JP6289337B2 - X線物質量測定装置 - Google Patents

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Description

本発明は、X線を用いて容器内の物質の量を測定するX線物質量測定装置に関する。特に、X線を用いて容器中の微少量の物質、例えば、微少量の液体の液量を測定するX線物質量測定装置に関する。
これまで、密閉された容器の液量測定にX線を用いて液面を検出する装置が知られている(例えば、特許文献1及び2参照。)。
特開平5−322630号公報 特開2002−357472号公報
上記の従来方法では、液面に対して水平方向にX線を照射しているので、容器全体で一定の液面を有する液体の場合しか検出できず、局所的に存在する微少量の液体の液量について測定することについては何も考慮されていなかった。
本発明は、容器中に局所的に存在する微少量の物質の量を測定するX線物質量測定装置を提供することを目的とする。
本発明に係るX線物質量測定装置は、被測定物質を含む容器の上方又は下方からX線を照射するX線照射手段と、
前記容器を挟んで前記X線照射装置と対向して配置され、前記容器を透過した透過X線に基づく画像データを得る撮像手段と、
得られた前記画像データを処理して、前記容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて前記被測定物質の量を算出する物質量算出手段と、
を備える。
本発明に係るX線物質量測定装置によれば、容器内の上方又は下方からX線を照射して得られる画素ごとの透過X線の強度に基づいて被測定物質の量を算出するので、容器全体にわたる液面を表す液体だけでなく、局所的に存在する微少量の物質であってもその量を測定できる。
実施の形態1に係るX線物質量測定装置の構成を示すブロック図である。 X線物質量測定装置の物質量算出手段について、コンピュータによって実現する場合の物理的な構成を示すブロック図である。 被測定物質が液体である場合の液体の液量と透過X線の強度との関係を示す検量線を示すグラフである。 複数の容器が2次元配置されたマイクロプレートの平面図である。 (a)は、実施例1において、1次元的に配置された複数の容器において、被測定物質として液体を用い、各容器の液量が異なる状態を示す平面図であり、(b)は、(a)の1次元的に配置された複数の容器をラインに沿ってX線を照射した場合の透過X線の強度プロファイルである。 一つの容器中で局所的に液体が存在する場合の各位置と対応する液体の高さとの関係を示す概略図である。
第1の態様に係るX線物質量測定装置は、被測定物質を含む容器の上方又は下方からX線を照射するX線照射手段と、
前記容器を挟んで前記X線照射装置と対向して配置され、前記容器を透過した透過X線に基づく画像データを得る撮像手段と、
得られた前記画像データを処理して、前記容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて前記被測定物質の物質量を算出する物質量算出手段と、
を備える。
第2の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1の態様において、前記物質量算出手段は、前記容器内の全画素にわたる透過X線の積算強度に基づいて前記容器内の前記被測定物質の物質量を算出してもよい。
第3の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1又は第2の態様において、前記物質量算出手段は、前記容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて前記画素ごとの前記被測定物質の高さを算出してもよい。
第4の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1から第3のいずれかの態様において、前記物質量算出手段は、複数の定量された前記被測定物質による透過X線の強度から得られた前記被測定物質の物質量と透過X線の強度との関係を示す検量線に基づいて前記被測定物質の物質量を算出してもよい。
第5の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1から第4のいずれかの態様において、前記X線照射手段は、上面を密閉された容器の上方又は下方からX線を照射してもよい。
第6の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1から第5のいずれかの態様において、前記X線照射手段は、複数の容器が2次元配置されたマイクロプレートの上方又は下方からX線を照射してもよい。
第7の態様に係るX線物質量測定装置は、上記第1から第6のいずれかの態様において前記撮像手段は、エリアセンサであってもよい。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態におけるX線物質量測定装置について詳細に説明する。なお、図面において実質的に同一の部材については同一の符号を付している。
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に係るX線物質量測定装置10の構成を示すブロック図である。このX線物質量測定装置10は、被測定物質である液体5を含む容器4の上方又は下方からX線6を照射するX線照射手段1と、容器4を挟んでX線照射装置10と対向して配置され、容器4を透過した透過X線に基づく画像データを得る撮像手段2と、得られた画像データを処理して、容器4内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて被測定物質である液体の量を算出する物質量算出手段3と、を備える。
このX線物質量測定装置10によれば、容器4内の上方又は下方からX線を照射して得られる画素ごとの透過X線の強度に基づいて被測定物質である液体の量を算出する。そこで、容器4全体にわたる液面を表す液体だけでなく、局所的に存在する微少量の物質であってもその量を測定できる。
以下にこのX線物質量測定装置10を構成する各構成部材について説明する。
<X線照射手段>
X線照射手段1としては、容器にX線6を照射しうるものであればよく、例えば、X線管、回転陽極X線管、放射光施設におけるビームライン等のいずれであってもよい。また、X線照射手段1によって照射するX線6は、特性X線、連続X線、単色光X線、等のいずれであってもよい。
このX線照射手段1は、被測定物質5を含む容器4の上方又は下方(すなわち、鉛直方向)からX線を照射する。
<被測定物質>
ここで、被測定物質としては、均一な物質であればよく、液体、粉粒体、小型の固形物、等のいずれであってもよい。なお、液体、粉粒体の場合には容器を必要とするが、小型の固形物の場合には容器はなくともよい。
<容器>
X線照射手段1によってX線6を照射する容器4としては、例えば、上面を密閉された容器であってもよい。この場合、上面を可視光線を透過しない膜で密閉してもよい。
図4は、複数の容器22が2次元配置されたマイクロプレート20の平面図である。容器として、図4に示すような複数の容器22が2次元配置されたマイクロプレート20を用いてもよい。
上記従来技術の場合には、いずれもほぼ水平方向にX線を照射しており、単独の容器の場合には有効ではあっても、複数の容器22を2次元配置したマイクロプレート20等の各容器(パレット)22の液量を測定することはできなかった。これに対して、実施の形態1に係るX線物質量測定装置10によれば、複数の容器22が2次元配置されたマイクロプレート20の場合にも、マイクロプレート20の上方又は下方からX線を照射するので、それぞれの容器(パレット)22の被測定物質の物質量を測定できる。
<撮像手段>
撮像手段2は、透過X線を受光でき、画素ごとに透過X線の強度に基づく画像データを得ることができるものであればよい。撮像手段2として、例えば、CCD、CMOSセンサ、フラットパネルX線イメージセンサ等を用いてもよい。また、撮像手段2は、2次元画像データをそのまま得られるエリアセンサ(面状センサ)に限られず、ラインセンサであってもよい。ラインセンサの場合には、ラインセンサの延在方向と交差する方向への走査を行うことによって2次元画像データを得ることができる。あるいは、撮像手段は、ポイントセンサであってもよい。
<物質量算出手段>
物質量算出手段3によって、画像データを処理して、容器4、22内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて容器内の被測定物質の物質量を算出する。この物質量算出手段3は、例えば、電気回路又は半導体回路によって実現してもよく、あるいは、コンピュータ上で動作するソフトウエアによってコンピュータを物質量算出手段3として実現してもよい。
図2は、コンピュータによって物質量算出手段3を実現する場合の物理的な構成を示すブロック図である。図2に示すように、コンピュータは、一般的な物理的構成を有するものであればよく、CPU11、メモリ12、記憶装置13、入出力部14、表示装置15、インタフェース16を備えていればよい。
この物質量算出手段3は、容器内の全画素にわたる透過X線の積算強度に基づいて容器内の被測定物質の物質量を算出してもよい。あるいは、容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて画素ごとの被測定物質の高さ(液体の場合には液面(液量))を算出してもよい。
図3は、被測定物質が液体である場合の液量と透過X線の強度との関係を示す検量線を示すグラフである。X線が透過する液体の液量が増加するにつれて透過X線の強度は減少する。なお、透過X線の減少曲線は、例えば図3に示すように各データ点を全て通るように線形補間曲線で表してもよい。あるいは、各データ点を用いた線形近似曲線で表してもよい。さらに指数関数等を用いた非線形曲線等で近似してもよい。
この図3に示す液体の液量と透過X線の強度との関係を示す検量線を用いることによって、透過X線の強度から被測定物質である液体の液量を算出することができる。この場合、検量線における透過X線の強度として画素ごとの強度とすることによって、そのまま各画素ごとに液量を算出できる。あるいは、容器内の全画素にわたる積分強度によって、容器内の平均としての液量を算出することもできる。
この物質量算出手段3は、複数の定量された液体による透過X線の強度から得られた液体の液量と透過X線の強度との関係を示す検量線に基づいて、容器内の液量を算出してもよい。
(実施例)
図5(a)は、実施例1において、1次元的に配置された複数の容器22において、被測定物質として液体を用い、各容器の液体の液量が異なる状態を示す平面図であり、(b)は、(a)の1次元的に配置された複数の容器22をラインに沿ってX線を照射した場合の透過X線の強度プロファイルである。
この例では、容器1から容器13まで13個の容器を一次元的に配置している。ラインに沿ってX線を照射した場合の透過X線の強度プロファイル(図5(b))によれば、ほぼ均一な液面を有する場合には容器22の全体にわたっておよそ同じ透過X線の強度を示す(容器4〜13)。一方、容器の周辺に液体が局所的に存在する場合(容器1〜3)には、周辺でのみ透過X線の強度が減少する。なお、この例では、周辺に液体が残存する場合、つまり表面張力で接触角が鋭角となって液体が容器の壁に沿って存在する場合を示したが、これに限られない。例えば、接触角が鈍角となる場合であってもよい。
図6は、一つの容器22中で局所的に液体が存在する場合の各位置(1〜9)と対応する液体の高さ(h1〜h9)との関係を示す概略図である。
各位置(1〜9)に対応する各画素における透過X線は、各位置(1〜9)の液量(h1〜h9)に応じた強度を示す。そこで、各位置(1〜9)に対応する各画素における透過X線の強度に基づいて各画素ごとの液量(高さ)を算出できる。
本発明に係るX線物質量測定装置は、容器内の上方又は下方からX線を照射して得られる画素ごとの透過X線の強度に基づいて被測定物質の物質量を算出する。そこで、被測定物質として液体の場合に、容器全体にわたる液面を表す液体だけでなく、局所的に存在する微少量の液体について液量を測定する装置として利用できる。
1 X線照射手段
2 撮像手段
3 物質量算出手段
4 容器
5 液体(被測定物質)
6 X線
10 X線物質量測定装置
11 CPU
12 メモリ
13 記憶装置
14 入出力部
15 表示装置
16 インタフェース
20 マイクロプレート
22 容器(パレット)

Claims (6)

  1. 被測定物質を含む容器の上方又は下方からX線を照射するX線照射手段と、
    前記容器を挟んで前記X線照射装置と対向して配置され、前記容器を透過した透過X線に基づく画像データを得る撮像手段と、
    得られた前記画像データを処理して、前記容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて前記被測定物質の物質量を算出する物質量算出手段と、
    を備え
    前記物質量算出手段は、前記容器内の画素ごとの透過X線の強度に基づいて前記画素ごとの前記被測定物質の高さを算出する、X線物質量測定装置。
  2. 前記物質量算出手段は、前記容器内の全画素にわたる透過X線の積算強度に基づいて前記容器内の物質量を算出する、請求項1に記載のX線物質量測定装置。
  3. 前記物質量算出手段は、複数の定量された前記被測定物質による透過X線の強度から得られた前記被測定物質の物質量と透過X線の強度との関係を示す検量線に基づいて物質量を算出する、請求項1又は2に記載のX線物質量測定装置。
  4. 前記X線照射手段は、上面を密閉された容器の上方又は下方からX線を照射する、請求項1からのいずれか一項に記載のX線物質量測定装置。
  5. 前記X線照射手段は、複数の容器が2次元配置されたマイクロプレートの上方又は下方からX線を照射する、請求項1からのいずれか一項に記載のX線物質量測定装置。
  6. 前記撮像手段は、エリアセンサである、請求項1からのいずれか一項に記載のX線物質量測定装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108020571A (zh) * 2017-11-29 2018-05-11 合肥赑歌数据科技有限公司 一种基于dsp控制分析的液态危险品浓度检测系统
WO2024028852A1 (en) * 2022-08-01 2024-02-08 Odysight.Ai Ltd Monitoring liquid volume in a container

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3191175B2 (ja) * 1992-05-22 2001-07-23 大和製罐株式会社 缶内液面検出装置
US5602890A (en) * 1995-09-27 1997-02-11 Thermedics Detection Inc. Container fill level and pressurization inspection using multi-dimensional images
JPH11216551A (ja) * 1998-01-30 1999-08-10 Sumitomo Metal Ind Ltd 連続鋳造の溶湯レベル測定方法および装置
US6201850B1 (en) * 1999-01-26 2001-03-13 Agilent Technologies, Inc. Enhanced thickness calibration and shading correction for automatic X-ray inspection
US6698470B1 (en) * 2000-02-08 2004-03-02 Cybio Instruments Gmbh Method and device for collecting fractions after material separation
JP2002357472A (ja) 2001-05-31 2002-12-13 Hitachi Medical Corp X線液量検査装置
JP2002365023A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Koji Okamoto 液面計測装置及び方法
US20090010388A1 (en) * 2007-06-06 2009-01-08 Stahly Barbara C Microplate and methods of using the same
JP5404143B2 (ja) * 2009-04-07 2014-01-29 株式会社東芝 密閉容器の非破壊検査方法及び非破壊検査装置
JP2014059220A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Tokyo Electron Ltd 導電性材料の充填装置及び充填方法

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