JP6252926B1 - 微細気泡洗浄装置及び微細気泡洗浄方法 - Google Patents
微細気泡洗浄装置及び微細気泡洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
洗浄液中に微細気泡を発生させ、気泡洗浄液を生成する微細気泡発生装置と、
前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を短くし、短寿命気泡洗浄液を生成する気泡自発圧壊装置と、
前記短寿命気泡洗浄液と被洗浄物を接触させる洗浄槽を有し、前記気泡自発圧壊装置は、前記洗浄槽の外側に配置されていることを特徴とする。
洗浄液中に微細気泡を発生させ、気泡洗浄液を生成する工程と、
前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を短くし、短寿命気泡洗浄液を生成する工程と、
前記短寿命気泡洗浄液と被洗浄物を接触させる工程を有することを特徴とする。
図1に本発明に係る微細気泡洗浄装置の構成について示す。本発明に係る微細気泡洗浄装置1は、微細気泡発生装置10と、気泡自発圧壊装置12と、洗浄槽14とを有する。また、貯留槽16を有していてもよい。
本実施の形態では、被洗浄物を配管とした場合の例について示す。本発明に係る微細気泡洗浄装置は、寿命TLを制御した微細気泡Bを含む短寿命気泡洗浄液WBsを作ることができる。したがって、自発圧壊する時間の異なる微細気泡Bを生成することができる。そこで、長い配管に寿命TLの異なる短寿命気泡洗浄液WBsを流すことで、配管の異なる部分を順次洗浄することができる。
2 微細気泡洗浄装置
3 微細気泡洗浄装置
4 微細気泡洗浄装置
10 微細気泡発生装置
12 気泡自発圧壊装置
13 気泡自発圧壊装置
14 洗浄槽
14a 洗浄ノズル
14b 洗浄バス
16 貯留槽
20 第1バブルモニタ
22 第2バブルモニタ
30 制御装置
12a 気泡自発圧壊装置
40 タンク
42 圧力調節装置
12b 気泡自発圧壊装置
50 タンク
52 温度調節装置
54 熱交換部
12c 気泡自発圧壊装置
60 タンク
62 ミストノズル
70 薬液装置
71 ディスク
72 薬液ノズル
73 薬液タンク
74 ポンプ
75 フィルタ
79 集液枠
73b バルブ
14eb バルブ
80 バス式薬液装置
81 薬液バス
82 ポンプ
83 フィルタ
W 洗浄液
B 微細気泡
WB 気泡洗浄液
Gas 気体供給源
WBs 短寿命気泡洗浄液
Pro 被洗浄物
r1 循環配管
r2 配管
r21 配管
r22 配管
rx ドレイン管
r3 帰還用配管
r4 循環配管
rin 配管
rout 配管
rL 配管
TL 寿命
WBsL 寿命TLが長い短寿命気泡洗浄液
WBsS 寿命TLが短い短寿命気泡洗浄液
D1 気泡密度
D2 気泡密度
P1 ポンプ
P2 ポンプ
P3 ポンプ
P4 ポンプ
Claims (12)
- 洗浄液中に微細気泡を発生させ、気泡洗浄液を生成する微細気泡発生装置と、
前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を短くし、短寿命気泡洗浄液を生成する気泡自発圧壊装置と、
前記短寿命気泡洗浄液と被洗浄物を接触させる洗浄槽を有し、前記気泡自発圧壊装置は、前記洗浄槽の外側に配置されていることを特徴とする微細気泡洗浄装置。 - 前記洗浄槽に投入される前記短寿命気泡洗浄液中の気泡密度を監視する第1バブルモニタと、
前記洗浄槽から排出される前記短寿命気泡洗浄液中の気泡密度を監視する第2バブルモニタと、
前記第1バブルモニタと前記第2バブルモニタからの信号に基づいて前記気泡自発圧壊装置を制御する制御装置をさらに有することを特徴とする請求項1に記載された微細気泡洗浄装置。 - 前記洗浄槽の上流側に前記気泡洗浄液を貯留する貯留槽をさらに有し、前記気泡自発圧壊装置は、前記貯留槽から前記洗浄槽の間に設けられていることを特徴とする請求項1または2のいずれかの請求項に記載された微細気泡洗浄装置。
- 前記洗浄槽の上流側に前記気泡洗浄液を貯留する貯留槽をさらに有し、前記気泡自発圧壊装置は、前記貯留槽に設けられていることを特徴とする請求項1または2のいずれかの請求項に記載された微細気泡洗浄装置。
- 前記気泡自発圧壊装置は、前記気泡洗浄液の圧力を加圧若しくは減圧する圧力調整装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一の請求項に記載された微細気泡洗浄装置。
- 前記気泡自発圧壊装置は、前記気泡洗浄液の温度を加熱若しくは冷却する温度調節装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一の請求項に記載された微細気泡洗浄装置。
- 前記気泡自発圧壊装置は、前記気泡洗浄液を所定の大きさの液滴に分割するシャワー装置であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一の請求項に記載された微細気泡洗浄装置。
- 洗浄液中に微細気泡を発生させ、気泡洗浄液を生成する工程と、
前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を短くし、短寿命気泡洗浄液を生成する工程と、
前記短寿命気泡洗浄液と被洗浄物を接触させる工程を有することを特徴とする微細気泡洗浄方法。 - 前記被洗浄物と接触させる前の前記短寿命気泡洗浄液中の気泡密度を監視する第1の監視工程と、
前記被洗浄物と接触した後の前記短寿命気泡洗浄液中の気泡密度を監視する第2の監視工程と、
前記第1の監視工程と前記第2の監視工程の結果に基づいて前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を制御する工程をさらに有することを特徴とする請求項8に記載された微細気泡洗浄方法。 - 前記気泡洗浄液中の前記微細気泡の寿命を変化させながら前記被洗浄物に接触させることを特徴とする請求項8または9のいずれかの請求項に記載された微細気泡洗浄方法。
- 請求項1から7のいずれかに記載の微細気泡洗浄装置を有することを特徴とする半導体基板または電子デバイスを製造する製造装置。
- 請求項8から10のいずれかに記載の微細気泡洗浄方法を用いた半導体基板または電子デバイスを洗浄する洗浄工程を有することを特徴とする半導体基板または電子デバイスを製造する製造方法。
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