JP6285889B2 - 力検知装置 - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 75
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 53
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 48
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 59
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/84—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
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- Power Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
2:半導体基板
4:力伝達ブロック
10:検知部
12:第1メサ型ゲージ
14:第2メサ型ゲージ
16:第3メサ型ゲージ
18:第4メサ型ゲージ
22:基準配線
24:第1出力配線
26:電源配線
28:第2出力配線
32:基準電極
34:第1出力電極
36:電源電極
38:第2出力電極
Claims (5)
- 電源配線、基準配線、第1出力配線、第2出力配線及び複数のメサ型ゲージが主面に設けられている基板と、
前記基板に接合する力伝達ブロックと、を備え、
前記複数のメサ型ゲージは、第1メサ型ゲージ、第2メサ型ゲージ、第3メサ型ゲージ及び第4メサ型ゲージを有し、
前記第1メサ型ゲージと前記第2メサ型ゲージは、前記電源配線と前記基準配線の間に直列に接続されており、前記第1メサ型ゲージが前記電源配線側に接続されており、前記第2メサ型ゲージが前記基準配線側に接続されており、
前記第3メサ型ゲージと前記第4メサ型ゲージは、前記電源配線と前記基準配線の間に直列に接続されており、前記第3メサ型ゲージが前記電源配線側に接続されており、前記第4メサ型ゲージが前記基準配線側に接続されており、
前記第1メサ型ゲージと前記第2メサ型ゲージの組と前記第3メサ型ゲージと前記第4メサ型ゲージの組は、前記電源配線と前記基準配線の間で並列に接続されており、
前記第1メサ型ゲージと前記第2メサ型ゲージの間に前記第1出力配線が接続されており、
前記第3メサ型ゲージと前記第4メサ型ゲージの間に前記第2出力配線が接続されており、
前記第1メサ型ゲージ、前記第2メサ型ゲージ、前記第3メサ型ゲージ及び前記第4メサ型ゲージはいずれも、第1方向に沿って伸びており、
前記第1メサ型ゲージ及び前記第4メサ型ゲージの第1組に対する前記力伝達ブロックの接触面積と前記第2メサ型ゲージ及び前記第3メサ型ゲージの第2組に対する前記力伝達ブロックの接触面積が異なっており、
前記基板は、前記複数のメサ型ゲージが設けられている検知部の周囲を一巡して前記力伝達ブロックに接合する封止部を有し、
前記第1方向に直交する第2方向において、前記力伝達ブロックとの接触面積が相対的に大きい方の組に含まれる一方の前記メサ型ゲージの前記封止部に対する位置関係と前記力伝達ブロックとの接触面積が相対的に大きい方の組に含まれる他方の前記メサ型ゲージの前記封止部に対する位置関係が等しい、力検知装置。 - 前記力伝達ブロックは、前記第1組と前記第2組のいずれか一方の組に接し、他方の組に接しない、請求項1に記載の力検知装置。
- 前記力伝達ブロックとの接触面積が相対的に大きい方の組に含まれる前記メサ型ゲージの各々は、前記封止部で囲まれる領域の中心点を間に置いて前記第2方向に並んで配置されている、請求項1又は2に記載の力検知装置。
- 前記第1メサ型ゲージ、前記第2メサ型ゲージ、前記第3メサ型ゲージ及び前記第4メサ型ゲージは、矩形の角に対応して配置されており、
前記第1メサ型ゲージと前記第4メサ型ゲージが対角に配置されており、
前記第2メサ型ゲージと前記第3メサ型ゲージが対角に配置されている、請求項1又は2に記載の力検知装置。 - 前記力伝達ブロックとの接触面積が相対的に大きい方の組に含まれる前記メサ型ゲージの各々は、前記封止部で囲まれる領域の中心点を間に置いて前記第1方向に並んで配置されている、請求項1又は2に記載の力検知装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015087324A JP6285889B2 (ja) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | 力検知装置 |
US15/549,708 US10113923B2 (en) | 2015-04-22 | 2016-04-08 | Force detection device |
CN201680022701.2A CN107532952A (zh) | 2015-04-22 | 2016-04-08 | 力检测装置 |
PCT/JP2016/001952 WO2016170748A1 (ja) | 2015-04-22 | 2016-04-08 | 力検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015087324A JP6285889B2 (ja) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | 力検知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016205982A JP2016205982A (ja) | 2016-12-08 |
JP6285889B2 true JP6285889B2 (ja) | 2018-02-28 |
Family
ID=57143807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015087324A Active JP6285889B2 (ja) | 2015-04-22 | 2015-04-22 | 力検知装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10113923B2 (ja) |
JP (1) | JP6285889B2 (ja) |
CN (1) | CN107532952A (ja) |
WO (1) | WO2016170748A1 (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06201492A (ja) * | 1992-12-29 | 1994-07-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 力変換素子 |
JP3317084B2 (ja) * | 1995-03-31 | 2002-08-19 | 株式会社豊田中央研究所 | 力検知素子およびその製造方法 |
JP4161410B2 (ja) * | 1997-07-25 | 2008-10-08 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
JP2001304997A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-10-31 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体圧力センサ |
JP2002257645A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-11 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 高感度力検知センサ |
US6915702B2 (en) * | 2001-11-22 | 2005-07-12 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Piezoresistive transducers |
JP4450548B2 (ja) | 2002-10-10 | 2010-04-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 力検知素子と力検知素子の製造方法 |
JP4483478B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-06-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 力検知装置とその製造方法 |
EP2088411B1 (en) * | 2006-11-29 | 2015-05-06 | Fujikura Ltd. | Pressure sensor module |
FR2951014B1 (fr) * | 2009-10-06 | 2011-11-25 | Commissariat Energie Atomique | Structure d'actionnement piezoelectrique comportant une jauge de contrainte piezoresistive integree et son procede de realisation |
US8240218B2 (en) * | 2010-03-01 | 2012-08-14 | Infineon Technologies Ag | Stress sensing devices and methods |
FR2962532B1 (fr) * | 2010-07-07 | 2013-11-29 | Commissariat Energie Atomique | Capteur inertiel de rotations a disque oscillant |
JP5761536B2 (ja) * | 2013-04-24 | 2015-08-12 | 横河電機株式会社 | 力変換素子 |
WO2015146154A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | 株式会社デンソー | 力検知装置 |
US10222281B2 (en) * | 2014-03-26 | 2019-03-05 | Denso Corporation | Force detection apparatus having high sensor sensitivity |
CN107407610A (zh) * | 2015-04-06 | 2017-11-28 | 株式会社电装 | 力检测装置 |
-
2015
- 2015-04-22 JP JP2015087324A patent/JP6285889B2/ja active Active
-
2016
- 2016-04-08 CN CN201680022701.2A patent/CN107532952A/zh active Pending
- 2016-04-08 WO PCT/JP2016/001952 patent/WO2016170748A1/ja active Application Filing
- 2016-04-08 US US15/549,708 patent/US10113923B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016205982A (ja) | 2016-12-08 |
WO2016170748A1 (ja) | 2016-10-27 |
CN107532952A (zh) | 2018-01-02 |
US10113923B2 (en) | 2018-10-30 |
US20180045587A1 (en) | 2018-02-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170428 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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