JP6215557B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
図12は3つのウィンドウ111,112,113を画像表示部101に同時に表示した場合の一例を示す図である。この図に示した例では、追加したウィンドウ113に暗視野像を表示している。このように同時刻に検出された2次電子像、明視野像および暗視野像を同時に表示すると、試料70の表面、内部および背面を同時に観察することができ、例えば、試料70に係る粒子が表面、内部、背面のいずれに位置しているかを容易に把握することができる。なお、ウィンドウを追加して又は他の像に代えて、画面表示部101に反射電子像を表示しても良い。反射電子像は、試料の表面と内部があるため、2次電子像と暗視野像が合わさったような画像が取得できる。
Claims (11)
- 電子銃からの電子線が試料に照射されることで発生する電子を検出する検出器と、
当該検出器の出力に基づいて前記試料の顕微鏡像を表示する表示装置と
前記試料にガスを放出するためのガス導入装置と、
当該ガス導入装置によるガス放出中に、前記検出器が設置された空間内の真空度が継続的に設定値未満に保持されるように前記ガス導入装置によるガス放出量を制御するガス制御装置と、
前記試料を加熱する加熱装置と、
当該加熱装置を制御する加熱制御装置とを備え、
前記検出器には、前記電子線により発生する電子を検出する際に電圧が印加され、
前記設定値は、前記検出器に前記電圧が印加されても放電が発生しない値に設定されており、
前記加熱制御装置は、前記真空度が前記設定値未満の場合に前記加熱装置による前記試料の加熱を行い、前記真空度が前記設定値以上の場合に前記加熱装置による前記試料の加熱を行わないことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記検出器は、前記電子線により発生する電子を検出する2次電子検出器であり、
前記顕微鏡像は、前記2次電子検出器によって検出される2次電子像であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記検出器は、前記電子線により発生する電子を検出する2次電子検出器と、前記電子線に係る電子のうち前記試料を透過したものを検出する明視野検出器及び暗視野検出器であり、
前記表示装置は、前記顕微鏡像として、前記2次電子検出器によって検出される2次電子像と、当該2次電子像と同時刻に前記明視野検出器又は前記暗視野検出器によって検出される顕微鏡像とを表示することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記検出器は、前記電子線により発生する電子を検出する反射電子検出器であり、
前記顕微鏡像は、前記反射電子検出器によって検出される反射電子像であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記表示装置には、さらに、前記顕微鏡像の撮影時刻、当該撮影時刻に係る前記試料の近傍の真空度及び前記試料の温度のうち少なくとも1つが表示されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記表示装置には、前記2次電子検出器によって検出される2次電子像と、当該2次電子像と同時刻に前記明視野検出器又は前記暗視野検出器によって検出される顕微鏡像とが同時に表示されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記表示装置は、前記2次電子検出器によって検出される2次電子像と、当該2次電子像と同時刻に前記明視野検出器によって検出される明視野像と、当該2次電子像と同時刻に前記暗視野検出器によって検出される暗視野像のうちいずれか1つが表示される表示部を有し、当該表示部に表示される顕微鏡像は選択可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記表示装置は、前記2次電子検出器によって検出される2次電子像と、当該2次電子像と同時刻に前記明視野検出器によって検出される明視野像と、当該2次電子像と同時刻に前記暗視野検出器によって検出される暗視野像のうちいずれか2つが重ね合わせて表示される表示部を有し、
当該表示部に重ね合わせて表示される2つの顕微鏡像のうち上に位置するものの透過率は変更可能であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項8に記載の電子顕微鏡において、
前記表示部に重ね合わせて表示される2つの顕微鏡のうち一方は、カラーで表示されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1から9のいずれかに記載の電子顕微鏡において、
前記表示装置に表示される顕微鏡像を録画する録画装置をさらに備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子を検出する際に電圧が印加される検出器が設置された空間内の真空度が、前記検出器に電圧が印加されても放電が発生しないように設定された設定値未満に継続的に保持されるように試料に放出するガス放出量を制御し、
前記真空度が前記設定値未満の場合には前記試料への加熱を行う一方で、前記真空度が前記設定値以上の場合には前記試料への加熱を行わないように前記試料への加熱を制御し、
電子銃で発生された電子線が前記試料に照射される際に発生する電子を前記検出器で検出して、当該検出器の出力に基づいて顕微鏡像を表示装置に表示することを特徴とする電子顕微鏡による試料観察方法。
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