JP6244967B2 - キャパシタアレイおよびad変換器 - Google Patents
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Description
図1は、開示の技術の実施形態に係るAD変換器10の構成を示す回路図である。AD変換器10は、半導体集積回路内に形成される逐次比較型のAD変換器であり、一例として4ビットの変換分解能を有する。
図19および図20は、開示の技術の第2の実施形態に係るキャパシタアレイ12Aの部分的な構成を示す断面図である。図19は、図4に対応する断面を示しており、図20は図5に対応する断面を示している
複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含むキャパシタアレイ。
前記第1の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第2の導電体と、
前記第2の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第3の導電体と、
を含み、
前記第1の電極の各々は、3層以上の各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第1電極片を含み、
前記第2の電極の各々は、前記複数の第1電極片が設けられた各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第2電極片を含み、
前記第1の配線および前記第2の配線はそれぞれ、前記複数の第1電極片および前記複数の第2電極片が設けられた各層のうちのいずれかの層に設けられ、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の第2の導電体のうちの対応する第2の導電体の内側に配置され、且つ、前記複数の第3の導電体のうちの対応する第3の導電体の内側に配置され、
前記第1の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第2の導電体の各々の外側に配置され、
前記第2の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第3の導電体の各々の外側に配置されている
付記1に記載のキャパシタアレイ。
前記第2の導電体の各々および前記第3の導電体の各々は、それぞれ、開口部を有し、前記第1の配線は、前記第1の電極との接続点から前記第2の導電体の前記開口部を通って前記第2の導電体の外側に引き出され、前記第2の配線は、前記第2の電極との接続点から前記第3の導電体の前記開口部を通って前記第3の導電体の外側に引き出されている 付記2に記載のキャパシタアレイ。
前記複数の第1電極片及び複数の第2電極片が設けられた層よりも上の層において、前記複数のキャパシタに対応する領域の外周を囲むように設けられ、且つ前記第1の導電体に電気的に接続された複数の第4の導電体を更に含む
付記2または付記3に記載のキャパシタアレイ。
前記第1の導電体、前記第2の導電体および前記第3の導電体は、複数の接続用導電体によって互いに電気的に接続され、
前記複数の接続用導電体は、前記第2の導電体および前記第3の導電体の外縁に沿って複数の列をなすように設けられ、1の列に配列された前記接続用導電体の各々が他の列に配列された前記接続用導電体の間の位置に配置されている
付記2または付記3に記載のキャパシタアレイ。
前記複数の第2電極片の各々は、対応する前記第1電極片の外周を少なくとも3方向から囲むように形成されている
付記2から付記5のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第1導電領域と、前記複数の第1導電領域の間の間隙の全域に亘って延在する第2導電領域を含む
付記1から付記6のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタに対応する部位に設けられた複数の開口部を有し、前記複数のキャパシタに対して絶縁された単一の導電体であり、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の開口部のうちの対応する開口部の内側に配置されている
付記1から付記6のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
前記第1の電極と前記第2の電極はそれぞれ、櫛型形状を有する
付記1から付記8のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
前記第1の電極および前記第2の電極は、それぞれ、前記複数の層のうちの1つの層に設けられ、前記第1の導電体は、前記第1の電極および前記第2の電極が設けられた層に設けられている
付記1に記載のキャパシタアレイ。
前記複数のキャパシタは、二進加重された容量値を有する複数の合成キャパシタを形成している
付記1から付記10のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
半導体基板上に形成されている
付記1から付記11のいずれか1つに記載のキャパシタアレイ。
キャパシタアレイを備えた容量DA変換器と、
前記容量DA変換器の動作を制御する制御回路と、
を含むAD変換器であって、
前記キャパシタアレイは、
複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの外側の領域において前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの外側の領域において前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含むAD変換器。
前記第1の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第2の導電体と、
前記第2の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第3の導電体と、
を含み、
前記第1の電極の各々は、3層以上の各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第1電極片を含み、
前記第2の電極の各々は、前記複数の第1電極片が設けられた各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第2電極片を含み、
前記第1の配線および前記第2の配線はそれぞれ、前記複数の第1電極片および前記複数の第2電極片が設けられた各層のうちのいずれかの層に設けられ、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の第2の導電体のうちの対応する第2の導電体の内側に配置され、且つ、前記複数の第3の導電体のうちの対応する第3の導電体の内側に配置され、
前記第1の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第2の導電体の各々の外側に配置され、
前記第2の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第3の導電体の各々の外側に配置されている
付記13に記載のAD変換器。
前記第2の導電体の各々および前記第3の導電体の各々は、それぞれ、開口部を有し、前記第1の配線は、前記第1の電極との接続点から前記第2の導電体の前記開口部を通って前記第2の導電体の外側に引き出され、前記第2の配線は、前記第2の電極との接続点から前記第3の導電体の前記開口部を通って前記第3の導電体の外側に引き出されている 付記14に記載のAD変換器
前記複数の第1電極片及び複数の第2電極片が設けられた層よりも上の層において、前記複数のキャパシタに対応する領域の外周を囲むように設けられ、且つ前記第1の導電体に電気的に接続された複数の第4の導電体を更に含む
付記14または付記15に記載のAD変換器。
前記第1の導電体、前記第2の導電体および前記第3の導電体は、複数の接続用導電体によって互いに電気的に接続され、
前記複数の接続用導電体は、前記第2の導電体および前記第3の導電体の外縁に沿って複数の列をなすように設けられ、1の列に配列された前記接続用導電体の各々が他の列に配列された前記接続用導電体の間の位置に配置されている
付記14または付記15に記載のAD変換器。
前記複数の第2電極片の各々は、対応する前記第1電極片の外周を少なくとも3方向から囲むように形成されている
付記14から付記17のいずれか1つに記載のAD変換器。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第1導電領域と、前記複数の第1導電領域の間の間隙の全域に亘って延在する第2導電領域を含む
付記13から付記18のいずれか1つに記載のAD変換器。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタに対応する部位に設けられた複数の開口部を有し、前記複数のキャパシタに対して絶縁された単一の導電体であり、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の開口部のうちの対応する開口部の内側に配置されている
付記13から付記19のいずれか1つに記載のAD変換器。
前記第1の電極と前記第2の電極はそれぞれ、櫛型形状を有する
付記13から付記20のいずれか1つに記載のAD変換器。
前記第1の電極および前記第2の電極は、それぞれ、前記複数の層のうちの1つの層に設けられ、前記第1の導電体は、前記第1の電極および前記第2の電極が設けられた層に設けられている
付記13に記載のAD変換器。
前記複数のキャパシタは、二進加重された容量値を有する複数の合成キャパシタを形成している
付記13から付記22のいずれか1つに記載のAD変換器。
半導体基板上に形成されている
付記13から付記23のいずれか1つに記載のAD変換器。
前記AD変換器は、逐次比較型のAD変換器であり、
前記容量DA変換器で生成された基準電圧と入力電圧とを比較する比較器を含み、
前記制御回路は、前記比較器の比較結果に基づいて、前記容量DA変換器の動作を制御する
付記13から付記24のいずれか1つに記載のAD変換器。
複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含む半導体装置。
前記第1の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第2の導電体と、
前記第2の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第3の導電体と、
を含み、
前記第1の電極の各々は、3層以上の各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第1電極片を含み、
前記第2の電極の各々は、前記複数の第1電極片が設けられた各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第2電極片を含み、
前記第1の配線および前記第2の配線はそれぞれ、前記複数の第1電極片および前記複数の第2電極片が設けられた各層のうちのいずれかの層に設けられ、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の第2の導電体のうちの対応する第2の導電体の内側に配置され、且つ、前記複数の第3の導電体のうちの対応する第3の導電体の内側に配置され、
前記第1の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第2の導電体の各々の外側に配置され、
前記第2の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第3の導電体の各々の外側に配置されている
付記26に記載の半導体装置。
前記第2の導電体の各々および前記第3の導電体の各々は、それぞれ、開口部を有し、前記第1の配線は、前記第1の電極との接続点から前記第2の導電体の前記開口部を通って前記第2の導電体の外側に引き出され、前記第2の配線は、前記第2の電極との接続点から前記第3の導電体の前記開口部を通って前記第3の導電体の外側に引き出されている 付記27に記載の半導体装置。
前記複数の第1電極片及び複数の第2電極片が設けられた層よりも上の層において、前記複数のキャパシタに対応する領域の外周を囲むように設けられ、且つ前記第1の導電体に電気的に接続された複数の第4の導電体を更に含む
付記27または付記28に記載の半導体装置。
前記第1の導電体、前記第2の導電体および前記第3の導電体は、複数の接続用導電体によって互いに電気的に接続され、
前記複数の接続用導電体は、前記第2の導電体および前記第3の導電体の外縁に沿って複数の列をなすように設けられ、1の列に配列された前記接続用導電体の各々が他の列に配列された前記接続用導電体の間の位置に配置されている
付記27または付記28に記載の半導体装置。
前記複数の第2電極片の各々は、対応する前記第1電極片の外周を少なくとも3方向から囲むように形成されている
付記27から付記30のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第1導電領域と、前記複数の第1導電領域の間の間隙の全域に亘って延在する第2導電領域を含む
付記26から付記31のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタに対応する部位に設けられた複数の開口部を有し、前記複数のキャパシタに対して絶縁された単一の導電体であり、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の開口部のうちの対応する開口部の内側に配置されている
付記26から付記31のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1の電極と前記第2の電極はそれぞれ、櫛型形状を有する
付記26から付記33のいずれか1つに記載の半導体装置。
前記第1の電極および前記第2の電極は、それぞれ、前記複数の層のうちの1つの層に設けられ、前記第1の導電体は、前記第1の電極および前記第2の電極が設けられた層に設けられている
付記26に記載の半導体装置。
前記複数のキャパシタは、二進加重された容量値を有する複数の合成キャパシタを形成している
付記26から付記35のいずれか1つに記載の半導体装置。
11 容量DA変換器
12 キャパシタアレイ
14 比較器
30 単位キャパシタ
41 第1の電極
42 第2の電極
50 シールド部
130 間隙部
411〜413 電極片
421〜423 電極片
450 ボトムノード配線
460 トップノード配線
501〜504 シールド片
501a、503a 開口部
M1〜M4 メタル配線層
Claims (11)
- 複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含むキャパシタアレイ。 - 前記第1の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第2の導電体と、
前記第2の配線が設けられた層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、前記第1の導電体に電気的に接続され且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第3の導電体と、
を含み、
前記第1の電極の各々は、3層以上の各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第1電極片を含み、
前記第2の電極の各々は、前記複数の第1電極片が設けられた各層に設けられ且つ互いに電気的に接続された複数の第2電極片を含み、
前記第1の配線および前記第2の配線はそれぞれ、前記複数の第1電極片および前記複数の第2電極片が設けられた各層のうちのいずれかの層に設けられ、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の第2の導電体のうちの対応する第2の導電体の内側に配置され、且つ、前記複数の第3の導電体のうちの対応する第3の導電体の内側に配置され、
前記第1の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第2の導電体の各々の外側に配置され、
前記第2の配線の前記複数のキャパシタ相互間の間隙を通る部分が前記第3の導電体の各々の外側に配置されている
請求項1に記載のキャパシタアレイ。 - 前記複数の第1電極片及び複数の第2電極片が設けられた層よりも上の層において、前記複数のキャパシタに対応する領域の外周を囲むように設けられ、且つ前記第1の導電体に電気的に接続された複数の第4の導電体を更に含む
請求項2に記載のキャパシタアレイ。 - 前記第1の導電体、前記第2の導電体および前記第3の導電体は、複数の接続用導電体によって互いに電気的に接続され、
前記複数の接続用導電体は、前記第2の導電体および前記第3の導電体の外縁に沿って複数の列をなすように設けられ、1の列に配列された前記接続用導電体の各々が他の列に配列された前記接続用導電体の間の位置に配置されている
請求項2に記載のキャパシタアレイ。 - 前記複数の第2電極片の各々は、対応する前記第1電極片の外周を少なくとも3方向から囲むように形成されている
請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のキャパシタアレイ。 - 前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタの外周を囲むように設けられ、且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された複数の第1導電領域と、前記複数の第1導電領域の間の間隙の全域に亘って延在する第2導電領域を含む
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のキャパシタアレイ。 - 前記第1の導電体は、前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記複数のキャパシタに対応する部位に設けられた複数の開口部を有し、前記複数のキャパシタに対して絶縁された単一の導電体であり、
前記複数のキャパシタの各々は、前記複数の開口部のうちの対応する開口部の内側に配置されている
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のキャパシタアレイ。 - 前記第1の電極と前記第2の電極はそれぞれ、櫛型形状を有する
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のキャパシタアレイ。 - キャパシタアレイを備えた容量DA変換器と、
前記容量DA変換器の動作を制御する制御回路と、
を含むAD変換器であって、
前記キャパシタアレイは、
複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの外側の領域において前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの外側の領域において前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含むAD変換器。 - 前記AD変換器は、逐次比較型のAD変換器であり、
前記容量DA変換器で生成された基準電圧と入力電圧とを比較する比較器を含み、
前記制御回路は、前記比較器の比較結果に基づいて、前記容量DA変換器の動作を制御する
請求項9記載のAD変換器。 - 複数の層のうちの少なくとも1つの層に設けられ且つ相互に対向する第1の電極および第2の電極を各々が有し、相互に間隙を隔てて設けられた複数のキャパシタと、
前記複数のキャパシタの前記第1の電極に接続され、前記複数の層のうちのいずれかの層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第1の配線と、
前記複数のキャパシタの前記第2の電極に接続され、前記第1の配線が設けられた層に対して少なくとも1層分隔てて離間した層に設けられ、且つ前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位を通るように設けられた第2の配線と、
前記第1の配線が設けられた層と前記第2の配線が設けられた層との間の層において前記第1の配線と前記第2の配線との間に介在するように前記複数のキャパシタの間の間隙または前記複数のキャパシタの間の間隙に対応する部位に延在し且つ前記複数のキャパシタに対して絶縁された第1の導電体と、
を含む半導体装置。
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