JP6244897B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
2 検出器
3 分光器
4 ヒータ
5 温度センサ
6 分光室
7 制御部
8 開口機構
9 エアコン
11 X線管球
12 高圧電源
13 冷却水循環装置
14 配管
15 ヒートポンプ
71 X線管球制御部
72 ヒートポンプ制御部
73 温度制御部
151 圧縮機
152 放熱器
153 膨張弁
154 蒸発器
155 配管
156 放熱器
157 流量調整部
158 分岐管
S 試料
Claims (2)
- X線管球によりX線を発生させるX線発生装置から発生されるX線を用いて試料の分析を行うX線分析装置であって、
前記X線発生装置は、前記X線管球の冷却にヒートポンプを用い、当該ヒートポンプからの排熱を前記X線分析装置に備えられた前記X線管球以外の部分の加熱に用いることを特徴とするX線分析装置。 - 試料からの光を分光する分光器を備え、
前記ヒートポンプからの排熱を前記分光器の加熱に用いることを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
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JP2013268678A JP6244897B2 (ja) | 2013-12-26 | 2013-12-26 | X線分析装置 |
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Family
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Family Applications (1)
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