JP4951791B2 - 活性ガス生成方法、生成装置及び排ガス処理システム装置 - Google Patents
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Description
一部は循環路8によってプラズマ反応器1の原料導入口近傍9に連接され、原料と一緒になって反応器1内で活性化され、前記活性ガス供給路7に送出される。このときのガスの流れについて説明すれば、プラズマ反応器1で処理された活性ガス流量をQ1(m3/h)とし、分岐手段6によって,前記プラズマ反応器1に循環する活性ガス流量をQ2(m3/h)とし、高濃度活性ガス供給流量をQ3(m3/h)とし、その間にはQ1=Q2+Q3の関係が成り立つ。
分岐手段6は、高濃度活性ガス供給路7内の活性ガスの主成分であるオゾンを計測計10によって、A点にて計測し、その適応する濃度に合わせて分岐手段を開閉するようにし、
循環路8への供給の比率をコントロールする分配手段とする。通常は、流量調節弁(図示しない)を活性ガス供給路7に設置する。
本実施例におけるパルス高電圧電源は、直流電流をIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)素子回路によりスイッチングし、パルストランスにより昇圧させる原理に基づくものを使用した。これ以外にも、SI( Static Induction ) サイリスタ素子や空隙接点を使用したパルス電源が知られているが、これらを使用してもよい。
2 導入口
3 排出口
4 原料ガス
5 ファン
6 分岐手段
7 活性ガス供給路
8 活性ガス循環路
9 原料導入口近傍
10 オゾン濃度計測計
21 プラズマ反応器
22 コイル電極
23 放電線
24 パルス高電圧電源
25 原料ガス導入口
26 活性ガス排出口
31 活性ガス発生装置
32 プラズマ反応器
33 活性ガス
34 活性ガス供給路
35 ボイラー
36 ボイラー排ガス供給通路(煙道)
37 導入口結合部
38 ケミカルスクラバー
39 連結部
Claims (13)
- 排ガス処理、表面処理又は脱臭に利用可能な活性ガスの生成方法において、原料のガスを、電極間にて放電を行うプラズマ反応器に導入して前記活性ガスを発生させ、前記プラズマ発生器から排出された該活性ガスの一部を、貯留することなく前記プラズマ反応器に導入し、循環して高濃度化することを特徴とする活性ガス生成方法。
- 前記活性ガスの原料のガスが、空気,酸素,窒素、水素、アンモニア及び希ガスのいずれか1又は2以上からなることを特徴とする請求項1記載の活性ガス生成方法。
- 前記プラズマ反応器が、パルス高電圧電源,交流高電圧電源、直流高電圧電源、矩形波高電圧電源のいずれかにより駆動される非熱プラズマ反応器であることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1つに記載の活性ガス生成方法。
- 前記プラズマ反応器の電極が、金属放電線対金属コイル円筒、金属針対金属平板、金属放電線対金属円筒のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至3いずれか1つに記載の活性ガス生成方法。
- 前記プラズマ反応器の電極が、少なくとも一方が誘電体バリアで覆われた一対の板状金属である請求項1乃至4いずれか1つに記載の活性ガス生成方法。
- 原料のガスを導入する導入口と発生した活性ガスを排出する排出口を有し且つ電極間にて放電を行うプラズマ反応器を備え、前記排出口からは活性ガス供給路と活性ガス循環路に連結され、前記活性ガス循環路は前記プラズマ反応器の導入口近傍に連結されることを特徴とする活性ガス生成装置。
- 前記活性ガスの原料のガスである空気,酸素,窒素、水素、アンモニア及び希ガスのいずれか1又は2以上を含むガス供給装置を前記プラズマ反応器のガス原料導入口に連接したことを特徴とする請求項6記載の活性ガス生成装置。
- 前記活性ガス供給路と活性ガス循環路との比率をコントロールする分配手段を備えたことを特徴とする請求項6記載の活性ガス生成装置。
- 前記プラズマ反応器が、パルス高電圧電源、交流高電圧電源、直流高電圧電源、矩形波高電圧電源のいずれかにより駆動される非熱プラズマ反応器である請求項6記載の活性ガス生成装置。
- 前記プラズマ反応器の電極が、金属放電線対金属コイル円筒、金属針対金属平板、金属放電線対金属円筒のいずれかである請求項6記載の活性ガス生成装置。
- 前記プラズマ反応器の電極が,少なくとも一方が誘電体バリアで覆われた一対の板状金属である請求項6記載の活性ガス生成装置。
- 請求項6乃至11のいずれか1つに記載の活性ガス生成装置と、それからの活性ガスを導入する導入口結合部、排出ガス供給通路部、混合し化学反応処理するスクラバー、及び前記排出ガス供給通路部と前記スクラバーの連結手段、を備えた排ガス処理システム装置。
- 原料のガスを導入する導入口と発生した活性ガスを排出する排出口を有し且つ電極間にて放電を行うプラズマ反応器を設け、前記排出口からは活性ガス供給路と活性ガス循環路を備えた分岐管に連結され、前記ガス循環路は前記プラズマ反応器の前記導入口近傍に連結される活性ガス生成装置を備え、該活性ガス生成装置からの活性ガスを導入することを特徴とする請求項12記載の排ガス処理システム装置。
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