JP6282437B2 - 研磨パッドコンディショナ用ダンパ - Google Patents
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Description
100 研磨装置
102 フレーム
110 研磨パッド
112 外側研磨層
114 バッキング層
116 研磨面
120 プラテン
122 モータ
124 ドライブシャフト
125 軸
130 ポート
132 研磨液
132 スラリ
140 キャリアヘッド
144 可撓膜
150 支持構造体
150 カルーセル
152 ドライブシャフト
154 キャリアヘッド回転モータ
155 軸
160 コンディショナ
162 ベース
164 アーム
166 コンディショナヘッド
168 洗浄用カップ
170 エンドエフェクタ
172 調整ディスク
174 加圧可能チャンバ
174 ドライブシャフト
180 ロータリアクチュエータ
182 支持体
184 カバー
190 ダンパシステム
192 ダンパ質量
194 ダンパ
Claims (11)
- 基板研磨用のコンディショナ装置であって、
研磨パッドの表面を調整するエンドエフェクタを受けるためのコンディショナヘッドと、
前記コンディショナヘッドを支持するアームと、
前記アームを支持するベースであって、前記アーム及び前記コンディショナヘッドを前記研磨パッドの上方で横方向に移動させるために前記アームに接続されるアクチュエータを含む、ベースと、
前記ベースに固定されるダンパ質量を含むダンパシステムであって、前記ダンパ質量は前記ベースの上及び前記ベースの外縁部内に位置決めされ、前記アームの振動を低減するように構成される、ダンパシステムとを備え、
前記ダンパ質量は複数のダンパによって前記ベースに取り付けられる、装置。 - 前記アクチュエータは前記研磨パッドの上方で前記アームを掃引するように構成されるロータリアクチュエータを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記ダンパシステムは前記ロータリアクチュエータに固定され、前記ロータリアクチュエータとともに回転する、請求項2に記載の装置。
- 前記複数のダンパはダッシュポットを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のダンパは前記アームの主振動モードの軸に対して平行な主軸を規定するように配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記複数のダンパは前記アームの長手軸に対して平行な主軸を規定するように配置される、請求項1に記載の装置。
- 前記コンディショナヘッド内にあり、前記エンドエフェクタに接続され、前記エンドエフェクタの垂直位置を制御する垂直アクチュエータを備える、請求項1に記載の装置。
- 研磨システムであって、
研磨パッドを支持する回転可能なプラテンと、
前記研磨パッドに接して基板を保持するキャリアヘッドと、
コンディショナ装置と
を備え、前記コンディショナ装置は、
前記研磨パッドの表面を調整するエンドエフェクタを受けるためのコンディショナヘッドと、
前記コンディショナヘッドを支持するアームと、
前記アームを支持するベースであって、前記アーム及び前記コンディショナヘッドを前記研磨パッドの上方で横方向に移動させるために前記アームに接続されるアクチュエータを含む、ベースと、
前記ベースに固定されるダンパ質量を含むダンパシステムであって、前記ダンパ質量は前記ベースの上及び前記ベースの外縁部内に位置決めされ、前記アームの振動を低減するように構成される、ダンパシステムと
を含み、
前記ダンパ質量は複数のダンパによって前記ベースに取り付けられる、研磨システム。 - 前記プラテンは軸の周りを回転し、前記アクチュエータは前記コンディショナヘッドを前記軸に向かう方向と離れる方向に移動させるように構成されている、請求項8に記載の研磨システム。
- 前記複数のダンパは前記アームの主振動モードの軸に対して平行な主軸を規定するように配置される、請求項8に記載の研磨システム。
- 前記複数のダンパは前記アームの長手軸に対して平行な主軸を規定するように配置される、請求項8に記載の研磨システム。
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