JP6269236B2 - バンドパスフィルタ - Google Patents
バンドパスフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6269236B2 JP6269236B2 JP2014063439A JP2014063439A JP6269236B2 JP 6269236 B2 JP6269236 B2 JP 6269236B2 JP 2014063439 A JP2014063439 A JP 2014063439A JP 2014063439 A JP2014063439 A JP 2014063439A JP 6269236 B2 JP6269236 B2 JP 6269236B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- multilayer film
- region
- refractive index
- shielding multilayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Blocking Light For Cameras (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
−透光性基板−
透光性基板20は、本実施形態では水晶板である。なお、透光性基板20は水晶板に限られるものではなく、光線が透過可能な基板であれば、例えばガラス板であってもよい。また、透光性基板20は、複数枚からなってもよい。また、透光性基板20が複数枚からなるときは、水晶板とガラス板とを組み合わせてもよい。
透過多層膜30は、透光性基板20上に形成され、高屈折率膜30HであるTiO2と低屈折率膜30LであるSiO2とが交互に複数積層されている。すなわち、透光性基板20側から数えて奇数番目の層が高屈折率膜30Hであり、偶数番目の層が低屈折率膜30Lである。なお、高屈折率膜30Hと低屈折率膜30Lの積層順はこの例に限らず、透光性基板20側から数えて奇数番目の層が低屈折率膜30Lであり、偶数番目の層が高屈折率膜30Hであってもよい。
遮光多層膜40は、透過多層膜30上に形成され、可視光領域の光を遮光する膜が積層されたものであって、透過多層膜30側から順に、短波長遮光多層膜41、中間波長遮光多層膜42、長波長遮光多層膜43、を備えている。なお、短波長遮光多層膜41、中間波長遮光多層膜42、長波長遮光多層膜43の形成順は、この例に限られず、どのような順番で形成されていてもよい。以下、遮光多層膜40の構成を説明する。
短波長遮光多層膜41は、高屈折率膜41HであるTiO2と低屈折率膜41LであるSiO2とが交互に複数積層されている。すなわち、透光性基板20側から数えて奇数番目の層が高屈折率膜41Hであり、偶数番目の層が低屈折率膜41Lである。なお、高屈折率膜41Hと低屈折率膜41Lの積層順はこの例に限らず、透光性基板20側から数えて奇数番目の層が低屈折率膜41Lであり、偶数番目の層が高屈折率膜41Hであってもよい。
次に長波長遮光多層膜43について説明するが、長波長遮光多層膜43は、短波長遮光多層膜41と、光学膜厚が異なるだけである。以下、その相違点のみを説明する。
次に中間波長遮光多層膜42について説明するが、中間波長遮光多層膜42は、短波長遮光多層膜41と、光学膜厚が異なるだけである。以下、その相違点のみを説明する。
以上説明したように、本実施形態の遮光多層膜40は、短波長遮光多層膜41と、中間波長遮光多層膜42と、長波長遮光多層膜43とを備えおり、これら各遮光多層膜のフィルタ特性を積算したもの(透過率の積)が遮光多層膜40のフィルタ特性となる(図6参照)。すなわち、短波長遮光多層膜41のフィルタ特性(図5(a))、中間波長遮光多層膜42のフィルタ特性(図5(b))及び長波長遮光多層膜43のフィルタ特性(図5(c))を組み合わせることにより、短波長遮光多層膜41によって光を遮光する領域、中間波長遮光多層膜42によって光を遮光する領域、長波長遮光多層膜43によって光を遮光する領域が重なり合うので、可視光領域の全域の光を確実に遮光することができる。
−バンドパスフィルタの作用及び効果−
本実施形態の透過多層膜30のフィルタ特性は図4のとおりであり、遮光多層膜40のフィルタ特性は図6のとおりである。そして、これらのフィルタ特性を併記した図が図7である。
光多層膜40は近赤外領域の反射防止膜(ARコート)としても機能するため、バンドパスフィルタ10Aの透過率は、片面のみに多層膜が形成されたバンドパスフィルタ10(図2参照)のように、別途、反射防止膜を形成する必要がなくなる。
次に、短波長遮光多層膜41、中間波長遮光多層膜42、長波長遮光多層膜43の光学膜厚が上記実施形態で説明した光学膜厚比と異なるもののフィルタ特性について、図9を参照しながら説明する。図9は、比較例を示すグラフ図である。
次に、遮光多層膜の積層数を変化させたときのフィルタ特性について図10を参照しながら説明する。図10は、比較例を示すグラフ図である。
透光性基板 20
透過多層膜 30
遮光多層膜 40
短波長遮光多層膜 41
中間波長遮光多層膜 42
長波長遮光多層膜 43
高屈折率膜 30H、41H、42H、43H
低屈折率膜 30L、41L、42L、43L
レンズ 80
撮像素子 90
Claims (7)
- 近赤外領域において予め設計した設計領域のみの光を透過させるバンドパスフィルタであって、
透光性基板に、
前記設計領域とともに該設計領域から短波長側に離間した可視光領域の光を透過させる膜が積層された透過多層膜と、
前記可視光領域の光を遮光する膜が積層された遮光多層膜と、
が備えられていることを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項1に記載のバンドパスフィルタであって、
前記透光性基板の一主面に前記透過多層膜が形成されており、
前記透光性基板の他主面に前記遮光多層膜が形成されていることを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項1又は2に記載のバンドパスフィルタであって、
前記透過多層膜及び前記遮光多層膜は、高屈折率材料と低屈折率材料とが交互に複数積層されてなり、
前記遮光多層膜の積層数は、前記透過多層膜の積層数よりも多いことを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項3に記載のバンドパスフィルタであって、
前記高屈折率材料は、ZrO2、TiO2、Nb2O5、及びTa2O5のうち少なくとも1つを含んでおり、
前記低屈折率材料は、SiO2、及びMgF2のうち少なくとも1つを含んでいることを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のバンドパスフィルタであって、
前記透過多層膜の透過率が近赤外光領域で1%以上となるときの光の波長において、前記遮光多層膜の透過率が最大となることを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のバンドパスフィルタであって、
前記遮光多層膜は、
可視光領域の短波長端から長波長側の領域の光を遮光する膜が積層された短波長遮光多層膜と、
可視光領域の長波長端から短波長側の領域の光を遮光する膜が積層された長波長遮光多層膜と、
前記短波長遮光多層膜が光を遮光する領域の長波長端と、前記長波長遮光多層膜が光を遮光する領域の短波長端と、を含む領域の光を遮光する中間波長遮光多層膜が備えられていることを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項6に記載のバンドパスフィルタであって、
前記短波長遮光多層膜と、前記中間波長遮光多層膜との光学膜厚比が、1:1から1:1.37に設定され、
前記短波長遮光多層膜と、前記長波長遮光多層膜との光学膜厚比が、1:1.37から1:1.81に設定されたことを特徴とするバンドパスフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014063439A JP6269236B2 (ja) | 2014-03-26 | 2014-03-26 | バンドパスフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014063439A JP6269236B2 (ja) | 2014-03-26 | 2014-03-26 | バンドパスフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015184627A JP2015184627A (ja) | 2015-10-22 |
JP6269236B2 true JP6269236B2 (ja) | 2018-01-31 |
Family
ID=54351171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014063439A Expired - Fee Related JP6269236B2 (ja) | 2014-03-26 | 2014-03-26 | バンドパスフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6269236B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6777146B2 (ja) | 2016-06-08 | 2020-10-28 | Jsr株式会社 | 光学フィルターおよび光学センサー装置 |
JP7251099B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-04-04 | 日本電気硝子株式会社 | バンドパスフィルタ及びその製造方法 |
JP2020076850A (ja) * | 2018-11-07 | 2020-05-21 | 日本電気硝子株式会社 | バンドパスフィルタ及びその製造方法 |
JP7293875B2 (ja) * | 2019-05-31 | 2023-06-20 | Jsr株式会社 | 光学フィルターおよび光学センサー装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5398133A (en) * | 1993-10-27 | 1995-03-14 | Industrial Technology Research Institute | High endurance near-infrared optical window |
JP3507419B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2004-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 反射型光変調パネルと投射型表示装置 |
JP2005266538A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Stanley Electric Co Ltd | 赤外線透過フィルタ |
JP4705342B2 (ja) * | 2004-06-22 | 2011-06-22 | 日立マクセル株式会社 | 光学フィルタ |
KR101674036B1 (ko) * | 2009-09-15 | 2016-11-08 | 가부시키가이샤 다이신쿠 | 광학 필터 |
-
2014
- 2014-03-26 JP JP2014063439A patent/JP6269236B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015184627A (ja) | 2015-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102061477B1 (ko) | 근적외선 커트 필터 | |
JP5672233B2 (ja) | 光学フィルタ、撮像デバイス、光学系 | |
US9726797B2 (en) | Near-infrared cut filter | |
JP6034785B2 (ja) | 光学部材 | |
TWI500978B (zh) | 紅外線濾除元件 | |
JP6003895B2 (ja) | 近赤外線カットフィルター | |
JPWO2014084167A1 (ja) | 近赤外線カットフィルタ | |
KR20130018803A (ko) | 적외선 차단 필터 | |
JP6269236B2 (ja) | バンドパスフィルタ | |
JP5973747B2 (ja) | 近赤外線カットフィルター | |
TW201819963A (zh) | 光學濾波器 | |
JPWO2019189039A1 (ja) | 光学フィルタ | |
JP6174379B2 (ja) | 可視光透過フィルタ | |
JP2010032867A (ja) | Irカットフィルタ | |
US7215465B2 (en) | Optical low pass filter | |
JP6547368B2 (ja) | 可視光カットフィルタ | |
JP2015184628A (ja) | エッジフィルタ | |
JP5126089B2 (ja) | 光線カットフィルタ | |
JP2017181927A (ja) | 赤外線カットフィルタ | |
JP2017151367A (ja) | バンドパスフィルタ | |
JP7326738B2 (ja) | 近赤外線カットフィルタ | |
JP2013200519A (ja) | 光学フィルタおよび撮像デバイス | |
JP2014215576A (ja) | 赤外線カットフィルター | |
JP2018055009A (ja) | 光学フィルタ及び撮像デバイス | |
JP2018082357A (ja) | バンドパスフィルタアレイ、撮像装置及び信号処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6269236 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |