JP6194108B2 - 太陽電池の光吸収層製造用インク組成物及びこれを使用した薄膜の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、太陽電池の光吸収層製造用インク組成物及びこれを使用した薄膜の製造方法に関し、より詳細には、コア―シェル構造のナノ粒子;及びバイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、または金属カルコゲナイドナノ粒子;を含む太陽電池の光吸収層製造用インク組成物及びこれを使用した薄膜の製造方法に関する。
太陽電池は、開発初期から高価な製造過程の光吸収層及び半導体物質としてケイ素(Si)を使用して製作されてきた。太陽電池をより経済的に産業に利用できるように製造するために、薄膜太陽電池の構造物として低費用のCIGS(銅―インジウム―ガリウム―スルホ―ジ―セレナイド、Cu(In,Ga)(S,Se))などの光吸収物質を用いた製品が開発されてきた。前記CIGS系の太陽電池は、典型的に後面電極層、n―型接合部、及びp―型吸光層を含んで構成される。このようにCIGS層を基材とする太陽電池は、19%を超える電力変換効率を有する。しかし、CIGS系の薄膜太陽電池に対する潜在性にもかかわらず、インジウム(In)の原価と供給量の不足が、CIGS系の光吸収層を用いた薄膜太陽電池の広範囲な用途及び適用性に主要な障害となっているので、In―freeやIn―lessの低価の汎用元素を用いる太陽電池の開発が至急な実情にある。
したがって、最近は、前記CIGS系の光吸収層に対する代案として、超低価の金属元素である銅、亜鉛、スズ、硫黄、またはセレニウム元素を含むCZTS(CuZnSn(S,Se))系太陽電池が注目されている。前記CZTSは、約1.0eV〜約1.5eVの直接バンドギャップ(direct band gap)及び10cm−1以上の吸収係数を有しており、相対的に埋蔵量が豊かで、且つ価格が低いSnとZnを使用するという長所を有している。
1996年に初めてCZTSヘテロ―接合PV電池が報告されたが、現在までもCZTSを基盤にした太陽電池の技術はCIGSの太陽電池の技術より劣っており、CZTS電池に対する光電効率は、10%以下としてCIGSに比べて未だに多く不足している状態である。CZTSの薄膜は、スパッタリング、ハイブリッドスパッタリング、パルスレーザー蒸着法、噴霧熱分解法、電着/熱硫化(thermal sulfurization)、E―ビーム、Cu/Zn/Sn/熱硫化、及びゾル―ゲルの方法を用いて製造されてきた。
製造方法と関連して、WO2007―134843は、真空方式のスパッタリング方法でCu、Zn、Snを同時にまたは順次積層した後、SまたはSe雰囲気下で熱処理することによってCZTS層を形成する方法を開示しており、一部の論文(Phys,Stat.Sol.C.2006,3,2844./Prog.Photovolt:Res.Appl.2011;19:93―96)では、真空方式の同時蒸発法でCu、Zn、Sn、SまたはSeを同時に基材上に蒸着させることによってCZTS層を形成する方法を開示している。しかし、前記各技術は、比較的によく制御された状態で蒸着が可能であるという長所を有するが、高価の装備を使用するので工程費用が多くかかり、生産に限界がある。
一方、PCT/US/2010―035792では、CZTS/Se前駆体粒子を含むインクを用いて基材上に熱処理することによって薄膜を形成した内容を開示しているが、前記CZTS前駆体粒子を形成する方法と関連して、JACS、2009、131、11672では、高熱注入法でCu、Sn、及びZnの前駆体を含む溶液とSまたはSeが含まれた溶液とを高温で混合することによってCZTSナノ粒子を形成する方法を開示しており、US2011―0097496は、CZTS層形成用前駆体として、ヒドラジンにCu、Zn、Sn塩を過量のSまたはSeと共に溶かしたものを使用し、後続工程で熱処理とセレン化を通じてCZTS層を形成する方法を開示している。しかし、高熱注入法は、安全性に問題を有し、ヒドラジンを用いた溶液工程は、過量のSまたはSeを含むカルコゲン(chalcogen)化合物が含有されたヒドラジンが、毒性が強く、且つ反応性が大きい潜在的爆発性の溶媒であるので高い危険性を内在しており、これを取り扱うことが容易でないので工程の困難がある。
したがって、既存のCZTS層の製造工程より低廉で、且つ安全な製造方法で酸化に対して安定的であるだけでなく、高い効率の光吸収層を形成できる薄膜太陽電池に対する技術の必要性が高い実情にある。
国際公開第2007/134843号 国際公開第2011/065994号 米国特許出願公開第2011/0097496号明細書
Phys,Stat.Sol.C.2006年、3巻、2844頁 Prog.Photovolt:Res.Appl.2011年、19巻、93―96頁 JACS、2009年、131巻、11672頁
本発明は、前記のような従来技術の問題と過去から要請されてきた技術的課題を解決することを目的とする。
本出願の発明者等は、深度ある研究と多様な実験を繰り返した結果、銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアと、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルとからなるコア―シェル構造のナノ粒子をスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子と共に使用して光吸収層を製造する場合、低廉で且つ安全な工程が可能であり、生産性を高めるだけでなく、酸化に対して安定的であり、高い密度のCZTS系太陽電池用光吸収層を成長させることによって光電効率を向上させ得ることを確認し、本発明を完成するに至った。
したがって、本発明に係る太陽電池の光吸収層製造用インク組成物は、銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアと、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルとからなるコア―シェル構造のナノ粒子;及びスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子;が溶媒に分散されていることを特徴とする。
ここで、「カルコゲナイド」は、VI族元素、例えば、硫黄(S)及び/またはセレニウム(Se)を含む物質を意味する。
一般に、CZTS結晶形ナノ粒子を使用してCZTS薄膜を形成する場合、既に形成された結晶が小さいので、その後の薄膜を形成する過程で結晶のサイズを増加させにくく、このようにそれぞれのグレーンが小さい場合は、境界面が伸びてしまい、境界面で生じる電子の損失のため効率が低下するしかない。
これに比べて、Cu、Zn及びSnを含むが、CZTS結晶形態ではなく、互いに分離されて存在するCu、Zn、Snなどの元素が二次相を経てCZTSを形成する場合は、薄膜の形成過程でそれぞれの元素が再配置されながら結晶が成長するので、膜密度の向上、結晶サイズの向上を誘導することができる。
したがって、薄膜に使用されるナノ粒子は、Cu、Zn、及びSnを含み、CZTS結晶でない形態を取るべきである。
そこで、本出願の発明者等は、深度ある研究を繰り返えした結果、大量生産が可能な金属ナノ粒子、または金属カルコゲナイドナノ粒子と共に、二種類のカルコゲナイドが金属と適宜混合されて安定的な相をなすコア―シェル構造の前駆体を共に使用して薄膜を形成する場合、前記問題を適宜解決できることを明らかにした。
一つの具体的な例において、大量生産が可能な前記バイメタリックまたはインターメタリック金属ナノ粒子は、スズ(Sn)含有バイメタリックまたはインターメタリック金属ナノ粒子であって、CuSnまたはCuSnであり得る。また、前記金属カルコゲナイドナノ粒子は、スズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子であって、SnS(0.5≦z≦2.0)及び/またはSnSe(0.5≦w≦2.0)で、詳細には、SnS、SnS、SnSe及びSnSeからなる群から選ばれる一つ以上であり得る。
ここで、CZTS薄膜の組成比を合わせるためには、前記スズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子と共に、その他の金属元素を含むカルコゲナイドがさらに必要であるが、Cu、Znを含むカルコゲナイドをそれぞれ合成して混合する場合は、金属の不均一な組成比が問題となり得るので、本出願の発明者等は、Cu、Znを同時に含むコア―シェル構造のナノ粒子を開発することによって、前記組成不均一の問題も解決した。
一つの具体的な例において、前記銅(Cu)含有カルコゲナイドは、CuS、CuS(1.7≦x≦2.0)、CuSe、及びCuSe(1.7≦y≦2.0)からなる群から選ばれる一つ以上で、詳細には、CuS、CuS、CuSe、及びCuSeからなる群から選ばれる一つ以上で、より詳細にはCuS及び/またはCuSeであり得る。
また、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドは、ZnS、及び/またはZnSeであり得る。
一方、構造と関連して、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドがコアで、銅(Cu)含有カルコゲナイドがシェルである場合、ZnとCuのイオン化傾向の差のため、コア―シェル構造のナノ粒子を製造するとき、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドコアのZnの一部がイオン化されながらCuが還元されやすく、その結果、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドコアと銅(Cu)含有カルコゲナイドシェルが明確に作られず、混合されている形態が形成されやすいので、銅(Cu)含有カルコゲナイドがコアである場合に比べて特別な長所を期待しにくく、むしろ、亜鉛(Zn)イオンの消失などの問題がある。
その一方、本願発明のように、銅(Cu)含有カルコゲナイドがコアで、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドがシェルである場合、コアとシェルの厚さ比率を調節し、最終CZTS薄膜の組成比を調節しやすいので、多様な組成比のCZTS膜の形成に使用できるという長所がある。
一つの具体的な例において、前記コアの粒径は20ナノメートル〜200ナノメートルであり得る。
前記範囲を逸脱して、銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアのサイズが過度に大きい場合は、シェルまで形成したコア―シェル構造のナノ粒子サイズが過度に大きくなり、1マイクロメートル〜2マイクロメートルの厚さを有する最終薄膜での各粒子間の空隙が大きくなるので好ましくなく、コアのサイズが過度に小さい場合は、各粒子間の凝集が容易であるだけでなく、最終薄膜が適切な組成比を有するためのシェルの厚さが過度に薄くなり、シェルを形成するとき、適切な厚さに形成しにくいので好ましくない。
一方、前記シェルの厚さは、コアを形成した後、その表面にシェルを形成するときの反応時間、反応温度、反応物の濃度などによって調節されるが、これを調節して形成するシェルの厚さは、1ナノメートル〜75ナノメートルの範囲であることが好ましい。
前記亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルの厚さは、目標とするCZTS薄膜の全体的な組成比及びコアとの組成比を勘案して決定されるが、最終薄膜の組成比はCu:Zn:Sn=1.5〜2.5:0.9〜1.5:1程度の組成比であることが好ましいので、金属ナノ粒子と混合してCZTS薄膜を形成する場合、前記コア―シェル構造のナノ粒子は、Cu:Zn=0.3〜1.3:0.9〜1.5の組成比を有することができ、その結果、前記コアの粒径が20ナノメートル〜200ナノメートルであるとき、シェルは前記範囲の厚さを有することができる。
一方、前記で言及したように、最終薄膜の組成比は、Cu:Zn:Sn=1.5〜2.5:0.9〜1.5:1程度の組成比であることが好ましいので、前記コア―シェル構造のナノ粒子と;スズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子は、0.5<Cu/(Sn+Zn)<1.4になる範囲で混合することができる。
一つの具体的な例において、前記溶媒としては、一般的な有機溶媒であれば特別に制限されなく、アルカン系(alkanes)、アルケン系(alkenes)、アルキン系(alkynes)、芳香族化合物系(aromatics)、ケトン系(ketons)、ニトリル系(nitriles)、エーテル系(ethers)、エステル系(esters)、有機ハロゲン化物系(organic halides)、アルコール系(alcohols)、アミン系(amines)、チオール系(thiols)、カルボン酸系(carboxylic acids)、水素化リン系(phosphines)、亜リン酸系(phosphites)、リン酸塩系(phosphates)、スルホキシ化物系(sulfoxides)、及びアミド系(amides)から選ばれた有機溶媒を単独で使用したり、これらから選ばれた一つ以上の有機溶媒が混合された形態で使用することができる。
具体的に、前記アルコール系溶媒は、エタノール、1―プロパノール、2―プロパノール、1―ペンタノール、2―ペンタノール、1―ヘキサノール、2―ヘキサノール、3―ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、EG(ethylene glycol)、DEGMEE(diethylene glycol monoethyl ether)、EGMME(ethylene glycol monomethyl ether)、EGMEE(ethylene glycol monoethyl ether)、EGDME(ethylene glycol dimethyl ether)、EGDEE(ethylene glycol diethyl ether)、EGMPE(ethylene glycol monopropyl ether)、EGMBE(ethylene glycol monobutyl ether)、2―メチル―1―プロパノール、シクロペンタノール、シクロヘキサノール、PGPE(propylene glycol propyl ether)、DEGDME(diethylene glycol dimethyl ether)、1,2―PD(1,2―propanediol)、1,3―PD(1,3―propanediol)、1,4―BD(1,4―butanediol)、1,3―BD(1,3―butanediol)、α―テルピネオール(α―terpineol)、DEG(diethylene glycol)、グリセロール、2―(エチルアミノ)エタノール(2―(ethylamino)ethanol)、2―(メチルアミノ)エタノール(2―(methylamino)ethanol)、及び2―アミノ―2―メチル―1―プロパノールから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記アミン系溶媒は、トリエチルアミン、ジブチルアミン、ジプロピルアミン、ブチルアミン、エタノールアミン、DETA(Diethylenetriamine)、TETA(Triethylenetetraine)、トリエタノールアミン、2―アミノエチルピペラジン、2―ヒドロキシエチルピペラジン、ジブチルアミン、及びトリス(2―アミノエチル)アミンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記チオール系溶媒は、1,2―エタンジチオール、ペンタンチオール、へキサンチオール、及びメルカプトエタノールから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記アルカン系(alkane)溶媒は、へキサン、ヘプタン、オクタンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記芳香族化合物系(aromatics)溶媒は、トルエン、キシレン、ニトロベンゼン、ピリジンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記有機ハロゲン化物系(organic halides)溶媒は、クロロホルム、メチレンクロリド、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、及びクロロベンゼンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記ニトリル系(nitrile)溶媒は、アセトニトリルであり得る。
前記ケトン系(ketone)溶媒は、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、及びアセチルアセトンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記エーテル系(ethers)溶媒は、エチルエーテル、テトラヒドロフラン、及び1,4―ジオキサンから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記スルホキシ化物系(sulfoxides)溶媒は、DMSO(dimethyl sulfoxide)、及びスルホランから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記アミド系(amide)溶媒は、DMF(dimethyl formamide)、及びNMP(n―methyl―2―pyrrolidone)から選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記エステル系(ester)溶媒は、エチルラクテート(ethyl lactate)、r―ブチロラクトン、及びエチルアセトアセテートから選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
前記カルボン酸系(carboxylic acid)溶媒は、プロピオン酸、へキサン酸、メソ―2,3―ジメルカプトコハク酸(meso―2,3―dimercaptosuccinic acid)、チオ乳酸(thiolactic acid)、及びチオグリコール酸から選ばれる一つ以上の混合溶媒であり得る。
しかし、前記各溶媒は、一つの例示であって、これに限定されることはない。
場合に応じては、前記インク組成物に添加剤をさらに添加して製造することができる。
前記添加剤は、例えば、分散剤、界面活性剤、重合体、結合剤、架橋結合剤、乳化剤、消泡剤、乾燥剤、充填剤、増量剤、増粘剤、フィルム条件剤、抗酸化剤、流動剤、平滑性添加剤、及び腐食抑制剤からなる群から選ばれるいずれか一つ以上で、詳細には、ポリビニルピロリドン(polyvinylpyrrolidone:PVP)、ポリビニルアルコール(Polyvinylalcohol)、アンチテラ204(Anti―terra 204)、アンチテラ205(Anti―terra 205)、エチルセルロース(ethyl cellulose)、及びディスパースBYK110(DispersBYK110)からなる群から選ばれるいずれか一つ以上であり得る。
また、本発明は、前記コア―シェル構造のナノ粒子の製造方法を提供する。前記製造方法は、
(i)硫黄(S)、セレニウム(Se)、及び硫黄(S)またはセレニウム(Se)を含む化合物からなる群から選ばれる1種以上のVI族ソースを含む第1の溶液を準備する過程;
(ii)銅(Cu)塩を含む第2の溶液と、亜鉛(Zn)塩を含む第3の溶液とを準備する過程;
(iii)前記第1の溶液と第2の溶液とを混合することによって混合物を製造する過程;
(iv)前記混合物の反応によって銅(Cu)含有カルコゲナイドコア粒子を合成する過程;及び
(v)前記過程(iv)のコア粒子を含む生成物に前記第3の溶液を混合することによってシェルを形成した後で精製する過程;
を含むことを特徴とする。
一つの具体的な例において、前記第1の溶液、第2の溶液及び第3の溶液の溶媒は、互いに独立的に、水、メタノール(methanol)、エタノール(ethanol)、グリコール類溶媒、オレイルアミン(oleylamine)、ジメチルスルホキシド(dimethyl sulfoxide)、及びジメチルホルムアミド(dimethyl formamide)からなる群から選ばれる一つ以上であり得る。
前記グリコール類溶媒は、これに限定されることはないが、例えば、エチレングリコール(ethylene glycol)、ジエチレングリコール(diethylene glycol)、NMP、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(diethylene glycol mono ethyl ether:DEGMEE)及びトリエチレングリコール(triethylene glycol)からなる群から選ばれるいずれか一つであり得る。
一つの具体的な例において、前記第1の溶液に含まれるVI族ソースは、Se、NaSe、KSe、CaSe、(CHSe、SeO、SeCl、HSeO、NaS、KS、CaS、(CHS、HSO、S、Na、NHSOH及びこれらの水和物からなる群から選ばれる一つ以上であるか、有機物として、チオ尿素(thiourea)、チオアセトアミド(thioacetamide)、及びセレノ尿素(selenourea)からなる群から選ばれる一つ以上であり得る。
一つの具体的な例において、前記第2の溶液及び第3の溶液に含まれる成分である塩は、塩化物(chloride)、硝酸塩(nitrate)、亜硝酸塩(nitrite)、硫酸塩(sulfate)、酢酸塩(acetate)、亜硫酸塩(sulfite)、アセチルアセトネート塩(acetylacetonate)、及び水酸化物(hydoxide)からなる群から選ばれる一つ以上の形態であり得る。
一方、前記過程(iii)のように第1の溶液に第2の溶液を混合する場合、前記VI族ソースは、銅(Cu)塩1モルに対して0.5モル以上、詳細には、0.5モル〜4モルの範囲内の所望の組成比で含まれ得る。
前記の範囲を逸脱して、VI族ソースが0.5モル未満で含まれる場合は、VI族元素の十分な提供が不可能であるので、CuS(Se)や、CuS(Se)などの安定的な相が形成されなくなり、以後の工程で相が変わったり、分離された金属が酸化され得るという問題があるので好ましくない。
また、VI族ソースが4モルを超えて含まれる場合は、意図しないVI族元素が生成される確率が増加し、薄膜を製造するための熱処理工程でVI族ソースが蒸発しながら最終薄膜に空隙が過度に形成され得る確率が増加するという問題があり得る。
このとき、前記第2の溶液を第1の溶液にゆっくり滴加しながら前記混合物を撹拌すると、組成及び粒子サイズが均一な形態の銅(Cu)含有カルコゲナイドコア粒子を得ることができる。
また、前記過程(v)から確認できるように、前記過程を通じて製造されたコア粒子である銅(Cu)含有カルコゲナイド粒子は、その表面にシェルを形成するために、亜鉛(Zn)塩を含む第3の溶液と混合することができる。
このとき、前記混合時、亜鉛(Zn)塩の濃度によってもシェルの厚さが決定されるので、最終薄膜の組成比によって亜鉛(Zn)塩の濃度を適宜定めることができる。
一つの具体的な例において、前記第3の溶液の混合時、以後のCZTS層を形成する場合のVI族元素の部分的な不足を解決するためにVI族ソースをさらに添加することができ、このとき、前記VI族ソースは、以前の銅(Cu)含有カルコゲナイドコア粒子形成工程で残留するVI族元素の量を勘案して添加され得る。
一方、前記スズ(Sn)含有バイメタリックまたはインターメタリック金属ナノ粒子は、還元剤を使用して製造され得るが、Cu―Snバイメタリック金属ナノ粒子の形成方法を例に挙げると、
(i)還元剤を含む第1の溶液を準備する過程;
(ii)銅(Cu)塩、及びスズ(Sn)塩を含む第2の溶液を準備する過程;
(iii)前記第1の溶液に第2の溶液を滴加することによって混合物を製造する過程;及び
(iv)前記混合物の反応によって1種以上のCu―Snバイメタリック金属ナノ粒子を合成した後で精製する過程;
を含んで製造される。
ここで、前記還元剤は、有毒なヒドラジンなどではなく、有機還元剤及び/または無機還元剤で、詳細には、LiBH、NaBH、KBH、Ca(BH、Mg(BH、LiB(Et)H、NaBH(CN)、NaBH(OAc)、アスコルビン酸及びトリエタノールアミンからなる群から選ばれる一つであり得る。前記溶液の溶媒種類及び塩の種類などは、上述した通りである。
前記第1の溶液に第2の溶液を滴加することによって混合物を製造するとき、前記塩の総量と還元剤の混合比は、例えば、モル比で1:1〜1:20であり得る。
還元剤の含量が塩に対して過度に少なく含まれる場合は、金属塩の還元が十分に起こり得ないので、過度に小さいサイズまたは少量のバイメタリック金属ナノ粒子のみが得られるか、または、所望の元素比の粒子を得ることが難しい。また、還元剤の含量が塩の含量に対して20倍を超えて含まれる場合は、精製過程での還元剤及び副産物を除去することが円滑でないという問題がある。
前記の含まれる各塩の量は、所望の最終生成物の含量によって適宜選択することができる。
また、前記第1の溶液及び/または第2の溶液には、金属ナノ粒子の酸化を防止するためのキャッピング剤などがさらに含まれることもある。
前記製造方法は、一つの例示であって、所望の金属ナノ粒子によって、金属塩の金属種類を多様に選択することができる。
また、前記スズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子の製造方法は、前記銅(Cu)含有カルコゲナイドコア粒子を製造する方法で銅(Cu)塩の代わりにスズ(Sn)塩を使用することを除いては同一である。
一方、本出願の発明者等は、前記のように製造されたコア―シェル構造のナノ粒子が既存のCZTSナノ粒子に比べて酸化に対して安定的であり、反応性に優れることを確認し、さらに深度ある研究を繰り返えした結果、前記コア―シェル構造のナノ粒子と;前記スズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子を共に使用して光吸収層を製造する場合、より優れた膜質を提供することを確認した。
したがって、本発明は、前記太陽電池の光吸収層製造用インク組成物を使用した薄膜の製造方法も提供する。
本発明に係る薄膜の製造方法は、
(i)コア―シェル構造のナノ粒子;及びスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子を溶媒と共に混合することによってインクを製造する過程;
(ii)電極が形成された基材上に前記インクをコーティングする過程;及び
(iii)前記電極が形成された基材上にコーティングされたインクを乾燥させた後で熱処理する過程;
を含むことを特徴とする。
前記過程(ii)のコーティング層を形成する方法は、例えば、湿式コーティング、噴霧コーティング、スピンコーティング、ドクターブレード(doctor blade)コーティング、接触プリンティング、上部フィードリバース(feed reverse)プリンティング、下部フィードリバース(feed reverse)プリンティング、ノズルフィードリバース(nozzle feed reverse)プリンティング、グラビア(gravure)プリンティング、マイクログラビア(micro gravure)プリンティング、リバースマイクログラビア(reverse micro gravure)プリンティング、ローラーコーティング、スロットダイ(slot die)コーティング、毛細管コーティング、インクジェットプリンティング、ジェット(jet)沈着、噴霧沈着からなる群から選ばれるいずれか一つであり得る。
前記過程(iii)の熱処理は、400℃〜900℃の範囲の温度で行うことができる。
一方、より高い密度の太陽電池の薄膜を製造するためには、セレン化工程を含むことができ、前記セレン化工程は、多様な方法によって行うことができる。
第1の例において、前記セレン化工程は、前記過程(i)において、コア―シェル構造のナノ粒子;及びスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子と共に、S及び/またはSeを粒子の形態で溶媒に分散させることによってインクを製造し、過程(iii)の熱処理を行うことによって達成することができる。
第2の例において、前記セレン化過程は、前記過程(iii)の熱処理をSまたはSeが存在する条件で行うことによって達成することができる。
詳細には、前記SまたはSe元素が存在する条件は、HSまたはHSeをガス形態で供給したり、SeまたはSを加熱して気体状態で供給することによって可能である。
第3の例において、前記セレン化工程は、前記過程(ii)後にSまたはSeを積層した後、過程(iii)を進行することによって達成することができる。詳細には、前記積層は、溶液工程によって行うことができ、蒸着方法によって行うこともできる。
また、本発明は、前記方法で製造された薄膜を提供する。
前記薄膜は、0.5μm〜3.0μmの範囲内の厚さを有することができ、より詳細には、薄膜の厚さは0.5μm〜2.5μmであり得る。
薄膜の厚さが0.5μm未満である場合は、光吸収層の密度と量が十分でないため所望の光電効率を得ることができなく、薄膜が3.0μmを超える場合は、電荷運搬者(carrier)の移動距離が増加することによって再結合が起こる確率が高くなるので、これによる効率低下が発生するようになる。
さらに、本発明は、前記薄膜を使用して製造される薄膜太陽電池を提供する。
薄膜の太陽電池を製造する方法は、当業界に既に知られているので、本明細書ではそれについての説明を省略する。
製造例1で製造されたCuSナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例1で製造されたCuSナノ粒子のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 製造例5で製造されたCuSナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例5で製造されたCuSナノ粒子のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 製造例8で製造されたCuSナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例8で製造されたCuSナノ粒子のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 製造例12で製造されたCuSナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例12で製造されたCuSナノ粒子のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 製造例13で製造されたCuSナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例13で製造されたCuSナノ粒子のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 製造例17で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例17で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(TEM)写真である。 製造例18で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例18で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(TEM)写真である。 製造例19で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例19で製造されたCuS―core―ZnS―shellナノ粒子の電子顕微鏡(TEM)写真である。 製造例22で製造されたCuSn粒子の電子顕微鏡(SEM)写真である。 製造例22で製造されたCuSn粒子のXRDグラフである。 実施例1で形成されたCZTSSe薄膜の電子顕微鏡(SEM)写真である。 実施例1で形成されたCZTSSe薄膜のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 実施例2で形成されたCZTSSe薄膜の電子顕微鏡(SEM)写真である。 実施例2で形成されたCZTSSe薄膜のXRD(X―ray diffraction)グラフである。 比較例1で形成されたCZTSSe薄膜の電子顕微鏡(SEM)写真である。
以下、本発明の実施例を参照して説明するが、下記の実施例は、本発明を例示するためのものであって、本発明の範疇がこれらのみに限定されることはない。
<製造例1>
[CuS粒子の合成]
5mmolのNaSを含む水溶液150mLに5mmolのCu(NOを含む水溶液100mLを滴加した後、2時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。形成された粒子を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図1及び図2に示した。
<製造例2>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NO及び10mmolのチオアセトアミドを含む水溶液200mLを撹拌して80℃以上に加熱し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例3>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCuClを含む水溶液60mLを80℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含む水溶液60mLをゆっくり滴加した後、3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例4>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NOを含むジエチレングリコール(diethylene glycol:DEG)溶液60mLを60℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液60mLを滴加した後、温度を維持しながら1時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例5>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NOを含むDEG溶液300mLを120℃に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液100mLを滴加した後、120℃の温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。形成された粒子を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図3及び図4に示した。
<製造例6>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NO及び10mmolのチオアセトアミドを含むエチレングリコール(ethylene glycol:EG)溶液80mLを100℃に加熱した後、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例7>
[CuS粒子の合成]
DEG溶液200mLを120℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液50mLを滴加した後、5mmolのCu(NOを含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例8>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NOを含むEG溶液250mLを170℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むEG溶液50mLを滴加した後、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。形成された粒子を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図5及び図6に示した。
<製造例9>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NOを含むDEG溶液250mLを170℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液50mLを滴加した後、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例10>
[CuS粒子の合成]
ジメチルホルムアミド(dimethyl formamide:DMF)溶液200mLを120℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDMF溶液50mLを滴加した後、5mmolのCu(NOを含むDMF溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例11>
[CuS粒子の合成]
5mmolのCu(NOを含む水溶液250mLを170℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むEG溶液50mLを滴加した後、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例12>
[CuS粒子の合成]
PVP 3gが含まれたDEG溶液200mLを120℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液50mLを滴加した後、5mmolのCu(NOを含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。形成された粒子を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図7及び図8に示した。
<製造例13>
[CuS粒子の合成]
ドデシルアミン1gが含まれたDEG溶液200mLを120℃以上に加熱し、10mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液50mLを滴加した後、5mmolのCu(NOを含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。形成された粒子を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図9及び図10に示した。
<製造例14>
[CuS粒子の合成]
5mmolのチオ硫酸ナトリウムを含む水溶液100mLに50mmolのクエン酸を含む水溶液100mLを滴加して80℃以上に加熱した後、5mmolのCu(NOを含む水溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例15>
[CuS粒子の合成]
5mmolのチオ硫酸ナトリウムを含むEG溶液100mLに50mmolのクエン酸を含むEG溶液100mLを滴加して80℃以上に加熱した後、5mmolのCu(NOを含むEG溶液50mLを滴加し、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例16>
[CuS粒子の合成]
5mmolのチオ尿素を含むEG溶液100mLを80℃以上に加熱し、5mmolのCu(NOを含むEG溶液100mLを滴加した後、温度を維持しながら3時間撹拌して反応させ、形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子を製造した。
<製造例17>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子の合成]
実施例5のように合成したCuSナノ粒子5mmolに常温で10mmolのチオアセトアミド、8mmolのZnCl及び10mmolを含むDEG溶液100mLを滴加して80℃以上に加熱し、温度を維持して3時間撹拌した後、遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子の表面にZnSシェルが形成されたナノ粒子を得た。形成された粒子を分析した電子顕微鏡写真(SEM、TEM)を図11及び図12に示した。
<製造例18>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子の合成]
実施例12のように合成したCuSナノ粒子5mmolが含まれたDEG溶液100mLを80℃以上に加熱し、16mmolのチオアセトアミドが含まれたDEG溶液50mLと8mmolのZnClを含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持して3時間撹拌した後、生成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子の表面にZnSシェルが形成されたナノ粒子を得た。形成された粒子を分析した電子顕微鏡写真(SEM、TEM)を図13及び図14に示した。
<製造例19>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子の合成]
実施例12のように合成したCuSナノ粒子5mmolに16mmolのチオ尿素及び8mmolのZn(OAc)を含むDEG溶液150mLを滴加して150℃以上に加熱し、温度を維持して3時間撹拌した後、生成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子の表面にZnSシェルが形成されたナノ粒子を得た。
<製造例20>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子の合成]
実施例13のように合成したCuSナノ粒子5mmolに16mmolのチオアセトアミドを含むDEG溶液100mLを添加して100℃以上に加熱し、8mmolのZnClを含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持して3時間撹拌した後、生成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子の表面にZnSシェルが形成されたナノ粒子を得た。形成された粒子を分析した電子顕微鏡写真(SEM、TEM)を図15及び図16に示した。
<製造例21>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子の合成]
実施例13のように合成したCuSナノ粒子5mmolに16mmolのチオ尿素を含むDEG溶液100mLを添加して100℃以上に加熱し、8mmolのZn(OAc)を含むDEG溶液50mLを滴加し、温度を維持して3時間撹拌した後、生成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSナノ粒子の表面にZnSシェルが形成されたナノ粒子を得た。
<製造例22>
[CuSn粒子の合成]
窒素雰囲気でNaBH 150mmolを溶かした水溶液200mLを強く撹拌しながらSnCl 10mmol及びCuCl 12mmolを含む水溶液100mLを徐々に点滴し、8時間以上反応して形成された粒子を遠心分離法で精製することによってCuSn組成のナノ粒子を得た。形成された粒子を分析した電子顕微鏡写真(SEM)及びXRDグラフを図17及び図18に示した。
<実施例1>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子及びCuSnナノ粒子を用いた薄膜の製造]
製造例17で製造されたCuS―core―ZnS―Shellナノ粒子と製造例22で製造されたCuSn粒子を共に混合し、アルコール系溶媒からなる混合溶媒に分散させることによってインクを製造した後、モリブデン(Mo)がコーティングされたガラス基板上にコーティングした。前記コーティング膜を乾燥させた後、575℃でRTA(Rapid Thermal Annealing)する工程でSeが蒸着されたガラス基板と共に加熱し、Se雰囲気が造成されるようにしてCZTSSe系薄膜を製造した。得られた薄膜を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図19と図20に示した。
<実施例2>
[CuS―core―ZnS―Shellナノ粒子及びCuSnナノ粒子を用いた薄膜の製造]
製造例19で製造されたCuS―core―ZnS―Shellナノ粒子と製造例22で製造されたCuSn粒子を共に混合し、これをアルコール系溶媒からなる混合溶媒に分散させることによってインクを製造した後、これをモリブデン(Mo)がコーティングされたガラス基板上にコーティングした。前記コーティング膜を乾燥させた後、575℃でRTA(Rapid Thermal Annealing)する工程でSeが蒸着されたガラス基板と共に加熱し、Se雰囲気が造成されるようにしてCZTSSe系薄膜を製造した。得られた薄膜を分析した電子顕微鏡(SEM)写真及びXRDグラフを図21と図22に示した。
<比較例1>
[CuS、ZnSナノ粒子及びCuSnナノ粒子を用いた薄膜の製造]
CuSナノ粒子とZnSナノ粒子をそれぞれ合成した後、製造例22で製造されたCuSn粒子を共に混合し、これをアルコール系混合溶媒に分散させることによってインクを製造した後、これをモリブデン(Mo)がコーティングされたガラス基板上にコーティングした。前記コーティング膜を乾燥させた後、575℃でRTA(Rapid Thermal Annealing)する工程でSeが蒸着されたガラス基板と共に加熱し、Se雰囲気が造成されるようにしてCZTSSe系薄膜を製造した。得られた薄膜を分析した電子顕微鏡(SEM)写真を図23に示した。
<実験例1>
実施例1、2及び比較例1の薄膜電子顕微鏡写真を分析した。
図19、図21、及び図23を参照すると、本発明に係るインク組成物を使用すると、CuSナノ粒子及びZnSナノ粒子を別途に製造して混合したインク組成物を使用する場合に比べて、均一で且つ膜密度の高いCZTSSe系薄膜を形成できることを確認することができる。これは、CuとZnの酸化を防止しながらも所望のサイズの粒子を形成するので、Snを含むナノ粒子との均一な混合が容易であり、数百ナノメートル領域内で均一な組成を維持できるためである。
本発明の属した分野で通常の知識を有する者であれば、前記内容に基づいて本発明の範疇内で多様な応用及び変形を行うことが可能であろう。
以上説明したように、本発明によって銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアと、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルとからなるコア―シェル構造のナノ粒子をスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子と共に使用して光吸収層を製造することによって、工程費用を低下させることができ、安全な工程が可能であるので生産性を高めることができる。
また、前記コア―シェル構造のナノ粒子は、酸化に対して安定的であり、反応性に優れ、優れた膜質のCZTS系太陽電池用光吸収層を成長させることができ、結果的に、本発明に係る太陽電池の光電効率が向上するという効果を有する。

Claims (22)

  1. 銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアと、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルと、からなるコア―シェル構造のナノ粒子;及びスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子;が溶媒に分散されていることを特徴とする太陽電池の光吸収層製造用インク組成物。
  2. 前記コアの粒径は20ナノメートル〜200ナノメートルであることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池の光吸収層製造用インク組成物。
  3. 前記シェルの厚さは1ナノメートル〜75ナノメートルであることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池の光吸収層製造用インク組成物。
  4. 前記銅(Cu)含有カルコゲナイドは、CuS、CuS(1.7≦x≦2.0)、CuSe、及びCuSe(1.7≦y≦2.0)からなる群から選ばれる一つ以上であることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池の光吸収層製造用インク組成物。
  5. 前記亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドは、ZnS、及び/またはZnSeであることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池の光吸収層製造用インク組成物。
  6. 前記スズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子は、CuSnまたはCuSnであることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池光吸収層製造用インク組成物。
  7. 前記スズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子は、SnS(0.5≦z≦2.0)及び/またはSnSe(0.5≦w≦2.0)であることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池光吸収層製造用インク組成物。
  8. 前記コア―シェル構造のナノ粒子と;スズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子;は、0.5<Cu/(Sn+Zn)<1.4になる範囲で混合されたことを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池光吸収層製造用インク組成物。
  9. 前記溶媒は、アルカン系、アルケン系、アルキン系、芳香族化合物系、ケトン系、ニトリル系、エーテル系、エステル系、有機ハロゲン化物系、アルコール系、アミン系、チオール系、カルボン酸系、水素化リン系、リン酸塩系、硫酸化物系、及びアミド系からなる群から選ばれた一つ以上の有機溶媒であることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池光吸収層製造用インク組成物。
  10. 前記インク組成物は、添加剤をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池光吸収層製造用インク組成物。
  11. 前記添加剤は、ポリビニルピロリドン(PVP)、ポリビニルアルコール、アンチテラ204、アンチテラ205、エチルセルロース、及びディスパースBYK110からなる群から選ばれるいずれか一つ以上であることを特徴とする、請求項10に記載の光吸収層製造用インク組成物。
  12. 銅(Cu)含有カルコゲナイドを含むコアと、亜鉛(Zn)含有カルコゲナイドを含むシェルと、からなるコア―シェル構造のナノ粒子を合成する方法であって、
    (i)硫黄(S)、セレニウム(Se)、及び硫黄(S)またはセレニウム(Se)を含む化合物からなる群から選ばれる1種以上のVI族ソースを含む第1の溶液を準備する過程;
    (ii)銅(Cu)塩を含む第2の溶液と、亜鉛(Zn)塩を含む第3の溶液とを準備する過程;
    (iii)前記第1の溶液と第2の溶液とを混合することによって混合物を製造する過程;
    (iv)前記混合物の反応によって銅(Cu)含有カルコゲナイドコア粒子を合成する過程;及び
    (v)前記過程(iv)のコア粒子を含む生成物に前記第3の溶液を混合することによってシェルを形成した後で精製する過程;
    を含むことを特徴とするコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  13. 前記第1の溶液、第2の溶液、及び第3の溶液の溶媒は、水、メタノール、エタノール、グリコール類溶媒、オレイルアミン、ジメチルスルホキシド、及びジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる一つ以上であることを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  14. 前記グリコール類溶媒は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、NMP、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(DEGMEE)及びトリエチレングリコールからなる群から選ばれるいずれか一つであることを特徴とする、請求項13に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  15. 前記塩は、塩化物、硝酸塩、亜硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩、亜硫酸塩、アセチルアセトネート塩、及び水酸化物からなる群から選ばれる一つ以上の形態であることを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  16. 前記VI族ソースは、Se、NaSe、KSe、CaSe、(CHSe、SeO、SeCl、HSeO、NaS、KS、CaS、(CHS、HSO、S、Na、NHSOH及びこれらの水和物からなる群から選ばれる一つ以上であることを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  17. 前記VI族ソースは、チオ尿素、チオアセトアミド、及びセレノ尿素からなる群から選ばれる一つ以上であることを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  18. 前記過程(iii)の混合物において、VI族ソースは、銅(Cu)塩1モルに対して0.5モル〜4モルで含まれていることを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  19. 前記過程(v)のコア粒子を含む生成物に第3の溶液を混合するとき、VI族ソースをさらに添加することを特徴とする、請求項12に記載のコア―シェル構造のナノ粒子合成方法。
  20. 請求項1に記載の太陽電池の光吸収層製造用インク組成物を使用して薄膜を製造する方法であって、
    (i)コア―シェル構造のナノ粒子;及びスズ(Sn)含有バイメタリック若しくはインターメタリック金属ナノ粒子、またはスズ(Sn)含有カルコゲナイドナノ粒子;を溶媒と共に混合することによってインクを製造する過程;
    (ii)電極が形成された基材上に前記インクをコーティングする過程;及び
    (iii)前記電極が形成された基材上にコーティングされたインクを乾燥させた後で熱処理する過程;
    を含むことを特徴とする薄膜の製造方法。
  21. 前記過程(ii)のコーティングは、湿式コーティング、噴霧コーティング、スピンコーティング、ドクターブレードコーティング、接触プリンティング、上部フィードリバースプリンティング、下部フィードリバースプリンティング、ノズルフィードリバースプリンティング、グラビアプリンティング、マイクログラビアプリンティング、リバースマイクログラビアプリンティング、ローラーコーティング、スロットダイコーティング、毛細管コーティング、インクジェットプリンティング、ジェット沈着、または噴霧沈着によって行われることを特徴とする、請求項20に記載の薄膜の製造方法。
  22. 前記過程(iii)の熱処理は、400℃〜900℃の範囲の温度で行われることを特徴とする、請求項20に記載の薄膜の製造方法。
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