JP6235364B2 - 現像装置および現像方法 - Google Patents
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Description
図1(a)、図1(b)、図2(a)、図2(b)、図3(a)および図3(b)は、第1実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図1(a)、図1(b)、図2(a)、図2(b)、図3(a)および図3(b)において、この現像装置には、ウェハWを保持するウェハホルダ3、ウェハホルダ3を支持する支持台1、ウェハホルダ3を回転させるモータ2、液跳ねした現像液13Aやリンス液13Bを受けるカップ4、現像液13AをウェハW上に供給する現像液ノズル8A、リンス液13BをウェハW上に供給するリンスノズル8B、ガイド部7A、7Bおよびノズル駆動部12A、12Bが設けられたノズルガイド7、ノズルガイド7を支持するアーム5およびアーム5を駆動するモータ6が設けられている。なお、ガイド部7A、7Bは、ウェハW上で独立に走査できるように現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bを案内することができる。ノズル駆動部12Aは、ガイド部7Aにて案内させながら現像液ノズル8Aを駆動する。ノズル駆動部12Bは、ガイド部7Bにて案内させながらリンスノズル8Bを駆動する。なお、ガイド部7A、7Bは、互いに並列して直線状に設けることができる。ノズル駆動部12A、12Bは、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bをそれぞれ直線状に移動させることができる。この時、動力部としてモータを用いた場合、モータの回転運動を直線運動に変換する変換機構を設けることができる。
回転制御部11Aはモータ2の回転を制御する。退避制御部11Bはモータ6の駆動を制御する。第1ノズル駆動制御部11Cはノズル駆動部12Aを駆動制御する。第2ノズル駆動制御部11Dはノズル駆動部12Bを駆動制御する。第1供給制御部11Eは現像液13Aの供給を制御する。第2供給制御部11Fはリンス液13Bの供給を制御する。
ここで、第1ノズル駆動制御部11Cは、ウェハW上に現像液13Aが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように現像液ノズル8Aを駆動制御する。第2ノズル駆動制御部11Dは、ウェハW上にリンス液13Bが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するようにリンスノズル8Bを駆動制御する。また、第2ノズル駆動制御部11Dは、現像液ノズル8Aの走査開始位置に現像液ノズル8Aがある時にリンスノズル8Bの走査開始位置にリンスノズル8Bを移動させる。なお、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bの走査開始位置は、ウェハWの中央部とすることができる。現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bの走査終了位置はウェハWの端部とすることができる。
ここで、現像液ノズル8AがウェハWの端部に到達すると、現像液13Aが液跳ねする。この液跳ねした現像液13Aはカップ4に回収させることができる。この時、リンスノズル8BをウェハWの中央部で静止させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液13Aがリンスノズル8Bに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル8BがウェハW上を走査される時に、リンスノズル8Bから現像液13AがウェハW上に落ちるのを防止することができ、ウェハW上でのパーティクルの発生を防止することができる。
また、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bを案内するノズルガイド7を設けることにより、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。
図4(a)、図4(b)、図5(a)、図5(b)、図6(a)および図6(b)は、第2実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図4(a)、図4(b)、図5(a)、図5(b)、図6(a)および図6(b)において、この現像装置には、図1(a)の現像装置のノズルガイド7および現像制御部11の代わりにノズルガイド7´および現像制御部11´が設けられている。また、この現像装置には、ガス13CをウェハW上に噴出するガス噴出ノズル8Cが追加されている。なお、ガス13Cは、例えば、窒素ガスを用いることができる。
ここで、第3ノズル駆動制御部11Gは、ウェハW上にガス13Cが供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するようにガス噴出ノズル8Cを駆動制御する。また、第3ノズル駆動制御部11Gは、現像液ノズル8Aの走査開始位置に現像液ノズル8Aがある時にガス噴出ノズル8Cの走査開始位置にガス噴出ノズル8Cを移動させる。なお、ガス噴出ノズル8Cの走査開始位置は、ウェハWの中央部とすることができる。ガス噴出ノズル8Cの走査終了位置はウェハWの端部とすることができる。
ここで、現像液ノズル8AがウェハWの端部に到達すると、現像液13Aが液跳ねする。この時、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8CをウェハWの中央部で静止させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液13Aがリンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8CがウェハW上を走査される時に、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cから現像液13AがウェハW上に落ちるのを防止することができ、ウェハW上でのパーティクルの発生を防止することができる。
また、現像液ノズル8A、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cを案内するノズルガイド7を設けることにより、現像液ノズル8A、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル8A、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。
なお、上述した第2実施形態では、現像液ノズル8A、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cが独立して駆動される構成について説明したが、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cを一体化し、リンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cを一括して駆動するようにしてもよい。この場合、ガス噴出ノズル8Cを駆動する駆動機構を、リンスノズル8Bを駆動する駆動機構と別個に設ける必要がなくなり、駆動機構を簡易化することができる。
図7(a)、図7(b)、図8(a)、図8(b)、図9(a)および図9(b)は、第2実施形態に係る現像装置および現像方法の一例を示す斜視図である。
図7(a)、図7(b)、図8(a)、図8(b)、図9(a)および図9(b)において、この現像装置には、図1(a)の現像装置のノズルガイド7および現像制御部11の代わりにノズルガイド7´´および現像制御部11´´が設けられている。
ここで、現像液ノズル8AがウェハWの端部に到達すると、現像液13Aが液跳ねする。この時、リンスノズル8BをウェハWの中央部で固定させたまま保持させることにより、液跳ねした現像液13Aがリンスノズル8Bに付着するのを防止することができる。このため、リンスノズル8Bからリンス液13BがウェハW上に供給される時に、リンスノズル8Bから現像液13AがウェハW上に落ちるのを防止することができ、ウェハW上でのパーティクルの発生を防止することができる。
また、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bを保持するノズルガイド7´´を設けることにより、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bを一括して退避させることができる。このため、現像液ノズル8Aおよびリンスノズル8Bに対して独立に退避機構を設ける必要がなくなり、退避機構を簡易化することができる。
また、リンスノズル8Bをノズルガイド7´´に固定することにより、リンスノズル8Bを駆動する駆動機構を設ける必要がなくなり、駆動機構を簡易化することができる。
なお、上述した第3実施形態では、リンスノズル8Bをノズルガイド7´´に固定する構成について説明したが、図4(a)のリンスノズル8Bおよびガス噴出ノズル8Cをノズルガイド7´に固定する構成であってもよい。
図10(a)は、第4実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図である。
図10(a)において、この駆動機構には、現像液ノズル8Aを保持するノズルホルダ21、回転軸22およびモータ23が設けられている。ここで、回転軸22には雄ネジを設け、ノズルホルダ21には、回転軸22の雄ネジとかみ合う雌ネジを設けることができる。現像液ノズル8Aはノズルホルダ21に固定されている。モータ23は回転軸22の一端に接続されている。回転軸22は、その雄ネジがノズルホルダ21とかみ合うようにノズルホルダ21を貫通している。そして、モータ23を回転させると、ノズルホルダ21および回転軸22を介して回転運動が直線運動に変換され、ノズルホルダ21が回転軸22に沿って直線運動する。このため、ノズルホルダ21とともに現像液ノズル8Aを直線運動させることができる。
図10(b)は、第5実施形態に係る現像液ノズルの駆動機構の概略構成を示す斜視図である。
図10(b)において、この駆動機構には、滑車31、32、支持軸33、モータ34およびベルト35が設けられている。滑車31は支持軸33にて支持され、滑車32はモータ34に接続されている。ここで、ベルト35は滑車31、32間に架け渡されている。現像液ノズル8Aはベルト35に固定されている。そして、モータ33を回転させると、滑車31、32およびベルト35を介して回転運動が直線運動に変換され、ベルト35の移動に伴って現像液ノズル8Aを直線運動させることができる。
Claims (5)
- ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第1ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第2ノズルと、
前記ウェハ上にガスを噴出させる第3ノズルと、
前記ウェハ上で独立に走査できるように前記第1ノズル、前記第2ノズルおよび前記第3ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第1ノズルを駆動する第1ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第2ノズルを駆動する第2ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第3ノズルを駆動する第3ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドを駆動するガイド駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第1ノズルを駆動制御する第1ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第2ノズルを駆動制御する第2ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液および前記ガスが供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第3ノズルを駆動制御する第3ノズル駆動制御部と、
前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させる退避制御部とを備え、
前記第2ノズル駆動制御部は、前記第1ノズルが前記ウェハの中央部にある時に前記第2ノズルを前記ウェハの中央部に移動させ、
前記第3ノズル駆動制御部は、前記第1ノズルが前記ウェハの中央部にある時に前記第3ノズルを前記ウェハの中央部に移動させる現像装置。 - ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第1ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第2ノズルと、
前記ウェハ上で直線状に独立に走査できるように前記第1ノズルおよび前記第2ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第1ノズルを駆動する第1ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第2ノズルを駆動する第2ノズル駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第1ノズルを駆動制御する第1ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第2ノズルを駆動制御する第2ノズル駆動制御部とを備え、
前記第2ノズル駆動制御部は、前記第1ノズルの走査開始位置に前記第1ノズルがある時に前記第2ノズルの走査開始位置に前記第2ノズルを移動させ、
前記第1ノズルの走査開始位置および前記第2ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定し、
前記ノズルガイドは、前記第2ノズルを前記ウェハの中央部に保持したまま前記第1ノズルが前記ウェハ上を直線状に走査できるように前記第1ノズルを案内する現像装置。 - 現像装置による現像方法であって、
前記現像装置は、
ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第1ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第2ノズルと、
前記ウェハ上で直線状に独立に走査できるように前記第1ノズルおよび前記第2ノズルを案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第1ノズルを駆動する第1ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第2ノズルを駆動する第2ノズル駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第1ノズルを駆動制御する第1ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に走査開始位置から走査終了位置に移動するように前記第2ノズルを駆動制御する第2ノズル駆動制御部とを備え、
前記回転部にて回転されているウェハ上に前記第1ノズルから現像液を供給させながら、前記第2ノズルを前記第1ノズルの走査開始位置に隣接して保持させた状態で、前記第1ノズルを前記走査開始位置から走査終了位置に移動させ、
前記回転部にて回転されている前記ウェハ上に前記第2ノズルから前記リンス液を供給させ、
前記第1ノズルの走査開始位置および前記第2ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定する現像方法。 - 前記ウェハホルダ上に前記ウェハを置く前に、前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させ、
前記ウェハホルダ上に前記ウェハを置いた後に、前記ノズルガイドを前記ウェハホルダ上に移動させる請求項3記載の現像方法。 - 現像装置による現像方法であって、
前記現像装置は、
ウェハを保持するウェハホルダと、
前記ウェハホルダを回転させる回転部と、
前記ウェハ上に現像液を供給する第1ノズルと、
前記ウェハ上にリンス液を供給する第2ノズルと、
前記ウェハ上にガスを噴出させる第3ノズルと、
前記ウェハ上で独立に走査できるように前記第1ノズル、前記第2ノズルおよび前記第3ノズルを第1ガイド部、第2ガイド部および第3ガイド部に沿ってそれぞれ案内するノズルガイドと、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第1ノズルを駆動する第1ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第2ノズルを駆動する第2ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドにて案内させながら前記第3ノズルを駆動する第3ノズル駆動部と、
前記ノズルガイドを駆動するガイド駆動部と、
前記ウェハ上に前記現像液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第1ノズルを駆動制御する第1ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液が供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第2ノズルを駆動制御する第2ノズル駆動制御部と、
前記ウェハ上に前記リンス液および前記ガスが供給されている時に前記ウェハの中央部から端部に向かって移動するように前記第3ノズルを駆動制御する第3ノズル駆動制御部と、
前記ノズルガイドを前記ウェハホルダの外側に退避させる退避制御部とを備え、
前記回転部にて回転されているウェハ上に前記第1ノズルから現像液を供給させながら、前記第2ノズルを走査開始位置に保持させた状態で、前記第1ノズルを走査開始位置から走査終了位置に前記第1ガイド部に沿って移動させ、
前記回転部にて回転されている前記ウェハ上に前記第2ノズルから前記リンス液を供給させながら、前記第2ノズルを前記走査開始位置から走査終了位置に前記第2ガイド部に沿って移動させ、
前記第2ノズルから前記リンス液が供給されている時に、前記第3ノズルを走査開始位置から走査終了位置に前記第3ガイド部に沿って移動させ、
前記第1ノズルの走査開始位置、前記第2ノズルの走査開始位置および前記第3ノズルの走査開始位置は前記ウェハの中央部に設定する現像方法。
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