JP6191392B2 - 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- 複数のコイルユニットを有するベース部材と、磁石ユニットを有する移動体と、前記磁石ユニットと該磁石ユニットに対応する前記コイルユニットとの相互作用により前記移動体を前記ベース部材上で少なくとも所定の2次元平面内の一軸方向に駆動する電磁アクチュエータと、を含む移動体装置であって、
前記ベース部材は、
前記コイルユニットが有する入力用コネクタに接続可能な出力用コネクタを前記複数のコイルユニットに対応して複数有し、前記入力用及び出力用コネクタを介して前記複数のコイルユニットに電力を分配する電力分配部材と、
前記電力分配部材に重ねて配置され、前記コイルユニットが有する第1ジョイントに接続可能な第2ジョイントを前記複数のコイルユニットに対応して複数有し、前記第1及び第2ジョイントを介して前記複数のコイルユニットに冷媒を分配する冷媒分配部材と、を備え、
前記複数のコイルユニットは、前記電力分配部材、又は前記冷媒分配部材の一面に沿って規則的に配置される移動体装置。 - 前記電力分配部材、及び前記冷媒分配部材は、前記2次元平面に平行な板状に形成され、互いに平行に配置される請求項1に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記コイルユニットが前記2次元平面内の互いに直交する第1軸及び第2軸に沿って2次元配置され、前記移動体を前記第1及び第2軸に沿って駆動可能な平面モータである請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記複数のコイルユニットが所定の位置に規則的に配置されることによって、前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが接続されるとともに、前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続される請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続された状態で、前記冷媒分配部材から前記コイルユニットに冷媒を供給することと、該コイルユニットから前記冷媒分配部材へ前記冷媒を戻すことと、が可能である請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが着脱可能であり、前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが着脱可能である請求項1〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが接続され、且つ前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続された状態で、前記電力分配部材、又は前記冷媒分配部材の前記一面と前記コイルユニットとの間に隙間が形成され、
前記入力用コネクタ、前記出力用コネクタ、前記第1ジョイント、及び前記第2ジョイントの少なくともひとつが前記隙間に配置される請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記複数のコイルユニットは、前記電力分配部材の一面に沿って配置され、
前記冷媒分配部材は、前記電力分配部材の他面に対向して配置され、
前記電力分配部材には、前記冷媒分配部材に設けられた前記第2ジョイントの通過を許容する開口部が前記複数の第2ジョイントに対応して複数形成される請求項1〜7のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記冷媒分配部材は、該冷媒分配部材の外部から供給された前記冷媒を前記複数のコイルユニットに対応して分岐させる分岐流路、及び前記分岐流路から前記複数のコイルユニットそれぞれに前記冷媒を供給する複数の供給流路を有し、
前記分岐流路、及び前記複数の供給流路は、一体的に形成される請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記冷媒分配部材の前記分岐流路、及び前記複数の供給流路は、所定の板状部材を機械加工することにより一体的に形成される請求項9に記載の移動体装置。
- 前記冷媒分配部材は、前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続された状態で前記コイルユニットが有する第3ジョイントに接続可能な第4ジョイントを前記複数のコイルユニットに対応して複数有し、前記第3及び第4ジョイントを介して前記ベース部材における前記移動体に対する対向面の温度調整に用いられる冷媒を前記複数のコイルユニットに供給する請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記ベース部材は、
前記電力分配部材、及び前記冷媒分配部材が一体的に載置される本体部を更に備え、
前記電力分配部材に電力を供給する電力供給装置、及び前記冷媒分配部材に冷媒を供給する冷媒供給装置が前記本体部材の下方に配置され、
前記本体部には、前記電力供給装置と前記電力分配部材とを接続する第1接続部材、及び前記冷媒供給装置と前記冷媒分配部材とを接続する第2接続部材の通過を許容する開口部が形成される請求項1〜11のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記ベース部材は、前記移動体を前記2次元平面に平行な方向に駆動する際の反力によって、前記移動体に対して前記2次元平面に沿って前記移動体とは反対の方向に相対移動可能に設けられる請求項1〜12のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記ベース部材は、錘を有する請求項13に記載の移動体装置。
- 所定の物体が前記移動体に保持される請求項1〜14のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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