JP6278754B2 - ガス処理装置 - Google Patents
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Description
このようなガス処理にパルス放電技術を使用することが特許文献1に提案されている。
少なくともメタン及び窒素を含有する原料ガスから窒素を分離する窒素分離部と、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスに希ガスを導入するガス導入部とを有する原料ガス供給部と、
放電極と接地電極との電極間に電圧を印加する電源を設け、前記電極間に周期的に変化する電圧を印加して、前記原料ガス供給部から導入される、窒素が分離され希ガスが導入された原料ガスにプラズマを発生させて、生成された生成ガスを生成ガス排出部に排出するガス処理部と、
を備える点にある。
そして、本特徴構成では、窒素分離部において原料ガスから窒素を分離して除去するとともに、ガス導入部において窒素よりもプラズマ化しやすい希ガス(アルゴンガスやヘリウムガス等)を導入するように構成し、これにより、原料ガス中の窒素が希ガスに置換された状態で原料ガスをガス処理部に供給することで、ガス処理部におけるプラズマによる原料ガス中のメタンの酸化をより低い印加電圧で行うことが可能となり、少ないエネルギーで効率よく原料ガスのガス処理を行うことができる。
前記窒素を分離する前の原料ガスには、さらに少なくとも酸素が含有されており、
前記原料ガス供給部は、前記窒素分離部の上流に設けられ、原料ガスから酸素を分離する酸素分離部をさらに有し、
前記ガス導入部は、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスに、前記酸素分離部において分離された酸素及び前記希ガスを導入する点にある。
また、窒素分離部で窒素が分離された後に、酸素分離部で分離された酸素が原料ガスに戻されるので、ガス処理部において、その酸素を使用して非平衡プラズマにより原料ガスに含まれるメタンを酸化分解することができる。
前記希ガスがアルゴンガスである点にある。
前記希ガスを前記ガス導入部に供給する希ガス供給路を備え、当該希ガス供給路に前記酸素分離部において分離した酸素を導入する酸素導入部が設けられた点にある。
前記希ガス供給路に、前記希ガスの流量を調整する希ガス流量調整弁を備え、
前記原料ガス供給部に、前記酸素分離部へ供給される原料ガスのガス成分を分析する分離前ガス分析部と、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスのガス成分を分析する分離後ガス分析部とを備え、
前記分離前ガス分析部及び前記分離後ガス分析部において検出された夫々の原料ガスのメタン濃度から前記窒素分離部による窒素の分離量を求め、当該分離量が前記希ガスの流量となるように前記希ガス流量調整弁の開度を調整する制御装置を備えた点にある。
前記酸素分離部が、酸素の透過速度がメタン及び窒素の透過速度よりも速いガス透過膜を備えている点にある。
前記窒素分離部が、前記酸素分離部で酸素が分離された原料ガスから、圧力スイング吸着により窒素を分離する点にある。
また、酸素が分離された原料ガスから窒素を分離するので、窒素の分離が酸素によって阻害されることがなく、原料ガスから窒素を高精度に分離することができる。
前記電源が、周期的に変化する印加電圧の周波数を変更自在に構成され、
前記生成ガス排出部に生成ガス分析部を設け、
当該生成ガス分析部において検出された前記生成ガス中のメタン濃度が上昇するのに従って前記印加電圧の周波数が大きくなるように変更制御する制御装置を設けた点にある。
前記電源が、周期的に変化する印加電圧の電圧を変更自在に構成され、
前記生成ガス排出部に生成ガス分析部を設け、
当該生成ガス分析部において検出された前記生成ガス中のメタン濃度が上昇するのに従って前記印加電圧の電圧が大きくなるように変更制御する制御装置を設けた点にある。
ガス処理装置は、図1に示すように、放電極33と接地電極32との間に周期的に変化する電圧を印加可能な電源1を設けて、周期的に変化する電圧を電極間に印加し、原料ガス供給部としての原料ガス供給路2からガス処理部3に供給される原料ガスGに非平衡プラズマを発生させて、生成ガス排出部としての生成ガス排出管4に生成ガスSを排出する構成としてある。原料ガス供給路2において窒素が分離された原料ガスGがガス処理部3に供給され、電源1によって印加された電圧によりガス処理部3に発生する非平衡プラズマにより原料ガスGに含まれるメタンが酸化除去されるように構成されている。
両電極間に印加される周期的に変化する電圧としては、非平衡プラズマを生成する意味からすれば、所定のパルス発生電極から一定の周期で発生される電圧パルスが代表的である。しかしなら、本願発明者の検討結果によれば、単なる交流電圧でも、その電圧・印加周波数を選択することにより、メタンの酸化除去が可能であった。
以下、ガス処理装置の各構成について、印加電圧が電圧パルスである例を主に説明する。
原料ガス供給路2には、少なくともメタン、酸素、及び、窒素を含有する原料ガスGが供給され、原料ガスGの流れ方向の上流側より、酸素分離部12に原料ガスGを加圧して供給するコンプレッサー11と、原料ガスGから酸素を分離する酸素分離部12と、当該酸素分離部12で酸素が分離された原料ガスGから窒素を分離する窒素分離部13と、窒素分離部13で窒素が分離された原料ガスGに、酸素分離部12において分離された酸素及び外部から供給される希ガスAを導入するガス導入部21aとが備えられている。詳しくは後述するが、原料ガスGの成分と窒素分離部13の窒素分離能力から、窒素分離部13で分離できる窒素量に応じて、希ガスAがガス導入部21aから導入する様に構成されている。
希ガスAをガス導入部21aに供給する希ガス供給路21には、酸素分離部12において分離した酸素を希ガス供給路21内に導入する酸素導入部21bが設けられている。また、希ガス供給路21には、希ガスAの流量を調整する希ガス流量調整弁21cを備えている。この希ガス供給路21によって供給される希ガスAはアルゴンガスとされる。
酸素分離部12は、酸素の透過速度がメタン及び窒素の透過速度よりも速いガス透過膜(図示せず)を備えたガス分離膜モジュールで構成されている。ガス分離膜モジュールは、公知のものであるので詳述はしないが、ガス透過膜としては、シリコン、芳香族ポリイミドなどの高分子膜が一般に知られている。そして、高分子膜に対する原料ガスGの各ガス成分の透過速度の差を利用して、原料ガスGに含まれる酸素などの透過速度の速いガスと、窒素、メタンのような遅いガスとを分離するものである。また、このガス分離膜モジュールは、ガス透過膜のガス透過面積を増加して分離速度を向上するために、多数の中空糸状の高分子膜を束ねた構造とされている。
窒素分離部13は、酸素分離部12で酸素が分離された原料ガスGから、圧力スイング吸着により窒素を分離する圧力スイング吸着装置で構成されている。この圧力スイング吸着装置は公知であるので詳述はしないが、例えば、特開2000−312824号公報に開示されているのと同様な構成の圧力スイング吸着装置である。
つまり、窒素を選択的に吸着する吸着材が内部に充填された複数の吸着塔(図示せず)を有し、夫々の吸着塔に順次原料ガスを供給して、吸着塔内を昇圧して原料ガスG中の窒素を吸着材に吸着させ(吸着工程)、吸着塔内を減圧して吸着材から窒素を離脱させて(脱着工程)、原料ガスG中から窒素を分離することができるものである。この吸着剤としては、モレキュラーシーブカーボン等を使用することができる。
また、窒素分離後流路部2bには、上述の如く、ガス導入部21aが設けられており、原料ガスGに希ガスAと酸素とが導入される。これにより、窒素が除去された後に、希ガスAと酸素とが導入された原料ガスGをガス処理部3に供給することができる。
ガス処理部3としては、同軸円筒式のものや、触媒を併用する形態のものや水膜式のものなど、種々公知の形態のガス処理部3を採用することができる。
電源1は、制御装置6からの制御信号にしたがって、前記非平衡プラズマを原料ガス中に生成するために、ガス処理部3に設けられた電極(32,33)間にパルス電圧を印加する。印加されるパルス電圧の実効電圧・パルス生成周波数が、制御装置6からの指令に従って変更可能とされている。電源1は、後述する制御装置6によって制御され、メタン濃度が一定値を越えた場合に、現行で採用しているパルス生成周波数より予め定めておいた一定値だけ増大させる、その操作に加えて、現行で採用しているパルス電圧より予め定めておいた一定値だけ増大させる(なお、一定値以下とならない場合は、さらに増大させる)構成とされている。
分離前ガス分析部8は、コンプレッサー11よりも原料ガスGの流れの上流側に設けられた上流側メタンセンサ81を備え、原料ガスGのガス中のメタン濃度に対応する出力を、制御装置6に出力可能に設けてある。
一方、分離後ガス分析部7は、ガス導入部21aよりも原料ガスGの流れの下流側に設けられた下流側メタンセンサ71を備え、原料ガスG中のメタン濃度に対応する出力を、制御装置6に出力可能に設けてある。
また、生成ガス分析部5は、生成ガス排出管4に設けられ、生成ガス排出管4に排出される生成ガスSのメタンを検知する生成ガスメタンセンサ51を備え、生成ガスS中のメタン濃度に対応する出力を、前記制御装置6に出力可能に設けてある。
これらの上流側メタンセンサ81、下流側メタンセンサ71及び生成ガスメタンセンサ51としては種々公知のものが用いられ、原料ガスG及び生成ガスS中のメタン濃度を、電気出力等として制御装置6に出力可能な構成であれば好適に用いられる。
制御装置6は、分離前ガス分析部8及び分離後ガス分析部7において分析された夫々の原料ガスGのメタン濃度から窒素分離部13において原料ガスGから分離された窒素の分離量を求め、この分離量がガス導入部21aにおいて原料ガスGに導入される希ガスAの流量となるように希ガス流量調整弁21cの開度を調整する。これにより、ガス処理部3に供給する窒素が分離された後の原料ガスGのメタン濃度を、窒素が分離される前の原料ガスGのメタン濃度と同じ濃度とすることができる。
そこで制御装置6は、生成ガスS中のメタン濃度が所定以上になったものと判定されるときは、前記エネルギーマップを参照して、パルス発生周波数(f)を増加させ、前記放電エネルギー(E)を増加させる制御を行う。
当該メタンの参加条件の検討に対しては、周期的に変化する印加電圧として、交流電圧を印加した場合と、パルス電圧を印加した場合の2例で検討を行なった。
交流電圧を印加した場合の結果
図2に、電極32、33間に交流電圧(電圧:可変、交流周波数:30kHz)を印加した場合の、メタン酸化除去率(横軸)および交流電圧実効値(縦軸)との関係を調べたグラフを示す。なお、図2には、比較のため窒素を含有している原料ガスの場合におけるメタン酸化除去率の一例(比較例)を示した。
図2によると、約74%のメタン酸化除去率を得るために必要となる電圧が、原料ガスGに窒素が含まれておらず、アルゴンガスが共存している場合(本実施例)では、約2.2kVであるのに対し、従来のメタン酸化除去率として示した原料ガスGに窒素が含有している場合(比較例)では、約3.8kVもの電圧が必要となる。
また、約98%のメタン酸化除去率を得るために必要となる電圧が、本実施例では約3.1kVであるのに対し、比較例では、4.4kVもの電圧が必要となる。
そして、本実施例では、電圧が約4.2kVで約100%のメタン酸化除去率が得られることがわかる。この結果より、窒素を例えばアルゴンに置換することで本実施例では少ないエネルギーで効率よくメタン酸化分解が行われることがわかる。
図3に、電極32、33間にパルス電圧(パルス電圧(縦軸):可変、パルス生成周波数(横軸):10kHz〜100kHz)を印加した場合の、メタンの酸化結果を示した。パルス幅は10nsで一定とした。
図3によると、所定のパルス生成周波数を供給したときにパルス電圧が増加するにつれて、発生するプラズマによるメタン酸化能力が強くなることがわかる。このグラフの見方を変えると、所定のパルス電圧のパルス電圧を供給した場合に、電源1のパルス生成周波数を増加させるにつれて、発生するプラズマによるメタン酸化能力が強くなることも読み取れ、生成ガス分析部5におけるメタン濃度の上昇にしたがって、パルス生成周波数を増加させることにより、ガス処理部3におけるメタン酸化処理能力を高められ、生成ガス分析部5において酸化しきれずに残留するメタンを、確実に酸化処理可能な非平衡プラズマを発生させられることがわかる。
最後に、本発明の別実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、夫々単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。
(1)上記制御装置に関して、エネルギーマップを参照して電源1を駆動制御するのに代え、図4に示すように、前記電源1に設けられる電圧プローブ14、電流プローブ15からの電圧値(v)、電流値(i)をモニタする構成として、実際に放電されたエネルギー(E)は、電圧値(v)、電流値(i)の積の単位時間あたりの積分値として求められるから、前記制御装置は、電流プローブからの電圧値(v)、電流値(i)をモニタして、放電エネルギーを増加させる制御を行うこともできる。
2 原料ガス供給部
3 ガス処理部
4 生成ガス排出部
5 生成ガス分析部
6 制御装置
7 分離後ガス分析部
8 分離前ガス分析部
12 酸素分離部
13 窒素分離部
21 希ガス供給路
21a ガス導入部
21b 酸素導入部
21c 希ガス流量調整弁
32 接地電極
33 放電極
A 希ガス
G 原料ガス
S 生成ガス
Claims (9)
- 少なくともメタン及び窒素を含有する原料ガスから窒素を分離する窒素分離部と、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスに希ガスを導入するガス導入部とを有する原料ガス供給部と、
放電極と接地電極との電極間に電圧を印加する電源を設け、前記電極間に周期的に変化する電圧を印加して、前記原料ガス供給部から導入される、窒素が分離され希ガスが導入された原料ガスにプラズマを発生させて、生成された生成ガスを生成ガス排出部に排出するガス処理部と、
を備えるガス処理装置。 - 前記窒素を分離する前の原料ガスには、さらに少なくとも酸素が含有されており、
前記原料ガス供給部は、前記窒素分離部の上流に設けられ、原料ガスから酸素を分離する酸素分離部をさらに有し、
前記ガス導入部は、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスに、前記酸素分離部において分離された酸素及び前記希ガスを導入する、請求項1に記載のガス処理装置。 - 前記希ガスがアルゴンガスである請求項1又は2に記載のガス処理装置。
- 前記希ガスを前記ガス導入部に供給する希ガス供給路を備え、当該希ガス供給路に前記酸素分離部において分離した酸素を導入する酸素導入部が設けられた請求項2に記載のガス処理装置。
- 前記希ガス供給路に、前記希ガスの流量を調整する希ガス流量調整弁を備え、
前記原料ガス供給部に、前記酸素分離部へ供給される原料ガスのガス成分を分析する分離前ガス分析部と、前記窒素分離部で窒素が分離された原料ガスのガス成分を分析する分離後ガス分析部とを備え、
前記分離前ガス分析部及び前記分離後ガス分析部において検出された夫々の原料ガスのメタン濃度から前記窒素分離部による窒素の分離量を求め、当該分離量が前記希ガスの流量となるように前記希ガス流量調整弁の開度を調整する制御装置を備えた請求項4に記載のガス処理装置。 - 前記酸素分離部が、酸素の透過速度がメタン及び窒素の透過速度よりも速いガス透過膜を備えている請求項2、4、5の何れか1項に記載のガス処理装置。
- 前記窒素分離部が、前記酸素分離部で酸素が分離された原料ガスから、圧力スイング吸着により窒素を分離する請求項2、4、5、6の何れか1項に記載のガス処理装置。
- 前記電源が、周期的に変化する印加電圧の周波数を変更自在に構成され、
前記生成ガス排出部に生成ガス分析部を設け、
当該生成ガス分析部において検出された前記生成ガス中のメタン濃度が上昇するのに従って前記印加電圧の周波数が大きくなるように変更制御する制御装置を設けた請求項1から7の何れか1項に記載のガス処理装置。 - 前記電源が、周期的に変化する印加電圧の電圧を変更自在に構成され、
前記生成ガス排出部に生成ガス分析部を設け、
当該生成ガス分析部において検出された前記生成ガス中のメタン濃度が上昇するのに従って前記印加電圧の電圧が大きくなるように変更制御する制御装置を設けた請求項1から8の何れか1項に記載のガス処理装置。
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