JP6242997B2 - トランジスタ、半導体装置 - Google Patents
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Description
全般を指し、電気光学装置、半導体回路及び電子機器は全て半導体装置である。
る。これまで、シリコン材料等を利用したトランジスタの素子性能の向上は、微細化によ
って進められてきた。しかし、近年、微細化には物理的な限界が見え始めており、中でも
短チャネル効果の抑制は、深刻な課題と考えられている。
る悪影響として、閾値電圧が低下する、サブスレッショルド係数が劣化する、ドレイン電
圧がピンチオフ電圧以上の状態でもドレイン電流が飽和しない、ゲート電圧が0Vの状態
でもドレイン電流(パンチスルー電流)が流れる、等が挙げられる。
。サブスレッショルド係数が小さい程、電流の立ち上がりが鋭く、スイッチング特性が良
いため、同じ閾値電圧下ではパンチスルー電流が小さくなる。DIBL(Drain I
nduced Barrier Lowering)効果が生じると、トランジスタのサ
ブスレッショルド係数が劣化し、スイッチングの切れが悪くなる。
けるエネルギー障壁が減少するために、パンチスルー電流が流れ、サブスレッショルド特
性が劣化する効果である。ドレイン側領域の空乏層幅が広がることでソース側領域の電圧
降下が大きくなる。DIBL効果に弱い短チャネルトランジスタの場合、ドレイン側領域
の空乏層幅の広がりに伴って、ソースと半導体層との接合部におけるエネルギー障壁が減
少すると共に、実効チャネル長(実効チャネル領域の長さ)が短くなり、パンチスルー電
流が増大する原因になる。ドレイン側領域の空乏層幅、ソース側領域の空乏層幅、実効チ
ャネル長が、短チャネルトランジスタの素子性能に与える影響は大きい。
接触するMOSトランジスタが考案されている(特許文献1)。該底部は、ソース側領域
とドレイン側領域との間のチャネルの長さに沿って不均一な仕事関数を有する材料で構成
されている。
グ則がある。しかしながら、スケーリング則に沿ってトランジスタをスケーリングする際
、電源電圧はそのままスケーリングできないため、短チャネルトランジスタのチャネル領
域には、大きなドレイン電圧がかかることになる。ドレイン電圧に依存してドレイン側領
域の空乏層幅が広がることは、トランジスタの素子性能の低下を招く。
レインと半導体層との接合部に、キャリアの無い層(空乏層)が形成される。これは、ソ
ースの電子が半導体層へ、また、半導体層の正孔がソースへ流れ込むことにより、接合部
付近において、電子と正孔が結合して消滅するためである。ドレインと半導体層との接合
部に形成される空乏層幅LD Siを式で表すと以下のようになる。なお、以下の式におい
て、NAは、半導体層(p)のアクセプタ密度を表す。
いる。evDは、ドレイン(n+)と半導体層(p)との接合部におけるエネルギー障壁
とほぼ同じものである。従って、シリコン半導体を用いたトランジスタにおけるドレイン
側領域の空乏層幅LD Siは、ドレイン電圧VSDの依存性が大きいと考えられる。図7
に示すように、シリコン半導体を用いたトランジスタはチャネル長が短くなると、ドレイ
ン電圧の微小な変化に対して空乏層幅LD Siが広がり易く、DIBL効果が生じ易い。
度範囲を満たすような半導体を用いることにより、DIBL効果を抑制する。
と、ゲート絶縁層を介して半導体層上に設けられたゲートと、を有し、半導体層がゲート
と重畳する領域にチャネル領域が形成されるトランジスタであって、チャネル領域は、ソ
ース側領域、実効チャネル領域、及びドレイン側領域を含み、ドレイン側領域の長さをL
D、ドレイン側領域の電圧降下をVSD D、ドレイン側領域のエネルギー障壁と、ドレイ
ン側領域の電圧降下と素電荷との積、との差をevD、ソースとソース側領域との境界で
のフェルミポテンシャルをφF0、真性電子密度をni、実効チャネル領域とドレイン側
領域との境界での表面電位をφs D、実効チャネル領域とソース側領域との境界での表面
電位をφs S、半導体層のバンドギャップをEg、半導体層の誘電率をε、素電荷をe、
ボルツマン定数をk、絶対温度をTとしたとき、ソース側領域の多数キャリアの密度ns
Sが、数式(1)の関係を満たし、ドレイン側領域の多数キャリアの密度ns Dが、数式
(2)の関係を満たし、かつ、ドレイン側領域の長さLDが、数式(3)で表されること
を特徴とするトランジスタである。
。
としたとき、トランジスタの表面定常電流密度Jsが、数式(4)で表されることが好ま
しい。
域の3つの領域に分けられるものとする。
ル長とは、ドレイン側領域の長さと、ソース側領域の長さと、実効チャネル領域の長さと
の和を指すものとする。
と定義するものとする。
果の影響をより低減させたトランジスタを提供できる。
れず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し
得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の
記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において
、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、
その繰り返しの説明は省略する。
の密度がある一定の密度範囲を満たすような半導体材料を用いることにより、DIBL効
果を抑制させることができることについて、図1乃至図6を用いて説明する。
(n+)−(n)接合であり、ドレイン(n+)と半導体層(n)との接合部は、同様に
(n+)−(n)接合となる。なお、以下の説明では、半導体層に酸化物半導体を用いた
場合について説明するが、接合部付近において、多数キャリアが存在する半導体であれば
、半導体層に用いられる半導体は、酸化物半導体に限定されない。
半導体のドレイン側領域の長さLD OSを、式で表すと以下のようになる。
0について、上述した酸化物半導体のドレイン側領域の長さLD OSの導出方法を示す。
また、トランジスタ400の擬2次元系モデルに基づいて半導体層における電位φ及びフ
ェルミポテンシャルφFの空間分布の導出方法を示す。更に、求めた電位φ及びフェルミ
ポテンシャルφFを用いて、チャネル領域を流れる電流(パンチスルー電流)及びソース
側領域の電圧降下の導出方法を示す。次に、導出したパンチスルー電流及びソース側領域
の電圧降下から、短チャネルトランジスタのDIBL効果による特性劣化について議論す
る。なお、トランジスタにおいて、ゲート電圧で制御できる領域(実効チャネル領域)の
長さは、ドレイン電圧を印加した際のソース側領域の電圧降下、即ちDIBL効果の度合
により決定されるため、ソース側領域の電圧降下を検証する。
態であるため、DIBL効果が与える影響は、顕著になると考えることもできる。従って
、ゲート電圧が閾値以下の場合のパンチスルー電流、ドレイン側領域の長さ等を調べるこ
とは、短チャネル効果に強いトランジスタであるか否かを判定する一つの基準になると考
えることができるため、本明細書における擬2次元系のモデル計算では、ゲート電圧が閾
値以下の場合に限定して議論する。
層401に接して設けられたソース402及びドレイン403と、ゲート絶縁層404を
介して半導体層401上に設けられたゲート405と、を有する。ソース402は、第1
の端子11と電気的に接続され、ゲート405は、第2の端子12と電気的に接続され、
ドレイン403は、第3の端子13と電気的に接続されている。
化物半導体を用いている。)である。
(VG)が印加され、第3の端子13には、ドレイン電圧(VSD)が印加されている。
層404とが接する点に取る。なお、図1の紙面と垂直な方向をz軸方向とし、z軸方向
には、図1に示す擬2次元系モデルが一様に続くものとする。
。
3の端子13(ドレイン電圧VSD)に0V、及び第2の端子12(ゲート電圧VG)に
0Vが印加されるとき、半導体層は、フラットバンドとなる。
ルミポテンシャルφFの空間分布を導くために、以下の3つの方程式を連立して解く。
側領域(0<y<LS)、(2)実効チャネル領域(LS<y<LS+L’)、(3)ド
レイン側領域(LS+L’<y<LS+L’+LD)、の3つの領域に分けて考える。
体層におけるフェルミポテンシャルをφF(y)、ソース側領域の長さをLS、チャネル
領域の長さをL、実効チャネル領域の長さをL’、ドレイン側領域の長さをLD、半導体
層の真性エネルギーレベルをEi0、素電荷をe、半導体層の真性電子密度をni、ボル
ツマン定数をk、絶対温度をT、半導体層の誘電率をε、電子移動度をμ、電子拡散係数
をD、酸化物半導体層のバンドギャップをEgとする。
は、0と置くことが可能である。
x,y)は、座標(0,0)における真性エネルギーレベルEi0と等しくなるため、以
下のように定義する。
位φ(x,y)は、座標(0,0)における真性エネルギーレベルEi0と、座標(x,
y)における真性エネルギーレベルEi(x,y)との差分と考えることができるため、
以下のように定義する。
に定義する。
に変化するフェルミエネルギーEF(y)との差分と考えることができるため、以下のよ
うに定義することができる。
合部に多数キャリアが存在する。従って、フェルミエネルギーEF0は、真性エネルギー
レベルEi0よりも高エネルギー側にあり、φF(0)は、次式の関係を満たす。
x,y)における全電荷密度ρ(x,y)は、電子密度n(x,y)の負電荷と、ドナー
密度NDの正電荷を考慮すれば十分である。更に、n+領域と接しているソース側領域、
及びn+領域と接しているドレイン側領域においてドナー密度NDの寄与は無視できるの
で、全電荷密度ρ(x,y)は、次式のように表すことができる。
、次式のように表せる。
の電荷の輸送方程式の第2式から第3式へ式変形できる。
電流密度Jyのみを考慮すると、電流連続の式は、以下のようになる。なお、右辺を0に
しているのは、定常状態を考えているためである。
の領域で分けて考えているため、各領域での境界条件は以下のように表せる。
(2)実効チャネル領域:LS<y<LS+L’
(3)ドレイン側領域:LS+L’<y<LS+L’+LD(=L)
の接合部は、多数キャリアが存在し、高電子密度になるため、以下の式を満たすとする。
制御不可能な領域とするため、以下の式を満たすとする。
表していることに注意する。
VSD D、実効チャネル領域における電圧降下をVSD ’と置いている。従って、ドレイ
ン電圧VSDに対して以下の式を満たす。
される。
ルギー障壁の高さが下がることを示している。すなわち、DIBL効果の影響が大きけれ
ば、eVSD Sが大きくなる。よって、エネルギー障壁が大きく下がることになる。
とき、x=0での該半導体層の表面が電子の蓄積状態になり、チャネル領域に電流が流れ
る。一方、φs<0のとき、該半導体層の表面が電子の空乏状態になり電流は流れない。
従って、本計算でDIBL効果を検証しているサブスレッショルド領域はφs=0も含め
、φs≦0とする。
ンの場合、フェルミエネルギーEF0が、真性エネルギーレベルEi0よりも低エネルギ
ー側に存在する。従って、φF0>0となる。更に、φs>2φF0のとき、該半導体層
の表面が強反転状態になり、チャネル領域に電流が流れる。一方、φs<2φF0のとき
、電流は流れない。従って、本計算でDIBL効果を検証しているサブスレッショルド領
域はφs=2φF0も含め、φs≦2φF0である。
長くなるほど、実効チャネル領域の長さL’(実効チャネル長とも記す)は短くなる。従
って、ゲート電圧VGで制御可能な領域である実効チャネル長L’((2)実効チャネル
領域の長さ)をより長くするためには、ソース側領域の長さLSとドレイン側領域の長さ
LDがより短くなれば良い。
来た電子が蓄積されているので、これらの領域で電位φ及びフェルミポテンシャルφFを
求めるために解くべきポアソン方程式は以下の通りである。
下に導出方法を示す。
に、ポアソン方程式を満たす解φは、境界条件y=LSの基で、次式を解くことにより算
出される。
ルφFの関数形を次のように置く。
まず、y=LSにおける境界条件より、以下のようにC1、C3が決まる。
つ。
た関数形をポアソン方程式に代入して、まだ定まっていないC2、C4、cSの関係を導
く。ポアソン方程式の左辺は次式のようになる。
φFは次のように決定される。
はそれぞれ次式のように表せる。
る。
。以下に導出方法を示す。
に、ポアソン方程式を満たす解φは、境界条件y=LS+L’の基で、次式を解くことに
より算出される。
次式のように表せる。
ルφFの関数形を次のように置く。
定める。まず、y=LS+L’における境界条件より、以下のようにC1’、C3’が決
まる。
つ。
いた関数形をポアソン方程式に代入して、まだ定まっていないC2’、C4’、cDの関
係を導く。ポアソン方程式の左辺は次のようになる。
つ。
定まる。
フェルミポテンシャルφFは次のように決定される。
はそれぞれ次式のように表せる。
れる。
iと酸化物半導体を用いたトランジスタにおけるドレイン側領域の長さLD OSとを比較
する。
に対して、シリコン半導体の場合、ドレイン側領域の空乏層幅LD Siが(evD)1/
2に比例している。一般的に、室温ではkT<evDが成り立つ。また、酸化物半導体の
バンドギャップの方が、シリコン半導体のバンドギャップよりも大きいため、vD(Si
)<vD(OS)が成り立つ。これらと、サブスレッショルド領域ではVSD D〜VSD
となる事実と、を考慮すると、シリコン半導体のドレイン側領域の空乏層幅LD Siの方
が、ドレイン電圧VSDの変化により敏感であり、ドレイン電圧VSD依存性が大きいこ
とが解る。即ち、酸化物半導体の方がDIBL効果を抑制できることが解る。
圧降下VSD Sを導出することを考える。Jsを導出することで、パンチスルー電流の大
きさを、VSD Sを導出することで、DIBL効果の程度を推測することができるためで
ある。
グラフ化し、(n+)−(n)接合を有する酸化物半導体と、(n+)−(p)接合を有
するシリコン半導体とで、どちらが短チャネル効果に強い半導体であるかを検証する。
ス側領域における電圧降下VSD Sと表面定常電流密度Jsの関係、ドレイン側領域にお
ける電圧降下VSD Dと表面定常電流密度Jsの関係を導く。
からソース側領域での電圧降下VSD Sが現れる。
程度の数因子である。
の左辺から(3)ドレイン側領域での電圧降下VSD Dが現れる。
程度の数因子である。
。
≦閾値電圧Vth)について考察を行っているため、トランジスタがオフ状態でのパンチ
スルー電流を導出したい。サブスレッショルド領域(VG≦Vth)においては、ドレイ
ン電圧VSDが有限であっても、実効チャネル領域の電位φ(0,y)=φconst(
一定)≡φS0と見なせる。従って、y=LS、y=LS+L’においてもφ(0,y)
=φS0である(φ(0,LS)=φS0、φ(0,LS+L’)=φS0)ため、以下
に示す関係がある。
の輸送方程式をy=[LS,LS+L’]の範囲で両辺積分すると、以下のように計算で
きる。
イン側領域における電圧降下VSD Dと表面定常電流密度Jsの関係、実効チャネル領域
での電圧降下VSD ’と表面定常電流密度Jsの関係から、酸化物半導体の場合、VSD
S、VSD D、Jsはそれぞれ、次式のように表せる。
・・・(A)と置く。
・・・(A)’と置く。
式になる。
を導出すると、以下の式になる。
D ’を導出すると、以下の式になる。
Dを導出すると、以下の式になる。
Tを考慮して、(1/vSD)2〜0の項を無視した。さらに、eVSD>>kTより、
VSD D〜VSD、VSD S〜0V、VSD ’〜0Vと近似できる。
VSDのほとんどが電圧降下することになる。従って、VSD DをVSDに置き換えると
、結局、酸化物半導体層の表面定常電流密度Js OSは、以下のように表せる。
ース側領域における電圧降下VSD Dは、それぞれ以下のようになった(図3乃至図6参
照)。
下の式になる。
D Sを導出すると、以下の式になる。
VSD ’を導出すると、以下の式になる。
降下VSD Dを導出すると、以下の式になる。
き、酸化物半導体層の場合と同様に、シリコン半導体の場合でもサブスレッショルド領域
では、(3)ドレイン側領域でドレイン電圧VSDのほとんどが電圧降下することになる
。
ソース側領域における電圧降下VSD Dは、それぞれ以下のようになった(図3乃至図6
参照)。
BL効果、及びDIBL効果によるパンチスルー電流への影響を、酸化物半導体と、シリ
コン半導体とで比較し考察する。
おける電圧降下VSD Sのドレイン電圧VSD依存性を、図5は、表面定常電流密度Js
のチャネル長L依存性を、図6は、DIBL効果のチャネル長L依存性を示している。
016/cm3及びn0=1.0×1017/cm3の2水準、酸化物半導体のバンドギ
ャップEg=3.2eV、シリコン半導体のバンドギャップEg=1.1eVとする。但
し、誘電率ε=10ε0、絶対温度T=300K、真性電子密度ni=1.0×1011
/cm3は共通としている。また、Jsを電子移動度μで規格化してある。
面定常電流密度Js Siとを比較し考察する。図3に示されるように、酸化物半導体の表
面定常電流密度Js OSは、シリコン半導体の表面定常電流密度Js Siと比較して、ド
レイン電圧VSDの依存性が小さいことが解る。特にドレイン電圧VSDを大きくした場
合、その差は顕著に現れる。
酸化物半導体に比べて、DIBL効果による影響が大きいことが解る。更に、ドレイン電
圧VSDを大きくした場合、シリコン半導体のDIBL効果による影響はより大きくなる
。従って、図3、図4から、DIBL効果によるトランジスタの特性劣化は、シリコン半
導体のほうが強いことが示唆される。
/cm3、ドレイン電圧VSD=1Vにおける表面定常電流密度Jsのチャネル長L依存
性を図5に、DIBL効果のチャネル長L依存性を図6にそれぞれ示す。
s及びDIBL効果が低減されていることが明らかに解る。また酸化物半導体は、シリコ
ン半導体に比べて、より短チャネルまで表面定常電流密度Js OSの値を持っていること
が解る。
さL’(=L−LS−LD)がLDの増大でゼロ以下になり、実効的なチャネルが定義で
きなくなってしまう。即ち、チャネル長Lが0.6μm以下において、シリコン半導体の
表面定常電流密度Js Siは値を持たない。一方、酸化物半導体は、チャネル長Lが0.
2μm程度まで、実効チャネル領域の長さL’が定義できている。従って、DIBL効果
の影響がより低減された酸化物半導体は、シリコン半導体よりも短チャネル効果に強いこ
とが示唆される。
)接合を有するシリコン半導体よりも、より短チャネル効果に強い半導体であると言える
。なお、上記説明では、(n+)−(n)接合を有する半導体として酸化物半導体を例に
挙げて検証したが、ソースと半導体層との接合部、及びドレインと半導体層との接合部に
多数キャリアを有する半導体であれば、上記考察は適応可能である。
する。
ジスタであっても同様である。
タの一例である。図8(A)は、トランジスタ550aの平面図であり、図8(B)は、
図8(A)の一点鎖線A−Bにおける断面図である。なお、図8(A)では煩雑になるこ
とを避けるため、トランジスタ550aの構成要素の一部を省略して図示している。
導体装置は、絶縁膜536が設けられた絶縁表面を有する基板500上に、酸化物半導体
膜503、ソース505a、ドレイン505b、ゲート絶縁膜502、ゲート501、ゲ
ート501上に設けられた絶縁膜507、層間絶縁膜515を有する。
以上500nm以下であることがより好ましい。
、配線層595a、595bを設ける例である。ソース505a、ドレイン505bを層
間絶縁膜515に埋め込むように形成し、研磨処理によって該表面を露出させる。露出さ
れたソース505a、ドレイン505b表面に接して配線層595a、595bを形成し
、電気的に接続させる。ソース505aが設けられる開口と、ドレイン505bが設けら
れる開口とは別工程で形成する。該開口を別々のレジストマスクによって別工程で行うこ
とによって、フォトリソグラフィ工程の露光限界よりソース505aとドレイン505b
との距離を近づけることができる。トランジスタ550bにおいては、配線層595a、
595bは同工程のフォトリソグラフィ工程を用いて形成するため、配線層595aと配
線層595bとの距離は、ソース505aとドレイン505bとの距離より長くなってい
る。
3bを設けており、さらに、ソース505aとドレイン505bとが酸化物半導体膜50
3の側面で接して電気的に接続する例である。ソース505a及びドレイン505bと、
酸化物半導体膜503との電気的なコンタクト領域をゲート501と近づけることができ
るため、トランジスタのオン特性向上に効果的である。
3の作製方法は、ソース505a、ドレイン505bを形成し、ソース505a、ドレイ
ン505b上に酸化物半導体膜を成膜し、ソース505a、ドレイン505bが露出する
まで研磨して酸化物半導体膜503を形成する方法と、酸化物半導体膜503を形成し、
酸化物半導体膜503上に導電膜を成膜し、酸化物半導体膜503が露出するまで研磨し
てソース505a、ドレイン505bを形成する方法などを用いることができる。
電性材料を用いた場合、側壁層523a、523bはゲート501の一部として機能する
ことが可能であるため、チャネル長方向においてゲート絶縁膜502を介してソース50
5a又はドレイン505bと重畳する領域を、ゲートが、ゲート絶縁膜を介してソース又
はドレインと重畳する領域(Lov領域)とすることができる。ゲート501の側面に自
己整合的に設けられた導電性を有する側壁層523a、523bの幅によってLov領域
の幅を制御することが可能である。よって、微細なLov領域を精度よく加工することが
できる。
特にInと亜鉛(Zn)を含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジ
スタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザーとして、それらに加えてガリウ
ム(Ga)を有することが好ましい。また、スタビライザーとしてスズ(Sn)を有する
ことが好ましい。また、スタビライザーとしてハフニウム(Hf)を有することが好まし
い。また、スタビライザーとしてアルミニウム(Al)を有することが好ましい。また、
スタビライザーとしてジルコニウム(Zr)を有することが好ましい。
Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム
(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホル
ミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ル
テチウム(Lu)のいずれか一種あるいは複数種を有してもよい。
物であるIn−Zn系酸化物、In−Mg系酸化物、In−Ga系酸化物、三元系金属の
酸化物であるIn−Ga−Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In−Al−Zn系
酸化物、In−Sn−Zn系酸化物、In−Hf−Zn系酸化物、In−La−Zn系酸
化物、In−Ce−Zn系酸化物、In−Pr−Zn系酸化物、In−Nd−Zn系酸化
物、In−Sm−Zn系酸化物、In−Eu−Zn系酸化物、In−Gd−Zn系酸化物
、In−Tb−Zn系酸化物、In−Dy−Zn系酸化物、In−Ho−Zn系酸化物、
In−Er−Zn系酸化物、In−Tm−Zn系酸化物、In−Yb−Zn系酸化物、I
n−Lu−Zn系酸化物、四元系金属の酸化物であるIn−Sn−Ga−Zn系酸化物、
In−Hf−Ga−Zn系酸化物、In−Al−Ga−Zn系酸化物、In−Sn−Al
−Zn系酸化物、In−Sn−Hf−Zn系酸化物、In−Hf−Al−Zn系酸化物を
用いることができる。
て有する酸化物という意味であり、InとGaとZnの比率は問わない。また、InとG
aとZn以外の金属元素が入っていてもよい。
で表記される材料を用いてもよい。なお、Mは、Ga、Fe、Mn及びCoから選ばれた
一の金属元素又は複数の金属元素を示す。また、酸化物半導体として、In2SnO5(
ZnO)n(n>0、且つ、nは整数)で表記される材料を用いてもよい。
n=2:2:1(=2/5:2/5:1/5)、あるいはIn:Ga:Zn=3:1:2
(=1/2:1/6:1/3)の原子数比のIn−Ga−Zn系酸化物やその組成の近傍
の酸化物を用いることができる。あるいは、In:Sn:Zn=1:1:1(=1/3:
1/3:1/3)、In:Sn:Zn=2:1:3(=1/3:1/6:1/2)あるい
はIn:Sn:Zn=2:1:5(=1/4:1/8:5/8)の原子数比のIn−Sn
−Zn系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
移動度、しきい値、ばらつき等)に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要
とする半導体特性を得るために、キャリア濃度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素
の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
ら、In−Ga−Zn系酸化物でも、バルク内欠陥密度を低くすることにより移動度を上
げることができる。
c=1)である酸化物の組成が、原子数比がIn:Ga:Zn=A:B:C(A+B+C
=1)の酸化物の組成の近傍であるとは、a、b、cが、(a−A)2+(b−B)2+
(c−C)2≦r2を満たすことをいう。rとしては、例えば、0.05とすればよい。
他の酸化物でも同様である。
をとる。酸化物半導体膜は、例えば非単結晶を有してもよい。非単結晶は、例えば、CA
AC(C Axis Aligned Crystal)、多結晶、微結晶、非晶質部を
有する。非晶質部は、微結晶、CAACよりも欠陥準位密度が高い。また、微結晶は、C
AACよりも欠陥準位密度が高い。
ystalline Oxide Semiconductor)膜とする。CAAC−
OSは、例えば、c軸配向し、a軸または/およびb軸はマクロに揃っていない。
微結晶酸化物半導体とも記す)膜は、例えば、1nm以上10nm未満のサイズの微結晶
(ナノ結晶ともいう。)を膜中に含む酸化物半導体を有している。または、微結晶酸化物
半導体膜は、例えば、非晶質相に1nm以上10nm未満の結晶部を有する結晶−非晶質
混相構造の酸化物半導体を有している。
体(非晶質酸化物半導体とも記す)膜は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を
有さない。または、非晶質酸化物半導体膜は、例えば、完全な非晶質であり、結晶部を有
さない。
混合膜であってもよい。混合膜は、例えば、非晶質酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物
半導体の領域と、CAAC−OSの領域と、を有する。また、混合膜は、例えば、非晶質
酸化物半導体の領域と、微結晶酸化物半導体の領域と、CAAC−OSの領域と、の積層
構造を有してもよい。
たは表面の法線ベクトルに平行な方向に揃っていることが好ましい。なお、異なる結晶部
間で、それぞれa軸およびb軸の向きが異なっていてもよい。そのような酸化物半導体膜
の一例としては、CAAC−OS膜がある。
を有する結晶−非晶質混相構造の酸化物半導体膜を有している。なお、当該結晶部は、一
辺が100nm未満の立方体内に収まる大きさであることが多い。また、透過型電子顕微
鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)に
よる観察像では、CAAC−OS膜に含まれる非晶質部と結晶部との境界、結晶部と結晶
部との境界は明確ではない。また、TEMによってCAAC−OS膜には明確な粒界(グ
レインバウンダリーともいう。)は確認できない。そのため、CAAC−OS膜は、粒界
に起因する電子移動度の低下が抑制される。
ル又は表面の法線ベクトルに平行な方向に揃い、かつab面に垂直な方向から見て金属原
子が三角形状又は六角形状に配列を有し、c軸に垂直な方向から見て金属原子が層状又は
金属原子と酸素原子とが層状に配列している。なお、異なる結晶部間で、それぞれa軸及
びb軸の向きが異なっていてもよい。本明細書において、単に垂直と記載する場合、85
°以上95°以下の範囲も含まれることとする。また、単に平行と記載する場合、−5°
以上5°以下の範囲も含まれることとする。
C−OS膜の形成過程において、酸化物半導体膜の表面側から結晶成長させる場合、被形
成面の近傍に対し表面の近傍では結晶部の占める割合が高くなることがある。また、CA
AC−OS膜へ不純物を添加することにより、当該不純物添加領域において結晶部が非晶
質化することもある。
ル又は表面の法線ベクトルに平行な方向に揃うため、CAAC−OS膜の形状(被形成面
の断面形状又は表面の断面形状)によっては互いに異なる方向を向くことがある。また、
結晶部は、成膜したとき、又は成膜後に熱処理などの結晶化処理を行ったときに形成され
る。従って、結晶部のc軸の方向は、CAAC−OS膜が形成されたときの被形成面の法
線ベクトル又は表面の法線ベクトルに平行な方向となるように揃う。
が小さい。よって、当該トランジスタは、信頼性が高い。
減することができ、表面の平坦性を高めればアモルファス状態の酸化物半導体以上の移動
度を得ることができる。表面の平坦性を高めるためには、平坦な表面上に酸化物半導体を
形成することが好ましい。
)とし、スパッタリング法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)
法、CVD法、パルスレーザ堆積法、ALD(Atomic Layer Deposi
tion)法等を適宜用いることができる。また、酸化物半導体膜は、スパッタリングタ
ーゲット表面に対し、概略垂直に複数の基板表面がセットされた状態で成膜を行うスパッ
タ装置を用いて成膜してもよい。
12 端子
13 端子
400 トランジスタ
401 半導体層
402 ソース
403 ドレイン
404 ゲート絶縁層
405 ゲート
500 基板
501 ゲート
502 ゲート絶縁膜
503 酸化物半導体膜
505a ソース
505b ドレイン
507 絶縁膜
515 層間絶縁膜
523a 側壁層
523b 側壁層
536 絶縁膜
550a トランジスタ
550b トランジスタ
550c トランジスタ
595a 配線層
595b 配線層
Claims (4)
- インジウムを有する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層に接するソース及びドレインと、
ゲート絶縁層を介して前記酸化物半導体層上に設けられたゲートと、を有し、
前記酸化物半導体層が前記ゲートと重畳する領域にチャネル領域が形成されるトランジスタであって、
前記チャネル領域は、ソース側領域、実効チャネル領域、及びドレイン側領域を含み、
前記ドレイン側領域の長さをLD、
前記ドレイン側領域の電圧降下をVSD D、
前記ドレイン側領域のエネルギー障壁と、前記ドレイン側領域の電圧降下と素電荷との積、との差をevD、
前記ソースと前記ソース側領域との境界でのフェルミポテンシャルをφF0、
真性電子密度をni、
前記実効チャネル領域と前記ドレイン側領域との境界での表面電位をφs D、
前記実効チャネル領域と前記ソース側領域との境界での表面電位をφs S、
前記酸化物半導体層のバンドギャップをEg、
前記酸化物半導体層の誘電率をε、
素電荷をe、
ボルツマン定数をk、
絶対温度をTとしたとき、
前記ソース側領域の多数キャリアの密度ns Sが、数式(1)の関係を満たし、
前記ドレイン側領域の多数キャリアの密度ns Dが、数式(2)の関係を満たし、
かつ、前記ドレイン側領域の長さLDが、数式(3)で表されることを特徴とするトランジスタ。
- インジウムと亜鉛とを有する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層に接するソース及びドレインと、
ゲート絶縁層を介して前記酸化物半導体層上に設けられたゲートと、を有し、
前記酸化物半導体層が前記ゲートと重畳する領域にチャネル領域が形成されるトランジスタであって、
前記チャネル領域は、ソース側領域、実効チャネル領域、及びドレイン側領域を含み、
前記ドレイン側領域の長さをLD、
前記ドレイン側領域の電圧降下をVSD D、
前記ドレイン側領域のエネルギー障壁と、前記ドレイン側領域の電圧降下と素電荷との積、との差をevD、
前記ソースと前記ソース側領域との境界でのフェルミポテンシャルをφF0、
真性電子密度をni、
前記実効チャネル領域と前記ドレイン側領域との境界での表面電位をφs D、
前記実効チャネル領域と前記ソース側領域との境界での表面電位をφs S、
前記酸化物半導体層のバンドギャップをEg、
前記酸化物半導体層の誘電率をε、
素電荷をe、
ボルツマン定数をk、
絶対温度をTとしたとき、
前記ソース側領域の多数キャリアの密度ns Sが、数式(1)の関係を満たし、
前記ドレイン側領域の多数キャリアの密度ns Dが、数式(2)の関係を満たし、
かつ、前記ドレイン側領域の長さLDが、数式(3)で表されることを特徴とするトランジスタ。
- 請求項1又は請求項2において、
電子移動度をμ、
ドレイン電圧をVSD、
前記実効チャネル領域の長さをL’としたとき、
表面定常電流密度Jsが、数式(4)で表されることを特徴とするトランジスタ。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のトランジスタを有することを特徴とする半導体装置。
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