JP6232866B2 - アクチュエータ素子、圧電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、並びに画像形成装置 - Google Patents
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Description
図1及び図2は、実施例1による液滴吐出ヘッドであって、ここでは液滴吐出ヘッドの一例としてインクジェットヘッド10を示している。インクジェットヘッド10は、サブフレーム基板11と、サブフレーム基板11の下方に配置されたアクチュエータ基板12と、アクチュエータ基板12の下方に配置されたノズル基板13とを備えている。そして、サブフレーム基板11及びノズル基板13はそれぞれアクチュエータ基板12に接着剤によって接合され、インクジェットヘッド10は、サブフレーム基板11、アクチュエータ基板12、及びノズル基板13が積層された構造を成している。
次に、実施例1のインクジェットヘッド10を搭載した画像形成装置について、図8及び図9を参照しつつ説明する。なお、図8は画像形成装置100を側方から見たときの全体構成図、図9は画像形成装置100の要部を示す平面図である。
11 サブフレーム基板
12 アクチュエータ基板
13 ノズル基板
14 アクチュエータ保護キャビティ
15 サブフレーム接合部
16 上部電極
16’ 上部電極層
17 圧電体薄膜(PZT膜)
17’ 圧電体薄膜層
18 下部電極
18’ 下部電極層
19 アクチュエータ素子
20 絶縁保護膜
21 メタル配線
22 パッシベーション膜
23 振動板
24 隔壁
24’ シリコン基板
25 ノズル孔
26 インク液室
27 接合面段差
28 接着剤
31 レジストパターン
32 レジストパターン
100 画像形成装置
Claims (8)
- 下部電極と、
前記下部電極上に設けられる圧電体薄膜と、
前記圧電体薄膜上に設けられた上部電極と備えたアクチュエータ素子であって、
前記上部電極は、白金膜を有し、
前記白金膜は、横方向の平均粒子径が膜厚よりも小さく、前記白金膜の横方向の平均粒子径は、50nm以上であることを特徴とするアクチュエータ素子。 - 前記上部電極は、前記白金膜の下に導電性酸化物を含み、
前記導電性酸化物は、ルテニウム酸ストロンチウム(SrRuO3)であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ素子。 - 前記圧電体薄膜は、多結晶体からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ素子。
- 振動上に、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ素子が積層されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 請求項4に記載の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする画像形成装置。
- 下部電極と、
前記下部電極上に設けられる圧電体薄膜と、
前記圧電体薄膜上に設けられた上部電極と備え、
前記上部電極が、白金膜を有するアクチュエータ素子の製造方法であって、
前記白金膜を250〜500℃の温度で成膜して、前記白金膜の横方向の平均粒子径を、膜厚よりも小さく且つ50nm以上とすることを特徴とするアクチュエータ素子の製造方法。 - 前記上部電極は、前記白金膜の下に導電性酸化物を含み、
前記導電性酸化物はルテニウム酸ストロンチウム(SrRuO3)であり、該ルテニウム酸ストロンチウムを450〜600℃にてスパッタ成膜することを特徴とする請求項7に記載のアクチュエータ素子の製造方法。
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