JP6226191B2 - バリア膜形成装置、及び内部電極 - Google Patents
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しかしながら、前記特許文献1では、剥がれ落ちた炭素膜が容器内に残留しないようにする技術、炭素膜が付着した内部電極の清掃或いは取り替えに際しての内部電極の取付け取り外しに関する技術については開示されていない。
しかしながら、前記特許文献2では、内部電極に付着した炭素粉については言及されておらず、したがって、炭素膜が付着した内部電極の清掃或いは取り替えに際しての内部電極の取付け取り外しに関する技術についても開示されていない。
図2は、従来のバリア膜形成装置の正面断面図である。
図3は、図2のIII−III断面図で、要所のみを示してある。
図4は、図2のIV部拡大断面図である。
図2から図4において、従来のバリア膜形成装置21は、口部Pmを有するプラスチック容器(以下、単に容器と称する。)Pの内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部25pが穿設された内部電極25と、前記内部電極25に図示しない制御装置からの指令で媒質ガスを供給するための図示しないガス供給装置と、前記容器Pの外周側を覆う外部下部電極6aと外部上部電極6bから成り、下チャンバ7aと上チャンバ7bから成るチャンバ7内に設けられた外部電極6と、前記外部下部電極6aの端面部の絶縁部材8と下チャンバ7aを介して取り付けられ、排気通路12pを有する排気マニホールド12と、前記排気マニホールド12の図示EX側に設けられた図示しない排気装置と、前記外部電極6に接続されて設置電極間に放電を発生させるための電界を付与する高周波電源(電界付与手段)20によって主に構成されている。
さらに、前記外部上部電極6bは絶縁部材9を介して上チャンバ7bに取付けられており、図2に二点鎖線で示すように、図示しない昇降機構により矢印7bfの方向に昇降できるようになっている。
前記内部電極取付けユニット22は、図示しないガス供給装置から矢印G3の方向へ媒質ガスを受け入れる媒質ガス供給通路27pを有する供給マニホールド27と、供給マニホールド27に気密に取付けられた中空孔24pを有するサポート24と、サポート24にロック材26aとロック材26bの傾斜面26kを介してねじ部23tにより螺合回転することによって前記内部電極25を締付け固定する締付け具23によって構成されている。
ここで、前記内部電極25のガス吹き出し部25pはサポート24の中空孔24pを介して前記媒質ガス供給通路27pに接続され、矢印G4の方向に媒質ガスを吹き出すようになっており、前記内部電極25は前記サポート24の穴24hとの間でOリング28によって気密に取付けられている。
容器把持片13によって把持された容器Pは、図示しない昇降機構によりロッド14を介して下降されて、図2の実線で示すように、相対的に内部電極25が挿入された状態で、外部上部電極6bを図示しない昇降機構により絶縁部材9および上チャンバ7bとともに下降させ、チャンバ7内で外部電極6に囲まれた状態にして、図示しないガス供給装置からの媒質ガスをガス吹き出し部25pから容器P内に供給し、高周波電源(電界付与手段)20によって内部電極25と外部電極6との間に放電を発生させると、プラズマが生成されて、前記媒質ガスは、前記プラズマによって解離、または更にイオン化して、炭素膜を形成するための成膜種が生成され、この成膜種が前記容器Pの内面に堆積し、炭素膜を形成する。
そして、炭素膜を所定の膜厚まで形成した後、高周波電源の印加を停止し、残留する媒質ガスが図示しない排気装置により排気マニホールド12の排気通路12p経由で排気され、前記排気通路12p内および前記容器P内の空間が大気圧に戻される。
本発明の一の態様のバリア膜形成装置は、プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用する内部電極と、前記容器の外周側を覆う外部電極と、前記内部電極と前記外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とを備えて、容器の内面にバリア膜を成膜するバリア膜形成装置において、前記内部電極が、気密用のシール部材と、該内部電極に高周波電界を導電する導電コネクタを介して、内部電極サポートの穴に該穴の開口から挿入して取付けられるように構成され、前記内部電極が前記サポートに挿入された状態で、前記導電コネクタが前記シール部材よりも前記サポートの穴の開口側に位置していることを特徴とする。
また、本発明の一の態様の内部電極は、プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用し、前記容器の外周側を覆う外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とが設けられて、容器の内面にバリア膜を成膜し、気密用のシール部材と、高周波電界を導電する導電コネクタとを介して、サポートの穴に該穴の開口から挿入して取付けられるように構成され、前記サポートに挿入された状態で、前記導電コネクタが前記シール部材よりも前記サポートの穴の開口側に位置していることを特徴とする。
本発明の実施の形態を図1および図2に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係わるバリア膜形成装置の内部電極取付け部を示す正面断面図である。
また、図1は図4に相当する図である。
さらに、本発明の実施の形態に係わるバリア膜形成装置は、図2に示した従来のバリア膜形成装置21の図面を流用して、本発明の実施の形態に係わるバリア膜形成装置1、内部電極取付けユニット2、内部電極5の記号を図2に( )表示しているが、従来のバリア膜形成装置21と同じ構造のものは同じ記号を付しており、重複する説明は省略する。
ここで、前記内部電極5のガス吹き出し部5pはサポート16の中空孔16pを介して前記媒質ガス供給通路17pに接続され、矢印G2の方向に媒質ガスを吹き出すようになっている。
バリア膜形成装置1の繰り返し運転によって前記内部電極5の外周面には炭素膜が付着し、堆積して、状況によっては剥離していくので、所定の運転時間後には内部電極5の清掃或いは取り替えが必要となり、内部電極取付けユニット2のサポート16の穴16hにOリング18および導電コネクタ19を介して気密シール状態および導電状態で装着されている内部電極5を挿入或いは引き抜きによって取付け、取り外しを行う。
さらに、図1の図示および前記説明では、Oリング18と導電コネクタ19を各1個設ける場合を示したが、Oリング18或いは導電コネクタ19を複数個設ける場合としてもよく、後者の場合には内部電極5の取付けの安定性がさらによくなる。
2 内部電極取付けユニット
5 内部電極
5p ガス吹き出し部
16 サポート
17 供給マニホールド
18 Oリング
19 導電コネクタ
Claims (6)
- プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用する内部電極と、
前記容器の外周側を覆う外部電極と、
前記内部電極と前記外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とを備えて、容器の内面にバリア膜を成膜するバリア膜形成装置において、
前記内部電極が、気密用のシール部材と、該内部電極に高周波電界を導電する導電コネクタとを介して、前記内部電極のサポートの穴に該穴の開口から挿入して取付けられるように構成され、
前記内部電極が前記サポートに挿入された状態で、前記導電コネクタが前記シール部材よりも前記サポートの穴の開口側に位置していることを特徴とするバリア膜形成装置。 - 請求項1に記載するバリア膜形成装置において、
前記容器を、口部を下方に向けて保持するようにし、前記内部電極が前記口部の下方から挿入されるようにすることを特徴とするバリア膜形成装置。 - 請求項1または請求項2に記載するバリア膜形成装置において、
前記シール部材をOリングとすることを特徴とするバリア膜形成装置。 - プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用する内部電極と、
前記容器の外周側を覆う外部電極と、
前記内部電極と前記外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とを備えて、容器の内面にバリア膜を成膜するバリア膜形成装置において、
前記内部電極が、気密用のシール部材と、該内部電極に高周波電界を導電する導電コネクタとを介して、前記内部電極のサポートに挿入して取付けられるように構成され、
前記シール部材を螺旋状の金属帯から成るばね状のOリングとして、前記シール部材と導電コネクタとを兼用できるようにすることを特徴とするバリア膜形成装置。 - プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用する内部電極と、
前記容器の外周側を覆う外部電極と、
前記内部電極と前記外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とを備えて、容器の内面にバリア膜を成膜するバリア膜形成装置において、
前記内部電極が、気密用のシール部材と、該内部電極に高周波電界を導電する導電コネクタとを介して、前記内部電極のサポートに挿入して取付けられるように構成され、
所定の運転時間或いは所定の成膜回数を経過した時点で、ロボット又は自動取付け取り外し装置により前記内部電極を自動交換するように構成することを特徴とするバリア膜形成装置。 - プラスチック容器(以下、単に容器と称する。)の内部に挿入するバリア膜生成用の媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し部を兼用し、
前記容器の外周側を覆う外部電極との間に放電を発生させるための電界を付与する電界付与手段とが設けられて、容器の内面にバリア膜を成膜し、
気密用のシール部材と、高周波電界を導電する導電コネクタとを介して、サポートの穴に該穴の開口から挿入して取付けられるように構成され、
前記サポートに挿入された状態で、前記導電コネクタが前記シール部材よりも前記サポートの穴の開口側に位置していることを特徴とする内部電極。
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