limitation.
As such a polyfunctional (meth)acrylate monomer (B), a bifunctional (meth)acrylate (B1), a trifunctional (meth)acrylate (B2), a 4 to 6 functional (meth)acrylate (B3) and a 7 to Examples include 10-functional (meth)acrylate (B4).

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えば、グリコールのジ(メタ)アクリレート、グリセリンのジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのジ(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシ−1,5−ペンタンジオールのジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−2−エチル−1,3−プロパンジオールのジ(メタ)アクリレート];多価アルコールのアルキレンオキサイド付加物と(メタ)アクリル酸のエステル化物[例えばトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、グリセリンのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート];OH基含有両末端エポキシアクリレート;多価アルコールと(メタ)アクリル酸とヒドロキシカルボン酸のエステル化物[例えばヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート]等が挙げられる。
なお、多価アルコールの水酸基のすべてを(メタ)アクリル酸、アルキレンオキサイド付加物などと反応させる必要はなく、未反応の水酸基が残っていてもよい。
Examples of the bifunctional (meth)acrylate (B1) include esterification products of polyhydric alcohol and (meth)acrylic acid [eg, glycol di(meth)acrylate, glycerin di(meth)acrylate, trimethylolpropane diester. (Meth)acrylate, di(meth)acrylate of 3-hydroxy-1,5-pentanediol, di(meth)acrylate of 2-hydroxy-2-ethyl-1,3-propanediol]; alkylene oxide of polyhydric alcohol Esterification product of adduct and (meth)acrylic acid [eg di(meth)acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane, di(meth)acrylate of ethylene oxide adduct of glycerin]; OH group-containing epoxy acrylate at both ends; Examples thereof include esterification products of polyhydric alcohol, (meth)acrylic acid and hydroxycarboxylic acid [eg, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di(meth)acrylate].
It is not necessary to react all the hydroxyl groups of the polyhydric alcohol with (meth)acrylic acid, an alkylene oxide adduct, etc., and unreacted hydroxyl groups may remain.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリンのトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのトリ(メタ)アクリレート;及びトリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the trifunctional (meth)acrylate (B2) include tri(meth)acrylate of glycerin, tri(meth)acrylate of trimethylolpropane, tri(meth)acrylate of pentaerythritol; and trioxide of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane. (Meth)acrylate etc. are mentioned.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールのテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのペンタ(メタ)アクリレート及びジペンタエリスリトールのヘキサ(メタ)アクリレート;ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのエチレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールのプロピレンオキサイド付加物のペンタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the 4- to 6-functional (meth)acrylate (B3) include pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, and dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; ethylene oxide addition of dipentaerythritol. Examples thereof include tetra(meth)acrylate, an ethylene oxide adduct of dipentaerythritol penta(meth)acrylate, and a propylene oxide adduct of dipentaerythritol penta(meth)acrylate.

7〜10官能の(メタ)アクリレート化合物としては例えばジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応により得られる化合物など、ジイソシアネート化合物と水酸基含有多官能(メタ)アクリレート化合物との反応により得ることができる。 Examples of the 7- to 10-functional (meth)acrylate compound include compounds obtained by reacting dipentaerythritol penta(meth)acrylate with hexamethylene diisocyanate, by reacting a diisocyanate compound with a hydroxyl group-containing polyfunctional (meth)acrylate compound. Obtainable.

本発明の感光性樹脂組成物中の多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)の含有量は、弾性回復率の観点から(A)〜(D)の合計重量に基づいて、好ましくは10〜80重量%、さらに好ましくは20〜70重量%である。 The content of the polyfunctional (meth)acrylate monomer (B) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 10 to 80 based on the total weight of (A) to (D) from the viewpoint of elastic recovery rate. %, more preferably 20 to 70% by weight.

本発明の第3の必須成分であるベンゾフェノン型光重合開始剤(C)は、少なくとも300〜400nmに極大吸収波長を有することが必要であり、フォトスペーサを垂直形状にする(上底径と下底径の比を大きくする)ことが可能となる下記一般式(1)で表される化合物が好ましい。
なお、2つ以上の極大吸収波長を有する光重合開始剤の場合は、そのうちの1つがこの範囲に属していればよい。
300nm未満にしか極大吸収波長を有しない重合開始剤では硬化性と弾性回復率が悪く、400nmを超える領域にしか極大吸収波長を有しない重合開始剤では解像性が悪くなる。
また、後述するベンゾフェノン型以外の光重合開始剤(E)[例えば、α−ヒドロキシアルキルフェノン型(E1)、α−アミノアルキルフェノン型(E2)など]だけでは、 硬化性と弾性回復率が不十分となる。
The benzophenone type photopolymerization initiator (C) which is the third essential component of the present invention is required to have a maximum absorption wavelength at least at 300 to 400 nm, and the photospacer is formed in a vertical shape (upper diameter and lower diameter). A compound represented by the following general formula (1) that enables the ratio of the bottom diameter to be increased) is preferable.
In the case of a photopolymerization initiator having two or more maximum absorption wavelengths, one of them may fall within this range.
A polymerization initiator having a maximum absorption wavelength of less than 300 nm has poor curability and elastic recovery rate, and a polymerization initiator having a maximum absorption wavelength of only more than 400 nm has poor resolution.
In addition, the curability and the elastic recovery rate are insufficient only with the photopolymerization initiator (E) other than the benzophenone type described later [eg, α-hydroxyalkylphenone type (E1), α-aminoalkylphenone type (E2), etc.]. Will be enough.

[式中、XとXはそれぞれ独立に下記一般式(2)もしくは一般式(3)で表される置換基または水素原子を表す。] [In the formula, X 1 and X 2 each independently represent a substituent or a hydrogen atom represented by the following general formula (2) or general formula (3). ]

[一般式(2)中、RおよびRは炭素数が1〜6のアルキル基を表す。一般式(3)中、Rは炭素数が1〜6のアルキル基または炭素数が1〜6のアルキル基で置換されていてもよい芳香族炭化水素基を表す。] [In General Formula (2), R 1 and R 2 represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. In formula (3), R 3 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]

上記一般式(1)で表される化合物のうち、光硬化性の向上、高感度化および高解像度の観点から、好ましくはXとXがアルキルアミノ基またはチオエーテル基である化合物が挙げられ、さらに好ましくは、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(374nmに極大吸収波長;SHUANG−BANG社製「SB−PI 701」)、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド(320nmに極大吸収波長;SHUANG−BANG社製「SB−PI 705」)、等が挙げられる。 Among the compounds represented by the general formula (1), from the viewpoints of improving photocurability, increasing sensitivity, and increasing resolution, compounds in which X 1 and X 2 are alkylamino groups or thioether groups are preferred. , And more preferably 4,4′-bis(diethylamino)benzophenone (maximum absorption wavelength at 374 nm; “SB-PI 701” manufactured by SHUANG-BANG), 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide (maximum absorption at 320 nm). Wavelength; "SB-PI 705" manufactured by SHUANG-BANG), and the like.

本発明の感光性樹脂組成物中のベンゾフェノン型光重合開始剤(C)の含有量は、反応率の観点から(A)〜(C)の合計重量に基づいて、通常1〜20重量%、好ましくは2〜15重量%である。 The content of the benzophenone type photopolymerization initiator (C) in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 1 to 20% by weight based on the total weight of (A) to (C) from the viewpoint of reaction rate. It is preferably 2 to 15% by weight.

弾性回復率の観点から、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)〜(C)以外にさらに、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン化合物(D)を添加することが好ましい。
加水分解性アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基およびフェノキシ基等が挙げられる。
From the viewpoint of elastic recovery rate, in addition to (A) to (C), the photosensitive resin composition of the present invention may further contain a polysiloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups. preferable.
Examples of the hydrolyzable alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group and phenoxy group.

なかでもフォトスペーサーの弾性回復特性を向上させる目的で、分子内に2個以上のアルコキシ基を含有する化合物(D)は、アルコキシポリシロキサンが好ましい。さらに好ましくは下記一般式(4)で示されるアルコキシポリシロキサンである。 Among them, the compound (D) containing two or more alkoxy groups in the molecule is preferably an alkoxypolysiloxane for the purpose of improving the elastic recovery property of the photospacer. More preferably, it is an alkoxypolysiloxane represented by the following general formula (4).

式中、Rは、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基を表す。
は、脂肪族飽和炭化水素基、脂環式飽和炭化水素基、または芳香族炭化水素基を表す。Rは炭素数が1〜4のアルキル基を表す。
mは0または1である。
In the formula, R 4 represents at least one organic group selected from the group consisting of a (meth)acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group and an aminoalkyl group.
R 5 represents an aliphatic saturated hydrocarbon group, an alicyclic saturated hydrocarbon group, or an aromatic hydrocarbon group. R 6 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
m is 0 or 1.

5のうち、脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖アルキル基、分岐アルキル基および脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
直鎖アルキル基としては、メチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、n−オクチルおよびn−ドデシル基、分岐アルキル基としてはイソプロピル、イソブチル、sec−ブチルおよび2−エチルヘキシル基など、並びに環式飽和炭化水素基としてはシクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基およびメチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
Among R 5 , examples of the aliphatic saturated hydrocarbon group include a straight chain alkyl group, a branched alkyl group and an alicyclic saturated hydrocarbon group.
Examples of the straight-chain alkyl group include methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, n-octyl and n-dodecyl groups, examples of the branched alkyl group include isopropyl, isobutyl, sec-butyl and 2-ethylhexyl groups, and cyclic groups. Examples of the saturated hydrocarbon group include cyclohexyl group, cyclooctyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group and methylcyclohexyl group.

5のうち、芳香族炭化水素基としては、置換されていてもよいアリール基、アラルキル基およびアルキルアリール基が挙げられる。
アリール基としてはフェニル、ビフェニル、ナフチル基およびこれらのフッ素もしくは塩素の各置換体;アラルキル基としてはトリル、キシリル、メシチル基およびこれらのフッ素もしくは塩化物;並びに、アルキルアリール基としてはメチルフェニルおよびエチルフェニル基などが挙げられる。
Among R 5 , examples of the aromatic hydrocarbon group include an optionally substituted aryl group, an aralkyl group and an alkylaryl group.
Aryl groups are phenyl, biphenyl, naphthyl groups and their fluorine or chlorine substituents; aralkyl groups are tolyl, xylyl, mesityl groups and their fluorine or chloride; and alkylaryl groups are methylphenyl and ethyl. Examples thereof include a phenyl group.

5のうち好ましいのは、硬化反応性の観点から直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。 R 5 is preferably a linear alkyl group, a branched alkyl group or an aryl group from the viewpoint of curing reactivity, more preferably a linear alkyl group or an aryl group, particularly preferably a methyl group, an ethyl group or a phenyl group. And a combination of these.

6としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびsec−ブチル基などが挙げられ、好ましいのは熱硬化反応性の観点からメチル基およびエチル基である。 Examples of R 6 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group and a sec-butyl group, and a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of thermosetting reactivity. ..

一般式(4)において、R4として(メタ)アクリロイロキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the silane compound having a (meth)acryloyloxyalkyl group as R 4 in the general formula (4) include the following compounds.
m is 0, that is, as a trifunctional silane compound having three alkoxy groups, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3- Acryloyloxy propyl triethoxysilane etc. are mentioned.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, having two alkoxy groups include 3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, and 3 -Acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane and the like.

4としてグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等
Examples of the silane compound having a glycidoxyalkyl group as R 4 include the following compounds.
m is 0, that is, as a trifunctional silane compound having three alkoxy groups, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, etc.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−グリシドキシ。プロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。 3-glycidoxy is a trifunctional silane compound in which m is 1, that is, has two alkoxy groups. Examples thereof include propylmethyldimethoxysilane and 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane.

4としてメルカプトアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the silane compound having a mercaptoalkyl group as R 4 include the following compounds.
Examples of the trifunctional silane compound in which m is 0, that is, having three alkoxy groups, include 3-mercaptopropyltrimethoxysilane and 3-mercaptopropyltriethoxysilane.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, two alkoxy groups include 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane and 3-mercaptopropylmethyldiethoxysilane.

4としてアミノアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the silane compound having an aminoalkyl group as R 4 include the following compounds.
m is 0, that is, as a trifunctional silane compound having three alkoxy groups, N-2 aminoethyl γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane Examples thereof include silane and 3-aminopropyltriethoxysilane.

mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物としては、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。 Examples of the trifunctional silane compound in which m is 1, that is, having two alkoxy groups are N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, and 3-aminopropylmethyl. Examples thereof include dimethoxysilane and 3-aminopropylmethyldiethoxysilane.

化合物(D)のうち好ましいのは、アルコキシ基を3個有する(メタ)アクリロイロキシアルキル基含有3官能シラン化合物、およびアルコキシ基を3個有するグリシドキシアルキル基含有3官能シラン化合物であり、さらに好ましいのは、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシランおよび3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランである。 Among the compounds (D), preferred are (meth)acryloyloxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having three alkoxy groups, and glycidoxyalkyl group-containing trifunctional silane compounds having three alkoxy groups, Even more preferred are 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

本発明の感光性樹脂組成物中の2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン化合物(D)の含有量は、弾性回復率および密着性の観点から(A)〜(D)の合計重量に基づいて、通常0.2〜15重量%、好ましくは0.5〜12重量%である。 The content of the polysiloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups in the photosensitive resin composition of the present invention is the sum of (A) to (D) from the viewpoint of elastic recovery rate and adhesiveness. It is usually 0.2 to 15% by weight, preferably 0.5 to 12% by weight, based on the weight.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤としてベンゾフェノン系光重合開始剤(C)以外の光重合開始剤(E)を併用することが好ましい。 Furthermore, in the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to use a photopolymerization initiator (E) other than the benzophenone-based photopolymerization initiator (C) together as a photopolymerization initiator.

光重合開始剤(E)としては、α−ヒドロキシアルキルフェノン型(E1)(例えば、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等);α−アミノアルキルフェノン型(E2)(例えば、(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等);チオキサントン化合物型(E3)(例えば、(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等);リン酸エステル型(E4)(例えば、(2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド等);アシルオキシム系型(E5)(例えば、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等);ベンジルジメチルケタール型(E6)等が挙げられる。 As the photopolymerization initiator (E), α-hydroxyalkylphenone type (E1) (for example, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, etc.); α- Aminoalkylphenone type (E2) (for example, (2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4- Morpholinophenyl)-butanone-1 etc.); thioxanthone compound type (E3) (eg (isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone etc.); phosphate ester type (E4) (eg (2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine Oxide, bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide, etc.; acyloxime type (E5) (eg, 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-,2- (O-benzoyl oxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime), etc.); benzyl dimethyl ketal Examples include mold (E6).

これらのうち硬化物の硬化性の観点から好ましいのはα−アミノアルキルフェノンであり、さらに好ましいのは2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1である。 Of these, α-aminoalkylphenone is preferred from the viewpoint of curability of the cured product, and more preferred is 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one. , 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1.

(C)以外の光重合開始剤(E)の使用量は、(A)〜(E)の合計に基づいて硬化性および硬化物の着色の観点から好ましくは0.3〜10重量%、さらに好ましくは0.5〜5重量%である。 The amount of the photopolymerization initiator (E) other than (C) used is preferably 0.3 to 10% by weight based on the total of (A) to (E) from the viewpoint of curability and coloring of the cured product, and further, It is preferably 0.5 to 5% by weight.

本発明にかかる感光性樹脂組成物は、必要によりさらにその他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、レベリング剤(F)、無機微粒子(例えば、酸化チタン、アルミナ等)、増感剤、重合禁止剤、溶剤、増粘剤、およびその他の添加剤(例えば、シランカップリング剤、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤および消臭剤等)が挙げられる。 The photosensitive resin composition according to the present invention may further contain other components, if necessary. Other components include leveling agents (F), inorganic fine particles (eg, titanium oxide, alumina, etc.), sensitizers, polymerization inhibitors, solvents, thickeners, and other additives (eg, silane coupling agents). , Fluorescent whitening agents, anti-yellowing agents, antioxidants, defoamers and deodorants, etc.).

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、%は重量%、部は重量部を示す。なお、以下において、実施例3、6、7は、それぞれ参考例1〜3とする。
Hereinafter, the present invention will be further described with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto. Hereinafter, unless otherwise specified,% means% by weight and part means part by weight. In the following, Examples 3, 6, and 7 are referred to as Reference Examples 1 to 3, respectively.

製造例1 [親水性エポキシ樹脂(A−1)の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN―102S」(日本化薬(株)製 エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部及びp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。
反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、90℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで親水性樹脂含有量が50重量%となるように希釈して、本発明のアクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性樹脂として、カルボキシル基含有クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(A−1)の50%溶液を得た。
この樹脂の純分換算した酸価は88.4であった。GPCによる数平均分子量(Mn)は2,200であった。なお、SP値は11.3、HLB値は6.4であった。
Production Example 1 [Production of hydrophilic epoxy resin (A-1)]
200 parts of cresol novolac type epoxy resin "EOCN-102S" (Epoxy equivalent 200 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was added to a glass Korben equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen introducing tube. 245 parts of glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 110° C. to uniformly dissolve it. Subsequently, 76 parts (1.07 mol parts) of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110° C. for 10 hours.
The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mol part) of tetrahydrophthalic anhydride and reacted at 90° C. for 5 hours, and then propylene glycol monomethyl ether acetate was added so that the hydrophilic resin content became 50% by weight. After dilution, a 50% solution of a carboxyl group-containing cresol novolac type epoxy resin (A-1) was obtained as a hydrophilic resin having an acryloyl group and a carboxyl group of the present invention.
The acid value of this resin in terms of pure content was 88.4. The number average molecular weight (Mn) by GPC was 2,200. The SP value was 11.3 and the HLB value was 6.4.

製造例2 [親水性アクリル樹脂(A−2)の製造]
加熱冷却・撹拌装置、還流冷却管、窒素導入管を備えたガラス製フラスコに、メタクリル酸メチル6部、メタクリル酸70部、メタクリル酸シクロヘキシル172部及びジエチレングリコールジメチルエーテル454部を仕込んだ。系内の気相部分を窒素で置換したのち、2、2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)16部をジエチレングリコールジメチルエーテル159部に溶解した溶液175部を添加し、90℃に加熱し、更に同温度で4時間反応させた。
さらに得られた溶液にグリシジルメタクリレート31部、トリエチルアミン10部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート82部を添加し、90℃で6時間反応させ、メタアクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル樹脂として、アクリル樹脂(A−2)の30%溶液を得た。
このアクリル樹脂の固形分換算した酸価は112.9であった。GPCによる数平均分子量(Mn)は4,700であった。なお、SP値は10.2、HLB値は5.2であった。
Production Example 2 [Production of hydrophilic acrylic resin (A-2)]
A glass flask equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube was charged with 6 parts of methyl methacrylate, 70 parts of methacrylic acid, 172 parts of cyclohexyl methacrylate and 454 parts of diethylene glycol dimethyl ether. After replacing the gas phase in the system with nitrogen, 175 parts of a solution prepared by dissolving 16 parts of 2,2′-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) in 159 parts of diethylene glycol dimethyl ether was added and heated to 90° C. Further, the reaction was carried out at the same temperature for 4 hours.
Further, 31 parts of glycidyl methacrylate, 10 parts of triethylamine, and 82 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to the obtained solution, and the mixture was reacted at 90° C. for 6 hours to obtain an acrylic resin having a methacryloyl group and a carboxyl group as an acrylic resin (A A 30% solution of -2) was obtained.
The acid value of the acrylic resin in terms of solid content was 112.9. The number average molecular weight (Mn) by GPC was 4,700. The SP value was 10.2 and the HLB value was 5.2.

製造例3 [加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン化合物(D−1)の製造]
加熱冷却・攪拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部(0.2モル部)、ジフェニルジメトキシシラン160部(0.65モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを減圧下で2時間かけて除去し、アクリル変性ポリシロキサン(D−1)(Mn:2,100)を得た。
Production Example 3 [Production of Polysiloxane Compound (D-1) Having Hydrolyzable Alkoxy Group]
A glass Kolben equipped with a heating/cooling/stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen inlet tube was charged with 46 parts (0.2 mol parts) of 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 160 parts (0 parts of diphenyldimethoxysilane). .65 mol part), ion-exchanged water 45 g (2.5 mol part), and oxalic acid 0.1 part (0.001 mol part) were charged, and the mixture was heated with stirring at 60° C. for 6 hours, and then an evaporator was added. By using, methanol by-produced by hydrolysis was removed under reduced pressure over 2 hours to obtain an acrylic modified polysiloxane (D-1) (Mn: 2,100).

実施例1〜7および比較例1〜3
表1の配合部数に従い、ガラス製の容器に製造例1で製造した親水性樹脂(A−1)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50%溶液、(B−1)、(C−1)、(E−1)、さらに製造例3で製造したシロキサン化合物(D−1)を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して、実施例1の感光性樹脂組成物を得た。
また同様の装置を用いて、実施例2〜7、および比較例1〜3の感光性樹脂組成物を得た。
Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3
According to the compounding number of Table 1, a 50% propylene glycol monomethyl ether acetate solution of the hydrophilic resin (A-1) produced in Production Example 1 in a glass container, (B-1), (C-1), (E -1), further charged with the siloxane compound (D-1) produced in Production Example 3, stirred until uniform, and further added with an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) to obtain the photosensitivity of Example 1. A resin composition was obtained.
Moreover, the photosensitive resin composition of Examples 2-7 and Comparative Examples 1-3 was obtained using the same apparatus.

なお、表1中の略称の化学品の詳細は以下の通りである。
(B−1):「ネオマーDA−600」(ジペンタエリスリトールペンタアクリレート:三洋化成工業(株)社製;官能基数が6個)
(B−2):「ネオマーEA−300」(ペンタエリスリトールテトラアクリレート:三洋化成工業(株)社製;官能基数が4個)
(B−3):「ライトアクリレートPE−3A」(ペンタエリスリトールトリアクリレート:共栄社化学(株)社製;官能基数が3個)
(B’−1):「ライトアクリレートPO−A」(フェノキシエチルアクリレート:共栄社化学(株)社製;官能基数が1個)
(C−1):「SP−PI 705」(4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、極大吸収波長315nm:SHUANG−BANG社製)
(C−2):「SB−PI 701」(4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、極大吸収波長374nm:SHUANG−BANG社製)
(C’−1):「SB−PI 712」(4−メチルベンゾフェノン、極大吸収波長257nm:SHUANG−BANG社製)
(E−1):「Irgacure 369」(2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、極大吸収波長320nm:BASF(株)社製)
(E−2):「Irgacure 907」(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、極大吸収波長305nm:BASF(株)社製)
(F−1):「KF−352A」(ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン:信越化学(株)社製)
(F−2):「メガファックTF−2066」(ポリエーテル変性フッ素化合物:DIC(株)社製)
The details of the abbreviated chemicals in Table 1 are as follows.
(B-1): "Neomer DA-600" (dipentaerythritol pentaacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industry Co., Ltd.; 6 functional groups)
(B-2): "Neomer EA-300" (pentaerythritol tetraacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industry Co., Ltd.; the number of functional groups is 4)
(B-3): "Light acrylate PE-3A" (pentaerythritol triacrylate: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.; number of functional groups is 3)
(B'-1): "Light acrylate PO-A" (phenoxyethyl acrylate: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.; the number of functional groups is 1)
(C-1): "SP-PI 705"(4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, maximum absorption wavelength 315 nm: manufactured by SHUANG-BANG)
(C-2): "SB-PI 701"(4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, maximum absorption wavelength 374 nm: manufactured by SHUANG-BANG)
(C′-1): “SB-PI 712” (4-methylbenzophenone, maximum absorption wavelength 257 nm: manufactured by SHUANG-BANG).
(E-1): "Irgacure 369" (2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1, maximum absorption wavelength 320 nm: manufactured by BASF Corporation)
(E-2): "Irgacure 907" (2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, maximum absorption wavelength 305 nm: manufactured by BASF Corporation)
(F-1): "KF-352A" (polyether-modified polydimethylsiloxane: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
(F-2): "Megafuck TF-2066" (polyether-modified fluorine compound: manufactured by DIC Corporation)

以下に、密着性、弾性回復率、解像度の性能評価の方法を説明する。
[フォトスペーサーの作製]
10cm×10cm四方のガラス基板上にスピンコーターにより塗布し、乾燥し、乾燥膜厚5μmの塗膜を形成した。この塗膜をホットプレート上で80℃、3分間加熱した。
得られた塗膜に対し、1cmあたり10000個、直径7、8、9および10μmの開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを通して超高圧水銀灯の光を60mJ/cm照射した(i線換算で照度22mW/cm)。
なお、マスクと基板の間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後0.05%KOH水溶液を用いてアルカリ現像した。水洗したのち、230℃で30分間ポストベークを行い、ガラス基板上に1cmあたり10,000個フォトスペーサーを形成した。
なお、マスク開口径を調整することにより所望の下底径を有するフォトスペーサーを形成することができる。
The method for evaluating the performance of adhesion, elastic recovery rate, and resolution will be described below.
[Production of photo spacers]
A 10 cm×10 cm square glass substrate was coated with a spin coater and dried to form a coating film having a dry film thickness of 5 μm. This coating film was heated on a hot plate at 80° C. for 3 minutes.
The obtained coating film was irradiated with light of an ultra-high pressure mercury lamp at 60 mJ/cm 2 through a mask for forming a plurality of photo spacers having 10,000 openings per 1 cm 2 and having diameters of 7, 8, 9 and 10 μm (i Illuminance 22 mW/cm 2 in line conversion).
The mask and the substrate were exposed at an interval (exposure gap) of 100 μm.
After that, alkali development was performed using a 0.05% KOH aqueous solution. After washing with water, post baking was performed at 230° C. for 30 minutes to form 10,000 photo spacers per 1 cm 2 on the glass substrate.
A photo spacer having a desired bottom diameter can be formed by adjusting the mask opening diameter.

[密着性の評価]
LCDの小型化・高精細化に伴い、基板上に作製されるフォトスペーサーのサイズに10μmあるいはそれ以下のサイズが要求されるようになってきた。ところが、基板とフォトスペーサーとの接地面積が小さいほど、高い密着性が必要となる。
すなわち密着性が高いフォトスペーサーほど、スペーサーの下底径が小さくなっても、擦りなどによって剥がれにくくなる性能に優れる。
そこで密着性は、スペーサーの下底径を直径8μmに設定し、以下の綿棒こすり試験によって評価することとした。
[Evaluation of adhesion]
With the miniaturization and high definition of LCDs, the size of the photo spacers formed on the substrate is required to be 10 μm or less. However, the smaller the contact area between the substrate and the photo spacer, the higher the degree of adhesion required.
That is, the higher the adhesiveness of the photo spacer, the more excellent the performance is that it is less likely to be peeled off by rubbing or the like even when the lower bottom diameter of the spacer is reduced.
Therefore, the adhesiveness was evaluated by the following cotton swab rub test with the bottom diameter of the spacer set to 8 μm.

上記の直径7、8、9および10μmの開口部を有する複数のフォトスペーサー形成用のマスクを用いて作製したフォトスペーサーから下底径が直径8μmとなったマスクだけを選定し、下記の密着性試験を行った。
(1)フォトスペーサーを形成したガラス基板の裏側に油性ペンで縦1cm、横1cmの十文字の印を付ける。
(2)アセトンをしみ込ませた綿棒で、十文字の印の付いたガラス基板の表側の表面を、まず縦線の上から下方向に毎秒2cmの速度で10回擦りつける。
次に横線の左から右方向に毎秒2cmの速度で10回擦りつける。
(3)上記(2)において擦った部分が交差する点を光学顕微鏡で剥離せずに残存するフォトスペーサーの数を数える。
なお、1個も剥がれがない場合はガラス基板上には1mmあたり100個(10個×10個)のスペーサーが存在する。
From the photo spacers prepared by using the masks for forming a plurality of photo spacers having the above-mentioned diameters of 7, 8, 9 and 10 μm, only the mask having the lower bottom diameter of 8 μm was selected, and the following adhesiveness was selected. The test was conducted.
(1) A cross-shaped mark of 1 cm in length and 1 cm in width is made on the back side of the glass substrate on which the photo spacer is formed with an oil-based pen.
(2) Using a cotton swab soaked with acetone, first rub the front surface of the glass substrate with the cross-shaped mark 10 times downward from above the vertical line at a speed of 2 cm per second.
Then, from the left to the right of the horizontal line, rub 10 times at a speed of 2 cm per second.
(3) Count the number of photo spacers remaining without peeling the points where the rubbed portions intersect in (2) above with an optical microscope.
If there is no peeling, there are 100 (10×10) spacers per 1 mm 2 on the glass substrate.

[弾性回復特性の評価]
フォトスペーサーの弾性回復特性は、下記数式(1)で定義された一定の圧力がかかった時の「弾性回復率」によって評価することができる。弾性回復率(%)の値の高い方が弾性回復特性に優れる。
弾性回復特性は0.5mN/μmの圧力条件下での弾性回復率を測定して評価した。
[Evaluation of elastic recovery characteristics]
The elastic recovery characteristic of the photo spacer can be evaluated by the “elastic recovery rate” when a constant pressure defined by the following mathematical formula (1) is applied. The higher the elastic recovery rate (%), the better the elastic recovery characteristics.
The elastic recovery property was evaluated by measuring the elastic recovery rate under a pressure condition of 0.5 mN/μm 2 .

(1)ガラス基板上に形成したフォトスペーサーのうち任意に選択した1個のフォトスペーサーに対し、微小硬度計(フィッシャーインストルメンツ社製;「フィッシャースコープH−100」)と断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)を用いて、荷重をかけたときと戻したときの変形量を測定した。
この際に、2mN/秒の負荷速度で、30秒かけて60mNまで荷重をかけ、5秒間保持した。
荷重がかかった状態でのフォトスペーサーの初期位置からの変形量を測定した。このときの変化量を総変形量T(μm)とする。
(2)次に、2mN/秒の除荷速度で30秒かけて荷重を0まで解除し、その状態で5秒間保持した。この時のフォトスペーサーの変形量を塑性変形量T(μm)とする。
(3)上記のようにして測定したTとTから、下記数式(1)を用いて弾性回復率を算出した。
なお、この評価条件では、70%以上が好ましい。
(1) With respect to one photo spacer arbitrarily selected from the photo spacers formed on the glass substrate, a micro hardness meter (manufactured by Fisher Instruments Co.; “Fisherscope H-100”) and a plane indenter having a square section (50 μm×50 μm) was used to measure the amount of deformation when a load was applied and when the load was returned.
At this time, a load speed of 2 mN/sec was applied to 60 mN over 30 seconds, and the load was maintained for 5 seconds.
The amount of deformation of the photo spacer from the initial position under load was measured. The amount of change at this time is set as the total deformation amount T 0 (μm).
(2) Next, the load was released to 0 over 30 seconds at an unloading speed of 2 mN/sec, and the state was maintained for 5 seconds. The deformation amount of the photo spacer at this time is defined as the plastic deformation amount T 1 (μm).
(3) From the T 0 and T 1 measured as described above, the elastic recovery rate was calculated using the following mathematical formula (1).
In addition, 70% or more is preferable under this evaluation condition.

弾性回復率(%)=[(T−T)/T]×100 (1) Elastic recovery rate (%)=[(T 0 −T 1 )/T 0 ]×100 (1)

[解像度の評価]
LCDの小型化・高精細化が進み、画素サイズが小さくなってきたことから、微細なフォトスペーサーを形成することができる、すなわち解像度として、10μmあるいはそれ以下のサイズでのパターニングが要求されるようになってきた。
すなわち解像度が高いスペーサーほど、マスクの開口径が小さくなっても、マスクの開口径と同じ大きさのフォトスペーサーを形成できる性能に優れる。
そこで解像度は、マスクの開口径を10μmに設定し、上記の方法によりフォトスペーサーを形成したときのフォトスペーサーの下底径を測定することで評価した。下底径が小さいほど解像度が高いといえる。
なお、この評価条件では、12μm以下が好ましい。
[Resolution evaluation]
Since LCDs have become smaller and higher definition and the pixel size has become smaller, it is possible to form fine photo spacers, that is, patterning with a resolution of 10 μm or less is required. Has become.
That is, the higher the resolution, the better the performance of forming a photo spacer having the same size as the opening diameter of the mask, even if the opening diameter of the mask is small.
Therefore, the resolution was evaluated by setting the opening diameter of the mask to 10 μm and measuring the bottom diameter of the photo spacer when the photo spacer was formed by the above method. The smaller the bottom diameter, the higher the resolution.
In this evaluation condition, 12 μm or less is preferable.

本発明の実施例1〜7の感光性樹脂組成物は、表1に示す通り密着性、弾性回復率および解像度のすべての点で優れている。
その一方で、本発明のベンゾフェノン型光重合開始剤を含まない比較例1および極大吸収波長が300nm以下のベンゾフェノン型光重合開始剤を使用した比較例2では弾性回復率を満足しない。また、多官能アクリレートの代わりに単官能アクリレートを用いた比較例3は弾性回復率および解像度を満足しない。
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 of the present invention are excellent in all of the adhesiveness, elastic recovery rate and resolution as shown in Table 1.
On the other hand, Comparative Example 1 not containing the benzophenone type photopolymerization initiator of the present invention and Comparative Example 2 using the benzophenone type photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 300 nm or less do not satisfy the elastic recovery rate. Further, Comparative Example 3 using a monofunctional acrylate instead of the polyfunctional acrylate does not satisfy the elastic recovery rate and the resolution.

本発明の感光性樹脂組成物は、硬化後の弾性回復特性とガラス基板に対する密着性に優れるため、表示素子用フォトスペーサーまたはカラーフィルター用保護膜として好適に使用できる。さらに、その他にもタッチパネル用絶縁膜形成レジスト、その他各種のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤又はハードコート材などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。 Since the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in elastic recovery characteristics after curing and adhesion to a glass substrate, it can be suitably used as a photo spacer for a display element or a protective film for a color filter. Furthermore, in addition to these, insulating film forming resists for touch panels and other various resist materials such as photo solder resists, photosensitive resist films, photosensitive resin letterpress plates, screen plates, photo-adhesives or hard coat materials It is suitable as a resin composition.

Claims (8)

ラジカル重合性有機基を有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、少なくとも300〜400nmの範囲内に吸収極大波長を有するベンゾフェノン型光重合開始剤(C)、並びに2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、および2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1からなる群から選ばれる少なくとも1種である光重合開始剤(E)を含有してなり、前記多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)が、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート及びペンタエリスリトールトリアクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種であって、前記(A)〜(C)の合計重量に基づいて、(A)が15〜70重量%であるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。 Hydrophilic resin (A) having a radical polymerizable organic group, polyfunctional (meth)acrylate monomer (B), benzophenone type photopolymerization initiator (C) having an absorption maximum wavelength in the range of at least 300 to 400 nm, and 2 -Methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, and 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1 The polyfunctional (meth)acrylate monomer (B) comprises at least one photopolymerization initiator (E) selected from the group consisting of dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol tetraacrylate and pentaerythritol triacrylate. An alkali-developable photosensitive resin composition , which is at least one selected from the group consisting of (A) to (C) and has a content of (A) of 15 to 70% by weight based on the total weight of (A) to (C). 光重合開始剤(C)が下記一般式(1)で表される化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
[式中、X1とX2はそれぞれ独立に下記一般式(2)もしくは一般式(3)で表される置換基または水素原子を表す。]
[一般式(2)中、R1およびR2は炭素数が1〜6のアルキル基を表す。一般式(3)中、R3は炭素数が1〜6のアルキル基または炭素数が1〜6のアルキル基で置換されていてもよい芳香族炭化水素基を表す。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (C) is a compound represented by the following general formula (1).
[In the formula, X 1 and X 2 each independently represent a substituent or a hydrogen atom represented by the following general formula (2) or general formula (3). ]
[In the general formula (2), R 1 and R 2 represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. In general formula (3), R 3 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
(A)〜(C)の合計重量に基づいて、光重合開始剤(C)を1〜15重量%含有する請求項1または2いずれか記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, which contains 1 to 15% by weight of the photopolymerization initiator (C) based on the total weight of (A) to (C). さらに、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン化合物(D)を含有する請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising a polysiloxane compound (D) having two or more hydrolyzable alkoxy groups. (A)〜(D)の合計重量に基づいて、ポリシロキサン化合物(D)を0.2〜15重量%含有する請求項4記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 4, which contains 0.2 to 15% by weight of the polysiloxane compound (D) based on the total weight of (A) to (D). さらに、レベリング剤(F)を含有してなり、前記レベリング剤(F)が ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン及びポリエーテル変性ポリジメチルシロキサンからなる群から選ばれる少なくとも1種である請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物。 The leveling agent (F) is further contained, and the leveling agent (F) is at least one selected from the group consisting of polyether-modified polydimethylsiloxane and polyether-modified polydimethylsiloxane. The photosensitive resin composition according to any one of claims. 請求項1〜6のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなるフォトスペーサ。 A photo spacer obtained by curing the photosensitive resin composition according to claim 1. 請求項1〜6のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなるカラーフィルター用保護膜。

A protective film for a color filter, which is obtained by curing the photosensitive resin composition according to claim 1.

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